JPH0345564A - Production of ceramic plate - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、基板材料等に使用されるセラミック造する方
法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION ``Industrial Application Field'' The present invention relates to a method for producing ceramics used as substrate materials and the like.
「従来の技術」
従来、エレクトロニクスの分野などで基板として用いら
れる板状のセラミックスは、主としてドクターブレード
法により製造されている。"Prior Art" Conventionally, plate-shaped ceramics used as substrates in the field of electronics and the like have been mainly manufactured by the doctor blade method.
この方法では1.A I203、Z ro !などのセ
ラミックス粉末に溶剤又は水を加え、これに分散解膠剤
、結合剤、可塑剤などの必要な薬剤を適宜に添加混合し
て、均質なスラリーを作製し、このスラリーをドクター
ブレードでキャリヤテープ上に所定の厚みに塗布し、次
いで熱風乾燥あるいは赤外線乾燥を行って溶剤又は水を
揮発させて固化することによって未焼結セラミックスシ
ート(グリーンシート)を作製する。次いで得られたグ
リーンシートを所定の大きさに裁断し、焼成炉内で加熱
焼成してセラミックス板を作製している。In this method, 1. A I203, Z ro! A solvent or water is added to ceramic powder such as, and necessary chemicals such as a dispersing agent, binder, and plasticizer are added and mixed as appropriate to create a homogeneous slurry. This slurry is transferred to a carrier with a doctor blade. An unsintered ceramic sheet (green sheet) is produced by coating the material on a tape to a predetermined thickness and then drying with hot air or infrared rays to volatilize the solvent or water and solidify it. Next, the obtained green sheet is cut into a predetermined size and heated and fired in a firing furnace to produce a ceramic plate.
「発明が解決しようとする課題」
しかしながら、ドクターブレード法で成形したグリーン
シートは、その厚み方向の成分分布に微トを単独で焼成
すると、第9図に示す焼成セラミックス板Aのようにエ
ツジがはね上がった状態の反りを生じてしまう。``Problems to be Solved by the Invention'' However, when a green sheet formed by the doctor blade method is fired singly to improve the component distribution in the thickness direction, edges will occur as shown in fired ceramic plate A shown in Figure 9. This results in a warped state.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、反りやう
ねりのない平板状のセラミックス板の製造方法の提供を
目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a flat ceramic plate without warping or waviness.
「課題を解決するための手段」
上記課題解決の手段として、本発明は、ドクターブレー
ド法によって作製された板状のセラミックス生シート上
に、別のセラミックス生シートを、双方のセラミックス
生シートの上面どうしまたは下面どうしが重なり合うよ
うに載置し、さらに該セラミック生シート中に含まれる
結合剤と異なる系の溶剤を含む接着剤を用いて双方の生
シートを貼り合わせてグリーンシートを形成し、次いて
該グリーンシートを焼成して焼成シートとし、次いでこ
の焼成シートを貼り合わせ部分から分割して2枚のセラ
ミックス板を製造するようにした。"Means for Solving the Problems" As a means for solving the above problems, the present invention provides a method for placing another raw ceramic sheet on top of a plate-shaped raw ceramic sheet produced by a doctor blade method. The green sheets are placed so that their bottom surfaces overlap each other, and then both green sheets are bonded together using an adhesive containing a solvent of a different type from the binder contained in the green ceramic sheet to form a green sheet. Then, the green sheet was fired to obtain a fired sheet, and then this fired sheet was divided from the bonded portion to produce two ceramic plates.
以下、図面を参照して本発明方法の一例を詳細に説明す
る。Hereinafter, an example of the method of the present invention will be explained in detail with reference to the drawings.
本発明方法において使用されるセラミックスとしては、
靭性が高く、塑性を有している材料が好適に使用され、
特に好適なセラミックスとしてはZr01にY vo
3.M go 、 CaO、Ceo zなどの安定化剤
を固溶させた部分安定化ジルコニア(PSZ)、窒化ケ
イ素、サイアロンなどのセラミックス材料である。Ceramics used in the method of the present invention include:
Materials with high toughness and plasticity are preferably used,
A particularly suitable ceramic is Zr01 with Y vo
3. These are ceramic materials such as partially stabilized zirconia (PSZ), silicon nitride, and sialon in which stabilizers such as M go , CaO, and Ceo z are dissolved.
このようなセラミックス材料を用いてセラミックス板を
作製するには、まず、上記セラミックスの粉末に、溶剤
と、可塑剤、結合剤、分散剤などの生シート作製に必要
な薬剤を加えて混合し、均質なスラリー状としてスリッ
プlを作製し、ドクターブレード法によって生シートを
作製する。In order to produce a ceramic plate using such a ceramic material, first, a solvent and chemicals necessary for producing a raw sheet such as a plasticizer, a binder, and a dispersant are added to and mixed with the ceramic powder. A slip 1 is produced as a homogeneous slurry, and a green sheet is produced by a doctor blade method.
第1図は、生シートの作製に好適に使用されるドクター
ブレード装置の一例を示す図である。このドクターブレ
ード装置は、セラミックス材料を含むスラリー状のスリ
ップlを供給する供給口2と、薄板状に形成されたスリ
ップlを搬送するためのベルト3と、上記供給口2から
ベルト3上に薄板状にスリップlを引き出すためのドク
ターブレード4と、ベルト3上の薄板状のスリップlを
加熱乾燥させる乾燥器5とを備えて構成されている。FIG. 1 is a diagram showing an example of a doctor blade device suitably used for producing a green sheet. This doctor blade device includes a supply port 2 for supplying a slip l in the form of a slurry containing a ceramic material, a belt 3 for conveying the slip l formed in a thin plate shape, and a belt 3 for transporting the thin plate from the supply port 2 onto the belt 3. The belt 3 includes a doctor blade 4 for drawing out the slip 1 in a shape, and a dryer 5 for heating and drying the thin plate-like slip 1 on the belt 3.
このドクターブレード装置を用いて生シートを作製する
には、上記スリップlを供給口2に入れ、ベルト3駆動
用の2つのローラ6a、8bを回転させてベルト3を移
動させる。スリップlは、供給口2からドクターブレー
ド4によってベルト3上に薄板状に引き出され、ベルト
3で搬送されて乾燥・器5に入り、この乾燥器5内で加
熱乾燥されてゴム状の生シート7aとなる。乾燥を終え
た生ンー)7aは、ベルト3から引き離され、巻き取り
ローラに巻き取られる。To produce a raw sheet using this doctor blade device, the slip 1 is put into the supply port 2, and the belt 3 is moved by rotating the two rollers 6a and 8b for driving the belt 3. The slip l is pulled out in a thin plate form from the supply port 2 onto the belt 3 by the doctor blade 4, is conveyed by the belt 3, enters the dryer 5, and is heated and dried in the dryer 5 to form a rubber-like raw sheet. It becomes 7a. After drying, the raw material 7a is separated from the belt 3 and wound around a winding roller.
このようにして作製される生シートの寸法は、幅方向が
ドクターブレード装置のシート形成幅に制約されるが、
長さに関してはある程度任意の長さに設定することがで
きる。また生シートの厚さは、焼成後の機械的強度など
を勘案して適宜に設定されるが、通常lO〜1000μ
m程度(コイル状にすプ↓liAI−IJIM−,6n
n、、−)L−4−2mQ/eQ±1次いで、第2図に
示すように、上述のように作製された長尺の生シート7
a上に、別の生シート7bを、双方の上面どうしまたは
下面どうしが重なり合うように載置し、さらにこれらの
生シート7a、7b間に接着剤を塗布して貼り合わせて
グリーンシート8を形成する。この貼り合わせの際には
、第3図に示すように、2枚の生シート7a、7b間に
接着剤を塗布した後、一対の圧着ローラ9,9間に入れ
て圧着して貼り合わせる方法が好ましい。The dimensions of the raw sheet produced in this way are limited in the width direction by the sheet forming width of the doctor blade device;
The length can be set to a certain arbitrary length. The thickness of the green sheet is appropriately set in consideration of the mechanical strength after firing, but is usually 10 to 1000μ.
m (Coil shape↓liAI-IJIM-, 6n
n,,-)L-4-2mQ/eQ±1 Then, as shown in FIG. 2, the long raw sheet 7 produced as described above
Another green sheet 7b is placed on top a so that the top surfaces or bottom surfaces of both sheets overlap, and an adhesive is applied between these green sheets 7a and 7b to bond them together to form a green sheet 8. do. At the time of this bonding, as shown in FIG. 3, adhesive is applied between the two green sheets 7a and 7b, and then the sheets are placed between a pair of pressure rollers 9 and 9, and the sheets are bonded together by pressure. is preferred.
2枚の生シート7 a、 7 bの貼り合わせに用いら
れる接着剤は、生シート7 a、 7 b中に含まれる
結合剤と異なる系の溶剤を含む接着剤が用いられ、生シ
ー)7a、7b中に含まれる結合剤が、ポリビニルアル
コールなどの有機系結合剤の場合には、アクリル系接着
剤、デンプン系接着剤等の水溶性接着剤が使用される。The adhesive used to bond the two raw sheets 7a, 7b is an adhesive containing a solvent of a different type from the binder contained in the raw sheets 7a, 7b. , 7b is an organic binder such as polyvinyl alcohol, a water-soluble adhesive such as an acrylic adhesive or a starch adhesive is used.
また生シート7 a、7 bに含まれる結合剤が水系の
場合には、ポリビニルアルコール系接着剤、クロロブレ
ン系接着剤等の有機溶剤型接着剤が使用される。If the binder contained in the raw sheets 7a, 7b is aqueous, an organic solvent adhesive such as a polyvinyl alcohol adhesive or a chloroprene adhesive is used.
ノn + 5−fs”It A nn1− −−
+k A I−L :素/Tj II)
l’l Δ↓へせにより得られたグリーンシート8
を、その一方の面に離形材IOを添設しつつ円桂状の芯
体11にコイル状に巻き付ける。この離形材10は、使
用するセラミックス材料に対し、焼成時に接着性や反応
性を示さない材料が使用され、セラミックス材料にジル
コニアを使用する場合には、アルミナ粉末、ボロン粉末
を主成分とするシート(もしくは粉末をスプレーしてま
ぶしながらまいても良い。)が好適に使用される。Non + 5-fs"It A nn1- --
+k A I-L: elemental/Tj II)
Green sheet 8 obtained by l'l Δ↓Hese
is wound in a coil around a conic core 11 while attaching a release material IO to one surface thereof. This mold release material 10 is made of a material that does not show adhesion or reactivity to the ceramic material used during firing, and when zirconia is used as the ceramic material, the main component is alumina powder or boron powder. A sheet (or a powder may be sprayed and sprinkled) is preferably used.
次いで芯体11に巻き付けたグリーンシート8をセッタ
ー12上に載せた後、芯体11を静かに抜き去る。次い
でこれを焼成炉内に入れ、使用セラミックス材料の通常
の焼成条件にて焼成を施す。Next, the green sheet 8 wound around the core 11 is placed on the setter 12, and then the core 11 is gently removed. Next, this is placed in a firing furnace and fired under the usual firing conditions for the ceramic material used.
この焼成条件は、使用するセラミックス材料の種類によ
って適宜設定される。例えばセラミックス材料としてジ
ルコニアを使用する場合の焼成条件は、焼成温度130
0〜1600℃、焼成時間30分〜数時間程度の条件が
好ましい。The firing conditions are appropriately set depending on the type of ceramic material used. For example, when using zirconia as a ceramic material, the firing conditions are as follows:
Preferable conditions are 0 to 1600°C and a firing time of about 30 minutes to several hours.
この焼成によって第5図に示す長尺コイル状の焼成シー
)13が作製される。By this firing, a long coil-shaped fired sheet 13 shown in FIG. 5 is produced.
この焼成ノート13は、2枚の生シート7a、7bの接
着部分に起因する貼り合わせ部分から、2枚の薄いコイ
ル状のセラミックス板14a、 14bを容易に分割可
能な状態になっている。This fired notebook 13 is in a state in which two thin coil-shaped ceramic plates 14a, 14b can be easily separated from the bonded portion of the two green sheets 7a, 7b.
そして焼成シート13の貼り合わせ部分に極薄の金属片
や刃物を差し込んで2枚のセラミックス板14a、14
bに分割し、静かに両者を引き離すことによって、第6
図に示すように2枚の長尺コイル状のセラミックス板1
4a、 14bが得られる。Then, an extremely thin piece of metal or a knife is inserted into the bonded part of the fired sheet 13, and the two ceramic plates 14a, 14 are bonded together.
By dividing the two parts into b and gently separating them, the sixth
As shown in the figure, two long coiled ceramic plates 1
4a and 14b are obtained.
このセラミックス板14a、 14bは、芯体11の直
径を大きくすることによりセラミック材料の靭性を利用
して部分的に平板状のセラミックスを得ることができる
。またこの部分を利用して回路、電極及び他の部品を実
装することができる。The ceramic plates 14a, 14b can be made partially flat by increasing the diameter of the core 11 and taking advantage of the toughness of the ceramic material. Additionally, circuits, electrodes, and other components can be mounted using this portion.
この例によるセラミックス板の製造方法では、ドクター
ブレード法によって作製された2枚の生シート7a、7
bを、結合剤と異なる系の溶剤を含む接着剤を用いて貼
り合わせてグリーンシート8を形成し、次いで該グリー
ンシート8を焼成することによって、焼成シートI3を
貼り合わせ部分から2枚のセラミックス板14a、 1
4bに分割することができる。In the method for manufacturing a ceramic plate according to this example, two green sheets 7a and 7 produced by the doctor blade method are used.
b are bonded together using an adhesive containing a solvent of a different type from the binder to form a green sheet 8, and then the green sheet 8 is fired, whereby the fired sheet I3 is separated from the bonded portion into two ceramic sheets. Plate 14a, 1
It can be divided into 4b.
ここでグリーンシート8の形成に用いる接着剤と貼り合
わせ部分の状態との関係を第7図および第8図を参照し
て説明すると、2枚の生シート7a、7bを接着させる
際に、生シート中の結合剤と同系の溶剤を含む接着剤1
5aを用いた場合には、第7図に示すように接着剤15
a中の溶剤によって生シート7a、7b中の原料粒子1
6をつなぎ合わせていた結合剤が表面で溶け、原料粒子
16が接着剤15aの層に拡散してくる。この原料粒子
16の拡散で接着剤15a層中の原料粒子は十分焼結し
うるだけ密になり、このグリーンシートを焼成すると2
枚の生シートが一体となった厚いセラミックス板が得ら
れる。Here, the relationship between the adhesive used to form the green sheet 8 and the state of the bonded portion will be explained with reference to FIGS. 7 and 8. When bonding the two green sheets 7a and 7b, Adhesive 1 containing a solvent similar to the binder in the sheet
5a, as shown in FIG.
The raw material particles 1 in the raw sheets 7a and 7b are separated by the solvent in a.
The binder that connects the particles 6 melts on the surface, and the raw material particles 16 diffuse into the layer of adhesive 15a. Due to the diffusion of the raw material particles 16, the raw material particles in the adhesive layer 15a become dense enough to be sintered, and when this green sheet is fired, 2
A thick ceramic plate made up of two green sheets is obtained.
一方、生シー)7a、7bを張り合わせるのに、結合剤
と異なる系の溶剤を含む接着剤15bを用いると、第8
図に示すように、結合剤の溶解が起こらずに接着剤15
b層への原料粒子16の拡散が抑制される。したがって
、このグリーンシートを焼成しても2枚のシートどうし
が焼結することがなく、2枚のシートはそれぞれ別体の
ままで焼結され、焼成の後で貼り合わせ部分から容易に
はがすことができ、2枚の薄いセラミックス板が得られ
る。On the other hand, if adhesive 15b containing a solvent different from the binder is used to bond raw sheets 7a and 7b,
As shown in the figure, the adhesive 15 is
Diffusion of raw material particles 16 into the b layer is suppressed. Therefore, even when this green sheet is fired, the two sheets do not sinter together, and the two sheets are sintered as separate pieces, so that they can be easily peeled off from the bonded part after firing. Two thin ceramic plates are obtained.
上述した例によるセラミックス板の製造方法では、生シ
ー)7a、7bの上面どうしまたは下面どうしが重なり
合うように2枚の生シートを貼り合わせてグリーンシー
ト8を形成し、このグリーンシート8を焼成することに
よって、焼成時に各シートの反りを生じさせる力(厚み
方向の不均一さ)が相殺されて、反りやうねりのない平
らなセラミックス板を製造することができる。またこの
反りは焼結の早い段階で生じるので、結合剤と異なる系
の溶剤を含む接着剤で仮どめした場合でも、接着力は十
分強く、各シートがはがれてしまうことはない。In the method for manufacturing a ceramic plate according to the example described above, a green sheet 8 is formed by bonding two green sheets 7a and 7b so that their upper surfaces or lower surfaces overlap each other, and this green sheet 8 is fired. By doing so, the forces that cause each sheet to warp during firing (non-uniformity in the thickness direction) are offset, and a flat ceramic plate without warp or waviness can be manufactured. Furthermore, since this warping occurs at an early stage of sintering, even if the sheets are temporarily attached with an adhesive containing a solvent of a different type than the binder, the adhesive strength is sufficiently strong and each sheet will not peel off.
また薄いグリーンシートは取り扱いが難しいが、2枚の
生シート7a、7bを貼り合わせておくと取り扱いが容
易となる。例えばコイル状の長いセラミックス板を作製
するときには、グリーンシート8をセッター12上に立
てて焼成するが、このような場合でも1枚の生シートで
は崩れてしまうが、2枚の生シート7a、7bを貼り合
わせたグリーンシート8ではコイル状に巻いたものを立
てることができ、また反りやうねりを生じることなく焼
成することができる。したがって厚さ50μm以下の薄
いセラミックス板の製造を容易化することができる。Further, although it is difficult to handle a thin green sheet, it becomes easier to handle it by pasting two green sheets 7a and 7b together. For example, when producing a long ceramic plate in the form of a coil, the green sheet 8 is placed on the setter 12 and fired, but even in this case, one green sheet would collapse, but two green sheets 7a and 7b The green sheet 8 made by pasting together can be wound into a coil to stand upright, and can be fired without warping or waviness. Therefore, it is possible to easily manufacture a thin ceramic plate having a thickness of 50 μm or less.
更にまた、この例による製造方法では、グリーンシート
8の一方の面に離形材lOを添設しつつ芯体11に巻き
付けてコイル状に成形した後に焼成を施すことによって
、従来の焼成炉を用いて任意の長さの長尺セラミックス
板を作製することができる。Furthermore, in the manufacturing method according to this example, a release material lO is added to one side of the green sheet 8, and the green sheet 8 is wound around the core body 11 and formed into a coil shape, and then fired, thereby making it possible to use a conventional firing furnace. A long ceramic plate of arbitrary length can be produced using this method.
なお、先の例では、本発明方法をコイル状のセラミック
ス板の製造に適用させた例を示したが、本発明方法は、
板状グリーンシートをコイル状に巻回せずに焼成するセ
ラミックス板の製造方法にも適用が可能であることは言
うまでもない。In the previous example, the method of the present invention was applied to the production of a coiled ceramic plate, but the method of the present invention
Needless to say, the present invention can also be applied to a method for manufacturing a ceramic plate in which a plate-shaped green sheet is fired without being wound into a coil.
「実施例」 本発明に基づいてセラミックス板の製造を実施した。"Example" A ceramic plate was manufactured based on the present invention.
原料粉末・・・311101%のY、03を含むZ r
O2溶剤・・・MEK(メチルエチルケトン)可塑剤
・・・D−ブチルフタレート
結合剤・・・ポリビニルアルコール
分散剤・・・トリオレイン
これらの各原料を、ボールミルで数十時間粉砕混合し均
一なスラリーを得た。次いでこのスラリーをドクターブ
レード法でシート状に成形し、さらに熱風乾燥して溶剤
を揮発除去して固化させた後、切断して幅1 cm1長
さ1メートル、厚さ50μmの生シートを作製した。Raw material powder...311101% Y, Zr containing 03
O2 solvent...MEK (methyl ethyl ketone) plasticizer...D-butyl phthalate binder...polyvinyl alcohol dispersant...triolein These raw materials are pulverized and mixed in a ball mill for several tens of hours to form a uniform slurry. Obtained. Next, this slurry was formed into a sheet using a doctor blade method, and then dried with hot air to volatilize and remove the solvent to solidify, and then cut to produce a green sheet with a width of 1 cm, length of 1 meter, and thickness of 50 μm. .
得られた。生シート上に、別の生シートを双方の上面ど
うしが重なり合うように載置し、このとき両面間にアク
リル接着剤を塗布して、2枚の生シートを接着させてグ
リーンシートを作製した。次いでグリーンシートの一方
の面に、アルミナ粉末を主成分とするシート状離形材(
幅1c+++、長さ1メートル、厚さ150μff1)
を添設し、離形材を内側にして直径10cmの円柱状の
芯材に巻き付けた。次いでこれをセッター上に載せ、芯
材を静かに抜き取り、続いて焼成炉内に入れ、1500
℃、1時間の焼成処理を施した。Obtained. Another green sheet was placed on top of the green sheet so that their upper surfaces overlapped, and at this time, acrylic adhesive was applied between both surfaces to adhere the two green sheets to produce a green sheet. Next, a sheet-like release material (mainly composed of alumina powder) is applied to one side of the green sheet.
Width 1c+++, length 1 meter, thickness 150μff1)
was attached and wound around a cylindrical core material with a diameter of 10 cm with the release material on the inside. Next, this was placed on a setter, the core material was gently pulled out, and then placed in a firing furnace for 1500
A firing treatment was performed at ℃ for 1 hour.
この焼成の後、得られた焼成シートの貼り合わせ部分に
金属薄板を挿入して2枚のセラミックス仮に分割し、更
に2枚のセラミックス板を静かに引き離して2枚の長尺
コイル状のセラミックス板を得た。After this firing, a thin metal plate is inserted into the bonded part of the fired sheets obtained to temporarily separate the two ceramic plates, and then the two ceramic plates are gently separated to form two long coiled ceramic plates. I got it.
得られたセラミックス板は、非常に薄く(厚さ40〜5
0μ曽)、均一で反りがなく、良好な弾性を示した。The obtained ceramic plate is very thin (thickness 40 to 5
0 μ so), was uniform, had no warpage, and exhibited good elasticity.
「発明の効果」
以上説明したように、本発明によるセラミックス板の製
造方法は、次のような効果を奏する。"Effects of the Invention" As explained above, the method for manufacturing a ceramic plate according to the present invention has the following effects.
本発明では、生シートの上面どうしまたは下面どうしが
重なり合うように2枚の生シートを貼り合わせてグリー
ンシートを形成し、これを焼成するので、焼成時の反り
やうねりの発生を抑制することができ、反りやうねりの
ないセラミックス板を製造することができる。In the present invention, two green sheets are pasted together so that the top or bottom surfaces of the green sheets overlap each other to form a green sheet, and this is fired, so it is possible to suppress the occurrence of warping or waviness during firing. It is possible to produce ceramic plates without warping or waviness.
また、2枚の生シートを、結合剤と異なる系の溶剤を含
む接着剤で貼り合わせてグリーンシートを作製し、得ら
れた焼成ソートを2枚のセラミックス板に分割すること
により、極めて薄いセラミックス板の製造を容易化する
ことができる。In addition, by bonding two raw sheets together with an adhesive containing a binder and a different type of solvent to create a green sheet, and dividing the resulting fired sort into two ceramic plates, we are able to create extremely thin ceramic sheets. Manufacture of the board can be facilitated.
第1図ないし第6図は本発明によるセラミックス板の製
造方法の一例を工程順に説明するための図であって、第
1図は本発明方法を実施するに好適に使用されるドクタ
ーブレード装置の一例を示す構成図、第2図は生シート
の貼り合わせ状態を示す斜視図、第3図は同側面図、第
4図はグリーンシートをコイル状に巻いた状態を示す斜
視図、第5図は焼成シートの斜視図、第6図はセラミッ
クス板の斜視図、第7図および第8図はグリーンシート
の形成に用いる接着剤と貼り合わせ部分の状態との関係
を説明するための側面図、第9図は従来法によって作製
されたセラミックス板の反り発生状態の例を示す斜視図
である。
7 a、 7 b・・・生シート、8・・・グリーンシ
ート、13・・・焼成シート、14a、14b・・・セ
ラミックス板、15b・・・接着剤。1 to 6 are diagrams for explaining an example of the method for manufacturing a ceramic plate according to the present invention in the order of steps, and FIG. 1 shows a doctor blade device suitably used to carry out the method of the present invention. A configuration diagram showing an example, Fig. 2 is a perspective view showing a state in which green sheets are pasted together, Fig. 3 is a side view of the same, Fig. 4 is a perspective view showing a state in which green sheets are wound into a coil, and Fig. 5 is a perspective view of the fired sheet, FIG. 6 is a perspective view of the ceramic plate, and FIGS. 7 and 8 are side views for explaining the relationship between the adhesive used to form the green sheet and the state of the bonded part. FIG. 9 is a perspective view showing an example of a state in which warpage occurs in a ceramic plate manufactured by a conventional method. 7 a, 7 b... Raw sheet, 8... Green sheet, 13... Fired sheet, 14a, 14b... Ceramic board, 15b... Adhesive.
Claims (1)
クス生シート上に、別のセラミックス生シートを、双方
のセラミックス生シートの上面どうしまたは下面どうし
が重なり合うように載置し、さらに該セラミック生シー
ト中に含まれる結合剤と異なる系の溶剤を含む接着剤を
用いて双方の生シートを貼り合わせてグリーンシートを
形成し、次いで該グリーンシートを焼成して焼成シート
とし、次いでこの焼成シートを貼り合わせ部分から分割
して2枚のセラミックス板を製造することを特徴とする
セラミックス板の製造方法。Another raw ceramic sheet is placed on the plate-shaped raw ceramic sheet produced by the doctor blade method so that the upper or lower surfaces of both raw ceramic sheets overlap, and Both green sheets are bonded together using an adhesive containing a binder and a solvent of a different type, and then the green sheet is fired to form a fired sheet, and this fired sheet is then separated from the bonded part. A method for manufacturing a ceramic plate, characterized by manufacturing two ceramic plates by dividing the plate.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178578A JPH0610112B2 (en) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | Ceramic plate manufacturing method |
| US07/482,818 US5102483A (en) | 1989-02-27 | 1990-02-21 | Method for production of elongated ceramic sheets |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1178578A JPH0610112B2 (en) | 1989-07-11 | 1989-07-11 | Ceramic plate manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0345564A true JPH0345564A (en) | 1991-02-27 |
| JPH0610112B2 JPH0610112B2 (en) | 1994-02-09 |
Family
ID=16050925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1178578A Expired - Lifetime JPH0610112B2 (en) | 1989-02-27 | 1989-07-11 | Ceramic plate manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610112B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022065125A (en) * | 2015-06-29 | 2022-04-26 | コーニング インコーポレイテッド | The process of manufacturing ceramic tape |
-
1989
- 1989-07-11 JP JP1178578A patent/JPH0610112B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022065125A (en) * | 2015-06-29 | 2022-04-26 | コーニング インコーポレイテッド | The process of manufacturing ceramic tape |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0610112B2 (en) | 1994-02-09 |
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