JPH0345632U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0345632U JPH0345632U JP10680389U JP10680389U JPH0345632U JP H0345632 U JPH0345632 U JP H0345632U JP 10680389 U JP10680389 U JP 10680389U JP 10680389 U JP10680389 U JP 10680389U JP H0345632 U JPH0345632 U JP H0345632U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum port
- pair
- sealing part
- pressure cvd
- low
- Prior art date
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- Pending
Links
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 4
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 2
Description
第１図は本考案装置の第１実施例の構成を示す
要部の断面図、第２図は本考案装置の第２実施例
の構成を示す要部の断面図である。 １……反応管、２……キヤツプ、３……ベース
、４……第１インレツトアダプタ、５……第２イ
ンレツトアダプタ、６……インレツトアダプタ、
７……反応管押さえ、９……第１エラストマパツ
キン（Ｏリング）、１０……第２エラストマパツ
キン（Ｏリング）、１１……第３エラストマパツ
キン（Ｏリング）、１６……真空引きポート、１
７……真空引きポート、１８……端部フランジ。
要部の断面図、第２図は本考案装置の第２実施例
の構成を示す要部の断面図である。 １……反応管、２……キヤツプ、３……ベース
、４……第１インレツトアダプタ、５……第２イ
ンレツトアダプタ、６……インレツトアダプタ、
７……反応管押さえ、９……第１エラストマパツ
キン（Ｏリング）、１０……第２エラストマパツ
キン（Ｏリング）、１１……第３エラストマパツ
キン（Ｏリング）、１６……真空引きポート、１
７……真空引きポート、１８……端部フランジ。
Claims (1)
- 反応管部のエラストマパツキンを使用せざるを
得ないシール部を施設した減圧ＣＶＤ装置におい
て、シール部を対をなす２重パツキン構造とし、
この対をなすパツキン間に真空引きポートを設け
、この真空引きポートを排気装置に接続してなる
減圧ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10680389U JPH0345632U (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10680389U JPH0345632U (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0345632U true JPH0345632U (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=31655525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10680389U Pending JPH0345632U (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0345632U (ja) |
-
1989
- 1989-09-11 JP JP10680389U patent/JPH0345632U/ja active Pending
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