JPH0346940A - リードフレーム分離機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 半導体装置組立時のリードフレーム供給工程におけるリ
ードフレーム分離機構に関し、リードフレームの周端面
凹凸や寸法のばらつきに影響されることなく１個ずつを
確実に保持することによって生産性の向上を図ることを
目的とし、リードフレームの長手方向両端部近傍の両サ
イド領域に、該リードフレームの幅方向の独立した移動
手段を有し且つ上面に該リードフレームの厚さと等しい
凸の段差面が形成されているリードフレーム保持具を装
着した上下動できる筺体と、該リードフレームの長手方
向ほぼ中央位置に設けられた、該リードフレームの幅方
向に相互に逆移動できる２個のアーム軸とで構成し、上
記リードフレーム保持具はリードフレームの長手方向に
移動できる手段を備え、上記アーム軸はその先端にはリ
ードフレーム保持具の上面と等しい高さ位置にアームを
備えると共に、途中から左右に分岐する枝軸の先端で該
アームからの隔たりが上記リードフレームの幅とほぼ等
しい位置には該アームとほぼ等しい高さ位置に該アーム
軸の先端に向かう方向の楔を備えて構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は半導体装置組立時のリードフレーム供給工程に
係り、特にリードフレームの周端面凹凸や寸法のばらつ
きに関係なく１個ずつを確実に保持することによって生
産性の向上を図ったリードフレームの分離機構に関する
。

半導体装置の組立工程の一つであるＩＣチップのり一ド
フレーム（以下略してＬＦとする）への搭載工程では、
ストッカに積み重ねられた複数のＬＦを１個ずつ所定の
位置に移送すると同時に別のストッカにあるＩＣチップ
を該ＬＦ上の所定領域に載置して両者を接合するように
しているが、ＬＦの周端面凹凸や寸法のバラツキ等によ
ってＬＦを１個ずつ確実に保持し所定位置に供給するこ
とができないためその解決が強く望まれている。

〔従来の技術〕

第２図は従来のＬＦ分離機構を説明する概念図であり、
理解し易（するため図では表示できる手前片側での主要
部の動作シーケンスを工程的に示しているが、図示され
ない対向位置側も同様に構成されている。

以下図の順を追って説明する。

図で、■は複数のＬＦＩが４個の固定されたガイドボー
ル２と９手前側１個２図示されない対向側１個の計２個
の破線Ａで示す方向に対応して前後進するアーム３によ
って積み重ねられて保持された状態を表わしている。

なお４個の上記ガイドボール２は該ＬＦＩの平面的方向
をガイドするものであり、上記アーム３を移動させて該
ＬＦＩの底面から外すと該ＬＦＩはそのまま落下するよ
うになっている。

また、上記アーム３のそれぞれの両側で最下層に位置す
るＬＦｌａと同じ面には、厚さが該ＬＦＩと等しくその
先端の上面側に円内断面図（ａ）の如き刃４ａを備え且
つ破線で示すＢのように長手方向に沿う前後進と上下動
できる４個の第１の爪４と、該第１の爪４とほぼ等しい
厚さでその先端が円内断面図（ｂ）のような４３９５ａ
に形成され且つ破線Ｃのように長手方向に沿って前後進
できる４個の第２の爪５とが配設されている。

そこで、該４個の上記第１の爪４を実線で示す矢印のよ
うに同時に前進させて該爪４の先端にある刃４ａを上記
最下層に位置するＬＦｌａの外形端面に食い込ませると
、該ＬＦ１ａは周囲４箇所で該第１の爪４に噛み合わさ
れた状態で保持されることになる。

次いで該爪４を同時に降下させると、ＬＦｌａのみが上
記アーム３を中心とするように撓み、両端部に■に示す
如き隙間領域りが形成される。

その後４個の上記第２の爪５を実線で示す矢印のように
前進させて該冬瓜５の先端に形成した模５ａを上記隙間
領域りに割り込ませるが、■はこの状態を表わしている
。

ここで前記の第１の爪４およびアーム３をれぞれ矢印の
ように後退させると、■に示す如く上記の最下層に位置
するＬＦｌａのみが自然落下することから該ＬＦ１ａを
所定の位置に移送することが可能となる。

以後は、上記アーム３を前進させて新たに最下層となっ
たＬＦｌｂを該アーム３で支えると共に上記第２の爪５
を後退させると■に示す状態すなわち■の状態とするこ
とができる。

以下同様の動作を繰り返すことによって１個ずつのＬＦ
を順次抽出し次工程に移送することができる。

しかしかかる従来のウェーハ分離機構では、ＬＦの形成
手段の違い（例えばエツチングやスタンピング等）によ
る周端面の凹凸状況の差異や、周端面部分の寸法差等に
よって上記第１の爪４のホールド力にばらつきが生じて
上述した所定の隙間領域りを形成することができないこ
とがある。

また、上記第１の爪４を降下させて上記所定の隙間領域
りを形成する際に、該爪４の直線的な降下運動に対して
ＬＦｌａはアーム３を中心とする円弧状に撓むため咳爪
４とＬＦｌａの食いつき部分に位置的なずれが生じて該
爪４の食い込みによる保持が外れて隙間領域りを形成す
ることができないことがある。

なおかかるＬＦ分離機構の他に、マグネットによってＬ
Ｆを１個ずつ磁気的に吸引抽出する方法がある。

この場合には装置が簡単であると共にＬＦとしての形状
や寸法に左右されないメリットがあるが、磁性を持たな
い例えば非鉄金属で形成されたＬＦには適用できないこ
とからその適用に制約が生じて一般的でない欠点がある
。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のＬＦ分離機構では、ＬＦの周端面の凹凸状況の差
異や寸法差等によってＬＦを確実に保持することができ
ないと言う問題があり、またＬＦの周端面を保持した状
態の該爪を直線的に降下させると円弧状に撓むＬＦとの
間に位置的なずれが生じて該爪によるチャックが外れて
該ＬＦが保持できなくなると言う問題があった。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点は、リードフレームの長手方向両端部近傍の
両サイド領域に、該リードフレームの幅方向の独立した
移動手段を有し且つ上面に該リードフレームの厚さと等
しい凸の段差面が形成されているリードフレーム保持具
を装着した上下動できる筺体と、 該リードフレームの長手方向ほぼ中央位置に設けられた
、該リードフレームの幅方向に相互に逆移動できる２個
のアーム軸とで構成し、上記リードフレーム保持具はリ
ードフレームの長手方向に移動できる手段を備え、 上記アーム軸はその先端にはリードフレーム保持具の上
面と等しい高さ位置にアームを備えると共に、途中から
左右に分岐する枝軸の先端で該アームからの隔たりが上
記リードフレームの幅とほぼ等しい位置には該アームと
ほぼ等しい高さ位置に該アーム軸の先端に向かう方向の
樹が備えられているリードフレームの分離機構によって
解決される。

〔作　用〕

ＬＦの周端面４箇所で咳ＬＦを保持する爪の該周端面に
対する押圧方向の動きをそれぞれ独立化すると、該爪の
押圧部におけるＬＦ周端面の凹凸や寸法差等によって生
ずる該爪のホールド力のばらつきをなくすことができる
。

また該爪部分をＬＦの長手方向に沿って移動可能にする
と、該爪を直線的に降下させても円弧状に撓むＬＦの同
一箇所を保持させることができる。

本発明では、同一軸上をバネを介して相互に摺動できる
２個の爪固定ブロックを該ＬＦ長手方向両端近傍にそれ
ぞれ配設し、合計４個の該冬瓜固定ブロック上に該ＬＦ
の長手方向に移動できる手段を備えた該ＬＦと同じ厚さ
の爪を設けるように構成している。

従って、ＬＦ周端面の凹凸や寸法差等によって生ずる該
爪のホールド力のばらつきが抑制できて該ＬＦを確実に
保持することができると共に、該爪を直線的に降下させ
ても円弧状に撓むＬＦの同一箇所をそのまま保持するこ
とができて確実な該ＬＰの分離抽出を実現することがで
きる。

〔実施例〕

第１図は本発明になるリードフレーム分離機構の構成例
を示す概念図である。

第１図で、１の複数の積み重ねられたＬＦ、２の４個の
固定されたガイドボールは第２図で説明したものと同等
のものである。

また対向する壁１１ａを持つ筺体１１は図示されない機
構部分によって矢印方向（図では上下方向）に約４ｍｎ
＋程度の範囲で上下動できるように構成されていると共
に、対向する壁１１ａの間に所定ピッチで平行配置され
た２対の軸１２ａ、　１２ａ　’と１２ｂ、　１２ｂ’
が設けられており、これらの対をなす軸１２ａ。

１２ａ　’および１２ｂ、　１２ｂ’には各軸と嵌合し
て円滑に軸方向（図示ａ方向）に移動できる断面がほぼ
丁字形の２個の爪固定用ブロック１３ａ、　１３ｂおよ
び１４ａ、　１４ｂがそれぞれ装着されている。

なお図で上記筺体１１に対して回転自在に固定された２
個の開閉カム１５および１６（１６は爪固定用ブロック
１４ａ、　１４ｂの図面左側に位置するため図示されて
いない）は、上記爪固定用ブロック１３ａ、　１３ｂお
よび１４ａ、　１４ｂ相互間の間隔を変えるためのもの
であり、図の１７および図示されない対応位置にある１
８はこれらの各爪固定用ブロック１３ａ、　１３ｂおよ
び１４ａ、　１４ｂに突出して設けた突起を上記の開閉
カム１５および１６のカム面に押圧する引張バネである
。

この場合には、上記の開閉カム１５および１６資例えば
図のＲ方向に回転させることによって、爪固定用ブロッ
ク１３ａと１３ｂの間および１４ａと１４ｂの間を独立
した状態で開閉することができる。

一方、上記の各爪固定用ブロックの上面には該ブロック
の移動方向と直交する方向のアリ　１３ａ。

１３ｂ　’および１４ａ　ｆ１４ｂ　’が形成されてお
り、該各アリ部分にはこれらの各アリと嵌合するアリ溝
を持つＬＦ保持具１９ａ、　１９ｂおよび２０ａ、２０
ｂが装着されている。

更に該ＬＦ保持具１９ａ、　１９ｂおよび２０ａ　、　
２０ｂの上面には、その一部にＬＦＩの厚さと等しい凸
の段差面１９ａ　’　、　　１９ｂ　’および２０ａ　
’　、　　２０ｂ　’が形成されており、該各段菱面の
上記アリ溝と平行する面は円内図（１）に示すような刃
１９ａ　”　、　　１９ｂ　”および２０ａ　”　、　
　２０ｂ　”が形成されティる。

従って、各ＬＦ保持具１９ａ、１９ｂおよび２０ａ　、
　２０ｂの上面に積み重ねられたＬＦＩを載置した状態
で上記開閉カム１５．１６を回転させると、上記各爪固
定用ブロックが図示ａ方向に移動し結果的に該保持具１
９ａ、１９ｂおよび２０ａ　、　２０ｂの上面に設けた
凸の段差面１９ａ　　、　　１９ｂ’および２０ａ　’
　、　　２０ｂ　’の各月１９ａ　”　、　　１９ｂ　
”および２０ａ　”　、　　２０ｂ　”が一番下層に位
置するＬＦｌａの周端面４箇所に食い込むことになる。

同時に上記の各ＬＦ保持具１９ａ、　１９ｂおよび２０
ａ。

２０ｂは、爪固定用ブロック１３ａ、　１３ｂ、および
１４ａ、　１４ｂの移動方向に直交する方向すなわち図
示す方向に自由に移動できることになる。

他方、図示されない端部が機構制御部に繋がって上記各
爪固定用ブロックと同じ方向すなわち図示Ｃの相互に逆
方向に移動できるアーム軸２１および２２は、上記筺体
１１の壁１１ａを両側から貫通して互いにその先端部が
食い違って他方の該アーム軸側に位置するように配設さ
れているものであるが、相互の逆方向の移動は例えば図
示されない歯車等を介して行うようにしている。

特に、該アーム軸２１および２２の先端には上記ＬＦ保
持具１９ａ、　１９ｂおよび２０ａ　、　２０ｂの上面
と等しい高さ位置に該アーム軸の移動方向と直交する方
向のアーム２１ａ、２２ａを備えると共に、途中から左
右に分岐する枝軸の先端には上記アームとほぼ等しい高
さ位置にアーム軸の先端に向かう方向の円内図（２）に
示すような＆ｆ２１ｂ、　２２ｂをそれぞれ備えている
。

特にこの場合、上記アーム２１ａと楔２１ｂの間隔およ
び上記アーム２２ａと楔２２ｂの間隔を上記ＬＦ１の幅
とほぼ等しくしている。

かかる構成に入るＬＦ分離機構では、積み重ねられた状
態にある複数のＬＦＩは、ＬＦ保持具１９ａ、　１９ｂ
および２０ａ、２０ｂの上面と上記アーム２１ａ、２２
ａとで支えられた状態にあるが、図はこの状態を示して
いる。

そこで上述した如く、開閉カム１５．１６を回転させて
最下層にあるＬＦｌａを上記ＬＦ保持具１９ａ、１９ｂ
および２０ａ、２０ｂの各月１９ａ　”　、　　１９ｂ
　”および２０ａ　”　、　　２０ｂ　”でチャックさ
せる。

この場合には該各月が上記引張バネ１７．１８によって
独立した状態で該ＬＦ１ａの周端面を押圧するため、該
部分の凹凸や寸法差等の影響を受けることがない。

この状態で筺体１１を図示入方向に約４１降下させると
アーム軸２１．２２はその位置が不動のため第２図■に
示す如き隙間領域を形成することができるが、この際彎
曲するＬＦｌａの上記各月１９ａ”１９ｂ”および２０
ａ　”　、　　２０ｂ　”のチャック位置ずれは上記の
アリ部分で吸収できるため該チャック部分が外れること
がなく確実に該ＬＰを彎曲させることができる。

この状態で上記アーム軸２１．２２を図示Ｃ′力方向移
動させると、各楔２１ａ、２２ｂが上記隙間に進入する
と共に各アーム２１ａ、２２ａが上記ＬＦ１ａから外れ
て第２図■の状態となる。

ここで上記の開閉カム１５．１６を動作させて各月のチ
ャックを外すと該ＬＦ１ａのみがｐＦＬＦ保持具１９ａ
、　１９ｂおよび２０ａ、２０ｂの上面に！！置された
状態となるため、図示されないプランジャ等で該ＬＦ１
ａのみを長手方向に押し出すことができる。

以後、筺体１１を上昇させると共にアーム軸２１，２２
をｃＩｔの方向に移動させて図に示す状態すなわち初期
の状態に戻すことができる。

［発明の効果］ 上述の如く本発明により、リードフレームの周端面凹凸
や寸法のばらつきに関係なく１個ずつを確実に保持する
ことによって生産性の向上を図ったリードフレームの分
離機構を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるリードフレーム分離機構の構成例
を示す概念図、 第２図は従来のリードフレーム分離機構を説明する概念
図、 である。図において、 １．１ａはリードフレーム、２はガイドボール、１１は
筺体、　　　　　　ｌｌａは壁、１２ａ、　１２ａ　’
　、１２ｂ、Ｌ２ｂ　’は軸、１３ａ、　１３ｂ、　１
４ａ、　１４ｂは爪固定用ブロック、１３ａ　　’　、
１３ｂ　’　、１４ａ　’　、１４ｂ　’はアリ、１５
は開閉カム、　　１７は引張バネ、１９ａ、　１９ｂ、
　２０ｂはリードフレーム保持具、１９ａ　　、１９ｂ
　’　、２０ｂ　’は凸の段差面、１９ａ　”　、　１
９ｂ”、２０ｂ”は刃、２１．２２はアーム軸、　　２
１ａ、２２ａはアーム、２１ｂ、２２ｂは模、 をそれぞれ表わす。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　リードフレーム（１）の長手方向両端部近傍の両サイ
   ド領域に、該リードフレーム（１）の幅方向の独立した
   移動手段を有し且つ上面に該リードフレーム（１）の厚
   さと等しい凸の段差面（１９ａ’，１９ｂ’，２０ａ’
   ，２０ｂ’）が形成されているリードフレーム保持具（
   １９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ）を装着した上下動で
   きる筺体（１１）と、 該リードフレーム（１）の長手方向ほぼ中央位置に設け
   られた、該リードフレーム（１）の幅方向に相互に逆移
   動できる２個のアーム軸（２１，２２）とで構成し、 上記リードフレーム保持具（１９ａ，１９ｂ，２０ａ，
   ２０ｂ）はリードフレーム（１）の長手方向に移動でき
   る手段を備え、 上記アーム軸（２１，２２）はその先端にはリードフレ
   ーム保持具（１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ）の上面
   と等しい高さ位置にアーム（２１ａ，２２ａ）を備える
   と共に、途中から左右に分岐する枝軸の先端で該アーム
   （２１ａ，２２ａ）からの隔たりが上記リードフレーム
   （１）の幅とほぼ等しい位置には該アーム（２１ａ，２
   ２ａ）とほぼ等しい高さ位置に該アーム軸（２１，２２
   ）の先端に向かう方向の楔（２１ｂ，２２ｂ）が備えら
   れていることを特徴としたリードフレームの分離機構。