JPH0348421B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0348421B2
JPH0348421B2 JP61051495A JP5149586A JPH0348421B2 JP H0348421 B2 JPH0348421 B2 JP H0348421B2 JP 61051495 A JP61051495 A JP 61051495A JP 5149586 A JP5149586 A JP 5149586A JP H0348421 B2 JPH0348421 B2 JP H0348421B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
metal pipe
insulating material
thermal devices
outer periphery
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61051495A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62210342A (ja
Inventor
Makoto Ishikawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yazaki Corp
Original Assignee
Yazaki Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yazaki Corp filed Critical Yazaki Corp
Priority to JP61051495A priority Critical patent/JPS62210342A/ja
Publication of JPS62210342A publication Critical patent/JPS62210342A/ja
Publication of JPH0348421B2 publication Critical patent/JPH0348421B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Air Conditioning Control Device (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は空調、給湯等のシステムにおける信号
伝送線路装置に関するものである。
例えば空調システムは一般に、冷温水機のよう
な1つの熱源機及び複数の熱交換器からなる複数
の熱機器を有し、これらの熱機器間に熱媒体を輸
送する保温輸送配管を設け、熱源機から複数の熱
交換器に供給した熱媒体をドレインとして再び熱
源機に戻すようになつている。
そして、熱源機及び複数の熱交換器には、空調
を効率的に行うための制御器が設けられ、例えば
複数の熱交換器の各々の制御器が有する温度セン
サなどで検出した負荷状態を表わす信号を熱源機
の制御器に送り、熱源機の制御器で負荷状態を集
中監視させて熱源機の能力を負荷に応じて制御す
ることが行われる。また、熱源機の制御器から複
数の熱交換器の各々の制御器に信号を行つて熱交
換器のオン・オフや能力切換えなどの制御も行わ
れるようになつていて、これら複数の熱機器間で
信号の授受を行うための信号伝送線路が複数の熱
機器間に設けられている。
〔従来技術及び発明が解決しようとする問題点〕 従来の空調システムにおけるこの種の信号伝送
線路は、絶縁被覆したペア導線からなる信号線を
熱源機と複数の熱交換器の各々との制御器間にそ
れぞれ配索することにより構成されるのが一般的
であつた。しかし、この構成では、熱交換器の数
がふえると、配索すべき導線の本数が増大してコ
スト高となると共に配索のための工事費も高くな
るなどの問題がある。
そこで、リング状に配索した1対の導線からな
る信号伝送線路に熱源機及び複数の熱交換器のそ
れぞれの制御器を接続し、該信号伝送線路を時分
割又は周波数分割で利用することにより、複数の
熱機器の制御器間での信号の授受に1対の導線を
共用し、導線の本数を大巾に減らすようにしたも
のもある。
しかし、熱源機から複数の熱交換器へ熱媒体を
輸送し、ドレインを熱源機に戻すための保温輸送
配管を配索する他に、上述のような信号伝送線路
を配索することは極めて面倒であり、出来ればこ
のような信号伝送線路を省略したいところであ
る。
同様の問題は温湯を供給する給湯システムなど
においても存在する。
本発明は上述した点に鑑み、制御機器間で信号
の授受を行うためにのみ使用する信号伝送線路を
配索することを必要なくする空調、給湯等のシス
テムにおける信号伝送線路装置を提供しようとす
るものである。
〔問題点を解決するための手段〕
このために本発明により成された空調、給湯等
のシステムにおける信号伝送線路装置は、空調、
給湯等のシステムの複数の熱機器間で熱媒体、温
湯などの輸送を行う保温輸送配管が、金属パイ
プ、該金属パイプの外周に巻回した保温用断熱材
及び該断熱材の外周に設けた保護兼反射用外被か
らなり、中心導体と外部導体とからなる高周波同
軸線路に類似した構造になつていることに着目
し、前記断熱材を誘電率が小さく電気絶縁性の良
い材料により形成し、前記外被の前記断熱材側の
面に良導電性の金属箔を付与し、かつ前記金属パ
イプの接続具ニツプルによる相互接続部分の外周
に巻回した保温用断熱材を他の部分の厚さと等し
く形成するか、前記保温輸送配管の途中の被支持
部分の保温用断熱材を密度の高い材料によつて他
の部分より厚く形成するか、前記保温輸送配管の
金属パイプとこの金属パイプの端部に接続される
前記熱機器の金属パイプとをこれらの間に装着し
た電気絶縁材によつて電気的に分離するか、又
は、前記熱機器側から延長された金属パイプに接
続される前記保温輸送配管の端部の金属パイプの
外周に高周波阻止材として働くリング状のフエラ
イト材を装着すると共に、前記金属パイプを中心
導体、前記外被の金属箔を外部導体とする高周波
同軸線路を構成し、該高周波同軸線路を用いて運
転制御のため前記制御手段間で信号の授受を行う
ようにしたことを特徴としている。
〔作用〕
上記構成において、誘電率が小さく電気絶縁性
の良い材料により形成した断熱材が間に介在され
ている、金属パイプを中心導体、外被の断熱材側
の面に付与された良導電性の金属箔を外部導体と
することで保温輸送配管によつて高周波同軸線路
を構成しているので、各熱機器の制御手段の入出
力を金属パイプ及び金属箔に直接接続することに
よつて、制御手段間で信号の授受を行うことがで
きるようになり、制御手段間で信号の授受を行う
ための信号伝送線路を別個に設けることが必要な
くなる。しかも、金属パイプの接続具ニツプルに
よる相互接続部分の外周に巻回した保温用断熱材
を他の部分の厚さと等しく形成しているので、保
温輸送配管によつて構成された高周波同軸線路
は、その線路全長に亘る特性インピーダンスが均
一なものになつている。
また、保温輸送配管の途中の被支持部分の保温
用断熱材を密度の高い材料によつて他の部分より
厚く形成しているので、保温輸送配管の自重によ
つて被支持部分の保温用断熱材が変形して支持が
不安定になることがなく、しかもこの部分で特性
インピーダンスが乱れることもない。
更に、保温輸送配管の金属パイプとこの金属パ
イプの端部に接続される熱機器の金属パイプとを
これらの間に装着した電気絶縁材によつて電気的
に分離しているので、伝送しようとする信号が目
的外に拡散することがなく、制御手段間の信号の
授受を効率的に行うことができる。
更にまた、熱機器側から延長された金属パイプ
に接続される保温輸送配管の端部の金属パイプの
外周に高周波阻止材として働くリング状のフエラ
イト材を装着しているので、電気絶縁したと同等
の効果が得られ、伝送しようとする信号が目的外
に拡散することがなく、制御手段間の信号の授受
を効率的に行うことができる。
〔実施例〕
以下、本発明による信号伝送線路装置の実施例
を図に基づいて説明する。
第1図a及びbは本発明による信号伝送線路装
置の一実施例を示す横断面図及び縦断面図であ
る。図において、1は熱媒体を輸送する保温輸送
配管であり、金属パイプ1aと、該金属パイプ1
の外周に均一な厚さで回巻した熱媒体保温用の断
熱材1bと、該断熱材1bの外周に設けられた保
護及び熱幅射防止を兼ねた外被1cとからなつて
いる。
上記断熱材1bは熱伝導率が低く、しかも低誘
電率及び良電気絶縁性を有する例えばグラスウー
ルなどによつて形成され、また外被1cは熱反射
率が高く、しかも高周波抵抗の低い良導電性の例
えばアルミ箔のような金属箔1c′が断熱材1bに
面する側に付与されている。
以上の構成により、保温輸送配管1は金属パイ
プ1を中心導体、外被1cの内面の金属箔1c′を
外部導体、断熱材1bを中心導体及び外部導体間
の誘電体とする高周波同軸線路が構成される。
従つて、この保温輸送配管により熱機器間で熱
媒体を輸送するようにすることによつて、該配管
を利用して熱機器の制御器間で信号の授受を行う
ことができる。しかも、信号は高周波に乗せて高
速伝送できるので、時分割のような多重伝送手段
として極めて有効であり、多数の熱機器間の信号
の授受を単一の線路で行つても制御の信頼性が損
われることがない。
第2図は第1図について上述した保温輸送配管
1を信号伝送線路として兼用した空調システムの
一例を示す概略図であり、例えば熱源機として働
く熱機器2と例えば熱交換器として働く熱機器3
とは保温輸送配管1によつて連結され、該配管1
を通じて熱源機側の熱機器2から熱交換器側の熱
機器3へ熱媒体が輸送されるようになつている。
保温輸送配管1にはまた熱機器2,3の制御器
4,5がそれぞれ電気的に接続され、該配管1を
通じて制御器4,5間で信号の授受が行われるよ
うになつている。
例えば制御器5が温度センサ6によつて熱機器
3側の温度を検出し、該検出信号を保温輸送配管
1を通じて送出すると、制御器4がこれを受信
し、該受信信号に基づいて熱機器2の能力を増大
又は減少する制御を行う。また、熱機器2側の図
示しない操作部によつて熱機器3のオン・オフが
操作されると、制御器4がオン・オフ信号を保温
輸送配管1に送出し、該オン・オフ信号が熱機器
3側の制御器5により受信される。制御器5は該
受信したオン・オフ信号に基づいて熱機器3のオ
ン・オフを行う。
ところで、熱機器2及び3が遠く離れた場所に
設置されている場合、それらの間に配索される保
温輸送配管1は長くなり、該配管1中の金属パイ
プ1aは複数本縦に連結した構造となる。このよ
うな連結部があると、この部分で高周波信号伝送
線路としての特性インピーダンスが変化し、反射
や減衰などの不具合が生じ、信号伝送の効率を低
下したり信頼性を悪化したりするようになる。
一般に、同軸線路の特性インピーダンスZ0は次
式で表わされる。
Z0≒L/C=60/εloged2/d1 式中、Lはインダクタンス、Cは静電容量、ε
は絶縁体の比誘電率、d1は内部導体の外径、及び
d2は外部導体の内径である。上式から判るよう
に、ε、d1、d2のいずれを変えても特性インピー
ダンスZ0を変化することができる。
従つて、第3図に示すように、金属パイプ1
a,1aが接続具ニツプル1dによつて相互接続
され、中心導体となる金属部分の外径が部分的に
大きくなるときには、上式においてd1/d2が他の
部分と同じになるように外被1cの内径を大きく
することによつて、線路全長に亘る特性インピー
ダンスを均一にすることができる。
また、熱機器2,3間に配索される保温輸送配
管1が長くなつた場合、該配管1を途中で支持す
ることが必要になる。この支持部では、熱媒体輸
送配管1の自重によりグラスウールからなる断熱
材が窪み支持が不安定になることがないように、
この部分の断熱材に密度の高い材料を使用するこ
とになる。一般に、断熱材は密度の増大に伴つて
等価誘電率が大きくなる。
従つて、第4図に示すように、支持台1eによ
つて保温輸送配管1が支持される部分の支持部断
熱材1b′については、その厚みを増大して特性イ
ンピーダンスZ0を他の部分と均一になるようにす
る。
第3図及び第4図について上述したように、保
温輸送配管の金属パイプ接続部及び配管支持部を
構成することにより、配管全長に亘つて特性イン
ピーダンスを均一化でき、信号の反射や減衰を少
なくすることができる。
更に、保温輸送配管1を通じて伝送される信号
は熱機器2,3との連結部分から制御器5,6に
より送出され、同連結部分から制御器5,6に受
信されるが、これを可能とするためには、保温輸
送配管1について第5図及び第6図に示すような
端末処理を施す必要がある。
第5図の例は、保温輸送配管1の金属パイプ1
aと熱機器側の金属パイプ1aとが分離されてい
て、両者が金属パイプ接続ユニオン1fによつて
連結される場合であり、両金属パイプ1a,1a
を電気的に分離するように絶縁パツキン1g,1
hが装着されている。
第6図の例は、金属パイプ1aが熱機器の内部
まで連続していて物理的に切断されていない場合
であり、高周波信号線の高周波抵抗を大きくし電
気的に絶縁したと同等の効果を得るため、金属パ
イプ1aの終端部分外周に高周波阻止材として働
くリング状のフエライト材1iが装着されてい
る。
第5図及び第6図について上述したように、保
温輸送配管について端末処理を行うことにより、
該配管を通じて伝送した信号が目的外に拡散する
ことを防ぐことができ、たとえ拡散してもその量
を少なくすることができるため、制御器間におけ
る信号の授受を大きな信号減衰をともなうことな
く行うことができる。
なお、図示実施例では、保温輸送配管は空調シ
ステムにおいて冷温水等の熱媒体を輸送している
が、給湯システムにおいて温湯を輸送する保温輸
送配管を同軸線路として使用することも可能であ
る。
〔効果〕
以上説明したように本発明によれば、各熱機器
の制御手段の入出力を金属パイプ及び金属箔に直
接接続することによつて、制御手段間で信号の授
受を行うことができるようになり、制御手段間で
信号の授受を行うための信号伝送線路を別個に設
けることが必要なくなるので、空調、給湯などの
システムの大幅なコストダウン、工事費の削減を
図ることができるようになつている。
しかも、金属パイプの接続具ニツプルによる相
互接続部分の外周に巻回した保温用断熱材を他の
部分の厚さと等しく形成して、保温輸送配管によ
つて構成された高周波同軸線路の線路全長に亘る
特性インピーダンスを均一なものにしたり、或い
は、保温輸送配管の途中の被支持部分の保温用断
熱材を密度の高い材料によつて他の部分より厚く
形成して、保温輸送配管の自重によつて被支持部
分の保温用断熱材が変形して支持が不安定になら
ず、しかもこの部分で特性インピーダンスが乱れ
ることがないようにしているので、別個に設けた
信号伝送線路と比較しても遜色のない信号伝送特
性を得ることができるようになつている。
また、保温輸送配管の金属パイプとこの金属パ
イプの端部に接続される熱機器の金属パイプとを
これらの間に装着した電気絶縁材によつて電気的
に分離したり、或いは、熱機器側から延長された
金属パイプに接続される保温輸送配管の端部の金
属パイプの外周に高周波阻止材として働くリング
状のフエライト材を装着して、電気絶縁したと同
等の効果が得られるようにしているので、伝送し
ようとする信号が目的外に拡散することがなく、
制御手段間の信号の授受を効率的に行うことがで
きるようになつている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による信号伝送線路装置の一実
施例を示す断面図、第2図は第1図の信号伝送線
路装置を用いた空調システムの一例を示す概略
図、第3図乃至第6図は保温輸送配管を保温輸送
配管装置として使用する場合の好ましい実施例を
示す断面図である。 1……保温輸送配管、2,3……熱機器、1a
……金属パイプ、1b,1b′……断熱材、1c…
…外被、1c′……金属箔、1d……接続具ニツプ
ル、1g,1h……絶縁パツキン、1i……フエ
ライト材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数の熱機器と、金属パイプ、該金属パイプ
    の外周に巻回した保温用断熱材及び該断熱材の外
    周に設けた保護兼反射用外被からなり、前記複数
    の熱機器間で熱媒体、温湯などの輸送を行う保温
    輸送配管と、前記複数の熱機器の各々に設けられ
    た制御手段とを備える空調、給湯等のシステムに
    おいて、 前記断熱材を誘電率が小さく電気絶縁性の良い
    材料により形成し、前記外被の前記断熱材側の面
    に良導電性の金属箔を付与し、かつ前記金属パイ
    プの接続具ニツプルによる相互接続部分の外周に
    巻回した保温用断熱材を他の部分の厚さと等しく
    形成すると共に、 前記金属パイプを中心導体、前記外被の金属箔
    を外部導体とする高周波同軸線路を構成し、該高
    周波同軸線路を用いて運転制御のため前記制御手
    段間で信号の授受を行うようにした ことを特徴とする信号伝送線路装置。 2 複数の熱機器と、金属パイプ、該金属パイプ
    の外周に巻回した保温用断熱材及び該断熱材の外
    周に設けた保護兼反射用外被からなり、前記複数
    の熱機器間で熱媒体、温湯などの輸送を行う保温
    輸送配管と、前記複数の熱機器の各々に設けられ
    た制御手段とを備える空調、給湯等のシステムに
    おいて、 前記断熱材を誘電率が小さく電気絶縁性の良い
    材料により形成し、前記外被の前記断熱材側の面
    に良導電性の金属箔を付与し、かつ前記保温輸送
    配管の途中の被支持部分の保温用断熱材を密度の
    高い材料によつて他の部分より厚く形成すると共
    に、 前記金属パイプを中心導体、前記外被の金属箔
    を外部導体とする高周波同軸線路を構成し、該高
    周波同軸線路を用いて運転制御のため前記制御手
    段間で信号の授受を行うようにした ことを特徴とする信号伝送線路装置。 3 複数の熱機器と、金属パイプ、該金属パイプ
    の外周に巻回した保温用断熱材及び該断熱材の外
    周に設けた保護兼反射用外被からなり、前記複数
    の熱機器間で熱媒体、温湯などの輸送を行う保温
    輸送配管と、前記複数の熱機器の各々に設けられ
    た制御手段とを備える空調、給湯等のシステムに
    おいて、 前記断熱材を誘電率が小さく電気絶縁性の良い
    材料により形成し、前記外被の前記断熱材側の面
    に良導電性の金属箔を付与し、かつ前記保温輸送
    配管の金属パイプとこの金属パイプの端部に接続
    される前記熱機器の金属パイプとをこれらの間に
    装着した電気絶縁材によつて電気的に分離すると
    共に、 前記金属パイプを中心導体、前記外被の金属箔
    を外部導体とする高周波同軸線路を構成し、該高
    周波同軸線路を用いて運転制御のため前記制御手
    段間で信号の授受を行うようにした ことを特徴とする信号伝送線路装置。 4 複数の熱機器と、金属パイプ、該金属パイプ
    の外周に巻回した保温用断熱材及び該断熱材の外
    周に設けた保護兼反射用外被からなり、前記複数
    の熱機器間で熱媒体、温湯などの輸送を行う保温
    輸送配管と、前記複数の熱機器の各々に設けられ
    た制御手段とを備える空調、給湯等のシステムに
    おいて、 前記断熱材を誘電率が小さく電気絶縁性の良い
    材料により形成し、前記外被の前記断熱材側の面
    に良導電性の金属箔を付与し、かつ前記熱機器側
    から延長された金属パイプに接続される前記保温
    輸送配管の端部の金属パイプの外周に高周波阻止
    材として働くリング状のフエライト材を装着する
    と共に、 前記金属パイプを中心導体、前記外被の金属箔
    を外部導体とする高周波同軸線路を構成し、該高
    周波同軸線路を用いて運転制御のため前記制御手
    段間で信号の授受を行うようにした ことを特徴とする信号伝送線路装置。
JP61051495A 1986-03-11 1986-03-11 空調、給湯等のシステムにおける信号伝送線路装置 Granted JPS62210342A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61051495A JPS62210342A (ja) 1986-03-11 1986-03-11 空調、給湯等のシステムにおける信号伝送線路装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61051495A JPS62210342A (ja) 1986-03-11 1986-03-11 空調、給湯等のシステムにおける信号伝送線路装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62210342A JPS62210342A (ja) 1987-09-16
JPH0348421B2 true JPH0348421B2 (ja) 1991-07-24

Family

ID=12888552

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61051495A Granted JPS62210342A (ja) 1986-03-11 1986-03-11 空調、給湯等のシステムにおける信号伝送線路装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62210342A (ja)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6846516B2 (en) 2002-04-08 2005-01-25 Applied Materials, Inc. Multiple precursor cyclical deposition system
US6855368B1 (en) 2000-06-28 2005-02-15 Applied Materials, Inc. Method and system for controlling the presence of fluorine in refractory metal layers
US6875271B2 (en) 2002-04-09 2005-04-05 Applied Materials, Inc. Simultaneous cyclical deposition in different processing regions
US6878206B2 (en) 2001-07-16 2005-04-12 Applied Materials, Inc. Lid assembly for a processing system to facilitate sequential deposition techniques
US6916398B2 (en) 2001-10-26 2005-07-12 Applied Materials, Inc. Gas delivery apparatus and method for atomic layer deposition
US6936906B2 (en) 2001-09-26 2005-08-30 Applied Materials, Inc. Integration of barrier layer and seed layer
US6951804B2 (en) 2001-02-02 2005-10-04 Applied Materials, Inc. Formation of a tantalum-nitride layer
US6998579B2 (en) 2000-12-29 2006-02-14 Applied Materials, Inc. Chamber for uniform substrate heating
US7022948B2 (en) 2000-12-29 2006-04-04 Applied Materials, Inc. Chamber for uniform substrate heating
US7049226B2 (en) 2001-09-26 2006-05-23 Applied Materials, Inc. Integration of ALD tantalum nitride for copper metallization
US7085616B2 (en) 2001-07-27 2006-08-01 Applied Materials, Inc. Atomic layer deposition apparatus
US7094685B2 (en) 2002-01-26 2006-08-22 Applied Materials, Inc. Integration of titanium and titanium nitride layers
US7101795B1 (en) 2000-06-28 2006-09-05 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for depositing refractory metal layers employing sequential deposition techniques to form a nucleation layer
US7115499B2 (en) 2002-02-26 2006-10-03 Applied Materials, Inc. Cyclical deposition of tungsten nitride for metal oxide gate electrode
US7201803B2 (en) 2001-03-07 2007-04-10 Applied Materials, Inc. Valve control system for atomic layer deposition chamber
US7208413B2 (en) 2000-06-27 2007-04-24 Applied Materials, Inc. Formation of boride barrier layers using chemisorption techniques
US7211144B2 (en) 2001-07-13 2007-05-01 Applied Materials, Inc. Pulsed nucleation deposition of tungsten layers
US7262133B2 (en) 2003-01-07 2007-08-28 Applied Materials, Inc. Enhancement of copper line reliability using thin ALD tan film to cap the copper line
US7405158B2 (en) 2000-06-28 2008-07-29 Applied Materials, Inc. Methods for depositing tungsten layers employing atomic layer deposition techniques
US7439191B2 (en) 2002-04-05 2008-10-21 Applied Materials, Inc. Deposition of silicon layers for active matrix liquid crystal display (AMLCD) applications
US7595263B2 (en) 2003-06-18 2009-09-29 Applied Materials, Inc. Atomic layer deposition of barrier materials

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101266071B (zh) 2004-03-09 2011-10-12 三菱电机株式会社 信号传输方法
JP4703201B2 (ja) * 2005-01-28 2011-06-15 三菱電機株式会社 異常検出装置
JP4498157B2 (ja) * 2005-01-31 2010-07-07 三菱電機株式会社 通信用治具及び空気調和機
JP4762040B2 (ja) * 2006-04-24 2011-08-31 三菱電機株式会社 伝送装置並びに冷熱機器および設備機器
US20110219795A1 (en) * 2010-03-10 2011-09-15 Chisun Ahn Core assembly for air conditioner and air conditioner having the same
KR101257095B1 (ko) * 2011-01-21 2013-04-19 엘지전자 주식회사 배관 통신 장치
CN112747388A (zh) 2021-02-03 2021-05-04 珠海格力电器股份有限公司 空调管路装置及空调

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5712240A (en) * 1980-06-24 1982-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Air conditioner

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7501343B2 (en) 2000-06-27 2009-03-10 Applied Materials, Inc. Formation of boride barrier layers using chemisorption techniques
US7501344B2 (en) 2000-06-27 2009-03-10 Applied Materials, Inc. Formation of boride barrier layers using chemisorption techniques
US7208413B2 (en) 2000-06-27 2007-04-24 Applied Materials, Inc. Formation of boride barrier layers using chemisorption techniques
US7101795B1 (en) 2000-06-28 2006-09-05 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for depositing refractory metal layers employing sequential deposition techniques to form a nucleation layer
US6855368B1 (en) 2000-06-28 2005-02-15 Applied Materials, Inc. Method and system for controlling the presence of fluorine in refractory metal layers
US7465666B2 (en) 2000-06-28 2008-12-16 Applied Materials, Inc. Method for forming tungsten materials during vapor deposition processes
US7405158B2 (en) 2000-06-28 2008-07-29 Applied Materials, Inc. Methods for depositing tungsten layers employing atomic layer deposition techniques
US7235486B2 (en) 2000-06-28 2007-06-26 Applied Materials, Inc. Method for forming tungsten materials during vapor deposition processes
US7115494B2 (en) 2000-06-28 2006-10-03 Applied Materials, Inc. Method and system for controlling the presence of fluorine in refractory metal layers
US7033922B2 (en) 2000-06-28 2006-04-25 Applied Materials. Inc. Method and system for controlling the presence of fluorine in refractory metal layers
US7022948B2 (en) 2000-12-29 2006-04-04 Applied Materials, Inc. Chamber for uniform substrate heating
US6998579B2 (en) 2000-12-29 2006-02-14 Applied Materials, Inc. Chamber for uniform substrate heating
US7094680B2 (en) 2001-02-02 2006-08-22 Applied Materials, Inc. Formation of a tantalum-nitride layer
US6951804B2 (en) 2001-02-02 2005-10-04 Applied Materials, Inc. Formation of a tantalum-nitride layer
US7201803B2 (en) 2001-03-07 2007-04-10 Applied Materials, Inc. Valve control system for atomic layer deposition chamber
US7211144B2 (en) 2001-07-13 2007-05-01 Applied Materials, Inc. Pulsed nucleation deposition of tungsten layers
US6878206B2 (en) 2001-07-16 2005-04-12 Applied Materials, Inc. Lid assembly for a processing system to facilitate sequential deposition techniques
US7085616B2 (en) 2001-07-27 2006-08-01 Applied Materials, Inc. Atomic layer deposition apparatus
US6936906B2 (en) 2001-09-26 2005-08-30 Applied Materials, Inc. Integration of barrier layer and seed layer
US7049226B2 (en) 2001-09-26 2006-05-23 Applied Materials, Inc. Integration of ALD tantalum nitride for copper metallization
US7352048B2 (en) 2001-09-26 2008-04-01 Applied Materials, Inc. Integration of barrier layer and seed layer
US7494908B2 (en) 2001-09-26 2009-02-24 Applied Materials, Inc. Apparatus for integration of barrier layer and seed layer
US6916398B2 (en) 2001-10-26 2005-07-12 Applied Materials, Inc. Gas delivery apparatus and method for atomic layer deposition
US7094685B2 (en) 2002-01-26 2006-08-22 Applied Materials, Inc. Integration of titanium and titanium nitride layers
US7473638B2 (en) 2002-01-26 2009-01-06 Applied Materials, Inc. Plasma-enhanced cyclic layer deposition process for barrier layers
US7115499B2 (en) 2002-02-26 2006-10-03 Applied Materials, Inc. Cyclical deposition of tungsten nitride for metal oxide gate electrode
US7429516B2 (en) 2002-02-26 2008-09-30 Applied Materials, Inc. Tungsten nitride atomic layer deposition processes
US7439191B2 (en) 2002-04-05 2008-10-21 Applied Materials, Inc. Deposition of silicon layers for active matrix liquid crystal display (AMLCD) applications
US6846516B2 (en) 2002-04-08 2005-01-25 Applied Materials, Inc. Multiple precursor cyclical deposition system
US6875271B2 (en) 2002-04-09 2005-04-05 Applied Materials, Inc. Simultaneous cyclical deposition in different processing regions
US7262133B2 (en) 2003-01-07 2007-08-28 Applied Materials, Inc. Enhancement of copper line reliability using thin ALD tan film to cap the copper line
US7595263B2 (en) 2003-06-18 2009-09-29 Applied Materials, Inc. Atomic layer deposition of barrier materials

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62210342A (ja) 1987-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0348421B2 (ja)
US5120705A (en) Superconducting transmission line cable connector providing capacative and thermal isolation
US5043531A (en) Wiring layout for use in constructing new homes
US4129841A (en) Radiating cable having spaced radiating sleeves
EP3734618A1 (en) Charging system for an electric energy storage
CN1725386B (zh) 直流超导送电电缆和送电系统
US4045750A (en) Electrical cable and coupling arrangement
EP0395314B1 (en) Superconducting bus bar
US5503566A (en) Computer network distribution system
US8332005B2 (en) Superconducting electrical cable
US4625187A (en) Radiating coaxial electric cable
US20110160063A1 (en) Superconducting cable system
US2351520A (en) Transmission line
JP2761377B2 (ja) 同軸ケーブル
US4112247A (en) Gas feeder pipe assembly including electrical conductors
US2034047A (en) Coaxial circuit with stranded inner conductor
CN215417622U (zh) 一种防冻耐热电缆
CN210516981U (zh) 一种耐高温天线结构
USRE24340E (en) Alford
US5763822A (en) Coaxial cable
JPH0432108A (ja) 超電導ケーブル
CN101982902B (zh) 低温绝缘超导电缆屏蔽导体互连结构
JPS5826A (ja) 温水配管装置
CN224217692U (zh) 一种具备温控功能的射频同轴电缆
JPH06103838A (ja) 2相同軸型超伝導ケーブル