JPH0348779A

JPH0348779A - 偏平型バーンイン装置

Info

Publication number: JPH0348779A
Application number: JP1183736A
Authority: JP
Inventors: Takao Endo; 遠藤　孝男
Original assignee: AIR TESUTO SYST JAPAN KK
Current assignee: AIR TESUTO SYST JAPAN KK
Priority date: 1989-07-18
Filing date: 1989-07-18
Publication date: 1991-03-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は、ＩＣのバーンインテストに使用するダイナ
ミック・バーンイン装置に関するものであり、装置の全
高を低くして数台を積み重ねて使用できるように扁平型
にしたものである。

〈従来の技術〉バーンイン装置はＩＣをバーンイン処理するために使用
する装置である。バーンインテストは生産されたＩＣの
品質管理の完全を期するために広く行グわれているもの
である。工場で生産したＩＣをダイナミック・バーンイ
ン装置により常温乃至２００℃に加熱し、この状態で各
種の信号を各ＩＣに与えて実際の稼動状態と同じ環境を
設定して、長時間にわたりこのような状態を保持する。

これがバーンイン処理であり、そし１てこの後各ＩＣを
バーンイン試験機により各種テストパターンの入出力を
比較して良否を判定又は判定無しのスクリーニングをす
るのである。

バーンイン処理を行なうには、テスト用のＩＣ取付ソケ
ットを多数配設し、各種の信号を入力できるバーンイン
ボードに、生産されたＩＣを差し込み、そしてダイナミ
ック・バーンイン装置のオーブン部内に並べてバーンイ
ン処理を行な）のである。

ところで、従来のバーンイン装置は、例えば実開昭６１
−５４２７９号公報や実開昭６２−１９４４３９号公報
に示されるように、送風ファンから出た空気は通風路を
経てオーブン部へ導かれるようになっている。即ち、オ
ーブン部と通Ｊ虱路の間には隔壁があり、オーブン部内
においては各バーンインボードの間に通気スペースを必
要としており、バーンイン装置とし７てはバーンインボ
ードの上下に通気スペースを有するオーブン部に通風路
を加えた大きさが最低限必要となっている。

また、特開昭６２−　ｉ、　６９０６５号公報に示され
るように、送風ファンから出た空気がすぐに恒温部に入
るようになったものもあるが、これは恒温部を前後の２
つに分割しているからであり、全体を扁平型とすること
を目的としているものではな（、また、２つの恒温部を
必要とするので、扁平型とすることはできない。

〈発明が解決しようとする問題点〉しかし、最近は多品種少量のＩＣをバーンイン処理する
必要が生じできている。ＩＣはその種類によりそれぞれ
異なったバーンイン処理を行う必要があるので、同一の
装置で異なったＩＣを同時に処理することはできない。

しかし、前記のようにバーンイン処理は長時間にわたり
行なわれるので、多品種少量のＩＣを同時に処理するた
めには、多数のバーンイン装置を必要とすることになる
。これを従来の大量処理を目的としたバーンイン装置を
使用して行っていたのでは、−台当りの処理能力が大き
い代わりに、装置が大型であり、専有面積が大きすぎ、
限られたスペースに多数の装置を設置することができな
い。

〈問題点を解決するための手段〉すなわち、限られたスペースに多数のバーンイン装置を
設置するためには、バーンイン装置を扁平型としこれを
上下に積み重ねるようにすればよい。−台のバーンイン
装置で処理するＩＣは少量であるので、バーンイン装置
のオーブンは不必要に大きくする必要はなく、数台を積
み重ねられるようにするために、全高を低いものとする
必要がある。全高を低くするためには、従来の装置でオ
ーブン部と通風路の間を仕切っていた隔壁をな（し、最
下段のバーンインボードの通風路側が直接通風路に面す
るようにすれば、従来必要とされていた最下段のバーン
インボードと隔壁との間の通気スペースを不要とするこ
ととができるので。

その分だけ全高を低いものとすることができる。

そこで、この発明に関する扁平型バーンイン装置はオー
ブン部に所望間隔でバーンインボードを載置するように
したバーンイン装置において、通風路とオーブン部がバ
ーンインボードにより仕切られるようにし、通風路とオ
ーブン部との間の隔壁をな（して最下段のバーンインボ
ードの通風路に面する側は通風路に直接面するようにし
、最下段のバーンインボードと隔壁との間の通気スペー
スを不要とし、装置全体の全高を低くするようにしたも
のである。

く実　施　例〉次に、この発明にかかる扁平型バーンイン装置の一実施
例を図面に基づいて述べると、１はバーンイン装置本体
であり、２はオーブン部、３は通風路、４は送風チャン
バーである。オーブン部２は扁平で奥行の大きな形をし
ており、オーブン部２の上面と奥は密閉されており、左
右はパンチング板５により囲われている。オーブン部２
の下面は通風路３に対して開放されている。そして、こ
の開放部分はバーンインボード６により丁度基がれるよ
うになっている。即ち、従来は第３図に示すようにオー
ブン部２と通風路３の間が隔壁Ｗにより塞がれていたの
で、オーブン部２で処理するバーンインボード６の最下
段の物の下面も加熱されるようにするため、通気スペー
スＳを確保する必要があった。しかし、本願発明におい
ては、オーブン部２で処理するバーンインボード６の最
下段の物の下面は通風路３に臨んでいるので、通風路を
通る空気により直接加熱されるので、従来のような通気
スペースＳが不要となっている。従来一般には、通気ス
ペースＳとして４３１１１！ｌ（らい必要としていたの
で、本願発明では隔壁Ｗと最下段のバーンインボード６
の間の通気スペースＳが不要となるので、４３ｍｍ全高
を低くすることができることになる。

送風チャンバー４は、オーブン部２とパンチング板５を
境に隣り合っており、そしてそれぞれがモーター７に直
結されでいるシロッコファン８が回合間隔を置いて直線
状に並設しである。送風チャンバー４のシロッコファン
８とパンチング板５の間にはヒーター９が配設しである
。なお、図示した例ではシロッコファン８を四台とした
が、これは必要な送風量を確保できればよく、またモー
ター７を一台にして、これですべてのシロッコファン８
を駆動してもよい。

１０は各シロッコファン８の吸入側に臨ませた吸気口で
あり、吸気管１１を経て、外気に開口している外気取入
れ口１２に接続されている。外気取入れ口１２は長方形
に開口しており、バーンイン装置本体１の外壁の同一平
面状に直線状の位置にに開口するように設けである。１
３は外気取入れ口１２の開閉を行うための開度調整板で
あり、各外気取入れ口」２に相当する位置に外気取入れ
口１２と同形の長方形の通風孔１４が穿設しである。ま
た、開度調整板１３には長孔１５が穿設してあり、バー
ンイン装置本体１の外壁に設けたビン１６と摺動可能に
係合している。１７は開度調整板１３移動用の揺動モー
ターである。揺動モーター１７の回転軸１４８には揺動
杆１９が固定してあり、揺動杆１９に穿設した長孔２０
が開度調整板１３に配設したビン２１と摺動可能に係合
している。

バーンイン装置本体ｌの正面は、バーンインボード６の
出し入れ用の扉２２となっており、また、通風路３は排
気口２３と連通ずるようになっている。送風チャンバー
４から通風路３にかけて空気を通風路３に導（ための風
向制御板２４が配設してあり、また通風路３の空気をオ
ーブン部２に導くために風案内板２５が配設しである。

く作　　用〉しかして、バーンインボード６をオーブン部２内にセッ
トし、シロッコファン８を回転させ、次にヒーター９を
作動させてオーブン部２を規定の温度まで加熱する。ヒ
ーター９を作動させてオーブン部２を設定温度まで加熱
する時には、開度調整板１３により外気取入れ口１２を
密閉し。

加熱された空気が装置内だけで循環するようにする。バ
ーンインボード６をオーブン部の所定の位置にセットす
ると、最下段のバーンインボード６によりオーブン部２
と通風路３の間が閉鎖され、送風チャンバー４から出た
加熱された空気は、風向制御板２４に沿って通風路３に
入り、風案内板２５によりパンチング板５の後方へ曲げ
られ、オーブン部２内に導かれ、送風チャンバー４へと
戻り循環することになる。

なお、本実施例ではシロッコファン８の直径８．３ａｉ
ｍのものを四台２６５０　ｒｐａ＋、で回転させたとこ
ろ２．３ｍ／ｓの風速が得られた。なお、同様のシロッ
コファンを王台では１．６ｍ／ｓであって十分な風速で
あるが、三台では１．２ｍ／ｓＬ、か得れず不十分であ
る。ちなみに、軸流ファンでは通常１　ｍ／ｓ位が最大
であり、またクロスファンでは風速２　ｎ＋／ｓを得る
ためにはファンの直径を２００ｍｍくらいにする必要が
ある。シロッコファンを複数台使用することにより、初
めて小型であっても十分な風量を確保できるのである。

（して１．例えば設定温度が１２５℃であるとしたら、
１２２℃でヒーター９をＯＦＦとする。

ヒーター９をＯＦＦにしてもＩＣの発熱によりオーブン
部２の温度は上昇するので、モーター１７を駆動して開
度調整板１３を動かし、外気取入れ口１２の開度を調整
して、オーブン部２の温度が丁度１２５℃に保たれるよ
うに外気取入れ量を調整してオーブン部２の温度を制御
するのである。もしも、オーブン部２の温度が下限温度
より下がった時には、再度ヒーター２を作動させると同
時に外気取入れ口１２を開度調整板１３により密閉する
。そして、１２２℃となったらヒーター９をＯＦＦとし
、またモーター１７を駆動して開度調整板１３を動かし
、外気取入れ口１２の開度を調整して、オーブン部２の
温度が丁度１２５℃に保たれるように外気取入れ量を調
整する。

なお、設定温度に達した後は、シロッコファン８の回転
数や回転台数を適当に調整してもよい。

また、排気口２３の開度を調整して、オーブン部２の温
度が上昇しすぎることを防止してもよい。

バーンイン処理が完了したら、オーブン部２を冷やすた
めに、外気取入れ口１２を全関しオーブン部２の加熱さ
れた空気が排気口２３から排出されるようにし、オーブ
ン部２が外気温度となるように冷却する。

〈発明の効果〉以上述べたように、この発明にがかるバーンイン装置に
よれば、オーブン部に所望間隔でバーンインボードな載
置するようにしたバーンイン装置において、通風路とオ
ーブン部がバーンインボードにより仕切られるようにし
たので、最下段のバーンインボードの下面は通風路の空
気により加熱されるようになり、従来のように隔壁とバ
ーンインボードの間の通気スペースが不要となり、その
分だけバーンイン装置の全高を低（することができ、扁
平型のバーンイン装置とすることができるので、数台を
積み重ねて使用することができ、よって限られたスペー
スに多数の装置を設置でき多品種少量のバーンイン処理
を行うことができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明にかかる扁平型バーンイン装置の〜・実
施例を示したものであり、第１図は概略正面断面図、第
２図は概略平面断面図、第３図は従来例を示す概略正面
断面図、第４図は概略側面断面図である。 ■・・・バーンイン装置本体２・・・オーブン部３・・・通風路４・・・送風チャンバー５・・・パンチング板６・・・バーンインボード７・・・モーター８・・・シロッコファン９・・・ヒーター０・・・吸気口ｌ・・・吸気管２・・・外気取入れ口３・・・開度調整板４・・・通風孔５．２０・・・長孔６．２１・・・ビン７・・・揺動モーター８・・・回転軸９・・・揺動杆２・・・胛３・・・排気口４・・・風向制御板５・・・風案内板Ｓ・・・通気スペースＷ・・・隔壁

Claims

【特許請求の範囲】

オーブン部に所望間隔でバーンインボードを載置するよ
うにしたバーンイン装置において、通風路とオーブン部
がバーンインボードにより仕切られるようにしたことを
特徴とする扁平型バーンイン装置。