JPH0349237U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0349237U JPH0349237U JP10998489U JP10998489U JPH0349237U JP H0349237 U JPH0349237 U JP H0349237U JP 10998489 U JP10998489 U JP 10998489U JP 10998489 U JP10998489 U JP 10998489U JP H0349237 U JPH0349237 U JP H0349237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- detection means
- move
- wafer detection
- transfer device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例を示すウエハ搬送
装置の一部を破断して示す側面図、第２図は同装
置内にウエハがセツトされている状態を示す平面
断面図である。第３図は、従来のウエハ搬送装置
の一部を破断して示す側面図、第４図は同装置内
にウエハがセツトされている状態の様子を示す平
面断面図である。 ３０…キヤリア、３１…エレベータテーブル、
３２′…搬送ベルト、３３…ガイド溝、３４…搬
送用カツプ、３４ａ…ウエハストツパ、３４ｂ，
３４ｃ…切欠部、３５…搬送レール、３６…ウエ
ハ検知用センサ。
装置の一部を破断して示す側面図、第２図は同装
置内にウエハがセツトされている状態を示す平面
断面図である。第３図は、従来のウエハ搬送装置
の一部を破断して示す側面図、第４図は同装置内
にウエハがセツトされている状態の様子を示す平
面断面図である。 ３０…キヤリア、３１…エレベータテーブル、
３２′…搬送ベルト、３３…ガイド溝、３４…搬
送用カツプ、３４ａ…ウエハストツパ、３４ｂ，
３４ｃ…切欠部、３５…搬送レール、３６…ウエ
ハ検知用センサ。
Claims (1)
- ウエハ検知手段を有し、このウエハ検知手段か
ら出力される信号に基づいて、昇降動作し、水平
移動可能な搬送用カツプを有することを特徴とす
るウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10998489U JPH0349237U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10998489U JPH0349237U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349237U true JPH0349237U (ja) | 1991-05-14 |
Family
ID=31658542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10998489U Pending JPH0349237U (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0349237U (ja) |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP10998489U patent/JPH0349237U/ja active Pending