JPH0349960A - インクジェットの製造方法 - Google Patents
インクジェットの製造方法Info
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- JPH0349960A JPH0349960A JP18538689A JP18538689A JPH0349960A JP H0349960 A JPH0349960 A JP H0349960A JP 18538689 A JP18538689 A JP 18538689A JP 18538689 A JP18538689 A JP 18538689A JP H0349960 A JPH0349960 A JP H0349960A
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- Japan
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- nozzle
- hole
- inkjet
- nozzle hole
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、複写機やコンピューター・ファックス等の外
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
［従来の技術］
従来の技術としては、第２図（ａ）に示すように、基板
１１上へフォトレジスト１２によりノズル孔１７の形状
になる部分を形成し、その上に、１ｃ鋳加工によって電
着被膜をノズル孔１７の径が、所望の穴径寸法Ａに達す
るまで形成し、インクジェットノズル１３とする。その
後、インクジェットノズル１３を基板１１及び、フォト
レジスト１２からｆ！ｌｌ離して第］！１（ｂ）に示す
ようなインジェットノズル１３を得る方法が知られてい
た。
１１上へフォトレジスト１２によりノズル孔１７の形状
になる部分を形成し、その上に、１ｃ鋳加工によって電
着被膜をノズル孔１７の径が、所望の穴径寸法Ａに達す
るまで形成し、インクジェットノズル１３とする。その
後、インクジェットノズル１３を基板１１及び、フォト
レジスト１２からｆ！ｌｌ離して第］！１（ｂ）に示す
ようなインジェットノズル１３を得る方法が知られてい
た。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、かかる従来のインクジェットは、インクジェッ
トノズル１３の電着被膜の成長量を正確に規制すること
が難しく、電鋳のときに、わずかな電流密度分布の差に
大きく影響され、ノズル孔１７の穴径寸法Ａを、通常、
電着被膜の厚みに対して士１０％前後ばらつかせてしま
う、この時、電着被膜の成長は、高さ方向と横方向の両
方向にそれぞれ関連を持ちながら成長するので、インク
ジェットノズル１３の電着被膜の厚みのばらつきが、ノ
ズル孔１７の穴径寸法Ａのばらつきとなるため、例えば
、インクジェットノズル１３の厚みを１００μｍ、ノズ
ル孔１７の穴径寸法Ａを５０μｎｌとすると穴径寸法Ａ
の寸法精度は、５０１１０μｍになってしまう、ノズル
孔１７の穴径寸法Ａのばらつきは、吐出するインク粒１
４の粒径をばらつかせ体積に大きな差となって現れ、ド
ツトサイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつ
き等の問題を発生させていた。
トノズル１３の電着被膜の成長量を正確に規制すること
が難しく、電鋳のときに、わずかな電流密度分布の差に
大きく影響され、ノズル孔１７の穴径寸法Ａを、通常、
電着被膜の厚みに対して士１０％前後ばらつかせてしま
う、この時、電着被膜の成長は、高さ方向と横方向の両
方向にそれぞれ関連を持ちながら成長するので、インク
ジェットノズル１３の電着被膜の厚みのばらつきが、ノ
ズル孔１７の穴径寸法Ａのばらつきとなるため、例えば
、インクジェットノズル１３の厚みを１００μｍ、ノズ
ル孔１７の穴径寸法Ａを５０μｎｌとすると穴径寸法Ａ
の寸法精度は、５０１１０μｍになってしまう、ノズル
孔１７の穴径寸法Ａのばらつきは、吐出するインク粒１
４の粒径をばらつかせ体積に大きな差となって現れ、ド
ツトサイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつ
き等の問題を発生させていた。
そこで、本発明は、従来のこのような問題点を解決する
ために、ノズル孔１７の径を±２％の範囲内の精度に形
成し、吐出したインク粒の径が安定することにより高品
質の印字が得られるノズルヘッドを提供することを目的
としている。
ために、ノズル孔１７の径を±２％の範囲内の精度に形
成し、吐出したインク粒の径が安定することにより高品
質の印字が得られるノズルヘッドを提供することを目的
としている。
［課題を解決するための手段〕
上記課題を解決するため、本発明のインクジェットの製
造方法は、電鋳により形成され、インクジェットプリン
ター等に使用されるインクジェットのインクを吐出させ
る部分であるインクジェットノズルにおいてノズル孔を
形成するときに、電鋳により基準となるノズル孔の下穴
及びテーパー形状を形成し、放電加工により前記ノズル
孔の下穴の部分へノズル孔を形成したことを特徴とする
。
造方法は、電鋳により形成され、インクジェットプリン
ター等に使用されるインクジェットのインクを吐出させ
る部分であるインクジェットノズルにおいてノズル孔を
形成するときに、電鋳により基準となるノズル孔の下穴
及びテーパー形状を形成し、放電加工により前記ノズル
孔の下穴の部分へノズル孔を形成したことを特徴とする
。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は、本発明のインクジェットノズルの製造工程を示
す横断面図であり、第１図（ａ）において、ステンレス
板やＢｓ板、ニッケル板等の金属基板あるいは、表面に
ニッケルもしくは曙被膜をスパッタや蒸着、あるいは無
電解メツキ等で形成された、ガラスやプラスチック等の
材質から成る基板１上に、フォトリソ方法によりフォト
レジスト２を厚み１〜２μｍパターニング形成し、ニッ
ケル被膜を電鋳によりノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂが
５０μｍ以下となり、かつ、電着被膜の厚みが約１００
μｍ前後となるまで形成すると電着被膜の成長にともな
って自然に形成された、テーパー形状８を有したインク
ジェットノズル３が得られ、８のテーパー形状がインク
をノズル孔へ導くインク流路としての役目を持つ、又、
この時、ノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂは精度をだす必
要がなく、以後に説明するノズル孔７の所望の穴径寸法
Ａより小さければ良い。
１図は、本発明のインクジェットノズルの製造工程を示
す横断面図であり、第１図（ａ）において、ステンレス
板やＢｓ板、ニッケル板等の金属基板あるいは、表面に
ニッケルもしくは曙被膜をスパッタや蒸着、あるいは無
電解メツキ等で形成された、ガラスやプラスチック等の
材質から成る基板１上に、フォトリソ方法によりフォト
レジスト２を厚み１〜２μｍパターニング形成し、ニッ
ケル被膜を電鋳によりノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂが
５０μｍ以下となり、かつ、電着被膜の厚みが約１００
μｍ前後となるまで形成すると電着被膜の成長にともな
って自然に形成された、テーパー形状８を有したインク
ジェットノズル３が得られ、８のテーパー形状がインク
をノズル孔へ導くインク流路としての役目を持つ、又、
この時、ノズル孔の下穴６の下穴寸法Ｂは精度をだす必
要がなく、以後に説明するノズル孔７の所望の穴径寸法
Ａより小さければ良い。
その後、インクジェットノズル３を基板１とフォトレジ
スト２より剥離して、第１図（ｂ）に示すような形状と
する０次に、第１図（ｃ）のように電極の直径Ｃが５０
μｍの電極５を使用し、放電加工により、ノズル孔の下
穴６へ穴明けをすると、第１図（ｄ）のような、穴径寸
法Ａが５０μｍの、ノズル孔７を形成されたインクジェ
ットノズル３が得られる。
スト２より剥離して、第１図（ｂ）に示すような形状と
する０次に、第１図（ｃ）のように電極の直径Ｃが５０
μｍの電極５を使用し、放電加工により、ノズル孔の下
穴６へ穴明けをすると、第１図（ｄ）のような、穴径寸
法Ａが５０μｍの、ノズル孔７を形成されたインクジェ
ットノズル３が得られる。
この時、放電加工用の電極の直径Ｃは、±１μｍ以下の
精度に仕上げることが可能なので、放電加工精度を加味
してもノズル孔７の穴径寸法Ａの精度を±２μｍ以内に
形成することが可能である。
精度に仕上げることが可能なので、放電加工精度を加味
してもノズル孔７の穴径寸法Ａの精度を±２μｍ以内に
形成することが可能である。
又、電鋳加工をしないで、直接インクジェットノズルへ
、ノズル孔の穴明けを行なおうとすると、ｔｆｆｉ５を
テーパー形状にしなければいけないために、放電加工に
よる電極５の先端の摩耗のため、テーパー形状がだんだ
ん変形し、放電加工を進めていくとノズル孔７の穴径寸
法５の精度が悪くなってくる。電鋳によりテーパー形状
８が事前に形成されていると、放電加工によりテーパー
形状を出す必要が無く、側面がストレートのシンプルな
形状の電極５を使用することが可能となり、先端の摩耗
に合わせて電極５の送り量を少しずつ深くしていくと精
度の安定したノズル孔７を得る事ができる。又、本発明
のインクジェットノズルはノズル孔が事前に電鋳て下穴
として明けられており、放電加工は仕上げの穴明は程度
に使用されるため、放電加工の電極への負荷がほとんど
なく、直接ノズル孔を明ける時よりはるかに優れた電極
封合を得ることが可能である。
、ノズル孔の穴明けを行なおうとすると、ｔｆｆｉ５を
テーパー形状にしなければいけないために、放電加工に
よる電極５の先端の摩耗のため、テーパー形状がだんだ
ん変形し、放電加工を進めていくとノズル孔７の穴径寸
法５の精度が悪くなってくる。電鋳によりテーパー形状
８が事前に形成されていると、放電加工によりテーパー
形状を出す必要が無く、側面がストレートのシンプルな
形状の電極５を使用することが可能となり、先端の摩耗
に合わせて電極５の送り量を少しずつ深くしていくと精
度の安定したノズル孔７を得る事ができる。又、本発明
のインクジェットノズルはノズル孔が事前に電鋳て下穴
として明けられており、放電加工は仕上げの穴明は程度
に使用されるため、放電加工の電極への負荷がほとんど
なく、直接ノズル孔を明ける時よりはるかに優れた電極
封合を得ることが可能である。
第１図（ｅ）において、３は、インクジェットノズル、
８は、電鋳により形成されたテーパー形状、７は、放電
加工の電極により穴径寸法Ａを規制されたノズル孔であ
り、４は、ノズル孔７より吐出されたインク粒である。
８は、電鋳により形成されたテーパー形状、７は、放電
加工の電極により穴径寸法Ａを規制されたノズル孔であ
り、４は、ノズル孔７より吐出されたインク粒である。
以上の実施例において得られたインクジェットノズル３
は、ノズル孔７の穴径寸法Ａが放電加工の電極により精
度よく形成されているので、安定した粒径のインク粒４
が得られる。
は、ノズル孔７の穴径寸法Ａが放電加工の電極により精
度よく形成されているので、安定した粒径のインク粒４
が得られる。
［発明の効果コ
本発明のインクジェットノズルの製造方法は、以上説明
したように、ノズル孔の穴径寸法が均一に精度よく形成
でき、安定したインク粒径が得られることにより、ドツ
トサイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつき
等の問題を解決し、印字品質が大幅に向上するという効
果がある。
したように、ノズル孔の穴径寸法が均一に精度よく形成
でき、安定したインク粒径が得られることにより、ドツ
トサイズのばらつき、飛翔速度、距離、方向のばらつき
等の問題を解決し、印字品質が大幅に向上するという効
果がある。
又、電訪加工も、放電加工もマルチ加工が非常に容易な
ので、ノズル孔が２００〜３００穴あるようなインクジ
ェットノズルや、多数個取りの加工を簡単に行なうこと
が可能である。
ので、ノズル孔が２００〜３００穴あるようなインクジ
ェットノズルや、多数個取りの加工を簡単に行なうこと
が可能である。
第１図（ａ）〜（ｅ）は、本発明のインクジェットノズ
ルの製造方法を示す横断面図。 第２図（ａ）〜（ｂ）は、従来のインクジェットノズル
の製造方法を示す横断面図。 １・・・基板 ２ ・ ３ ・ ４ ・ ５ ・ ６ ・ ７ ・ ８ ・ Ａ ・ Ｂ ・ Ｃ・ フォトレジスト インクジェットノズル インク粒 を極 ノズル孔の下穴 ノズル孔 テーパー形状 穴径寸法 下穴寸法 １極の直径 以上
ルの製造方法を示す横断面図。 第２図（ａ）〜（ｂ）は、従来のインクジェットノズル
の製造方法を示す横断面図。 １・・・基板 ２ ・ ３ ・ ４ ・ ５ ・ ６ ・ ７ ・ ８ ・ Ａ ・ Ｂ ・ Ｃ・ フォトレジスト インクジェットノズル インク粒 を極 ノズル孔の下穴 ノズル孔 テーパー形状 穴径寸法 下穴寸法 １極の直径 以上
Claims (1)
- 電鋳により形成され、インクジェットプリンター等に
使用されるインクジェットのインクを吐出させる部分で
あるインクジェットノズルにおいてノズル孔を形成する
ときに、電鋳により基準となるノズル孔の下穴及びテー
パー形状を形成し、放電加工により前記ノズル孔の下穴
の部分へノズル孔を形成したことを特徴とするインクジ
ェットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18538689A JPH0349960A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | インクジェットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18538689A JPH0349960A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | インクジェットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349960A true JPH0349960A (ja) | 1991-03-04 |
Family
ID=16169905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18538689A Pending JPH0349960A (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 | インクジェットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0349960A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8499453B2 (en) | 2009-11-26 | 2013-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid discharge head, and method of manufacturing discharge port member |
-
1989
- 1989-07-18 JP JP18538689A patent/JPH0349960A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8499453B2 (en) | 2009-11-26 | 2013-08-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid discharge head, and method of manufacturing discharge port member |
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