JPH11105296A - キャビティプレートの製造方法及びインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ショットブラスト加工で同一部材に異なる深
さの溝部を形成したインクジェットヘッド及びインクジ
ェットヘッド製造方法を提供する。 【解決手段】 インク滴を噴射するノズル９と、前記ノ
ズルと連通する圧力室３と、前記圧力室と連通する共通
インク室５と、前記圧力室と共通インク室とを結ぶ連通
路に設けられた絞り部７のうち少なくとも２個所以上の
深さの異なる凹部が形成されたキャビティプレート１３
からなるインクジェットヘッドの製造方法であって、前
記キャビティプレート１３は、一枚のプレートに対し
て、形成すべき前記凹部各部位の深さに応じて異なるパ
ターンを有する複数のレジストマスク３１、３３、３５
を用いてショットブラスト加工されることにより、前記
凹部が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクを吐出させ
るインクジェットヘッド及びそのインクジェットヘッド
を構成するキャビティプレートの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクジェットヘッドとして、例
えば、圧電セラミックスの変形や電気−熱変換素子の加
熱によって圧力室内のインク圧力を変化させ、圧力室内
のインクをノズルから液滴として噴射するようにしたも
のがある。そして、所要の印字データに従って所要の位
置のノズルからインク滴を噴射させることにより、イン
クジェットヘッドと対向する紙面上等に文字や画像を形
成するものである。

【０００３】上述のようなインクジェットヘッドの具体
例としては、図５に示すごとく、複数の圧力室１０１が
一面に溝状に列をなして形成されたキャビティプレート
１０３に対して、その各圧力室１０１が開口する側に圧
電素子１０５を接着剤などで接合して圧力室１０１を覆
い、キャビティプレート１０１の一側端に各圧力室１０
１と連通する共通インク室１０９が形成されている共通
インク室部材１１１が接着剤などで接合されて構成され
ていた。共通インク室１０９は、図示しないインク供給
装置からインクが供給され、各圧力室１０１にインクを
供給する。更に、インク流路を絞って安定したインク吐
出を行うために所定の径孔を備えたノズルプレート１０
７が、前記圧力室１０１の端部に連通するように接着剤
などで接合されていた。

【０００４】キャビティプレートに形成されるキャビテ
ィ（圧力室）は、インクジェットヘッドの記録密度及び
インク液滴の吐出特性に大きな影響を与えるものであ
り、キャビティの製造精度がインクジェットヘッドの印
字品質を左右するものである。よって、より精密な製造
方法が望まれてきた。

【０００５】キャビティプレートに各キャビティを形成
する方法としては、ダイサー等の機械加工による工法も
しくは感光性樹脂にエッチングを施す工法や樹脂成形に
よる工法等により加工されてきた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなエッチングを施す工法や射出成形等の一体成形に
よる加工は、加工できる材料が感光性材料や熱可塑性樹
脂を含むものに限定されてしまい、セラミックや金属材
料には不向きであった。

【０００７】特に、近年の高集積型のインクジェットヘ
ッドを射出成形により形成するには、細密な金型が必要
とされる上、成形ムラができないようにその細密な金型
に過不足無く材料を充填する特殊な技法が必要となり、
手間とコストがかかってしまう。また、成形加工につき
もののバリの発生により、ヘッド内部のインク流路やノ
ズルが不均一になったり、目詰まりを起こしたりして、
成形後にバリ除去処理としてエッチング処理等をせねば
ならず、結局、精度の良いインクジェットヘッドの形成
が困難であった。

【０００８】一方、ダイサー等による機械加工による工
法では、加工対象の材質はあまり問わないが、基本的に
直線的な加工しかできず、形成できるキャビティ部の形
状も制限される。

【０００９】また、前記圧力室１０１、または前記共通
インク室１０９の形成方法において、前記キャビティプ
レート１０３における圧力室形成部分、または前記共通
インク室部材１１１における共通インク室形成部分を除
く部分にレジストマスクを設け、セラミック等の微粒子
を高速で前記キャビティプレート１０３、または共通イ
ンク室部材１１１に噴射する、いわゆるショットブラス
ト加工を用いたものがある。

【００１０】しかしながら、ショットブラスト加工で同
一部材に前記圧力室１０１と共通インク室１０９を形成
しようとした場合、同じ深さの溝しか形成することがで
きない。しかし、前記共通インク室１０９の深さを前記
圧力室１０１の深さより十分大きくしないと隣接したチ
ャンネルへの圧力の影響が大きくなってしまうという問
題がある。

【００１１】そのため、これらのような工法では、キャ
ビティプレート１０３、共通インク室部材１１１等、複
数の部材の接合でインクジェットヘッドを形成してい
た。よって、その組み付けのために、例えば、各部材の
位置合わせ等の多くの手間とコストを費やしていた。

【００１２】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、加工対象の材質を選ばず、ま
た、多数の部材を組み付ける必要のないキャビティプレ
ートの製造方法及びそのキャビティプレートを有する高
精度・高品質のインクジェットヘッドを提供することを
目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１記載のキャビティプレートの製造方法は、
インクジェットヘッドを構成し、複数の圧力室と該圧力
室の各々と連通する共通インク室とを少なくともなす２
段階以上の深さを有する凹部が形成されたキャビティプ
レートの製造方法であって、前記キャビティプレートと
なるワークに対して、形成すべき前記凹部各位の深さに
応じて異なるパターンを有する複数のレジストマスクを
用意し、その各レジストマスクを介して前記ワークにシ
ョットブラスト加工を順次行うことにより前記凹部を形
成することを特徴とする。

【００１４】前記請求項１のキャビティプレートの製造
方法によれば、深さの異なる凹部のそれぞれの部分をい
ずれも前記ショットブラスト加工で形成するため、設備
の共用が可能となりコストダウンが図れる。また、前記
ショットブラスト加工により形成することから、加工速
度が速く、しかも、微細な砥粒を用いることにより精度
の高い溝加工が可能となり、結果、低コストで良好なイ
ンク吐出性能を有するインクジェットヘッドが得られ
る。また、凹部内面に粗面処理を施すことも可能とな
る。

【００１５】請求項２に記載のキャビティプレートの製
造方法は、請求項１のキャビティプレートの製造方法に
おいて、前記ショットブラスト加工は、前記レジストマ
スクを凹部のより深い部位を加工するためのレジストマ
スクから順に配して加工していくことを特徴とする。

【００１６】前記請求項２のキャビティプレートの製造
方法によれば、より深い溝深さを所望する溝部から加工
していき、先に加工した部分と一部同じパターンをもつ
レジストマスクを用いて、先に加工した部分も同時に加
工しながら、順により浅い溝深さを所望する溝部を形成
していくことにより、加工に要する総時間を短縮するこ
とが可能である。

【００１７】請求項３に記載のキャビティプレートの製
造方法は、請求項１のキャビティプレートの製造方法に
おいて、前記ショットブラスト加工は、前記レジストマ
スクを加工部領域が大きいレジストマスクから順に配し
て加工していくことを特徴とする。

【００１８】前記請求項３のキャビティプレートの製造
方法によれば、より大きな溝形状を所望する溝部から加
工していき、先に加工した部分と一部同じパターンをも
つレジストマスクを用いて、先に加工した部分も同時に
加工しながら、順により小さな溝形状を所望する溝部を
形成していくことにより、加工に要する総時間を短縮す
ることが可能である。

【００１９】請求項４に記載のキャビティプレートの製
造方法は、請求項１乃至請求項３のいずれかのキャビテ
ィプレートの製造方法において、前記ショットブラスト
加工は、径が３〜１０μｍである微粒子を噴射するもの
であることを特徴とする。

【００２０】前記請求項４のキャビティプレートの製造
方法によれば、微粒子の径を上記のようにすることで、
加工精度を損ねないと共に、加工作業が効率的になされ
るようになり、キャビティプレートに適正な形状を有す
る凹溝を速やかに高精度に形成することができる。

【００２１】請求項５に記載のキャビティプレートの製
造方法は、請求項１乃至請求項４のいずれかのキャビテ
ィプレートの製造方法において、前記ショットブラスト
加工において、前記凹部の前記圧力室と外部とを連通す
るノズルが形成されるようなパターンを有するマスクを
用いることを特徴とする。

【００２２】前記請求項５のキャビティプレートの製造
方法によれば、前記ノズルを前記圧力室と一体的に形成
していることから、ノズルプレートが不要になるととも
に、ノズルプレートの接合工程が削除されるためコス
ト、製造工程を削減することができる。

【００２３】請求項６に記載のキャビティプレートの製
造方法は、請求項１乃至５のいずれかのキャビティプレ
ートの製造方法において、前記ショットブラスト加工に
おいて、前記凹部の前記圧力室と前記共通インク室とを
結ぶ連通路に相当する部位に、絞り部をなす段差が形成
されるようなパターンを有するマスクを用いることを特
徴とする。

【００２４】前記請求項６のキャビティプレートの製造
方法によれば、前記絞り部を設けることにより、前記ノ
ズルからのインクの吐出量と、前記共通インク室から前
記圧力室へのインクの供給量のバランスを調節すること
ができ、安定したインクの吐出特性を実現できるキャビ
ティプレートを提供する。

【００２５】上記目的を達成するために、請求項７に記
載のインクジェットヘッドは、複数のノズルと、前記ノ
ズルと連通する複数の圧力室と、前記圧力室のそれぞれ
に対応して設けられた吐出エネルギー発生手段と、前記
各圧力室と連通し各圧力室にインクを供給する共通イン
ク室とを有し、前記吐出エネルギー発生手段により前記
圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルよりイ
ンク液滴を吐出することで記録を行うものであって、シ
ョットブラスト加工により形成された少なくとも前記圧
力室と前記共通インク室とをなす少なくとも２つ以上の
深さを呈する凹部を有するキャビティプレートを備え
る。

【００２６】前記請求項７のインクジェットヘッドによ
れば、それぞれの部分をいずれも前記ショットブラスト
加工で形成するため、設備の共用が可能となりコストダ
ウンが図れる。また、前記ショットブラスト加工により
形成することから、加工速度が速く、しかも、微細な砥
粒を用いることにより精度の高い溝加工が可能となり、
結果、低コストで良好なインク吐出性能を有するインク
ジェットヘッドが得られる。

【００２７】請求項８に記載のインクジェットヘッド
は、請求項７のインクジェットヘッドにおいて、前記凹
部には、前記ショットブラスト加工により、前記ノズル
をなす段部が形成されていることを特徴とする。

【００２８】前記請求項８のインクジェットヘッドによ
れば、前記ノズルを前記圧力室と一体的に形成している
ことから、ノズルプレートが不要になるとともに、ノズ
ルプレートの接合工程が削除されるため、コスト、製造
工程を削減することができる。

【００２９】請求項９に記載のインクジェットヘッド
は、請求項７または請求項８のインクジェットヘッドに
おいて、前記凹部の前記圧力室と前記共通インク室とを
結ぶ連通路に相当する部位には、前記ショットブラスト
加工により、絞り部をなす段部が形成されていることを
特徴とする。

【００３０】前記請求項９のインクジェットヘッドによ
れば、前記絞り部を設けることにより、前記ノズルから
のインクの吐出量と、前記共通インク室から前記圧力室
へのインクの供給量のバランスを調節することができ、
安定したインクの吐出特性を実現できる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００３２】図１及び図２は、第１の実施形態のインク
ジェットヘッド１の構成を示し、図１は圧力室３の軸方
向に沿って切断した縦断面図を表し、図２は圧力室３の
軸方向に直角なＸ−Ｘ’線に沿って切断した面の一部を
拡大して示す縦断面図である。

【００３３】圧力室３は、キャビティプレート１３の一
面側に、側壁２１により仕切られて溝状に形成されてい
る。圧力室３は、それぞれに外部と連通するノズル９が
設けられており、ここから内部のインクを吐出する。一
方、圧力室３のそれぞれは共通インク室５と連通してい
る。共通インク室５は、圧力室３のそれぞれにインクを
過不足無く供給する。尚、本実施の形態のインクジェッ
トヘッド１には、圧力室３と共通インク室５とを結ぶ連
通路に段部が設けられて、意図的に通路が狭まっている
絞り部７が形成されている。この絞り部７を設けること
により、前記ノズル９からのインクの吐出量と、前記共
通インク室５から前記圧力室３へのインクの供給量のバ
ランスを調節することができ、安定したインクの吐出特
性を実現できる。

【００３４】キャビティプレート１３の圧力室３が開口
している側には、圧電素子１１がその一面側で接合され
て塞がれている。キャビティプレート１３とは反対側の
圧電素子１１の外面２３には、圧力室３に対応する位置
と隣接する圧力室３の間に対応する位置とにそれぞれ外
部電極１４、１７が設けられている。また、キャビティ
プレート１３に接合している側の圧電素子１１の表面２
５にも、前記外面側の外部電極１４、１７に対応した位
置に、それぞれ外部電極１５、１９が設けられている。
そして、駆動電圧は圧力室３に対応する外部電極１４、
１５にプラス、その間の外部電極１７、１９にはマイナ
スが印加される。

【００３５】圧電素子１１はその厚さ方向に分極されて
おり（図中上向き）、この構成は、電界方向が分極方向
と交叉する方向(ここでは直交する方向)となるように配
置され、いわゆるシェアモードタイプの構成となってい
る。

【００３６】駆動電圧の印加により、圧電素子１１のう
ち、プラスの外部電極１４、１５とマイナスの外部電極
１７、１９との間に挟まれた部分２７、２９は図２
（ｂ）に示すように厚みすべりを生じて変形し、圧電素
子１１のうち、外部電極１４、１５が存在する部分が、
圧力室３側に凸となるように変形する。このことによ
り、圧力室３の容積が減少してインクの圧力が高まり、
ノズル９からインクが外部に噴射される。

【００３７】続いて、駆動電圧印加を停止すると、図２
（ｂ）の状態から圧力室３の容積が元に戻って図２
（ａ）の状態となる。このとき、圧力室３内のインクの
圧力が低下し、共通インク室５からインクを圧力室３に
吸引する。

【００３８】このキャビティプレート１３の製造は、次
のような工程でなされる。

【００３９】まず、第１工程として図３（ａ）に示すご
とく、ＰＺＴ系セラミック板製キャビティプレート１３
を焼成し、圧電素子１１との接合面３７を研磨して平滑
面とする。その後、最も溝深さの深い共通インク室５の
みを加工するために、図３（ａ）または図４（ａ）斜線
部に示すようなパターンを残した共通インク室形成用レ
ジストマスク３１を形成する。レジストマスク３１の形
成方法としては、まず、キャビティプレート１３の圧電
素子１１との接合面３７上に一様に感光性レジストを塗
布する。次に、ショットブラスト加工で研削する共通イ
ンク室５以外の部分を、マスクを用いて露光し、硬化さ
せる。その後、未露光部分、すなわち共通インク室５の
部分の感光性レジストを除去する。

【００４０】次に、図示しないショットブラスト機で砥
粒を圧縮空気で吹き付けて研削加工を行う。十分な厚さ
のレジストマスクを設けることで、共通インク室形成用
レジストマスク３１が被覆された部分は研削されず、レ
ジストマスクが被覆されていない共通インク室５だけが
図３（ｂ）に示すように集中的に研削される。また、砥
粒として、本実施の形態においては、直径３〜１０μｍ
のＳｉＣ粒またはアルミナ粒を用いる。加工後、アルカ
リ溶液を用いて、前記共通インク室形成用レジストマス
ク３１を除去する。尚、ショットブラスト加工にはそれ
以外に、ジルコニア、炭化崩素、ステンレスやあるいは
それらの混合物を用いてもよい。一般に、ショットブラ
スト加工に用いられる砥粒の粒径は比較的大径である
が、本実施の形態のような高密度マルチノズル型のイン
クジェットヘッドを加工するような場合には、特に、ノ
ズルピッチが１５０ｄｐｉ以上であるような場合には、
３μｍ〜１０μｍ程度の砥粒を用いて高精度に加工する
のが好ましい。但し、その分粒径の大きいものと比較し
て加工速度は低下する。

【００４１】次に、第２工程として、前記第１工程と同
様にして図３（ｂ）及び図４（ｂ）に示すごとく圧力室
形成用レジストマスク３３を形成した後、ショットブラ
スト機により研削加工を行う。このとき、圧力室形成用
レジストマスク３３は、前記共通インク室形成用レジス
トマスク３１と同様に共通インク室５にはレジストマス
クが被覆されていないために、圧力室３を研削すると同
時に、さらに共通インク室５も研削する。加工後、アル
カリ溶液を用いて、前記圧力室形成用レジストマスク３
３を除去する。

【００４２】最後に、第３工程として、前記第１工程及
び第２工程と同様にして、図３（ｃ）及び図４（ｃ）に
示すごとく絞り部・ノズル形成用レジストマスク３５を
形成した後、ショットブラスト機により研削加工を行
う。このとき、絞り部・ノズル形成用レジストマスク３
５は、前記圧力室形成用レジストマスク３３と同様に共
通インク室５及び圧力室３にはレジストマスクが被覆さ
れていないために、絞り部７、ノズル９を研削すると同
時に、さらに共通インク室５及び圧力室３も研削する。
加工後、アルカリ溶液を用いて、絞り部・ノズル形成用
レジストマスク３５を除去する。

【００４３】以上の工程により、図３（ｄ）に示すよう
に、それぞれ深さ及び形状の異なる溝部をいずれもショ
ットブラスト加工によって同一部材に形成することが可
能となる。

【００４４】また、ショットブラスト加工において加工
溝深さは、砥粒を吹き付ける時間及び砥粒の粒径を調節
することによって高精度に制御することができるので、
先の工程では後の工程で研削される深さ分も考慮するこ
とによって、最終的に所望する溝深さを高精度に加工す
ることができる。

【００４５】得られたキャビティプレート１３と、圧電
素子１１を接着剤などで接合することでインクジェット
ヘッド１が形成されるが、圧力室３、共通インク室５、
ノズル９を同一部材に形成しているので生産性も良く、
図５に示したノズルプレート１０７を接合する工程が削
除され、更に、前記ノズルプレート１０７を精度良く接
合するための、接合面の仕上げ加工も削除される。

【００４６】さらに、ショットブラスト加工では、深さ
の異なる溝部の段差部あるいは角部に、適度にＲ部が形
成され緩やかな傾斜で連続するために、インクを吐出し
た後メニスカスの後退時に気泡の巻き込みがなくなり、
安定したインクの供給を可能にして、インク吐出特性の
向上が達成できる。

【００４７】尚、本発明は上述した実施形態に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、
種々の変更を加えることが可能である。例えば、キャビ
ティプレート１３はＰＺＴ系のセラミックプレートとし
ているが、ＰＯＭ（ポリアセタール）に代表されるよう
な樹脂材料であっても良いし、また、金属やセラミック
スなど別の材料であってもよい。

【００４８】また、本実施の形態では、インク加圧手段
が圧電素子であり、電界方向が分極方向と交叉する方向
（ここでは直交する方向）となるように配置された、い
わゆるシェアモードタイプであるが、電界方向と分極方
向が一致している、いわゆるユニモルフタイプの構成で
も良いし、複数の圧電素子を分極方向に積層させた積層
タイプの構成でもよいし、または、それらの複合タイプ
の構成でも良いし、また、隣接する圧力室を隔てている
側壁を圧電素子にして側壁の変形（例えば、特開平２−
１５０３５５号公報に示すようなシェアモードタイプ等
で）によりインクを吐出させるような構成でもよいし、
別の構成でも良い。また、インク加圧手段は、圧電素子
のみでなく、発熱素子を用いたものでもよい。

【００４９】また、圧力室、共通インク室、絞り部、ノ
ズルを同一部材に形成しているが、ノズル部を形成せず
にノズルプレートを接合する構成でも良いし、絞り部が
ない構成でも良いし、前記各部位のうち少なくとも２個
所以上の深さの異なる凹部が形成された構成でも良い。
ただ、ノズル部を同一部材にて形成した方がインクジェ
ットヘッドの構成が簡易になり、また、ノズルプレート
の形成や接合に係る手間やコストが係らないといったメ
リットはある。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、請
求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法によれ
ば、深さの異なる凹部のそれぞれの部分をいずれも前記
ショットブラスト加工で形成するため、設備の共用が可
能となりコストダウンが図れる。また、前記ショットブ
ラスト加工により形成することから、材質を問わない加
工が出来、加工速度が速く、しかも、微細な砥粒を用い
ることにより精度の高い溝加工が可能となり、結果、低
コストで良好なインク吐出性能を有するインクジェット
ヘッドが得られる。また、凹部内面に粗面処理を施すこ
とも可能となる。

【００５１】前記請求項２のキャビティプレートの製造
方法によれば、より深い溝深さを所望する溝部から加工
していき、先に加工した部分と一部同じパターンをもつ
レジストマスクを用いて、先に加工した部分も同時に加
工しながら、順により浅い溝深さを所望する溝部を形成
していくことにより、加工に要する総時間を短縮するこ
とが可能である。

【００５２】前記請求項３のキャビティプレートの製造
方法によれば、より大きな溝形状を所望する溝部から加
工していき、先に加工した部分と一部同じパターンをも
つレジストマスクを用いて、先に加工した部分も同時に
加工しながら、順により小さな溝形状を所望する溝部を
形成していくことにより、加工に要する総時間を短縮す
ることが可能である。

【００５３】前記請求項４のキャビティプレートの製造
方法によれば、微粒子の径を３μｍ〜１０μｍにするこ
とで、加工精度を損ねないと共に、加工作業が効率的に
なされるようになり、キャビティプレートに適正な形状
を有する凹溝を速やかに高精度に形成することができ
る。

【００５４】前記請求項５のキャビティプレートの製造
方法によれば、前記ノズルを前記圧力室と一体的に形成
していることから、ノズルプレートが不要になるととも
に、ノズルプレートの接合工程が削除されるためコス
ト、製造工程を削減することができる。

【００５５】前記請求項６のキャビティプレートの製造
方法によれば、前記絞り部を設けることにより、前記ノ
ズルからのインクの吐出量と、前記共通インク室から前
記圧力室へのインクの供給量のバランスを調節すること
ができ、安定したインクの吐出特性を実現できるキャビ
ティプレートを提供する。

【００５６】前記請求項７のインクジェットヘッドによ
れば、それぞれの部分をいずれも前記ショットブラスト
加工で形成するため、設備の共用が可能となりコストダ
ウンが図れる。また、前記ショットブラスト加工により
形成することから、広い範囲の材質よりキャビティプレ
ートを形成でき、加工速度が速く、しかも、微細な砥粒
を用いることにより精度の高い溝加工が可能となり、結
果、低コストで良好なインク吐出性能を有するインクジ
ェットヘッドが得られる。

【００５７】前記請求項８のインクジェットヘッドによ
れば、前記ノズルを前記圧力室と一体的に形成している
ことから、ノズルプレートが不要になるとともに、ノズ
ルプレートの接合工程が削除されるため、コスト、製造
工程を削減することができる。

【００５８】前記請求項９のインクジェットヘッドによ
れば、前記絞り部を設けることにより、前記ノズルから
のインクの吐出量と、前記共通インク室から前記圧力室
へのインクの供給量のバランスを調節することができ、
安定したインクの吐出特性を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態のインクジェットヘッドにお
ける圧力室の軸方向に沿って切断した縦断面図である。

【図２】インクジェットヘッドの構成及び動作の説明図
であり、（ａ）は図１のＸ−Ｘ’線における拡大縦断面
図であり、（ｂ）は駆動電圧印加時の動作説明図であ
る。

【図３】インクジェットヘッドの製造工程説明図であ
る。

【図４】インクジェットヘッドの製造工程説明図であ
る。

【図５】従来のインクジェットヘッドの断面図である。

【符号の説明】

１ インクジェットヘッド ３ 圧力室 ５ 共通インク室 ７ 絞り部 ９ ノズル １３ キャビティプレート ３１ レジストマスク ３３ レジストマスク ３５ レジストマスク

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッドを構成し、複数の
   圧力室と該圧力室の各々と連通する共通インク室とを少
   なくともなす２段階以上の深さを有する凹部が形成され
   たキャビティプレートの製造方法において、 前記キャビティプレートとなるワークに対して、形成す
   べき前記凹部各位の深さに応じて異なるパターンを有す
   る複数のレジストマスクを用意し、その各レジストマス
   クを介して前記ワークにショットブラスト加工を順次行
   うことにより前記凹部を形成することを特徴とするキャ
   ビティプレートの製造方法。
2. 【請求項２】 前記ショットブラスト加工は、前記レジ
   ストマスクを凹部のより深い部位を加工するためのレジ
   ストマスクから順に配して加工していくことを特徴とす
   る請求項１に記載のキャビティプレートの製造方法。
3. 【請求項３】 前記ショットブラスト加工は、前記レジ
   ストマスクを加工部領域が大きいレジストマスクから順
   に配して加工していくことを特徴とする請求項１に記載
   のキャビティプレートの製造方法。
4. 【請求項４】 前記ショットブラスト加工は、径が３〜
   １０μｍである微粒子を噴射するものであることを特徴
   とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載のキャビテ
   ィプレートの製造方法。
5. 【請求項５】 前記ショットブラスト加工において、前
   記凹部の前記圧力室と外部とを連通するノズルが形成さ
   れるようなパターンを有するマスクを用いることを特徴
   とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載のキャビテ
   ィプレートの製造方法。
6. 【請求項６】 前記ショットブラスト加工において、前
   記凹部の前記圧力室と前記共通インク室とを結ぶ連通路
   に相当する部位に、絞り部をなす段差が形成されるよう
   なパターンを有するマスクを用いることを特徴とする請
   求項１乃至５のいずれか１つに記載のキャビティプレー
   トの製造方法。
7. 【請求項７】 複数のノズルと、前記ノズルと連通する
   複数の圧力室と、前記圧力室のそれぞれに対応して設け
   られた吐出エネルギー発生手段と、前記各圧力室と連通
   し各圧力室にインクを供給する共通インク室とを有し、
   前記吐出エネルギー発生手段により前記圧力室内のイン
   クに圧力変動を与えて前記ノズルよりインク液滴を吐出
   することで記録を行うインクジェットヘッドにおいて、 ショットブラスト加工により形成された少なくとも前記
   圧力室と前記共通インク室とをなす少なくとも２つ以上
   の深さを呈する凹部を有するキャビティプレートを備え
   ることを特徴とするインクジェットヘッド。
8. 【請求項８】 前記凹部には、前記ショットブラスト加
   工により、前記ノズルをなす段部が形成されていること
   を特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド。
9. 【請求項９】 前記凹部の前記圧力室と前記共通インク
   室とを結ぶ連通路に相当する部位には、前記ショットブ
   ラスト加工により、絞り部をなす段部が形成されている
   ことを特徴とする請求項７または請求項８に記載のイン
   クジェットヘッド。