JPH03500681A - 粉末の回折検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 粉末の回折方法と装置 発ユ夏技街分肚 本発明は粉末状又はアモルファスの物質の回折パターンの検出及び記録、特に誘 導燐（ｓｔｉｍｕｌａｂｌｅ　ｐｈｏｓｐｈｏｒ）検出器を用いて前記回折パタ ーンを検出することに関する。

従来■鉄血 Ｘ線、ガンマ線や陰極線等の入射放射線による物質資料からの散乱が物質の原子 構造についての情報を与えるということは、よく知られている。放射線ビームが 試料にあたると、放射線の回折分布が生じ、その分布は入射放射線の波長、及び 物質の原子構造に依存する。以下の議論は限定的でない例として、Ｘ線の粉末回 折について述べる。

試料が配向性単結晶であれば、回折パターンは、結晶の逆格子投影に対応して、 一連の点より成る。試料の分子がランダムな方向に向いているならば（例えば、 多結晶質、アモルファス、粉末）、回折パターンは、入射ビームに対し同心であ る一連の円錐となり、その円錐の強度と角度は物質の構造の情報を示す。

粉末状物質による回折パターンの研究は一般に粉末回折と言われる。粉末回折検 出器の機能は、回折パターンの角度と強度を決定することである。

写真フィルムは粉末回折の検出に広く用いられている。フィルムがＸ線に露光さ れると、回折パターンの潜像が形成され、フィルムが現像されると、現像された 像の濃度は回折パターンにおけるＸ線強度の物損となる。もし平たいフィルムの ジートドがＸ線ビームに直角に置かれると、粉末回折パターンの像は一連の同心 円となる。９０°に近い、広い回折角を記録することが望まれることが多い。こ のことを達成するために、いわゆるデバイエ・シェーラー（Ｄｅｂｅｙｅ　−５ ｃｈｅｒｅｒ）カメラでは、帯状フィルムは円柱の軸が試料を通過するようにし た、ビームに交差する円柱の表面に置かれる。フィルムは、回折円の弧から成る 回折パターンの１部を記録する。フィルムは非常に良い空間分解能を有し広範囲 のパターンを記録できる一方、いくつかの欠点がある。フィルムは、フィルムに 入射するＸ線量子の小さなパーセントしか吸収しないため、また、フィルムは化 学的はこり（ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｆｏｇ）の形でかなり高いバックグランドノイ ズを有するために、フィルムは遅く即ち感度の良くないＸ線検出器なのである。

すなわち、良好な信号対ノイズ比で像を読取りできルタメニは、試料は高いＸ線 放射量を必要とする。フィルム使用の粉末回折システムにおいてフィルム感度を 増加させるために通常のＸ線強化スクリーンを使用出来るが、そのようなスクリ ーンで強度較正を維持することは困難である。フィルムは、典型的には２桁より 小さい、限られた範囲の露光性対濃度の線形性を有する。そのため、広く異なる 強度は、同一のフィルム片上には測定できない。また、不便にもフィルムは湿式 で化学的に処理されなければならない。更に、データを解析するために計算機を 利用するには、濃度をデジタルデータに変換するためにデンシトメータを用いて フィルムを走査しなければならず、これは時間を消耗する中間的工程となる。走 査は一般に、デバイエ・シェーラカメラにより作成された回折パターンの円弧部 分に対し垂直方向にフィルム面上で行われる。

電荷結合デバイス、ワイヤー比例カウンタやシンチレータ等、種々の電気的検出 器が粉末回折パターンを測定するために用いられてきた。そのような検出器は、 Ｘ線量子を効率的に吸収し、かつノイズも少なく、従ってフィルムよりも感度が よく、かつ直接的にデジタルの電気的データを作成する。しかしながら、電気的 検出器は通常、ある最大計数速度を有するため、デッドタイム損失なしに強い強 度を記録することはできない。また、それらは限られた大きさのため、同時に小 さな範囲しかカバーすることができない。完全な走査をするためには、電気的検 出器は、全範囲を次々とカバーするまで、移動されなければならず、結果的に露 光時間が増加する。最近、点の代りに直線に沿って量子の位置を測定する位置検 知検出器が利用されている。

そのような位置検知検出器もまた、範囲をカバーするために移動されなければな らない。

粉末回折の正確なデータの蓄積は、通常の装置を用いると多くの時間又は多くの 日数さえかかり、多くの試料を速やかに検査することが望まれる場合には、この ことは、厳しい制限となる。

Ｘ線強度を記録する他の技術は、誘導蓄積燐（ｓｔｉｍｕｌａｂｌｅｓｔｒｏｒ ａｇｅ　ｐｈｏｓｐｈｏｒｓ）に基づいている。そのような蓄積燐は、Ｘ線や陰 極線等の高エネルギーの放射線に露光される七、入射放射線の一部を蓄積する。

露光された燐が次に例えば可視光や熱のような誘導する放射線にさらされると、 燐は、始めの露光放射線の蓄積エネルギーに比例して放射線を放射する。そのよ うな誘導端から成るスクリーンは、文献（宮原等著、現代物理研究における原子 核装置と方法：　Ｊ、Ｍｉｙａｈａｒａ　ｅｔ　ａ＋、＋ＮｕｃｌｅａｒＩｎｓ ｔｒｕｍｅｎｔｓ　ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　ｉｎ　Ｍｏｄｅｒｎ　Ｐｈｙｓｉ ｏｓ　Ｒｅ５ｅｒａｃｈ）Ａ２４６（１９８６）　、　５７２−５７８）におい て、羊結晶試料からのχ線回折パターン検出にとり、感度及び露光の程度の非常 に望ましい性質を有するものとして議論されている。誘導端は入射量子を効率的 に吸収し、かつ非常に低いバックグランドノイズを有するための、写真フィルム より５〜５０倍感度がある。誘導燐Ｘ線イメージイングシステムは、０．１■の オーダの分解能を有し、また、広範囲の同時的積分強度に関し、実効的像検出素 子の数百万倍の広範囲フォーマントを作ることができ、計数速度も制限がない。

誘導信号は、少なくとも５桁に渡り放射露光性を線形に関係づける。しかしなが ら、誘導端を具備するＸ線回折装置は、フィルム感度に対する燐スクリーンの割 合しか、必要な露光量を改善するのみである。もっと大きな改善が望まれている 。

発皿■斐絢 本発明の目的は、フィルムに基づいた通常の粉末回折装置方法に比べ係数５０以 上改善された露光の減少をもたらすことのできる、誘導端検出器を具備した粉末 回折方法と装置を提供することである。

本発明の目的は、誘導端シートに２次元円対称粉末回折パターンの潜像を形成し 、２次元粉末回折パターンを表わす像信号の形で燐シートから像を読出し、かつ 、円対称回折パターンの中心より等距離の点の信号値を平均して２次元円対称回 折パターンにおける１次元半径方向成分の像信号を形成するべく粉末回折像信号 を処理する、ことにより達成される。

本発明の実施例において、誘導屑物質のシートは、先端の切られた（　ｔｒｕｎ ｃａ　ｔｅｄ）真円錐の形をしており、円錐軸は粉末試料への入射放射線ビーム とそろっており、粉末試料は円錐の底で画定される平面の近傍に置かれ、それに より９０°の角度に至るまで回折パターンを効率的に検出することができる。

本発明の他の実施例においては、底と底を整列させられた先端を切った２つの誘 導屑物質の円錐が、回折パターンの前方及び後方の両方の散乱部分を検出するた めに用いられる。

実施例において、円錐角は９０°であり、誘導屑物質は軸のまわりに円錐を回転 させて読取られ、その間、円錐の軸を通過する面で決る線に沿った誘導端を誘導 し、光のパターンを検出する。

２１Ｂ４庄用ヱ■先吸 “粉末回折”はランダムな構造を有する物質を照射することにより回折パターン を作成する方法に関する。粉末回折パターンは入射放射線ビームに一致する軸を もつ同心円的円錐である。

′“粉末にされた”′物質の例として、多数の小結晶より成る物質、多結晶質や アモルファス物質が含まれる。

誘導端シートを露光する粉末回折装置は一般的に第１図に示される。入射Ｘ線の ビームＡは、Ｘ線管１０によって作られ、板１２にあるアパーチャによって平行 化させる。ビームＡは試料ホルダー１６にある粉末試料１４にあたり、そして回 折された放射線は同心円的円錐１８のパターンになって試料から散乱する。散乱 角は入射ビームに対し前方（破線で示される）及び後方（連綿で示される）とが あり、ビームに垂直な方向まで達し得る。粉末試料の原子構造及びブラッグの回 折法則で決まる入射放射線の波長とによって定まる最小回折が存在する。この最 小値より小さい角度のデータを集めることは不要であり、検出器は回折されない ビーム（０°）又はこの最小角度より小さい角度のビームを記録する必要はない 。

本発明は、小さい角度の散乱、すなわち前方方向にかなり小さい円錐角度をもつ 回折パターン、を検出するのに通した実施態様をまず詳しく述べる。

第１図に示したように、誘導端シート２０は入射ビームＡに垂直に回折放射線の 通路に置かれる。シート２０に形成される潜像はビームＡを中心に同心円的環状 の円対称パターンである。誘導端シートは望ましくは、引用した宮原らの文献で 記述されたような誘導端より成るが、他の適当な誘導端でも用いることができる 。露光の後、誘導端シートは読取装置に運ばれ、回折パターンの潜像は誘導放射 線ビームを用い、誘導端シートを走査して読取られる。第２図に示されるように 、走査ステーションで誘導放射線ビームＢ（例えば、赤外線）が、例えばレーザ 源２２によって作られ、そして、それは誘導端シートを横切ってビームＢが走査 されるように偏光ミラー２４によって偏光される。

ビームＢは適当な光学系２６によって集光され、矢印Ｃで示される方向に誘導端 シート２０を横切って走査される。移動機構２８は偏光ビームの移動と垂直に矢 印りで示される方向に誘導端シート２０を移動させ、それにより誘導端シートの ラスター走査を実現する。誘導端シートからの誘導された蛍光の強度は検出され 、２次元粉末パターンを表わす信号を形成する。検出器は、光電子増倍管３０で 構成され、それは、誘導用放射線波長を除き誘導された光を通す光学フィルター ３２を通った光を受光する。光電子増倍管３０からの信号は電気的に増幅され、 増幅器３４によってフィルターをかけられ、アナログ・デジタル（Ａ／Ｄ）変換 器３６によってデジタル信号に変換される。信号は本発明に従ってデジタル計算 機３８で処理され、そして磁気テープやディスク４０のような記録媒体に記憶す ることができ、またＣＲＴ　４２やハードコピープリンターのようなディスプレ イ装置で表示することができる。

粉末回折像信号で表わされる各データ点は、粉末回折パターンの強度についての 情報をもたらすが、電気的源、量子統計、バックグランド放射線等からのノイズ のため、測定にはいくらかの不確定さも含まれる。データの信号対ノイズ比（Ｓ ＮＲ）は、露光時間が長くなることになるが、放射線の露光を増加することによ り、又はもっと強力なＸ線ビームを出すもっと高価なＸ線源を用いることにより 、通常改善できる。

本発明に従えば、信号のＳＮＲは、回折パターンの同一部分に対応するデータ点 を共に加えること、すなわち信号の平均化をすることにより、改善される。信号 処理は、ディジタル計算機３８で、円対称回折パターンの中心である入射ビーム より等距離にあるすべてのデータ点を共に平均することによりなされる。

この平均値は、任意の１点に比べより正確に、典型的には平均される点の数の平 方根に比例する量だけ、回折パターンの強度を正確に表わす。この平均値を使用 することにより、粉末回折の測定は少ない露光で精度高い結果を得ることができ る。処理された信号は回折パターンの中心からのある半径における平均強度を表 わし、それは回折角に対する強度に変換され、既知のリファレンスと比較するこ とで原子構造を同定するのに用いられる。最終的信号を作成するため回折パター ンの完全な円を与えることにより、信号対ノイズの比は検出データがすべて利用 されることになるため最適化される。

上で述べた方法は小さな角度の散乱に適する。装置の角度分解能を増すためには 、大きな角度で誘導端シート２０に対されなければならない。このことは、シー ト２０を試料２０に接近させるか又はシートの大きさを増加するか、して達成さ れる。前者の解は、試料に接近させた場合シートの一定の分解能がより大きな角 度に対するため、角度分解能は減少し、後者の解は読み取り装置中により大きな 走査スクリーン面積が必要となる。いずれの解も、入射ビームに対し９０°の角 度でデータは制限される。

そのため、本発明の実施例に依り、蓄積燐シート２０は先端の切られた円錐面の 形にされ、円錐の軸が放射ビームＡと一敗するように置かれる。第３図は、その ような円錐検出器の断面図である。上記のように配置された円錐検出器を用いて 、回折パターンの円錐は蓄積燐表面を横切り、試料から種々の距離に検出器軸に 垂直な円より成る潜像が形成される。この円錐の収集器の形状は、分解能を失う ことなく、また信号生成のため走査されるスクリーン面積の増加を最小にして、 ９０′以上の角度まで回折放射線を記録することができる。前方及び反射の再散 乱を捕えるために、誘導端シート物質の２個の円錐２０及び２０′が、第４図に 示されるように試料１′４の両側に配置される。第５図に示されるように、円錐 検査器は円錐支持体４６の内部を誘導端でコーティングされて形成される。第６ 図に示されるように、誘導端物質の曲げ可能なシート５０から環４８が代りに切 取られる。

環の切片５２を取除き、端部５４を結合させ、切取られた円錐を形成する。この 円錐の物質は、第５図に示されるホルダー４６と似たホルダーに保持される。表 面積を最小にしつつ高分解能を維持するために、円錐の角度は９０°が好適であ る。

露光の後、円錐検出器における誘導端シートに形成された潜像は、いくつかの方 法で読取ることができる。曲げ可能なシートを用いた場合は、シートをはずし平 たく置き、第２図に示されるような平たいベッド型のスキャナーで走査される。

代りに、第７図に示されるように回転テーブル５５の中心５７と回折パターンの 中心を一致しており、その回転テーブル５５上に誘導端物質の平たい環切片４８ が置かれる。誘導端シートは１つの半径ラインに渡り同時に誘導される一方、回 転テーブル５５は回転する。

上述したように、回折パターンの中心から等距離の各点のまわりで信号を平均化 され信号処理される。

第８図に示されるように、円錐軸を含む平面と円錐表面との交差によって表わさ れる線区分に従う円錐２０の表面を誘導ビームＢを偏光させることにより円錐検 出器が直接的に走査される。

誘導放射は、光検出器５６によって検出される。各々の線分を走査した後、円錐 保持体４６はその軸のまわりに回転され、走査のための新しい線区分があられれ る。各線区分の対応する位置からの信号は、上記したように処理された回折パタ ーン信号にするために共に平均化される。

光検出器５６の実施例が第９図に示されている。光検出器は鏡の箱の光収集器６ ０及び光電子増倍管６２とを含む。光電子増倍管６２は２．５　Ｘ７．５■の長 方形の受光面を有し、浜松フォトニクスから購入したＮｏ、１６１２の型である 。鏡の箱６０は、一端に楕円反射鏡６４を有した斜きのある長方形の鏡の箱であ る。光検出器５６の断面図は第１０図に示される。光収集器６０は、誘導放射線 ビームを燐物質表面へ通過させるスリット６６と放射された光を収集するための スリット６８とを有する。光検出器は、誘導させる放射線を吸収し、放射された 放射線を通過させるフィルター７０を有する。

実施例においては、誘導端物質の切り取られた円錐は、角度αは９０°、底の直 径１４ｃｍ及び高さ１１ｃｍである真円錐である。

止−校一拠 １、粉末試料ＡｆＯが半径５．６５ｃｍのデバイエ・シェーク−カメラ中に置か れ、４０ｋＶ、　２５ｍＡのＣｕＫ線からのＸ線ビームで露光された。３５ｍｍ の写真フィルムを用い２時間行った。フィルムは現像され、回折パターンに垂直 な方向に走査されて１次元回折パターンを得る。回折パターンは、８８の信号対 ノイズの比を有し、それは、ベースラインを決めてピークに対し測定され、ピー クにおける面積を測定し、ベースラインの標準偏差で割ったものである。

２・デバイエ・シエーラーカメラを宮原等の文献で開示された誘導端物質のシー トに置換し、第１図に示されるように配置し・１分間Ｘ線ビームで露光した。誘 導端シートは第２図に示される型の平たいペッドスキャナ中で読取られ、信号は ディジタル化された。回折パターンの半径に沿ったｌ走査による信号は走査デー タから抜き取られた。信号対ノイズの比は上記したように約３だった。

３、例２における全体の信号は、本発明に従って、回折パターンの中心点から等 距離のすべての点の平均を表わすことになるように、処理される。信号処理は一 般用プログラムディジタル計算機によって行われた。フォートラン言語で書かれ た信号処理用計算機プログラムは、付録Ａにある。結果として、１次元回折パタ ーンは、上記したように計算して、信号対ノイズの比が１６２であった。対応す る露光性及び比較例における信号対ノイズの比に基づき、５０から２５０の間の 係数だけ本発明の方法及び装置によって露光を減少させることができる。

工業ｍ息足立科益 本発明は、粉末回折に有用であり、従来の方法及び装置よりも低い露光でより高 い信号対ノイズの比をもつ粉末回折を発生させる利益を有する。

討］ｊｌ ＣＰＲＯＧＲＡＭ　Ｔｏ　ＡＶＥＲＡＧＥ　ｌ’１ＸＥＬｓ　ＡＳ　ＦＵＮＣＴ ＩＯＮ　ＯＦ　ＲＡＤＩＵＳＦＲＯＭ　０ＲＩＧＩＮ ＣＩＶＣ，ＩＸＣａｒｅ　ｃｅｎｔｅｒ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏ ｎ　ｐａｔｔｅｒｎＲＥＡＤ　ＦＲＯＭ　ＤＩＳＫ Ｄｏ　１４００　Ｋ＝１．Ｎｐ１ｘ Ｒ−（１，ＩＮ−ＩＹｃ）”２＋（ＰＩＸＳＴＲ＋に−１−ＩＸＣ）’″＊２Ｒ ＝　５ＱＲＴ　（Ｒ） ＩＲ＝ＩＮＴ（Ｒ） ＤＲ＝　Ｒ−ＩＮＴ　（Ｒ） １４００　Ｃｏｎｔｉｎｕｅ １６００　Ｃ０ＮＴＩＮＵＥ ＣＡｖｅｒａｇｅ　ｄａｔａ Ｃ０ＵＴＰＵＴ　ＮＯＲＭＡＬＩＺＥＤ　ＲＥＳＵＬＴＳ２３００　Ｃｏｎｔｉ ｎｕｅ ｎｄ ＦＩＧ、　２ ＦＩＧ、　９ 補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の８） 平成　２年　４月７２日 □：’Ｆ’Ｊ？！−ｉ　カ、Ｂえツ　ウ　■１、特許出願の表示 ＰＣＴ／ＵＳ８７１０２６６９ ２、発明の名称 粉末の回折方法と装置 ３、特許出願人 住　所　アメリカ合衆国ニューヨーク州１４６５０．　ロチニスター市ステート ・ストリート　３４３　・ 名称　イーストマン・コダック・カンパニー４、代理人 住　所　東京都千代田区大手町二丁目２番１号新大手町ビル　２０６区 ５、補正書の提出日 請求の範囲 １、ａ、入射放射線ビームを発生させる手段と、ｂ、　同心円的円錐より成る粉 末回折パターンを作るため前記ビーム中に粉末試料を設置する手段と、Ｃ０誘導 性の燐物質シートと、 ｄ、前記ビームのまわりに中心のある２次元円対称の回折パターン潜像を作成す るため、回折した放射線を受けるための誘導燐シートを設置する手段と、ｅ、２ 次元回折パターンを表わす像の信号を作成するため、誘導燐シートから潜像を読 取る手段と、ｆ、　回折パターンの中心から等距離の点における回折パターンの 平均を表わす像信号を作成するために前記信号に応答して信号を処理する手段と 、 から成ることを特徴とする粉末回折装置Ｑ２、潜像を読取る前記手段は、 誘導放射線を発生する手段と、 円対称の潜像パターンの半径に沿って誘導放射線ビームを走査する手段と、 前記半径に沿った放射された放射線の強度を表わす電気的信号を作成するために 、誘導燐から放射された放射線を収集しかつ検出する手段と、 及び前記誘導燐物質シートと前記の走査及び収集の手段との間を、円対称の前記 潜像の中心のまわりに相対的回転をさせる手段と、 から成ることを特徴とする請求項１に記載された装置。

３、前記誘導燐シートは、 前記ビームと一敗する円錐軸を有する切り取られた円錐の形状をなし、前記試料 は前記円錐の底で決まる平面の近傍に設置される、 ことを特徴とする請求項１に記載された装置。

４、前記切り取られた円錐は、 円錐角は９０’、底の半径は１４　ｃｒｎ　％高さは１１　ｃｒｎである真円錐 である、 ことを特徴とする請求項３に記載される装置。

５、第２の切り取られた円錐の形状をした第２の誘導燐物質シートを更に含み、 その円錐軸はビームに一致しその底は、前記第１の円錐の底に近接するように設 置されている、ことを特徴とする請求項３に記載された装置。

６、前記誘導物質は、 Ｘ線に感知して潜像を形成し、 赤外線に感知して可視光を潜像から放出し、前記入射放射線はＸ線であり、 前記誘導放射線は赤外線であり、 前記の収集及び検出の手段は、可視光を検出すること、であることを特徴とする 請求項２に記載された装置。

７、ａ、入射放射線ビームを発生させる手段と、ｂ、　粉末回折を形成させるた めに、ビーム中に粉末試料を設置する段階と、 Ｃ１前記ビーム上に中心のある２次元円対称の潜像を形成するような回折パター ンを検出するために、誘導燐物質シートを設置する段階と、 ｄ、２次元回折パターン像を表わす信号を作成するために、誘導燐物質から潜像 を読取る段階と、 ｅ、　前記信号を処理し、前記パターンの中心から等距離の点における回折パタ ーンの強度を平均化することにより得られる、前記２次元像のうちの１次元の半 径部分を表わす信号を作る段階と、 から成る、粉末回折方法。

国際調査報告 □”゛パ“６”ＩＩ　Ａｅｏｌ＜”′□°ｎ　Ｎ６゜ｍ”／＋４＜Ｒ７／ｎ２６ ６’

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. １．ａ．入射放射線ビーム発生手段と、ｂ．同心円的円錐に回折された放射線か ら成る粉末パターンを作るために、前記ビーム中に粉末試料を設置する手段と、 ｃ．前記ビームのまわりに中心のある２次元円対称の回折パターン潜像を発生さ せるための、回折された放射線を受ける誘導燐物質のシートと、 ｄ．２次元回折パターンを表わす像信号を作成するための、誘導燐シートからの 潜像を読取る手段と、ｅ．回折パターンの中心から等距離の点における回折パタ ーンの平均を表わすように処理された像信号を作成するための、前記像信号に応 答する信号処理手段と、からなる粉末回折装置。
2. ２．潜像を読取る手段が、 誘導放射線の発生手段と、 円対称の潜像パターンの半径方向に誘導放射線ビームを走査する手段と、 前記半径方向に放射された放射線の強度を表わす電気信号を作成するために誘導 燐から放射された放射線を収集し検出する手段と、 誘導燐物質のシートと前記の走査及び収集の手段との間を円対称の前記潜像の中 心のまわりに相対的回転させる手段と、から成る、 ことを特徴とする、請求項１に記載された装置。
3. ３．誘導燐物質の前記シートが、前記ビームに一致する円錐軸を持つ先端の切ら れた円錐の形に形成され、前記円錐の底で決まる平面近傍に前記試料が配置され ることを特徴とする、請求項１に記載された装置。
4. ４．先端の切られた円錐は、円錐角９０°、底の半径１４ｃｍ、高さ１１ｃｍで ある真円状円錐であることを特徴とする、請求項３に記載された装置。
5. ５．先端の切られた円錐の形状をした第２の誘導燐シートを含み、そのシートは 、円錐軸がビームに一致し底は前記第１の円錐の底に隣接して配置されているこ とを特徴とする、請求項３に記載された装置。
6. ６．前記誘導燐物質は、Ｘ線を感知して潜像を形成し、かつ、赤外線を感知して その潜像を可視光で放出し、また、前記入射放射線はＸ線であり、前記誘導する 放射線は赤外線であり、収集及び検出の前記手段は可視光を収集及び検出するこ とである、ことを特徴とする、 請求項２に記載された装置。
7. ７．ａ．入射放射線ビームを発生させる段階と、ｂ．粉末回折パターンを形成す るようにビーム中に粉末試料を設置する段階と、 ｃ．前記ビームを中心とする円対称２次元の潜像を形成するために誘導燐物質シ ートを用いて粉末回折パターンを検出する段階と、 ｄ．２次元回折パターン像を表わす信号を作成するために誘導燐物質から潜像を 読取る段階と、 ｅ．及び、前記信号を処理し、前記パターンの中心から等距離における回折パタ ーンの強度を平均化して得られる、前記２次元像の１次元半径部分を表わす信号 であるように処理された信号を作成する段階と、 から成る、粉末回折方法。