JPH0350127A - 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 - Google Patents
光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学機器に使用されるレンズ、プリズム等の
高精度光学ガラス素子を超精密ガラス成形法により形成
する光学ガラス素子成形用型の作製方法および光学ガラ
ス素子の製造方法に関するものである。
高精度光学ガラス素子を超精密ガラス成形法により形成
する光学ガラス素子成形用型の作製方法および光学ガラ
ス素子の製造方法に関するものである。
従来の技術
近年、高精度光学レンズ、特に非球面ガラスレンズ等の
製造法として、光学研磨法を用いず、研磨工程なしの一
発成形により、形成する試みが多くなされ、具現化され
つつある。その成形法の一つとして、ガラス素材を変形
可能な温度、例えば、軟化点近傍の温度に加熱し、押圧
成形等の手段を用いて成形する方法がある。これらの成
形で用いられる光学ガラス素子成形用型には非常に高精
度な面形状、品質が要求されている。この成形用型には
高温度のもとてガラスに対して化学的に不活性であるこ
と、型のガラスプレス面が十分硬く擦傷等の損傷を受け
にくいこと、また高温度でのプレスで型が塑性変形を起
こさないこと、耐熱性。
製造法として、光学研磨法を用いず、研磨工程なしの一
発成形により、形成する試みが多くなされ、具現化され
つつある。その成形法の一つとして、ガラス素材を変形
可能な温度、例えば、軟化点近傍の温度に加熱し、押圧
成形等の手段を用いて成形する方法がある。これらの成
形で用いられる光学ガラス素子成形用型には非常に高精
度な面形状、品質が要求されている。この成形用型には
高温度のもとてガラスに対して化学的に不活性であるこ
と、型のガラスプレス面が十分硬く擦傷等の損傷を受け
にくいこと、また高温度でのプレスで型が塑性変形を起
こさないこと、耐熱性。
耐熱衝撃性に優れていること、さらに型の加工性がよく
、精密加工が可能なこと等が必要である。
、精密加工が可能なこと等が必要である。
この目的を達成するために、例えばシリコンカーバイド
、シリコンナイトライドを用いたプレス成形用型（特開
昭５２−４５６１３号公報）やタングステンカーバイド
、サーメット、ジルコニアを母材とし、この母材上に貴
金属合金膜を形成して構成したプレス成形用型等が提案
されており、種々の検討が行われている。
、シリコンナイトライドを用いたプレス成形用型（特開
昭５２−４５６１３号公報）やタングステンカーバイド
、サーメット、ジルコニアを母材とし、この母材上に貴
金属合金膜を形成して構成したプレス成形用型等が提案
されており、種々の検討が行われている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら前述したような成形用型、例えばシリコン
カーバイド、シリコンナイトライド、タングステンカー
バイド、ジルコニア、サーメットおよび貴金属合金膜を
所望の面形状に仕上げるにはダイヤモンド砥石による研
削加工を用いて仕上げることになる。しかし、前記のよ
うな構成の成形型では材料の硬度は極めて硬いためダイ
ヤモンド砥石の摩耗が激しく高精度な加工が困難で、要
求精度を満たすのに非常に長い時間を要する。例えば、
大口径の成形型の加工の場合摩耗量を確認しながら加工
しなければ精度を満たさない。さらに−個の砥石での成
形型加工面数が少ない。また、小口径の場合では曲率半
径が極めて小さいと加工可能なダイヤモンド砥石がない
。このように加工制限により作成できる金型形状の範囲
が狭いうえ加工時間等が長く成形型は非常に高価なもの
となっていた。加工性のみを考慮した材料を用いれば加
工時間は短縮され、形状精度の良い型ができるが型寿命
が短いという問題が生じる。さらに充分な面形状を加工
するのが困難なため前記の成形型で成形された光学ガラ
ス素子の性能は充分なものでなかった。
カーバイド、シリコンナイトライド、タングステンカー
バイド、ジルコニア、サーメットおよび貴金属合金膜を
所望の面形状に仕上げるにはダイヤモンド砥石による研
削加工を用いて仕上げることになる。しかし、前記のよ
うな構成の成形型では材料の硬度は極めて硬いためダイ
ヤモンド砥石の摩耗が激しく高精度な加工が困難で、要
求精度を満たすのに非常に長い時間を要する。例えば、
大口径の成形型の加工の場合摩耗量を確認しながら加工
しなければ精度を満たさない。さらに−個の砥石での成
形型加工面数が少ない。また、小口径の場合では曲率半
径が極めて小さいと加工可能なダイヤモンド砥石がない
。このように加工制限により作成できる金型形状の範囲
が狭いうえ加工時間等が長く成形型は非常に高価なもの
となっていた。加工性のみを考慮した材料を用いれば加
工時間は短縮され、形状精度の良い型ができるが型寿命
が短いという問題が生じる。さらに充分な面形状を加工
するのが困難なため前記の成形型で成形された光学ガラ
ス素子の性能は充分なものでなかった。
課題を解決するための手段
本発明は上記問題点を解決するため、成形用型の母材と
して、炭化タングステンを主成分とした超硬合金、また
は炭化チタン、窒化チタン、炭化クロムまたはアルミナ
を主成分とするサーメットを用い、研削によりこれら母
材を所望する形状に近い状態に加工した後、前記母材上
に研削、切削加工性に優れ、高融点で化学的に安定なニ
ッケル金属、ニッケルーリンを主成分とする合金または
、ニッケルーホウ素を主成分とする合金を中間層として
形成し、所望する形状に切削加工もしくは研削加工によ
って精密に加工した後、該中間層上に保護膜として、金
属窒化物、金属棚化物、金属炭化物、イリジウム−タン
グステン合金、ルテニウム−タングステン合金、イリジ
ウム−タンタル合金、イリジウム−レニウム合金、ある
いはルテニウム−レニウム合金膜を形成して光学ガラス
素子成形用型を作製する手段を用いるものである。
して、炭化タングステンを主成分とした超硬合金、また
は炭化チタン、窒化チタン、炭化クロムまたはアルミナ
を主成分とするサーメットを用い、研削によりこれら母
材を所望する形状に近い状態に加工した後、前記母材上
に研削、切削加工性に優れ、高融点で化学的に安定なニ
ッケル金属、ニッケルーリンを主成分とする合金または
、ニッケルーホウ素を主成分とする合金を中間層として
形成し、所望する形状に切削加工もしくは研削加工によ
って精密に加工した後、該中間層上に保護膜として、金
属窒化物、金属棚化物、金属炭化物、イリジウム−タン
グステン合金、ルテニウム−タングステン合金、イリジ
ウム−タンタル合金、イリジウム−レニウム合金、ある
いはルテニウム−レニウム合金膜を形成して光学ガラス
素子成形用型を作製する手段を用いるものである。
作用
本発明は上述した手段により、研削、切削加工性に優れ
た中間層を備えたため、高精度な面形状を容易に得るこ
とが可能となった。また、極めて硬い材質を加工する必
要がないため、ダイヤモンドバイトや砥石の摩耗がほと
んどなく、ダイヤモンドバイト砥石の寿命も長くなり大
口径の成形型を一つのバイト及び砥石で数多く作成でき
るようになった。また、ダイヤモンドバイトによる切削
加工が可能になったため小曲率半径の成形型の加工もで
き加工範囲も広がった。さらに、母材２保護膜は、面品
質、耐熱、耐衝撃性が優れた材質を用いていることから
、良好な加工性と成形型寿命を兼ね備えた成形型が容易
に作成でき、その型でプレス成形すると高精度な面形状
を有した安価な光学ガラス素子を得ることが可能となっ
た。
た中間層を備えたため、高精度な面形状を容易に得るこ
とが可能となった。また、極めて硬い材質を加工する必
要がないため、ダイヤモンドバイトや砥石の摩耗がほと
んどなく、ダイヤモンドバイト砥石の寿命も長くなり大
口径の成形型を一つのバイト及び砥石で数多く作成でき
るようになった。また、ダイヤモンドバイトによる切削
加工が可能になったため小曲率半径の成形型の加工もで
き加工範囲も広がった。さらに、母材２保護膜は、面品
質、耐熱、耐衝撃性が優れた材質を用いていることから
、良好な加工性と成形型寿命を兼ね備えた成形型が容易
に作成でき、その型でプレス成形すると高精度な面形状
を有した安価な光学ガラス素子を得ることが可能となっ
た。
実施例
以下本発明の一実施例の光学ガラス素子成形用型の作製
方法及び光学ガラス素子の製造方法について図面９表を
参照しながら説明する。
方法及び光学ガラス素子の製造方法について図面９表を
参照しながら説明する。
先ず最初に中間層として用いる材料の加工性の実験を行
った。実験では各種材料を直径８圓、曲率半径７．５１
１ＩＩｎの凹形状に仕上げることとした。材料によって
前記のような大きさの物が得られないのでそれらは母材
に超硬合金を用い所望の形状に近い形状にした後、母材
上に材料を形成し加工を行うこととした。加工方法とし
ては、ダイヤモンドバイトを用いた切削加工とダイヤモ
ンド砥石を用いた研削加工を各種材料で行い、評価方法
は干渉計を用いて表面形状の測定を行いその加工精度に
より加工性をｌｉ！認した。実験結果を表１に示す。
った。実験では各種材料を直径８圓、曲率半径７．５１
１ＩＩｎの凹形状に仕上げることとした。材料によって
前記のような大きさの物が得られないのでそれらは母材
に超硬合金を用い所望の形状に近い形状にした後、母材
上に材料を形成し加工を行うこととした。加工方法とし
ては、ダイヤモンドバイトを用いた切削加工とダイヤモ
ンド砥石を用いた研削加工を各種材料で行い、評価方法
は干渉計を用いて表面形状の測定を行いその加工精度に
より加工性をｌｉ！認した。実験結果を表１に示す。
表１．各種材料 加工性実験結果
実験結果よりニッケル、ニッケルーリン合金、ニッケル
ーホウ素合金は切削が可能で且つ加工精度も良好なもの
が得られた。その他の材料は切削加工は極めて硬度が硬
いためダイヤモンドバイトの摩耗が瞬時にして起こり加
工不可能であった。
ーホウ素合金は切削が可能で且つ加工精度も良好なもの
が得られた。その他の材料は切削加工は極めて硬度が硬
いためダイヤモンドバイトの摩耗が瞬時にして起こり加
工不可能であった。
また、研削加工でも同様に摩耗が生じており、非常に多
くの時間を要する。加工後の面形状も充分なものではな
い。
くの時間を要する。加工後の面形状も充分なものではな
い。
次に母材に超硬合金を用い、その上にニッケルを形成し
た型表面を連続して切削加工した場合の表面形状と、超
硬合金上にイリジウム−タングステン合金を形成した後
連続して研削加工を行った場合の表面形状の推移を確認
する実験を行った。
た型表面を連続して切削加工した場合の表面形状と、超
硬合金上にイリジウム−タングステン合金を形成した後
連続して研削加工を行った場合の表面形状の推移を確認
する実験を行った。
作成した型の形状は直径４２胴１曲率半径１８．３ｍｍ
の凹形状になるように母材を予め近い形状に加工を施し
てから行った。結果を表２に示す。
の凹形状になるように母材を予め近い形状に加工を施し
てから行った。結果を表２に示す。
表２．ニッケル及びイリジウム−タングステン合金の連
続加工実験結果＊単位（λ） ニッケル表面を加工した場合、高精度に面形状を得る事
ができる上、ダイヤモンド砥石の摩耗がな（、多くの成
形面を作成できることが分かる。
続加工実験結果＊単位（λ） ニッケル表面を加工した場合、高精度に面形状を得る事
ができる上、ダイヤモンド砥石の摩耗がな（、多くの成
形面を作成できることが分かる。
一方、イリジウム−タングステン合金膜の加工では１個
目の型こそ精度を満たしているが、加工数が増す事に精
度が悪くなり、５個目には加工ができなくなってしまっ
た。
目の型こそ精度を満たしているが、加工数が増す事に精
度が悪くなり、５個目には加工ができなくなってしまっ
た。
表１９表２からも分かるように本発明で中間層として用
いるニッケル、ニッケルーリン合金、ニッケルーホウ素
合金は加工性がよく、ダイヤモンドバイトの摩耗がなく
寿命が長いことが実験より確認できた。また、加工時間
も他の材料と比較して大幅に短縮できる。上記材質であ
れば、大口径の型も一つのダイヤモンドバイトで多数の
成形型面を高精度で加工できる。また、切削加工では研
削加工に比ベダイヤモンドバイトの加工先端半径が小さ
くでき、曲率半径の小さな面を有する型の加工もでき加
工範囲が大きく広がる。ここでは記載しなかったがニッ
ケル、ニッケルーリン合金、ニッケルーホウ素合金と同
様以上の加工性と高融点で化学的に安定なニッケルーリ
ンを主成分とする合金、ニッケルーホウ素を主成分とす
る合金を用いても問題はない。
いるニッケル、ニッケルーリン合金、ニッケルーホウ素
合金は加工性がよく、ダイヤモンドバイトの摩耗がなく
寿命が長いことが実験より確認できた。また、加工時間
も他の材料と比較して大幅に短縮できる。上記材質であ
れば、大口径の型も一つのダイヤモンドバイトで多数の
成形型面を高精度で加工できる。また、切削加工では研
削加工に比ベダイヤモンドバイトの加工先端半径が小さ
くでき、曲率半径の小さな面を有する型の加工もでき加
工範囲が大きく広がる。ここでは記載しなかったがニッ
ケル、ニッケルーリン合金、ニッケルーホウ素合金と同
様以上の加工性と高融点で化学的に安定なニッケルーリ
ンを主成分とする合金、ニッケルーホウ素を主成分とす
る合金を用いても問題はない。
次に本発明の成形用型の作製方法と光学ガラス素子の製
造方法について説明する。
造方法について説明する。
第１図は本発明の成形用型の作製方法の工程概略図であ
る。１は母材、２は中間層、３は保護膜である。
る。１は母材、２は中間層、３は保護膜である。
直径３０ｍｍ、厚さ６ｆｆＩ１１の超硬合金、サーメッ
トを曲率半径１４１および２０閣の凹面形状の上成形型
、下成形型からなる一対の成形型の母材として研削によ
り粗加工を施し、最終形状からのズレ量１０μｍ以下に
した。第１図（ａ）に示す。次にこれらの母材上にニッ
ケル、ニッケルーリンを主成分とする合金、ニッケルー
ホウ素を主成分とする合金のいずれかを中間層としてイ
オンブレーティング法により厚さ１５μｍ形成した。第
１図（ｂ）に示す。その後、ダイヤモンドバイトによる
切削加工により高精度に所望の形状に仕上げた。第１図
（Ｃ）に示す。
トを曲率半径１４１および２０閣の凹面形状の上成形型
、下成形型からなる一対の成形型の母材として研削によ
り粗加工を施し、最終形状からのズレ量１０μｍ以下に
した。第１図（ａ）に示す。次にこれらの母材上にニッ
ケル、ニッケルーリンを主成分とする合金、ニッケルー
ホウ素を主成分とする合金のいずれかを中間層としてイ
オンブレーティング法により厚さ１５μｍ形成した。第
１図（ｂ）に示す。その後、ダイヤモンドバイトによる
切削加工により高精度に所望の形状に仕上げた。第１図
（Ｃ）に示す。
最後に前記中間層上に金属窒化物、金属炭化物、金属棚
化物またはイリジウム−タングステン合金、ルテニウム
−タングステン合金、イリジウム−タンタル合金、イリ
ジウム−レニウム合金、あるいはルテニウム−レニウム
合金を成膜した。第１図（ｄ）に示す、いずれの成形型
においても光学ガラス素子に必要な形状精度（ＲＭ３０
．０４λ以下）を容易に達成した。以上のように切削加
工の容易な中間層を設けることにより、極めて硬い材質
を加工する必要なく、加工時間が大幅に短縮され、かつ
高精度の面形状を有した成形用型が安価に作成できる。
化物またはイリジウム−タングステン合金、ルテニウム
−タングステン合金、イリジウム−タンタル合金、イリ
ジウム−レニウム合金、あるいはルテニウム−レニウム
合金を成膜した。第１図（ｄ）に示す、いずれの成形型
においても光学ガラス素子に必要な形状精度（ＲＭ３０
．０４λ以下）を容易に達成した。以上のように切削加
工の容易な中間層を設けることにより、極めて硬い材質
を加工する必要なく、加工時間が大幅に短縮され、かつ
高精度の面形状を有した成形用型が安価に作成できる。
言うまでもないが、中間層、保護膜の形成方法はスパッ
タ法や、イオンブレーティング法以外の方法で形成して
も問題ない。
タ法や、イオンブレーティング法以外の方法で形成して
も問題ない。
これら上下一対の成形型をプレスマシンにセットした状
態を第２図に示す、４は上成形型、５は下成形型、６は
上成形型用加熱ヒータ、７は下成形型用加熱ヒータ、８
は上成形型用加圧機構、９は下成形型用加圧機構、１０
は供給ガラス、１１はガラス供給用治具、１２はプレス
成形された光学ガラス素子の取り出し口、１３は供給ガ
ラスの予備加熱炉、１４はチャンバーである。
態を第２図に示す、４は上成形型、５は下成形型、６は
上成形型用加熱ヒータ、７は下成形型用加熱ヒータ、８
は上成形型用加圧機構、９は下成形型用加圧機構、１０
は供給ガラス、１１はガラス供給用治具、１２はプレス
成形された光学ガラス素子の取り出し口、１３は供給ガ
ラスの予備加熱炉、１４はチャンバーである。
プレス実験では酸化鉛（Ｐｂ０）を７０重量％、シリカ
（ＳｉＯ□）を２７重量％、及び残りが微量成分からな
る酸化鉛系光学ガラスを半径１０ｍｍの球形状に加工し
た硝材７を予備加熱路１０で加熱した後、５５０°Ｃに
保持された上下の型４．５の下型５の上におき、窒素ガ
ス雰囲気中で上型４でプレス圧５ｋｇ／ｍｍ”をかけ、
硝材を変形させる。変形終了後、上型、下型、硝材を３
８０°Ｃまで冷却する。
（ＳｉＯ□）を２７重量％、及び残りが微量成分からな
る酸化鉛系光学ガラスを半径１０ｍｍの球形状に加工し
た硝材７を予備加熱路１０で加熱した後、５５０°Ｃに
保持された上下の型４．５の下型５の上におき、窒素ガ
ス雰囲気中で上型４でプレス圧５ｋｇ／ｍｍ”をかけ、
硝材を変形させる。変形終了後、上型、下型、硝材を３
８０°Ｃまで冷却する。
そして、取り出し口１２より成形された光学ガラス素子
を取り出し、常温まで冷却する。以上のような成形工程
を各材質の成形型で５０００回繰り返した後、型４，５
をプレスマシンから取り外し、型表面の形状精度２表面
粗さを測定し型の優劣を評価した。
を取り出し、常温まで冷却する。以上のような成形工程
を各材質の成形型で５０００回繰り返した後、型４，５
をプレスマシンから取り外し、型表面の形状精度２表面
粗さを測定し型の優劣を評価した。
母材に超硬合金を用い、中間層としてニッケル、ニッケ
ルーリン合金を形成した後、中間層上に金属窒化物、金
属炭化物、金属棚化物、その他の合金を形成して構成し
た成形型のプレス成形後の評価結果を表３に示す。
ルーリン合金を形成した後、中間層上に金属窒化物、金
属炭化物、金属棚化物、その他の合金を形成して構成し
た成形型のプレス成形後の評価結果を表３に示す。
表３．母材を超硬合金とした時の各構成の成形型のプレ
ス評（Ｓ青果＊表の０４！、 ！（ＩＩ、形状変化等が
ないことを示す。
ス評（Ｓ青果＊表の０４！、 ！（ＩＩ、形状変化等が
ないことを示す。
いずれの構成の成形型においても５０００回の成形後、
型に表面荒れや形状の変化は見られなかった。
型に表面荒れや形状の変化は見られなかった。
母材と中間層と保護膜の接着性は良好で成形による膜の
剥離はなかった。また、各保護膜ともガラスとの反応も
見られない。光学ガラス素子成形用型として充分な寿命
を持っていると言える。また、成形された光学ガラス素
子の形状も型形状を良好に転写しており光学ガラス素子
性能を充分に満たしている。実施例では中間層をニッケ
ル、ニッケルーリン合金及びニッケルーホウ素合金であ
ったがニッケルーリンを主成分とする合金、ニッケルー
ホウ素を主成分とする合金の中間層を設けても問題はな
い。
剥離はなかった。また、各保護膜ともガラスとの反応も
見られない。光学ガラス素子成形用型として充分な寿命
を持っていると言える。また、成形された光学ガラス素
子の形状も型形状を良好に転写しており光学ガラス素子
性能を充分に満たしている。実施例では中間層をニッケ
ル、ニッケルーリン合金及びニッケルーホウ素合金であ
ったがニッケルーリンを主成分とする合金、ニッケルー
ホウ素を主成分とする合金の中間層を設けても問題はな
い。
発明の効果
以上のように本発明の光学ガラス素子成形用型の作製方
法は極めて硬い材質である母材、保護膜を加工する必要
なく、加工性の良い中間層を用いる事でダイヤモンドバ
イトの加工寿命を延ばす事が可能で、良好な面形状を備
えた型が短時間で容易に作成できる。切削加工が可能で
あるため曲率半径の小さな成形型の作製が可能であり、
ダイヤモンドバイトの摩耗がほとんど生じないので大口
径の成形型の作製も容易で、多種多様の形状を持った成
形用型が作成できる。これにより成形される光学ガラス
素子の形状や種類も大幅に増加する。
法は極めて硬い材質である母材、保護膜を加工する必要
なく、加工性の良い中間層を用いる事でダイヤモンドバ
イトの加工寿命を延ばす事が可能で、良好な面形状を備
えた型が短時間で容易に作成できる。切削加工が可能で
あるため曲率半径の小さな成形型の作製が可能であり、
ダイヤモンドバイトの摩耗がほとんど生じないので大口
径の成形型の作製も容易で、多種多様の形状を持った成
形用型が作成できる。これにより成形される光学ガラス
素子の形状や種類も大幅に増加する。
さらに高精度な成形面を備えた本発明の成形型で成形さ
れた光学ガラス素子は従来よりも光学性能の向上した安
価な光学ガラス素子となる。また、母材及び保護膜には
耐熱性、耐衝撃性など優れた材質を用いたため型寿命も
長寿命であり、連続した成形にも充分に対応できる。
れた光学ガラス素子は従来よりも光学性能の向上した安
価な光学ガラス素子となる。また、母材及び保護膜には
耐熱性、耐衝撃性など優れた材質を用いたため型寿命も
長寿命であり、連続した成形にも充分に対応できる。
第１図は本発明の一実施例における光学ガラス素子成形
用型の作製工程を示す概略断面図、第２図は本発明の一
実施例における光学ガラス素子成形用型で成形を行って
いる成形装置の一部を示す概略断面図である。 １・・・・・・母材、２・・・・・・中間層、３・・・
・・・保護膜、４・・・・・・上成形型、５・・・・・
・下成形型、６・・・・・・上成形型用加熱ヒータ、７
・・・・・・下成形型用加熱ヒータ、８・・・・・・上
成形型用加圧機構、９・・・・・・下成形型用加圧機構
、１０・・・・・・供給ガラス、１１・・・・・・ガラ
ス供給用治具、１２・・・・・・光学ガラス素子取り出
し口、１３・・・・・・供給ガラス予備加熱炉、１４・
・・・・・チャンバー。
用型の作製工程を示す概略断面図、第２図は本発明の一
実施例における光学ガラス素子成形用型で成形を行って
いる成形装置の一部を示す概略断面図である。 １・・・・・・母材、２・・・・・・中間層、３・・・
・・・保護膜、４・・・・・・上成形型、５・・・・・
・下成形型、６・・・・・・上成形型用加熱ヒータ、７
・・・・・・下成形型用加熱ヒータ、８・・・・・・上
成形型用加圧機構、９・・・・・・下成形型用加圧機構
、１０・・・・・・供給ガラス、１１・・・・・・ガラ
ス供給用治具、１２・・・・・・光学ガラス素子取り出
し口、１３・・・・・・供給ガラス予備加熱炉、１４・
・・・・・チャンバー。
Claims (8)
- （１）炭化タングステン（Ｗｃ）を主成分とする超硬合
金、あるいは窒化チタン（ＴｉＮ）、炭化チタン（Ｔｉ
Ｃ）、炭化クロム（Ｃｒ＿２Ｃ＿３）、またはアルミナ
（Ａｌ＿２Ｏ＿３）を主成分とするサーメットを母材と
し、前記母材を所望する形状に近似した形状に加工した
後、中間層としてニッケル（Ｎｉ）金属、ニッケル（Ｎ
ｉ）−リン（Ｐ）を主成分とする合金、あるいはニッケ
ル（Ｎｉ）−ホウ素（Ｂ）を主成分とする合金を形成し
た後、所望する形状に高精度に加工する工程を経た後、
前記中間層上に保護膜として金属窒化物、金属炭化物、
金属棚化物、イリジウム（Ｉｒ）−タングステン（Ｗ）
合金、ルテニウム（Ｒｕ）−タングステン（Ｗ）合金、
イリジウム（Ｉｒ）−タンタル（Ｔａ）合金、ルテニウ
ム（Ｒｕ）−タンタル（Ｔａ）合金、イリジウム（Ｉｒ
）−レニウム（Ｒｅ）合金あるいはルテニウム（Ｒｕ）
−レニウム（Ｒｅ）合金膜を型の形状を崩さないように
被膜して作製することを特徴とする光学ガラス素子成形
用型の作製方法。 - （２）保護膜の窒化物が窒化チタン（ＴｉＮ）、窒化ジ
ルコニア（ＺｒＮ）、窒化ハフニウム（ＨｆＮ）、窒化
タンタル（ＴａＮ）、窒化クロム（ＣｒＮ）及び窒化ニ
オブ（ＮｂＮ）であることを特徴とする請求項（１）記
載の光学ガラス素子成形用型の作製方法。 - （３）保護膜の炭化物が炭化チタン（ＴｉＣ）、炭化ジ
ルコニア（ＺｒＣ）、炭化ハフニウム（ＨｆＣ）、炭化
タンタル（ＴａＣ）、炭化クロム（ＣｒＣ）及び炭化ニ
オブ（ＮｂＣ）であることを特徴とする請求項（１）記
載の光学ガラス素子成形用型の作製方法。 - （４）保護膜の棚化物が棚化チタン（ＴｉＢ＿２）、棚
化ジルコニア（ＺｒＢ＿２）、棚化ハフニウム（ＨｆＢ
＿２）、棚化タンタル（ＴａＢ＿２）、棚化クロム（Ｃ
ｒＢ＿２）及び棚化ニオブ（ＮｂＢ＿２）であることを
特徴とする請求項（１）記載の光学ガラス素子成形用型
の作製方法。 - （５）炭化タングステン（Ｗｃ）を主成分とする超硬合
金、あるいは窒化チタン（ＴｉＮ）、炭化チタン（Ｔｉ
Ｃ）、炭化クロム（Ｃｒ＿Ｃ＿３）、またはアルミナ（
Ａｌ＿２Ｏ＿３）を主成分とするサーメットを母材とし
、前記母材を所望する形状に近似した形状に加工した後
、中間層としてニッケル（Ｎｉ）金属、ニッケル（Ｎｉ
）−リン（Ｐ）を主成分とする合金、あるいはニッケル
（Ｎｉ）−ホウ素（Ｂ）を主成分とする合金を形成した
後、所望する形状に高精度に加工する工程を経た後、前
記中間層上に保護膜として金属窒化物、金属炭化物、金
属棚化物、イリジウム（Ｉｒ）−タングステン（Ｗ）合
金、ルテニウム（Ｒｕ）−タングステン（Ｗ）合金、イ
リジウム（Ｉｒ）−タンタル（Ｔａ）合金、ルテニウム
（Ｒｕ）−タンタル（Ｔａ）合金、イリジウム（Ｉｒ）
−レニウム（Ｒｅ）合金あるいはルテニウム（Ｒｕ）−
レニウム（Ｒｅ）合金膜を型の形状を崩さないように被
膜して作製した成形用型を用いてプレス成形することを
特徴とする光学ガラス素子の製造方法。 - （６）保護膜の窒化物が窒化チタン（ＴｉＮ）、窒化ジ
ルコニア（ＺｒＮ）、窒化ハフニウム（ＨｆＮ）、窒化
タンタル（ＴａＮ）、窒化クロム（ＣｒＮ）及び窒化ニ
オブ（ＮｂＮ）である成形用型を用いてプレス成形する
ことを特徴とする請求項（５）記載の光学ガラス素子の
製造方法。 - （７）保護膜の炭化物が炭化チタン（ＴｉＣ）、炭化ジ
ルコニア（ＺｒＣ）、炭化ハフニウム（ＨｆＣ）、炭化
タンタル（ＴａＣ）、炭化クロム（ＣｒＣ）及び炭化ニ
オブ（ＮｂＣ）である成形用型を用いてプレス成形する
ことを特徴とする請求項（５）記載の光学ガラス素子の
製造方法。 - （８）保護膜の棚化物が棚化チタン（ＴｉＢ＿２）、棚
化ジルコニア（ＺｒＢ＿２）、棚化ハフニウム（ＨｆＢ
＿２）、棚化タンタル（ＴａＢ＿２）、棚化クロム（Ｃ
ｒＢ＿２）及び棚化ニオブ（ＮｂＢ＿２）である成形用
型を用いてプレス成形することを特徴とする請求項（５
）記載の光学ガラス素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18407089A JPH085680B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18407089A JPH085680B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0350127A true JPH0350127A (ja) | 1991-03-04 |
| JPH085680B2 JPH085680B2 (ja) | 1996-01-24 |
Family
ID=16146855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18407089A Expired - Fee Related JPH085680B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | 光学ガラス素子成形用型の作製方法及び光学ガラス素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085680B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0636585A3 (en) * | 1993-07-28 | 1996-05-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Press mold for pressing optical elements as well as their manufacturing process and their use. |
| US5759221A (en) * | 1993-07-28 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of press molding glass optical elements |
| DE102006059775A1 (de) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Schott Ag | Beschichtung für Formwerkzeuge |
| CN101024550B (zh) | 2006-02-23 | 2011-04-13 | 东海橡胶工业株式会社 | 玻璃模制模具 |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP18407089A patent/JPH085680B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0636585A3 (en) * | 1993-07-28 | 1996-05-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Press mold for pressing optical elements as well as their manufacturing process and their use. |
| US5700307A (en) * | 1993-07-28 | 1997-12-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Die for press-molding optical elements |
| US5759221A (en) * | 1993-07-28 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of press molding glass optical elements |
| US6003336A (en) * | 1993-07-28 | 1999-12-21 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Method of manufacturing a die for press-molding optical elements |
| US6009728A (en) * | 1993-07-28 | 2000-01-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Die for press-molding optical elements |
| CN101024550B (zh) | 2006-02-23 | 2011-04-13 | 东海橡胶工业株式会社 | 玻璃模制模具 |
| DE102006059775A1 (de) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Schott Ag | Beschichtung für Formwerkzeuge |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH085680B2 (ja) | 1996-01-24 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |