JPH0350140A - 分布屈折率レンズの製造方法 - Google Patents

分布屈折率レンズの製造方法

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JPH0350140A
JPH0350140A JP18538289A JP18538289A JPH0350140A JP H0350140 A JPH0350140 A JP H0350140A JP 18538289 A JP18538289 A JP 18538289A JP 18538289 A JP18538289 A JP 18538289A JP H0350140 A JPH0350140 A JP H0350140A
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JP
Japan
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manufacturing
refractive index
lens
index lens
distributed index
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Pending
Application number
JP18538289A
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Inventor
Hiroshi Aoyama
拓 青山
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、屈折率が中心軸から2乗分布近似で減少して
いく分布屈折率レンズの製造方法に関する。
[従来の技術] 従来、分布屈折率レンズの製造方法としては、ガラスの
イオン交換法及び分子フタッフイング法がある。以下に
上記2つの方法の概略を開学に述べる。
イオン交換法では、予め屈折率を高(するようなイオン
A(Li、Os、Ttなど)を含有させたガラスを溶解
しロッド状の出発母材を作る。次にこの母材を屈折率を
低くするイオンB(Na。
Kなど)を含む溶融塩中に浸しイオン交換を行い2乗分
布近似のAイオンの濃度分布を得る。
分子スタッフインク法は、シリカ骨格とアルカリホウ酸
の分相ガラスを酸処理することにより多孔質シリカ骨格
を作る。これに前記イオンAをドープした後ドーパント
を含まない溶液に浸しイオンAを拡散させる。最後に、
適当な濃度分布が得られた時点で焼成しガラス化する。
[発明が解決しようとする課題] しかし、上記で述べた従来の方法では、屈折率分布を決
定するイオンの拡散を液相中で行っている為、出発母材
自体が高純度なものであっても液相の不純物を母材に取
り込んでしまいレンズの特性を劣化させるという欠点が
あった。更に、イオン拡散に要する時間もかかり、非常
に製造効率が悪かった。
そこで本発明ではこれらの欠点を解決すべ(、材料中に
不純物を含まず、かつイオン拡散工程に要する時間を短
縮し製造効率を向上させることのできる分布屈折率レン
ズの製造方法を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するため本発明の分布屈折率レンズの製
造方法は、屈折率が中心軸から2乗分布近似で減少して
い(分布屈折率レンズの製造方法において、屈折率を高
(するイオンを含有させたガラスを溶解しロンド状の出
発母材を作った後、これを水素プラズマに晒すことを特
徴とする。
[作用コ 上記の製造方法だと、水素プラズマでたたかれた出発母
材の壁面から高い運動エネルギーをもった水素原子が母
材内部に拡散していき、高屈折率を有するイオンの吸着
サイトでイオン交換が行われる。この時、水素原子の拡
散速度は、従来の化学平衡における自然拡散に比べ格段
に速いので、短時間で屈折率の2乗分布が得られる。ま
た、高純度水素プラズマ雰囲気中で処理を行えば、材料
中への不純物混入は全く無い。
[実施例コ 以下、本発明について実施例に基づき詳細に説。
明する。
(実施例1) 先ず、屈折率を高くするイオンとしてリチウム(Ll)
イオンを含有させたガラスを溶解し直径1mのロッド状
出発母材を作成した。一方、水素プラズマ発生装置の概
念図を第1図に示す。第1図において、ステンレス製真
空チャンバー(試料室)4内を排気し十分真空にした後
、水素ガス溜21より高純度水素ガスを前記真空チャン
バー4に導入する。水素プラズマの発生は、マグネット
9で磁場をかげた状態でマイクロ波発生装置7で発生さ
せたマイクロ波をチャンバー4に導(ことにより水素原
子の電子を加熱するKOR放電方式により行った。
さて、先に用意した母材をチャンバー4内に設置し、前
述の要領で水素プラズマを発生させ、約3分間母材を水
素プラズマに晒らした。この時、水素とイオ、ン交換を
行いチャンバー4内に放出されたリチウムが母材に再吸
着されるのを防ぐため排気と水素ガス供給を行うことに
よりチャンバー4内の水素ガス圧を一定に保った。
以上の実施例に示した製造方法により、開口数NA=[
1,8の小型レンズが得られた。また、水素プラズマに
晒らす時間を変えることによって開口iNAの異るレン
ズを再現性よ(得ることができた。
(実施例2) 本実施例では、第1図においてチャンバー4内に重水素
ガス溜22より高純度重水素ガスを導入し重水素2プラ
ズマを発生させた。予め用意しておいたセシウム(C8
)イオンをドープしたガラスロッド母材をチャンバー4
内に設置し、重水素プラズマに5分間晒もした。この時
、母材内に拡散した重水素とイオン交換を行いチャンバ
ー4内に放出されたセシウムが母材に再吸着されるのを
防ぐ為、排気と重水素ガス供給を同時に行うことにより
チャンバー4内の重水素ガス圧を一定に保った。
以上に述べた方法で得られた分布屈折率レンズは、(実
施例1)K示した水素置換型レンズに比べて、赤外領域
での吸収が少なく、光透過波長領域が大幅に拡大された
。また、不純物による吸収も見られず、非常に純度の高
い分布屈折率レンズが得られることもわかった。
[発明の効果コ 以上述べたように、本発明では水素プラズマ中でイオン
交換を行い屈折率の分布をもたせる方法なので、従来の
ように液相中に含まれている不純物をレンズ材に取り込
むといった欠点を根本的に排除することができる。更に
、水素プラズマのもつ高運動エネルギーが材料中でのイ
オン交換及び拡散のドライビングフォースとなるので、
所望の屈折率分布をもたせるのに要する時間を木幡に短
縮できるなど、量産における製造上のメリットも含め、
そのもたらす効果は多大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の分布屈折率レンズの製造方法におい
て用いるプラズマ発生装置の概念図。 1・・・・・・・・・ロータリーポンプ2・・・・・・
・・・ターボ分子ポンプ3・・・・・・・・・電離真空
計 4・・・・・・・・・チャンバー(試料室)5・・・・
・・・・・セラミックウィンドウ6・・・・・・・・・
導波管 7・・・・・・・・・マイクロ波発生装置8・・・・・
・・・・マグネット ・・・・・・・・トラップ °°°゛°°°°°パルプ ・・・・・・・・・水素ガス溜 ・・・・・・・・・重水素ガス溜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 屈折率が中心軸から2乗分布近似で減少していく分布屈
    折率レンズの製造方法において、屈折率を高くするイオ
    ンを含有させたガラスを溶解しロッド状の出発母材を作
    った後、これを水素プラズマに晒すことを特徴とする分
    布屈折率レンズの製造方法。
JP18538289A 1989-07-18 1989-07-18 分布屈折率レンズの製造方法 Pending JPH0350140A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020082503A (ko) * 2001-04-24 2002-10-31 양정석 안경용 코
JP2010265269A (ja) * 2005-02-28 2010-11-25 Oncotherapy Science Ltd 血管内皮増殖因子受容体1に由来するエピトープ・ペプチドおよびこれらのペプチドを含むワクチン
DE102011055364A1 (de) 2011-11-15 2013-05-23 Hochschule für Angewandte Wissenschaft und Kunst - Hildesheim/Holzminden/Göttingen Verfahren zum Materialabtrag an Glasoberflächen

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DE102011055364A8 (de) * 2011-11-15 2013-08-01 Hochschule Für Angewandte Wissenschaft Und Kunst Hildesheim/Holzminden/Göttingen Verfahren zum Materialabtrag an Glasoberflächen

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