JPH0351048B2 - - Google Patents
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- JPH0351048B2 JPH0351048B2 JP19333983A JP19333983A JPH0351048B2 JP H0351048 B2 JPH0351048 B2 JP H0351048B2 JP 19333983 A JP19333983 A JP 19333983A JP 19333983 A JP19333983 A JP 19333983A JP H0351048 B2 JPH0351048 B2 JP H0351048B2
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- molybdenum
- ruthenium
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子レンジ等に用いられるマグネトロ
ン用部品（以下、エンドシールドと呼ぶ）の製造
方法に関する。
ン用部品（以下、エンドシールドと呼ぶ）の製造
方法に関する。
一般に、この種のエンドシールドはマグネトロ
ンの電極を形成するコイル状フイラメントを上下
から挾持するのに用いられている。具体的に言え
ば、エンドシールドは断面凸又は凹形形状を有す
るモリブデンの支持部材と、支持部材の平坦面に
ろう着されたろう材とを有し、このろう材によ
り、フイラメントと支持部材とを接合させてい
る。
ンの電極を形成するコイル状フイラメントを上下
から挾持するのに用いられている。具体的に言え
ば、エンドシールドは断面凸又は凹形形状を有す
るモリブデンの支持部材と、支持部材の平坦面に
ろう着されたろう材とを有し、このろう材によ
り、フイラメントと支持部材とを接合させてい
る。
このようなエンドシールドでは、支持部材にろ
う材が均一に付着されていることが望ましい。従
来、支持部材にろう材を付着させる方法として、
モリブデン系のろう材を塗布あるいは吹き付ける
方法が採用されている。しかし、この方法では、
ろう材の付着量が一定とならないため、最終製品
の特性のバラツキが大きいという欠点がある。
う材が均一に付着されていることが望ましい。従
来、支持部材にろう材を付着させる方法として、
モリブデン系のろう材を塗布あるいは吹き付ける
方法が採用されている。しかし、この方法では、
ろう材の付着量が一定とならないため、最終製品
の特性のバラツキが大きいという欠点がある。
一方、ろう材、例えば、ルテニウムを40重量パ
ーセント含有するルテニウム−モリブデン合金の
ろう材の薄状板を圧延加工により支持部材に圧着
する方法がある。この場合、加工の際における加
工硬化量が著しく多いため、加工、高温焼鈍を繰
り返し行なわなければならず、コスト高となると
いう欠点がある。
ーセント含有するルテニウム−モリブデン合金の
ろう材の薄状板を圧延加工により支持部材に圧着
する方法がある。この場合、加工の際における加
工硬化量が著しく多いため、加工、高温焼鈍を繰
り返し行なわなければならず、コスト高となると
いう欠点がある。
更に、リング状のろう材板を支持部材に溶接等
により付着させることも検討されている。しか
し、この方法では、溶接工程が入るため、エンド
シールドのコストが大幅に上昇するという欠点が
ある。
により付着させることも検討されている。しか
し、この方法では、溶接工程が入るため、エンド
シールドのコストが大幅に上昇するという欠点が
ある。
リング状のろう材を有機接着剤を用いて支持部
材に接着することも提案されているが、この方法
においても、高真空における組み立て工程中に有
機接着剤がガス化することが多いため、マグネト
ロンとしての特性が著しく劣化するという欠点が
ある。
材に接着することも提案されているが、この方法
においても、高真空における組み立て工程中に有
機接着剤がガス化することが多いため、マグネト
ロンとしての特性が著しく劣化するという欠点が
ある。
本発明の目的はエンドシールド組み立て時にお
けるろう着作業を能率的に行なえるマグネトロン
用部品の製造方法を提供することである。
けるろう着作業を能率的に行なえるマグネトロン
用部品の製造方法を提供することである。
本発明の他の目的はろう材の付着量が一定で、
品質の安定した部品を得ることができるマグネト
ロン用部品の製造方法を提供することである。
品質の安定した部品を得ることができるマグネト
ロン用部品の製造方法を提供することである。
本発明によれば、ルテニウム−モリブデンろう
材とモリブデン支持部材とを中間焼結体の形で準
備し、ろう材及び支持部材とを嵌合させた後、同
時に焼結して、両者を焼き嵌めされた複合体に
し、この複合体によりマグネトロン用部品、即
ち、エンドシールドを形成する製造方法が得られ
る。
材とモリブデン支持部材とを中間焼結体の形で準
備し、ろう材及び支持部材とを嵌合させた後、同
時に焼結して、両者を焼き嵌めされた複合体に
し、この複合体によりマグネトロン用部品、即
ち、エンドシールドを形成する製造方法が得られ
る。
異種金属材料又は同種金属材料を焼き嵌める方
法は金属の熱による膨張又は収縮を利用したもの
であり、通常、焼き嵌めされる２つの部材の一方
のみを加熱することによつて行なわれ、２つの部
材を同時に加熱することは行なわれていない。
法は金属の熱による膨張又は収縮を利用したもの
であり、通常、焼き嵌めされる２つの部材の一方
のみを加熱することによつて行なわれ、２つの部
材を同時に加熱することは行なわれていない。
具体的に言えば、本発明では、金属粉末を圧粉
体とする時点の圧粉圧力の程度によつて、この金
属圧粉体が金属体に焼成される際の収縮率が異な
ることを利用し、而も金属体となる以前の中間焼
結体で予め焼き嵌めされるように配置準備し、焼
き嵌めされる双方の中間焼結体を同時に加熱焼成
して両者の焼き嵌めを行なうと共に、マグネトロ
ン用部品を製作するマグネトロン用部品の製造方
法が得られる。
体とする時点の圧粉圧力の程度によつて、この金
属圧粉体が金属体に焼成される際の収縮率が異な
ることを利用し、而も金属体となる以前の中間焼
結体で予め焼き嵌めされるように配置準備し、焼
き嵌めされる双方の中間焼結体を同時に加熱焼成
して両者の焼き嵌めを行なうと共に、マグネトロ
ン用部品を製作するマグネトロン用部品の製造方
法が得られる。
まず凸形又は凹形の断面形状を備えたモリブデ
ン製の圧粉体を形成し、さらに、このモリブデン
製の圧粉体の凸部又は凹部に嵌合するルテニウム
−モリブデン合金よりなる圧粉体を形成する。次
に、これらの圧粉体を不活性ガスあるいは還元ガ
ス雰囲気中において、1000〜1300℃の温度で、中
間焼結を行う。さらに、断面状形が凸形又は凹形
のモリブデン製中間焼結体の凸部又は凹部にルテ
ニウム−モリブデン合金よりなる中間焼結体を嵌
合させる。そして、不活性ガスあるいは還元ガス
雰囲気中において、1500〜1800℃の温度で焼結を
行い、ルテニウム−モリブデン合金の焼結体をモ
リブデン製焼結体の凸部又は凹部に焼き嵌めした
エンドシールドを製造することができる。以下、
本発明を実施例によつて説明する。
ン製の圧粉体を形成し、さらに、このモリブデン
製の圧粉体の凸部又は凹部に嵌合するルテニウム
−モリブデン合金よりなる圧粉体を形成する。次
に、これらの圧粉体を不活性ガスあるいは還元ガ
ス雰囲気中において、1000〜1300℃の温度で、中
間焼結を行う。さらに、断面状形が凸形又は凹形
のモリブデン製中間焼結体の凸部又は凹部にルテ
ニウム−モリブデン合金よりなる中間焼結体を嵌
合させる。そして、不活性ガスあるいは還元ガス
雰囲気中において、1500〜1800℃の温度で焼結を
行い、ルテニウム−モリブデン合金の焼結体をモ
リブデン製焼結体の凸部又は凹部に焼き嵌めした
エンドシールドを製造することができる。以下、
本発明を実施例によつて説明する。
モリブデンよりなる圧粉体を4.0〜5.0ton／cm2
の圧力で、その断面形状が凹形で、かつその底面
中央部に後述するモリブデン棒が挿入できるよう
な貫通孔を設けて、形成する（第１図）。この圧
粉体を還元ガス雰囲気において、1200℃の温度で
中間焼結を行つた。その結果中間焼結を行う前の
寸法と比べてその寸法が、４〜５％収縮した。
の圧力で、その断面形状が凹形で、かつその底面
中央部に後述するモリブデン棒が挿入できるよう
な貫通孔を設けて、形成する（第１図）。この圧
粉体を還元ガス雰囲気において、1200℃の温度で
中間焼結を行つた。その結果中間焼結を行う前の
寸法と比べてその寸法が、４〜５％収縮した。
同様にして、ルテニウム−モリブデン合金より
なる圧粉体を4.0〜5.0ton／cm2の圧力で、上記の
断面形状が凹形の圧粉体の凹部に嵌合するよう
に、かつそのとき、上記の断面形状が凹形の圧粉
体に設けた貫通孔と一致するように孔を設けて、
板状に形成する（第２図）。この板状の圧粉体を
還元ガス雰囲気において、1300℃の温度で中間焼
結を行つた。その結果、中間焼結を行う前の寸法
と比べてその寸法が８〜10％収縮した。
なる圧粉体を4.0〜5.0ton／cm2の圧力で、上記の
断面形状が凹形の圧粉体の凹部に嵌合するよう
に、かつそのとき、上記の断面形状が凹形の圧粉
体に設けた貫通孔と一致するように孔を設けて、
板状に形成する（第２図）。この板状の圧粉体を
還元ガス雰囲気において、1300℃の温度で中間焼
結を行つた。その結果、中間焼結を行う前の寸法
と比べてその寸法が８〜10％収縮した。
次に、このモリブデン中間焼結体の凹部に、板
状のルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を配
置する（第３図）。このとき、モリブデン中間焼
結体とルテニウム−モリブデン合金中間焼結体と
のスキ間は約0.3mmであつた。これを還元雰囲気
中で1800℃の温度で焼結を行つた。その結果、板
状のルテニウム−モリブデン合金の焼結体がモリ
ブデン焼結体の凹部に焼き嵌められたエンドシー
ルドが得られた（第４図）。なお、上記のモリブ
デン中間焼結体、ルテニウム−モリブデン合金中
間焼結体を、各々単体で、還元雰囲気中におい
て、1800℃の温度で、焼結を行つた場合、モリブ
デン焼結体は、圧粉体のときの寸法に比べて、そ
の寸法が15％収縮し、またルテニウム−モリブデ
ン焼結体は、同様にその寸法が、14.9％収縮する
ことがわかつた。
状のルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を配
置する（第３図）。このとき、モリブデン中間焼
結体とルテニウム−モリブデン合金中間焼結体と
のスキ間は約0.3mmであつた。これを還元雰囲気
中で1800℃の温度で焼結を行つた。その結果、板
状のルテニウム−モリブデン合金の焼結体がモリ
ブデン焼結体の凹部に焼き嵌められたエンドシー
ルドが得られた（第４図）。なお、上記のモリブ
デン中間焼結体、ルテニウム−モリブデン合金中
間焼結体を、各々単体で、還元雰囲気中におい
て、1800℃の温度で、焼結を行つた場合、モリブ
デン焼結体は、圧粉体のときの寸法に比べて、そ
の寸法が15％収縮し、またルテニウム−モリブデ
ン焼結体は、同様にその寸法が、14.9％収縮する
ことがわかつた。
また、モリブデン焼結体とルテニウム−モリブ
デン合金焼結体との接触面を詳しく調べたとこ
ろ、両焼結体が一部分合金化していることもわか
つた。
デン合金焼結体との接触面を詳しく調べたとこ
ろ、両焼結体が一部分合金化していることもわか
つた。
続いて、モリブデンよりなる圧粉体を4.0〜
5.0ton／cm2の圧力で、その断面形状が凸形で、か
つ、凸部の中央部には、後述するモリブデン棒が
挿入できるような貫通孔を設けて、形成する（第
５図）。この圧粉体を還元ガス雰囲気において、
1500℃の温度で中間焼結を行つた。その結果中間
焼結を行う前の寸法と比べて、その寸法が８〜10
％収縮した。
5.0ton／cm2の圧力で、その断面形状が凸形で、か
つ、凸部の中央部には、後述するモリブデン棒が
挿入できるような貫通孔を設けて、形成する（第
５図）。この圧粉体を還元ガス雰囲気において、
1500℃の温度で中間焼結を行つた。その結果中間
焼結を行う前の寸法と比べて、その寸法が８〜10
％収縮した。
同様にして、ルテニウム−モリブデン合金より
なる圧粉体を3.5〜4.4ton／cm2の圧力で、上記の
断面形状が凸形の圧粉体の凸部に嵌合するよう
に、板状に形成する（第６図）。この板状の圧粉
体を還元ガス雰囲気において、1000℃の温度で中
間焼結を行つた。その結果、中間焼結を行う前の
寸法と比べて、その寸法が、１〜２％収縮した。
なる圧粉体を3.5〜4.4ton／cm2の圧力で、上記の
断面形状が凸形の圧粉体の凸部に嵌合するよう
に、板状に形成する（第６図）。この板状の圧粉
体を還元ガス雰囲気において、1000℃の温度で中
間焼結を行つた。その結果、中間焼結を行う前の
寸法と比べて、その寸法が、１〜２％収縮した。
次に、このモリブデン中間焼結体の凸部に、板
状のルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を配
置する（第７図）。このとき、モリブデン中間焼
結体とルテニウム−モリブデン合金中間焼結体と
のスキ間は約0.3mmであつた。これを還元雰囲気
中で、1800℃の温度で焼結を行つた。その結果、
板状のルテニウム−モリブデン合金の焼結体がモ
リブデン焼結体の凸部に焼き嵌められたエンドシ
ールドが得られた（第８図）。なお、上記のモリ
ブデン中間焼結体、ルテニウム−モリブデン合金
中間焼結体を、各々単体で、還元雰囲気中におい
て、1800℃の温度で、焼結を行つた場合、モリブ
デン焼結体は、圧粉体のときの寸法に比べて、そ
の寸法が15％収縮し、ルテニウム−モリブデン焼
結体は、同様にその寸法が、15.1％収縮すること
がわかつた。
状のルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を配
置する（第７図）。このとき、モリブデン中間焼
結体とルテニウム−モリブデン合金中間焼結体と
のスキ間は約0.3mmであつた。これを還元雰囲気
中で、1800℃の温度で焼結を行つた。その結果、
板状のルテニウム−モリブデン合金の焼結体がモ
リブデン焼結体の凸部に焼き嵌められたエンドシ
ールドが得られた（第８図）。なお、上記のモリ
ブデン中間焼結体、ルテニウム−モリブデン合金
中間焼結体を、各々単体で、還元雰囲気中におい
て、1800℃の温度で、焼結を行つた場合、モリブ
デン焼結体は、圧粉体のときの寸法に比べて、そ
の寸法が15％収縮し、ルテニウム−モリブデン焼
結体は、同様にその寸法が、15.1％収縮すること
がわかつた。
また、モリブデン焼結体とルテニウム−モリブ
デン合金焼結体との接触面を詳しく調べたとこ
ろ、両焼結体が一部分合金化していることもわか
つた。
デン合金焼結体との接触面を詳しく調べたとこ
ろ、両焼結体が一部分合金化していることもわか
つた。
次に上述した断面形状が凹形及び凸形のエンド
シールドを用いたマグネトロン用電極構造につい
て第９図を参照して説明する。
シールドを用いたマグネトロン用電極構造につい
て第９図を参照して説明する。
断面形状凸形のエンドシールド１と断面形状凹
形のエンドシールド２を対向させて、コイル状の
トリウム−タングステンフイラメント３をルテニ
ウム−モリブデンよりなるろう材４にろう着す
る。さらに、モリブデン棒５を断面形状凹形のエ
ンドシールド２の貫通孔を通して、断面形状凸形
のエンドシールド１の貫通孔で溶接等により固着
して、断面形状凸形のエンドシールド１を支持す
る。なお断面形状凹形のエンドシールド２の貫通
孔の壁面には、モリブデン棒５は接触していな
い。断面形状凹形のエンドシールド２は、別のモ
リブデン棒６を、その底面に溶接等によつて固着
し、このモリブデン棒６によつて支持されてい
る。
形のエンドシールド２を対向させて、コイル状の
トリウム−タングステンフイラメント３をルテニ
ウム−モリブデンよりなるろう材４にろう着す
る。さらに、モリブデン棒５を断面形状凹形のエ
ンドシールド２の貫通孔を通して、断面形状凸形
のエンドシールド１の貫通孔で溶接等により固着
して、断面形状凸形のエンドシールド１を支持す
る。なお断面形状凹形のエンドシールド２の貫通
孔の壁面には、モリブデン棒５は接触していな
い。断面形状凹形のエンドシールド２は、別のモ
リブデン棒６を、その底面に溶接等によつて固着
し、このモリブデン棒６によつて支持されてい
る。
以上、実施例で説明したように、本発明は、平
坦面及びこの平坦面と交叉する直立面とを有し、
かつ、凹形及び凸形のいずれか一方の断面形状を
備えたモリブデン材料の第１の中間焼結体を準備
する工程と、この第１の中間焼結体と異なる収縮
率を有し、上記の平坦面に、上記の直立面と接触
することなく覆うことができる第２の中間焼結体
を準備する工程と、第２の中間焼結体で第１の中
間焼結体を覆つた状態で、予め定められた温度で
焼結することによつて、第１及び第２の中間焼結
体をそれぞれ第１及び第２の焼結体として、第２
の焼結体を第１の焼結体の直立面に接触させる工
程によりマグネトロン用部品すなわちエンドシー
ルドを製造する方法である。
坦面及びこの平坦面と交叉する直立面とを有し、
かつ、凹形及び凸形のいずれか一方の断面形状を
備えたモリブデン材料の第１の中間焼結体を準備
する工程と、この第１の中間焼結体と異なる収縮
率を有し、上記の平坦面に、上記の直立面と接触
することなく覆うことができる第２の中間焼結体
を準備する工程と、第２の中間焼結体で第１の中
間焼結体を覆つた状態で、予め定められた温度で
焼結することによつて、第１及び第２の中間焼結
体をそれぞれ第１及び第２の焼結体として、第２
の焼結体を第１の焼結体の直立面に接触させる工
程によりマグネトロン用部品すなわちエンドシー
ルドを製造する方法である。
上記の製造方法によつて得られたエンドシール
ドは、一定量のろう材があらかじめ焼き嵌めされ
ているため、フイラメントのろう着が容易であ
り、最終製品のバラツキがひじように少なくな
る。またこの製造方法は、あらかじめ第１の中間
焼結体を第２の中間焼結体で覆つたのち、焼結す
るため、エンドシールドの製作が能率的にでき、
かつ圧縮率の差によつて焼き嵌めしているので、
ろう材部の脱落などがなく、品質の向上がはかれ
る。
ドは、一定量のろう材があらかじめ焼き嵌めされ
ているため、フイラメントのろう着が容易であ
り、最終製品のバラツキがひじように少なくな
る。またこの製造方法は、あらかじめ第１の中間
焼結体を第２の中間焼結体で覆つたのち、焼結す
るため、エンドシールドの製作が能率的にでき、
かつ圧縮率の差によつて焼き嵌めしているので、
ろう材部の脱落などがなく、品質の向上がはかれ
る。
第１図は、凹部を有するモリブデン圧粉体の断
面図、第２図及び第６図は、ルテニウム−モリブ
デン合金圧粉体の断面図、第３図は、モリブデン
中間焼結体の凹部にルテニウム−モリブデン合金
中間焼結体を配置した断面図、第４図及び第８図
は、モリブデン焼結体にルテニウム−モリブデン
合金が焼き嵌めされた断面図、第５図は凸部を有
するモリブデン圧粉体の断面図、第７図は、モリ
ブデン中間焼結体の凸部にルテニウム−モリブデ
ン合金中間焼結体を配置した断面図、第９図は、
本発明によるエンドシールドを使用したマグネト
ロン用電極構造の断面図である。 １，２……エンドシールド、３……トリウム−
タングステンフイラメント、４……ろう材、５，
６……モリブデン棒。
面図、第２図及び第６図は、ルテニウム−モリブ
デン合金圧粉体の断面図、第３図は、モリブデン
中間焼結体の凹部にルテニウム−モリブデン合金
中間焼結体を配置した断面図、第４図及び第８図
は、モリブデン焼結体にルテニウム−モリブデン
合金が焼き嵌めされた断面図、第５図は凸部を有
するモリブデン圧粉体の断面図、第７図は、モリ
ブデン中間焼結体の凸部にルテニウム−モリブデ
ン合金中間焼結体を配置した断面図、第９図は、
本発明によるエンドシールドを使用したマグネト
ロン用電極構造の断面図である。 １，２……エンドシールド、３……トリウム−
タングステンフイラメント、４……ろう材、５，
６……モリブデン棒。
Claims (1)
- １ 平坦面及び該平坦面と交叉する直立面とを有
し、且つ、凸形及び凹形のいずれか一方の断面形
状を備えたモリブデン材料の第１の中間焼結体を
準備する工程と、前記第１の中間焼結体と異なる
収縮率を有し、前記平坦面を前記直立面と接触す
ることなく覆うことができる第２の中間焼結体を
準備する工程と、前記第２の中間焼結体により第
１の中間焼結体の平坦面を覆つた状態で、予め定
められた温度で焼結し、第１及び第２の中間焼結
体をそれぞれ第１及び第２の焼結体とし、該第２
の焼結体を前記第１の焼結体の直立面に接触させ
る工程とを有することを特徴とするマグネトロン
部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19333983A JPS6086731A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | マグネトロン用部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19333983A JPS6086731A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | マグネトロン用部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086731A JPS6086731A (ja) | 1985-05-16 |
| JPH0351048B2 true JPH0351048B2 (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=16306245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19333983A Granted JPS6086731A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | マグネトロン用部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6086731A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5572795B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2014-08-20 | 東芝ホクト電子株式会社 | 電子管用部品およびマグネトロン管用エンドハットの製造方法 |
| CN103003909B (zh) * | 2010-07-16 | 2015-08-19 | 株式会社东芝 | 用于磁控管的端帽、其制造方法以及磁控管 |
-
1983
- 1983-10-18 JP JP19333983A patent/JPS6086731A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6086731A (ja) | 1985-05-16 |
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