JPH0475294B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0475294B2 JPH0475294B2 JP60292118A JP29211885A JPH0475294B2 JP H0475294 B2 JPH0475294 B2 JP H0475294B2 JP 60292118 A JP60292118 A JP 60292118A JP 29211885 A JP29211885 A JP 29211885A JP H0475294 B2 JPH0475294 B2 JP H0475294B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molybdenum
- sintered body
- rupture strength
- transverse rupture
- sintering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Powder Metallurgy (AREA)
Description
［発明の技術分野］
本発明は、抗折力強度の大きなモリブデン焼結
体及びその製造方法に関し、更に詳しくは、例え
ば、マグネトロン用のエンドハツトを製造する際
に用いて有用なモリブデン焼結体及びその製造方
法に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ マグネトロン陰極構体用のエンドハツトを製造
する時には、焼結後、圧延、転打、伸線加工等を
施したモリブデン線材とこれら加工処理等をして
いない未加工のモリブデン焼結体とバツト溶接す
る。 周知のように、バツト溶接は、溶接すべき２つ
の対象物の溶接すべき端面を突合わせ、かつこの
対象物両者間に大電流を流して行なわれる。そし
てこの時の抵抗発熱により対象物は軟化し、その
突合わせ部の溶接が進行する。 かかるバツト溶接にあつては、それぞれの対象
物は、かなりの圧で突合わされるので、当然のこ
とながら、これら対象物の機械的強度、とりわけ
抗折力強度は大きくなければならないことにな
る。 マグネトロン用のエンドハツトを製造する場合
にも、このことは該当する。この時、一方の部材
である加工処理されたモリブデン線材は、既に、
鍛造、伸線工程等の処理を経て、靭性が付与さ
れ、その抗折力強度は大であるため、バツト溶接
にも充分の耐性を具備している。しかしながら、
他方の部材であるモリブデン焼結体は未加工であ
るがゆえに、靭性はなくその抗折力強度が一般に
小さい。従つてかかるモリブデン焼結体を上記モ
リブデン線材とバツト溶接する場合、適用される
圧が大きいと、溶接端面あるいはその近傍にクラ
ツクや欠けが発生して良好な溶接状態から得られ
ず、エンドハツトの製造得率が低下するという問
題が生じていた。 ［発明の目的］ 本発明は、上記した問題を解消し、バツト溶接
時にクラツク、欠け等が生ずることの極めて少い
モリブデン焼結体及びその製造方法を提供するこ
とを目的とする。 ［発明の概要］ 本発明者らは、エンドハツトの製造時における
モリブデン焼結体のクラツク、欠け等の発生を低
減したエンドハツトの製造得率を高めるべく鋭意
検討したところ、抗折力強度がある値以上のモリ
ブデン焼結体の場合には、常法のバツト溶接時に
あつても上記問題を生ずることが極めて少ないと
の事実を見い出した。そしてモリブデン焼結体
は、従来高い焼結温度でなされる方が良いという
ことで1850℃以上で焼結されていたが本モリブデ
ン焼結体は、焼結温度を低い方に移行すれば抗折
強度を容易に高めることができるとの知見を得、
本発明を開発するに到つた。 即ち、本発明のモリブデン焼結体は、抗折力強
度が30Kg／mm2以上であることを特徴とし、その製
造方法は、常法により圧粉成形したモリブデン成
形体を水素雰囲気中1650〜1800℃の温度範囲で焼
結することを特徴とする。 本発明の焼結体は、その抗折力強度が30Kg／mm2
以上である。この値が30Kg／mm2より小さい場合
は、エンドハツトの製造時に適用される60〜90Kg
の総圧に対する耐性が小さくしたが、したがつて
溶接時のクラツク、欠け等の発生が増加してしま
う。かかるモリブデン焼結体にあつて、その抗折
力強度は、好ましくは43Kg／mm2以上であるのがよ
い。 このようなモリブデン焼結体は次のようにして
製造することができる。 まずモリブデン粉末を所定の型に充填し、加圧
成形として成形体とする。この成形時の条件は、
目的とする焼結体の寸法との関係で適宜選定され
る。しかしながら、通常は、平均粒径２〜5μｍ
のモリブデン粉末を用い、成形圧１〜3ton／cm2の
条件を採用すると、得られる成形体は、５〜８
ｇ／cm3の圧粉体密度で比較的緻密になるので好適
である。即ち、成形段階で緻密なものは、次の焼
結処理によつて更に緻密化し、したがつて機械的
強度例えば抗折力強度も向上するからである。 次いで、得られた成形体を焼結する。焼結は水
素等の還元雰囲気中で行われる。焼結は、通常１
〜10Nm3／minの水素気流中で行えばよい。焼結
温度は1650〜1800℃の範囲に設定される。この温
度が1650℃より低い場合は、焼結が十分進行せ
ず、抗折力強度を目的値にすることができず、逆
に1800℃より高い場合は、粒子が成長して結晶が
粗大化するため、粒界強度が弱くなり、抗折力強
度が低下し不都合である。焼結温度は、好ましく
は、1700〜1750℃とするのがよい。焼結時間は、
抗折力強度に大きな影響を与える因子ではない
が、通常１〜５時間が好適である。 ［発明の実施例］ 実施例１〜４及び比較例１〜３ 平均粒径3μｍのモリブデン粉末を有底円筒状
の型に充填し、成形圧2ton／cm2で常法により圧粉
成形してモリブデン成形体を得た。ついでこれら
も水素気流中で焼結温度を1550℃、1600℃、1650
℃、1700℃、1750℃、1800℃、1850℃±５℃と振
り、各３時間焼結し、直結８mmφ厚み2.5mmのモ
リブデン焼結体を各５本製造した。次にこれらの
焼結体の抗折力強度を常法により測定し、又焼結
体の結晶粒数も測定した。その結果を下記の表に
示す。
体及びその製造方法に関し、更に詳しくは、例え
ば、マグネトロン用のエンドハツトを製造する際
に用いて有用なモリブデン焼結体及びその製造方
法に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ マグネトロン陰極構体用のエンドハツトを製造
する時には、焼結後、圧延、転打、伸線加工等を
施したモリブデン線材とこれら加工処理等をして
いない未加工のモリブデン焼結体とバツト溶接す
る。 周知のように、バツト溶接は、溶接すべき２つ
の対象物の溶接すべき端面を突合わせ、かつこの
対象物両者間に大電流を流して行なわれる。そし
てこの時の抵抗発熱により対象物は軟化し、その
突合わせ部の溶接が進行する。 かかるバツト溶接にあつては、それぞれの対象
物は、かなりの圧で突合わされるので、当然のこ
とながら、これら対象物の機械的強度、とりわけ
抗折力強度は大きくなければならないことにな
る。 マグネトロン用のエンドハツトを製造する場合
にも、このことは該当する。この時、一方の部材
である加工処理されたモリブデン線材は、既に、
鍛造、伸線工程等の処理を経て、靭性が付与さ
れ、その抗折力強度は大であるため、バツト溶接
にも充分の耐性を具備している。しかしながら、
他方の部材であるモリブデン焼結体は未加工であ
るがゆえに、靭性はなくその抗折力強度が一般に
小さい。従つてかかるモリブデン焼結体を上記モ
リブデン線材とバツト溶接する場合、適用される
圧が大きいと、溶接端面あるいはその近傍にクラ
ツクや欠けが発生して良好な溶接状態から得られ
ず、エンドハツトの製造得率が低下するという問
題が生じていた。 ［発明の目的］ 本発明は、上記した問題を解消し、バツト溶接
時にクラツク、欠け等が生ずることの極めて少い
モリブデン焼結体及びその製造方法を提供するこ
とを目的とする。 ［発明の概要］ 本発明者らは、エンドハツトの製造時における
モリブデン焼結体のクラツク、欠け等の発生を低
減したエンドハツトの製造得率を高めるべく鋭意
検討したところ、抗折力強度がある値以上のモリ
ブデン焼結体の場合には、常法のバツト溶接時に
あつても上記問題を生ずることが極めて少ないと
の事実を見い出した。そしてモリブデン焼結体
は、従来高い焼結温度でなされる方が良いという
ことで1850℃以上で焼結されていたが本モリブデ
ン焼結体は、焼結温度を低い方に移行すれば抗折
強度を容易に高めることができるとの知見を得、
本発明を開発するに到つた。 即ち、本発明のモリブデン焼結体は、抗折力強
度が30Kg／mm2以上であることを特徴とし、その製
造方法は、常法により圧粉成形したモリブデン成
形体を水素雰囲気中1650〜1800℃の温度範囲で焼
結することを特徴とする。 本発明の焼結体は、その抗折力強度が30Kg／mm2
以上である。この値が30Kg／mm2より小さい場合
は、エンドハツトの製造時に適用される60〜90Kg
の総圧に対する耐性が小さくしたが、したがつて
溶接時のクラツク、欠け等の発生が増加してしま
う。かかるモリブデン焼結体にあつて、その抗折
力強度は、好ましくは43Kg／mm2以上であるのがよ
い。 このようなモリブデン焼結体は次のようにして
製造することができる。 まずモリブデン粉末を所定の型に充填し、加圧
成形として成形体とする。この成形時の条件は、
目的とする焼結体の寸法との関係で適宜選定され
る。しかしながら、通常は、平均粒径２〜5μｍ
のモリブデン粉末を用い、成形圧１〜3ton／cm2の
条件を採用すると、得られる成形体は、５〜８
ｇ／cm3の圧粉体密度で比較的緻密になるので好適
である。即ち、成形段階で緻密なものは、次の焼
結処理によつて更に緻密化し、したがつて機械的
強度例えば抗折力強度も向上するからである。 次いで、得られた成形体を焼結する。焼結は水
素等の還元雰囲気中で行われる。焼結は、通常１
〜10Nm3／minの水素気流中で行えばよい。焼結
温度は1650〜1800℃の範囲に設定される。この温
度が1650℃より低い場合は、焼結が十分進行せ
ず、抗折力強度を目的値にすることができず、逆
に1800℃より高い場合は、粒子が成長して結晶が
粗大化するため、粒界強度が弱くなり、抗折力強
度が低下し不都合である。焼結温度は、好ましく
は、1700〜1750℃とするのがよい。焼結時間は、
抗折力強度に大きな影響を与える因子ではない
が、通常１〜５時間が好適である。 ［発明の実施例］ 実施例１〜４及び比較例１〜３ 平均粒径3μｍのモリブデン粉末を有底円筒状
の型に充填し、成形圧2ton／cm2で常法により圧粉
成形してモリブデン成形体を得た。ついでこれら
も水素気流中で焼結温度を1550℃、1600℃、1650
℃、1700℃、1750℃、1800℃、1850℃±５℃と振
り、各３時間焼結し、直結８mmφ厚み2.5mmのモ
リブデン焼結体を各５本製造した。次にこれらの
焼結体の抗折力強度を常法により測定し、又焼結
体の結晶粒数も測定した。その結果を下記の表に
示す。
【表】
試験例
実施例１〜４及び比較例１〜３で得られたモリ
ブデン焼結体をマグネトロン用のエンドハツト支
持部材として用い、直結1.75mmφの加工処理した
モリブデン線材と突合わせて、所定の電流条件で
圧力70Kgを加えてバツト溶接を行ない、支持部材
の抗折力強度とかかるバツト溶接時に支持部材に
おいて発生するクラツク及び欠けの発生率との関
係を検討した。なおかかる抗折力強度とクラツク
及びかけの発生率との関係を調べるにあたつて、
同一の抗折力強度を有する支持部材100本につい
て試験を行ない、そのうち何本についてクラツク
及び欠けが発生したかを下記の表に示す。又マグ
ネトロン陰極構体にした場合のコイルと焼結体と
のロー付けに使用されたRu−Moとモリブデン焼
結体との反応性についても調べた。
ブデン焼結体をマグネトロン用のエンドハツト支
持部材として用い、直結1.75mmφの加工処理した
モリブデン線材と突合わせて、所定の電流条件で
圧力70Kgを加えてバツト溶接を行ない、支持部材
の抗折力強度とかかるバツト溶接時に支持部材に
おいて発生するクラツク及び欠けの発生率との関
係を検討した。なおかかる抗折力強度とクラツク
及びかけの発生率との関係を調べるにあたつて、
同一の抗折力強度を有する支持部材100本につい
て試験を行ない、そのうち何本についてクラツク
及び欠けが発生したかを下記の表に示す。又マグ
ネトロン陰極構体にした場合のコイルと焼結体と
のロー付けに使用されたRu−Moとモリブデン焼
結体との反応性についても調べた。
【表】
【表】
以上、実施例１〜４及び、比較例１〜３で示し
たようにモリブデン焼結体の製造方法において、
その製造条件が同一であつても、抗折力強度はば
らついている。しかし、その抗折力強度が30Kg／
mm2以上の焼結体であれば、試験例から明らかなよ
うに、マグネトロン用のエンドハツト支持部材を
構成すべく、加工したモリブデン線材とバツト溶
接する際のクラツク及び欠けの発生をほぼ完全に
回避することができる。又Ru−Moロー材との反
応性においても結晶粒を同時に管理することによ
り脱落等の無いものが得られることが判明した。
即ち、抗折力強度が30Kg／mm2以上でかつ結晶粒数
100個／mm2〜18000個／mm2であると、総合的に極め
て良好なマグネトロン用モリブデン焼結体が得ら
れることが判明した。 ［発明の効果］ 以上述べた通り、本発明のモリブデン焼結体
は、その抗折力強度が大きいために、焼結体その
ものを用いてバツト溶接によりマグネトロン用の
エンドハツト支持部材を構成する場合の製造得率
の向上に資することが大であつてその工業的価値
が大きい。 また、本発明のモリブデン焼結体の製造方法に
よれば、従来より低い温度で抗折力強度の優れた
モリブデン焼結体を得ることができ、その工業的
価値は大である。
たようにモリブデン焼結体の製造方法において、
その製造条件が同一であつても、抗折力強度はば
らついている。しかし、その抗折力強度が30Kg／
mm2以上の焼結体であれば、試験例から明らかなよ
うに、マグネトロン用のエンドハツト支持部材を
構成すべく、加工したモリブデン線材とバツト溶
接する際のクラツク及び欠けの発生をほぼ完全に
回避することができる。又Ru−Moロー材との反
応性においても結晶粒を同時に管理することによ
り脱落等の無いものが得られることが判明した。
即ち、抗折力強度が30Kg／mm2以上でかつ結晶粒数
100個／mm2〜18000個／mm2であると、総合的に極め
て良好なマグネトロン用モリブデン焼結体が得ら
れることが判明した。 ［発明の効果］ 以上述べた通り、本発明のモリブデン焼結体
は、その抗折力強度が大きいために、焼結体その
ものを用いてバツト溶接によりマグネトロン用の
エンドハツト支持部材を構成する場合の製造得率
の向上に資することが大であつてその工業的価値
が大きい。 また、本発明のモリブデン焼結体の製造方法に
よれば、従来より低い温度で抗折力強度の優れた
モリブデン焼結体を得ることができ、その工業的
価値は大である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 抵折力強度が30Kg／mm2以上であるモリブデン
焼結体。 ２ 抗折力強度が30Kg／mm2以上であるモリブデン
焼結体の製造方法であつて、常法により圧粉成形
したモリブデン成形体を水素雰囲気中1650〜1800
℃の温度範囲で焼結することを特徴とするモリブ
デン焼結体の製造方法。 ３ 前記モリブデン成形体の焼結温度が1700〜
1750℃の温度範囲である特許請求の範囲第２項記
載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29211885A JPS62151534A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | モリブデン焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29211885A JPS62151534A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | モリブデン焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62151534A JPS62151534A (ja) | 1987-07-06 |
| JPH0475294B2 true JPH0475294B2 (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=17777776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29211885A Granted JPS62151534A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | モリブデン焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62151534A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05345903A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-27 | Tokyo Tungsten Co Ltd | Ｍｏ焼結体及びその製造方法 |
| JPH0734153A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-03 | Tokyo Tungsten Co Ltd | モリブデン焼結体素材及びモリブデン材 |
| US8784729B2 (en) * | 2007-01-16 | 2014-07-22 | H.C. Starck Inc. | High density refractory metals and alloys sputtering targets |
| PL3135082T3 (pl) * | 2014-04-24 | 2021-09-13 | Triumf | Zespół tarczy do napromieniania molibdenu wiązką cząstek i sposób jego wytwarzania |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS529402B2 (ja) * | 1972-09-22 | 1977-03-16 |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29211885A patent/JPS62151534A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62151534A (ja) | 1987-07-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |