JPH0353678U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0353678U JPH0353678U JP11512589U JP11512589U JPH0353678U JP H0353678 U JPH0353678 U JP H0353678U JP 11512589 U JP11512589 U JP 11512589U JP 11512589 U JP11512589 U JP 11512589U JP H0353678 U JPH0353678 U JP H0353678U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- opening
- pair
- valve body
- moves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sliding Valves (AREA)
Description
第１図乃至第３図は本考案の真空バルブの一実
施例を示す図であり、第１図は斜視図、第２図は
正面図、第３図Ａは第２図のＡ矢視断面図、第３
図Ｂは第２図のＢ矢視断面図である。 １……ガイド部材、２……連結板、３……弁体
、４……駆動シリンダ、５……ガイド溝、６……
柱状支持部材、７……ガイドローラ、８……スラ
イド溝、９……駆動ロツド、１０……駆動ローラ
、１１……真空室壁面、１２……開口部。
施例を示す図であり、第１図は斜視図、第２図は
正面図、第３図Ａは第２図のＡ矢視断面図、第３
図Ｂは第２図のＢ矢視断面図である。 １……ガイド部材、２……連結板、３……弁体
、４……駆動シリンダ、５……ガイド溝、６……
柱状支持部材、７……ガイドローラ、８……スラ
イド溝、９……駆動ロツド、１０……駆動ローラ
、１１……真空室壁面、１２……開口部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空室の壁面に設けられた開口部を開閉するた
めの真空バルブにおいて、 前記開口部外面に、この開口部を挟んで対向配
置された一対のガイド部材と、 ガイド部材の対向面の上下２箇所に同形状に設
けられ、各々は、上下方向に延びる垂直部とこの
垂直部の上端から背面に向かう水平部または傾斜
部とを有するガイド溝と、 一対のガイド部材の間に設けられ、その両側の
上下２個所に、ガイド部材の各ガイド溝に挿入さ
れるガイドローラを有し、各ガイドローラのガイ
ド溝内における移動に応じて昇降および前後動し
て開放位置と閉塞位置との間を移動する弁体と、 弁体の両側に設けられ、前後方向に延びるスラ
イド溝と、 弁体の下方の両側に、動作方向が垂直方向とな
るように設けられ、その駆動ロツドの先端に、弁
体のスライド溝に係合する駆動ローラを有する駆
動シリンダとを備えたことを特徴とする真空バル
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11512589U JPH0353678U (ja) | 1989-09-30 | 1989-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11512589U JPH0353678U (ja) | 1989-09-30 | 1989-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353678U true JPH0353678U (ja) | 1991-05-23 |
Family
ID=31663466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11512589U Pending JPH0353678U (ja) | 1989-09-30 | 1989-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353678U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007146622A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-06-14 | Tokai Kenshiyou:Kk | 天端出し治具 |
| JP2012504212A (ja) * | 2008-09-29 | 2012-02-16 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
| JP2015515592A (ja) * | 2012-04-06 | 2015-05-28 | プリシス カンパニー，リミテッド | ゲートバルブ |
-
1989
- 1989-09-30 JP JP11512589U patent/JPH0353678U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007146622A (ja) * | 2005-10-31 | 2007-06-14 | Tokai Kenshiyou:Kk | 天端出し治具 |
| JP2012504212A (ja) * | 2008-09-29 | 2012-02-16 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
| TWI479097B (zh) * | 2008-09-29 | 2015-04-01 | Ｖａｔ控股股份有限公司 | Vacuum valve |
| JP2015515592A (ja) * | 2012-04-06 | 2015-05-28 | プリシス カンパニー，リミテッド | ゲートバルブ |