JPH0353693B2 - - Google Patents
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- JPH0353693B2 JPH0353693B2 JP56207997A JP20799781A JPH0353693B2 JP H0353693 B2 JPH0353693 B2 JP H0353693B2 JP 56207997 A JP56207997 A JP 56207997A JP 20799781 A JP20799781 A JP 20799781A JP H0353693 B2 JPH0353693 B2 JP H0353693B2
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- Japan
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- magnetic
- magnetic film
- deposited
- film
- ion bombardment
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
本発明は、磁性膜面に高級脂肪酸又はその金属
塩を真空蒸着させて耐摩耗性を向上させた磁気記
録体の製造法に関する。 最近、斜め蒸着磁性膜、Co−Cr垂直磁性膜、
Co−Ni−Ｐメツキ膜、γ−Fe2O3スパツタ膜、
BaO−Fe2O3スパツタ膜など金属や金属酸化物の
磁性膜を合成樹脂製等の非磁性基材上に形成した
高密度記録特性の優れた磁気テープ、磁気デスク
等の磁気記録体が知られて居り、その磁性膜の耐
摩耗性を向上せしめるため、高級脂肪酸又はその
金属塩を真空蒸着によりその磁性膜面にその蒸着
膜を肉薄に且つ強固に形成した耐摩耗性磁気記録
体の製造を提案した。（特開昭54−113303号、同
54−154306号）。 本発明者は、該磁性膜の表面状態により、その
高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着粒子の密着強度
が微妙に影響し、特に、製造後、一旦外気等に触
れて磁性膜表面に水分、N2、塵埃その他の汚染
物質が付着した状態のまゝこれに高級脂肪酸又は
その金属塩を真空蒸着させても、その密着性が、
その部分で劣化し、全体として剥離し易い即ち、
密着性の弱い、換言すれば、耐摩耗性の劣る耐摩
耗性磁気記録体が得られることが認められる。 本発明は、かゝる不都合がなく、磁性膜面に強
固に密着し、耐摩耗性の一層向上した磁気記録体
を確実に得る方法を提供するもので、磁気記録体
基材面に形成した磁性膜面に高級脂肪酸又はその
金属塩を真空蒸着するに先立ち、該磁性膜面に酸
素等の酸化性ガスを含む雰囲気下でボンバード処
理を行なうことを特徴とする。 次に本発明の製造法の実施例を説明する。 予め、従来の方法により、25μm厚のポリエス
テルフイルムからなるテープ基材面に、斜め蒸着
法によりCo−30％Niから成る斜め蒸着磁性膜
（厚さ2500Å）を形成し飽和磁化10400G、保磁力
900oeの磁気テープを作成した。次に之を添付図
面に示す本法を実施するための真空蒸着装置Ａの
真空容器１内の上部に配設した１対のロール２，
２間にかけて設置した。ａは前記磁気テープを示
す。図面で、３は、１方のロール２をベルトを介
し駆動する正逆回転の駆動モーターを示す。４
は、外部の直流電源５に接続するメツシユ状のイ
オンボンバード用電極を示し、該電極４は、該磁
気テープａの磁性膜面下方に対向し平行設置され
ている。６は、容器１の下部側面に導入されたガ
ス供給管を示し、該管６に介入のバルブ７によ
り、酸素ガス等の酸化性ガス量の供給が調節自在
となり真空容器１内のガス圧が適当に調節され
る。磁気テープａの張設された水平面部の中間部
直下に蒸発用加熱器８を設置する。該加熱器８
は、外周面にタンタル線９をコイル状に巻き付け
た縦型の炉芯筒１０とその外周を被包した耐火ウ
ール等から成る外筒１１とから成り、該コイル状
タンタル巻線９は外部の交流電源１２に接続し、
スライダツク１３により加熱温度が制御されるよ
うにした。１４は、該筒状加熱器８内に収容した
るつぼを示し、該るつぼ１４内に所望の種類の高
級脂肪酸又はその金属塩の潤滑剤１５を入れる。
１６は、該原料１５の加熱温度を測定するための
熱電対を示す。これにより、その温度を測定し乍
ら、前記スライダツク１３を操作し、加熱温度を
適当に調節するようにした。１７は、前記イオン
ボンバード電極４の下方に設けた磁気テープａの
磁性膜ｂ面加熱用の赤外線ランプヒーターと反射
鏡から成る加熱器を示し、該加熱器１７は、外部
の交流電源１８に接続している。１９はその回路
内に介在のスライダツクを示す。２０は、磁性膜
又は蒸着膜面の温度を測定するための熱電対を示
す。２１，２１は、その中間に蒸着用空間を適宜
間隔で残し左右に配設された１対の遮蔽板を示
す。 次に本発明方法を上記装置により実施する例を
説明する。 真空排気により真空容器１内を例えば１×10-5
トール以下とし、ガス供給管６よりバルブ７を介
し、酸素ガス等の酸化性ガスを真空容器１内に導
入し、0.1トールのガス圧に保持される。１方、
該駆動モーター３により１側のロール２を１方向
に回転させ、磁気テープａを１方へ一定速度で送
り、他側のロール２に巻きとるようにする。この
間、イオンボンバード用電極４に電源５により例
えば−500Vの電圧を印加し、例えば酸素ガスボ
ンバードが0.1トールのガス圧で10分間走行する
磁気テープａの磁性膜ｂ面がイオンボンバードを
受けるようなテープ送り速度とする。かくして、
該磁性膜ｂ面に付着の水分、塵埃等の汚物は、イ
オンボンバードにより除去されしかも磁性膜の表
面が酸化されて漸次他側のロール２に巻き取ら
れ、浄化且つ酸化された磁性膜ｂをもつ磁気テー
プａを他側のロール２上に得る。浄化処理は、必
要により磁気テープａをロール２，２間を少くと
も１回往復させて完了するようにしてもよい。 上記のようにして、磁気テープｂの全長に亘る
浄化処理が完了したら、イオンボンバード用電極
４の作動を止め、次に直ちに、るつぼ１４内に用
意した高級脂肪酸又はその金属塩１５を、加熱器
８により加熱蒸発させ、１方前記の例えば他側の
ロール２に巻き取られた磁気テープａを、前記の
駆動モーター３の回転を逆にして、前記と逆方向
へ緩徐に例えば10cm／minの速度で走行させ１側
のロール２に巻き取るようにするが、この間、通
常赤外線加熱器１７により該磁性膜ｂ面を60℃以
上の温度に加熱し、その加熱された磁性膜ｂ面に
高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着を行なうように
することが好ましい。かくして、数Å乃至数百Å
厚の蒸着膜を生成せしめて１方のロール２内に巻
き取る。この蒸着作業も、必要に応じ、反対方向
に磁気テープを走行し少くとも１回の往復で行な
うようにしてもよい。 多くの実験による知見によれば、磁性金属粒子
のみから成る磁性膜の表面を酸化させ、その酸化
表面に高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着させたも
のは、一層強固に磁性膜に密着し耐摩耗性の蒸着
膜を得られることが分つた。この手段として、酸
素ガスを導入し、この酸素ガスでイオンボンバー
ドするとその磁性膜表面の浄化に加え同時にその
表面を酸化せしめることが出来、この浄化酸化し
た磁性膜面に前記潤滑剤の真空蒸着を同様に行な
うときは、下記表に明らかなように一層耐摩耗性
の磁気記録体が得られた。この一層強固な結着
は、その酸化面に高級脂肪酸又はその塩の化学吸
着がより強固に行なわれるからであると考えられ
る。 尚、上記したように、磁性テープを60℃以上に
加熱した状態で前記材料の真空蒸着を行なうとき
は、過剰な蒸着による粘着性の発生が防止できる
利点がある。 次に、強磁性金属をテープ基材面に斜め蒸着に
よりその磁性膜を形成した磁気テープを製造後大
気中に15分放置したもの（試料No.１〜No.７）及び
30日放置して該金属磁性膜の表面にその酸化層を
形成したもの（試料No.８〜No.10）につきイオンボ
ンバード処理効果を明らかにするため、下記表１
に示す如き各異なる製法で夫々の磁気テープを
得、これにつき耐摩耗性等を測定し、夫々次の如
き結果を得た。
塩を真空蒸着させて耐摩耗性を向上させた磁気記
録体の製造法に関する。 最近、斜め蒸着磁性膜、Co−Cr垂直磁性膜、
Co−Ni−Ｐメツキ膜、γ−Fe2O3スパツタ膜、
BaO−Fe2O3スパツタ膜など金属や金属酸化物の
磁性膜を合成樹脂製等の非磁性基材上に形成した
高密度記録特性の優れた磁気テープ、磁気デスク
等の磁気記録体が知られて居り、その磁性膜の耐
摩耗性を向上せしめるため、高級脂肪酸又はその
金属塩を真空蒸着によりその磁性膜面にその蒸着
膜を肉薄に且つ強固に形成した耐摩耗性磁気記録
体の製造を提案した。（特開昭54−113303号、同
54−154306号）。 本発明者は、該磁性膜の表面状態により、その
高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着粒子の密着強度
が微妙に影響し、特に、製造後、一旦外気等に触
れて磁性膜表面に水分、N2、塵埃その他の汚染
物質が付着した状態のまゝこれに高級脂肪酸又は
その金属塩を真空蒸着させても、その密着性が、
その部分で劣化し、全体として剥離し易い即ち、
密着性の弱い、換言すれば、耐摩耗性の劣る耐摩
耗性磁気記録体が得られることが認められる。 本発明は、かゝる不都合がなく、磁性膜面に強
固に密着し、耐摩耗性の一層向上した磁気記録体
を確実に得る方法を提供するもので、磁気記録体
基材面に形成した磁性膜面に高級脂肪酸又はその
金属塩を真空蒸着するに先立ち、該磁性膜面に酸
素等の酸化性ガスを含む雰囲気下でボンバード処
理を行なうことを特徴とする。 次に本発明の製造法の実施例を説明する。 予め、従来の方法により、25μm厚のポリエス
テルフイルムからなるテープ基材面に、斜め蒸着
法によりCo−30％Niから成る斜め蒸着磁性膜
（厚さ2500Å）を形成し飽和磁化10400G、保磁力
900oeの磁気テープを作成した。次に之を添付図
面に示す本法を実施するための真空蒸着装置Ａの
真空容器１内の上部に配設した１対のロール２，
２間にかけて設置した。ａは前記磁気テープを示
す。図面で、３は、１方のロール２をベルトを介
し駆動する正逆回転の駆動モーターを示す。４
は、外部の直流電源５に接続するメツシユ状のイ
オンボンバード用電極を示し、該電極４は、該磁
気テープａの磁性膜面下方に対向し平行設置され
ている。６は、容器１の下部側面に導入されたガ
ス供給管を示し、該管６に介入のバルブ７によ
り、酸素ガス等の酸化性ガス量の供給が調節自在
となり真空容器１内のガス圧が適当に調節され
る。磁気テープａの張設された水平面部の中間部
直下に蒸発用加熱器８を設置する。該加熱器８
は、外周面にタンタル線９をコイル状に巻き付け
た縦型の炉芯筒１０とその外周を被包した耐火ウ
ール等から成る外筒１１とから成り、該コイル状
タンタル巻線９は外部の交流電源１２に接続し、
スライダツク１３により加熱温度が制御されるよ
うにした。１４は、該筒状加熱器８内に収容した
るつぼを示し、該るつぼ１４内に所望の種類の高
級脂肪酸又はその金属塩の潤滑剤１５を入れる。
１６は、該原料１５の加熱温度を測定するための
熱電対を示す。これにより、その温度を測定し乍
ら、前記スライダツク１３を操作し、加熱温度を
適当に調節するようにした。１７は、前記イオン
ボンバード電極４の下方に設けた磁気テープａの
磁性膜ｂ面加熱用の赤外線ランプヒーターと反射
鏡から成る加熱器を示し、該加熱器１７は、外部
の交流電源１８に接続している。１９はその回路
内に介在のスライダツクを示す。２０は、磁性膜
又は蒸着膜面の温度を測定するための熱電対を示
す。２１，２１は、その中間に蒸着用空間を適宜
間隔で残し左右に配設された１対の遮蔽板を示
す。 次に本発明方法を上記装置により実施する例を
説明する。 真空排気により真空容器１内を例えば１×10-5
トール以下とし、ガス供給管６よりバルブ７を介
し、酸素ガス等の酸化性ガスを真空容器１内に導
入し、0.1トールのガス圧に保持される。１方、
該駆動モーター３により１側のロール２を１方向
に回転させ、磁気テープａを１方へ一定速度で送
り、他側のロール２に巻きとるようにする。この
間、イオンボンバード用電極４に電源５により例
えば−500Vの電圧を印加し、例えば酸素ガスボ
ンバードが0.1トールのガス圧で10分間走行する
磁気テープａの磁性膜ｂ面がイオンボンバードを
受けるようなテープ送り速度とする。かくして、
該磁性膜ｂ面に付着の水分、塵埃等の汚物は、イ
オンボンバードにより除去されしかも磁性膜の表
面が酸化されて漸次他側のロール２に巻き取ら
れ、浄化且つ酸化された磁性膜ｂをもつ磁気テー
プａを他側のロール２上に得る。浄化処理は、必
要により磁気テープａをロール２，２間を少くと
も１回往復させて完了するようにしてもよい。 上記のようにして、磁気テープｂの全長に亘る
浄化処理が完了したら、イオンボンバード用電極
４の作動を止め、次に直ちに、るつぼ１４内に用
意した高級脂肪酸又はその金属塩１５を、加熱器
８により加熱蒸発させ、１方前記の例えば他側の
ロール２に巻き取られた磁気テープａを、前記の
駆動モーター３の回転を逆にして、前記と逆方向
へ緩徐に例えば10cm／minの速度で走行させ１側
のロール２に巻き取るようにするが、この間、通
常赤外線加熱器１７により該磁性膜ｂ面を60℃以
上の温度に加熱し、その加熱された磁性膜ｂ面に
高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着を行なうように
することが好ましい。かくして、数Å乃至数百Å
厚の蒸着膜を生成せしめて１方のロール２内に巻
き取る。この蒸着作業も、必要に応じ、反対方向
に磁気テープを走行し少くとも１回の往復で行な
うようにしてもよい。 多くの実験による知見によれば、磁性金属粒子
のみから成る磁性膜の表面を酸化させ、その酸化
表面に高級脂肪酸又はその金属塩の蒸着させたも
のは、一層強固に磁性膜に密着し耐摩耗性の蒸着
膜を得られることが分つた。この手段として、酸
素ガスを導入し、この酸素ガスでイオンボンバー
ドするとその磁性膜表面の浄化に加え同時にその
表面を酸化せしめることが出来、この浄化酸化し
た磁性膜面に前記潤滑剤の真空蒸着を同様に行な
うときは、下記表に明らかなように一層耐摩耗性
の磁気記録体が得られた。この一層強固な結着
は、その酸化面に高級脂肪酸又はその塩の化学吸
着がより強固に行なわれるからであると考えられ
る。 尚、上記したように、磁性テープを60℃以上に
加熱した状態で前記材料の真空蒸着を行なうとき
は、過剰な蒸着による粘着性の発生が防止できる
利点がある。 次に、強磁性金属をテープ基材面に斜め蒸着に
よりその磁性膜を形成した磁気テープを製造後大
気中に15分放置したもの（試料No.１〜No.７）及び
30日放置して該金属磁性膜の表面にその酸化層を
形成したもの（試料No.８〜No.10）につきイオンボ
ンバード処理効果を明らかにするため、下記表１
に示す如き各異なる製法で夫々の磁気テープを
得、これにつき耐摩耗性等を測定し、夫々次の如
き結果を得た。
【表】
上記表から明らかなように、イオンボンバード
処理しないで蒸着処理した試料No.２，５，８に比
し、イオンボンバード処理した後蒸着処理した本
法試料No.３，４，６，７，９，10のスチル再生寿
命は著しく延長したものが得られる。特に、金属
磁性膜は、本発明に基づくO2ガスによるイオン
ボンバードにより、非酸化性のArガスによるイ
オンボンバードに比しそのスチル再生寿命に著し
い効果が得られることが分る。（試料No.６及びNo.
７参照）。又試料No.９及び10を対比し明らかなよ
うに、磁性膜が予め金属酸化表面である場合は、
イオンボンバードのガスは酸化性ガスに無関係
に、試料No.４及び７と同等の大きいスチル再生寿
命が得られるが、30日間放置することは生産性を
阻害するので好ましくない。 このように、本発明によれば、基材面に形成し
た磁性膜面を、これに高級脂肪酸又はその金属塩
を真空蒸着せしめる前に、酸化性ガスを含む雰囲
気下でイオンボンバード処理するので、イオンボ
ンバード処理しない場合に比し、著しく強固に蒸
着し得られ、耐摩耗性の著しく向上した磁気記録
体を製造し得られる効果を有する。
処理しないで蒸着処理した試料No.２，５，８に比
し、イオンボンバード処理した後蒸着処理した本
法試料No.３，４，６，７，９，10のスチル再生寿
命は著しく延長したものが得られる。特に、金属
磁性膜は、本発明に基づくO2ガスによるイオン
ボンバードにより、非酸化性のArガスによるイ
オンボンバードに比しそのスチル再生寿命に著し
い効果が得られることが分る。（試料No.６及びNo.
７参照）。又試料No.９及び10を対比し明らかなよ
うに、磁性膜が予め金属酸化表面である場合は、
イオンボンバードのガスは酸化性ガスに無関係
に、試料No.４及び７と同等の大きいスチル再生寿
命が得られるが、30日間放置することは生産性を
阻害するので好ましくない。 このように、本発明によれば、基材面に形成し
た磁性膜面を、これに高級脂肪酸又はその金属塩
を真空蒸着せしめる前に、酸化性ガスを含む雰囲
気下でイオンボンバード処理するので、イオンボ
ンバード処理しない場合に比し、著しく強固に蒸
着し得られ、耐摩耗性の著しく向上した磁気記録
体を製造し得られる効果を有する。
図面は本発明方法を実施する装置の１例の截断
側面線図を示す。 Ａ…真空蒸発装置、ａ…磁気テープ、ｂ…磁性
膜、１…真空容器、２…ロール、３…駆動モータ
ー、４…イオンボンバード用電極、５…電源、６
…ガス供給管、７…バルブ、８…蒸発用加熱器、
１４…るつぼ、１５…高級脂肪酸又はその金属
塩。
側面線図を示す。 Ａ…真空蒸発装置、ａ…磁気テープ、ｂ…磁性
膜、１…真空容器、２…ロール、３…駆動モータ
ー、４…イオンボンバード用電極、５…電源、６
…ガス供給管、７…バルブ、８…蒸発用加熱器、
１４…るつぼ、１５…高級脂肪酸又はその金属
塩。
Claims (1)
- １ 磁気記録体基材面に形成した磁性膜面に高級
脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着するに先立ち、
該磁性膜面に酸素等の酸化性ガスを含む雰囲気下
でイオンボンバード処理を行なうことを特徴とす
る耐摩耗性磁気記録体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56207997A JPS58111128A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56207997A JPS58111128A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111128A JPS58111128A (ja) | 1983-07-02 |
| JPH0353693B2 true JPH0353693B2 (ja) | 1991-08-15 |
Family
ID=16548961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56207997A Granted JPS58111128A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111128A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182013A (ja) * | 1984-02-28 | 1985-09-17 | Hitachi Condenser Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54113303A (en) * | 1978-02-24 | 1979-09-04 | Ulvac Corp | Magnetic record having metal thin film |
| JPS54154306A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-05 | Ulvac Corp | Wear resistant magnetic record and method of fabricating same |
| JPS567232A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS567238A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS57186231A (en) * | 1981-05-13 | 1982-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture for magnetic recording medium |
-
1981
- 1981-12-24 JP JP56207997A patent/JPS58111128A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58111128A (ja) | 1983-07-02 |
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