JPS58111128A - 耐摩耗性磁気記録体の製造法 - Google Patents
耐摩耗性磁気記録体の製造法Info
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- JPS58111128A JPS58111128A JP56207997A JP20799781A JPS58111128A JP S58111128 A JPS58111128 A JP S58111128A JP 56207997 A JP56207997 A JP 56207997A JP 20799781 A JP20799781 A JP 20799781A JP S58111128 A JPS58111128 A JP S58111128A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 78
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 title abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 title description 10
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 claims abstract description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 16
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims abstract description 16
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 claims description 14
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 claims description 14
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 claims description 14
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 claims description 14
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 abstract description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 abstract description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract 2
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 abstract 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract 1
- HGPXWXLYXNVULB-UHFFFAOYSA-M lithium stearate Chemical compound [Li+].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O HGPXWXLYXNVULB-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 235000014653 Carica parviflora Nutrition 0.000 description 1
- 241000243321 Cnidaria Species 0.000 description 1
- -1 Mi P l film Chemical class 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002496 gastric effect Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000000003 hoof Anatomy 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁性膜面に高級脂肪酸又はその金ｊＩＫ地を
真空蒸着させて耐摩耗性を向上させた磁気記録体の製造
法に関する。
真空蒸着させて耐摩耗性を向上させた磁気記録体の製造
法に関する。
最近、斜め蒸着磁性膜、０ｏ−Ｏｒ撫直磁性膜、Ｏ。
Ｍｉ Ｐ ｌ ツキ膜、ｒ １＠＠ＯＢスハ７ 夕
３％、Ｂａ０−ＩＦ・−、スパッタ膜など金属や金属酸
化物の磁性膜を合成樹脂製等の非磁性基材上に形成した
高密度記録特性の優れた磁気テープ、磁気デスク等の磁
気記録体が知られて居り、その磁性膜の耐摩耗性を向上
せしめるため、高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着に
よりその磁性膜面にその蒸着膜を肉薄に且つ強固に形成
した耐摩耗性磁気記録体の製造を提案した０ （特願昭
５５−１９４１５号１仝５１−４２２７９号）。
３％、Ｂａ０−ＩＦ・−、スパッタ膜など金属や金属酸
化物の磁性膜を合成樹脂製等の非磁性基材上に形成した
高密度記録特性の優れた磁気テープ、磁気デスク等の磁
気記録体が知られて居り、その磁性膜の耐摩耗性を向上
せしめるため、高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着に
よりその磁性膜面にその蒸着膜を肉薄に且つ強固に形成
した耐摩耗性磁気記録体の製造を提案した０ （特願昭
５５−１９４１５号１仝５１−４２２７９号）。
本発明者は、該磁性膜の表面状態により１その高級脂肪
酸又はその金属塩の蒸着粒子の密着強度が微妙に影響し
、特に１製造後１一旦外気噂に触れて磁性膜表面に水分
％”１％塵埃その他の汚染物質が付着した状態の１−こ
れに高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着させても、そ
の密着性が、その部分で劣化し、全体として剥離し易い
即ち１密着性の弱い、換言すれば１耐摩耗性の劣る耐摩
耗性磁気記録体が得られることが認められる・ 本発明は、か−る不都合がなく、磁性膜面に強幽に密着
し、耐摩耗性の向上した磁気記録体をＳ＊に得る方法を
提供したもので、磁気記録体基材面に形成した磁性膜面
に高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着するに先立ち、
該磁性膜面にイオンボンバード処理を行なうことを特徴
とする。
酸又はその金属塩の蒸着粒子の密着強度が微妙に影響し
、特に１製造後１一旦外気噂に触れて磁性膜表面に水分
％”１％塵埃その他の汚染物質が付着した状態の１−こ
れに高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着させても、そ
の密着性が、その部分で劣化し、全体として剥離し易い
即ち１密着性の弱い、換言すれば１耐摩耗性の劣る耐摩
耗性磁気記録体が得られることが認められる・ 本発明は、か−る不都合がなく、磁性膜面に強幽に密着
し、耐摩耗性の向上した磁気記録体をＳ＊に得る方法を
提供したもので、磁気記録体基材面に形成した磁性膜面
に高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着するに先立ち、
該磁性膜面にイオンボンバード処理を行なうことを特徴
とする。
更に本発明によれば、上記の製造法に於て、一層その耐
摩耗性を向上せしめた耐摩耗性磁気記録体を製造する方
法を提供するもので、磁気記録体基材面に形成した磁性
膜面に高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着するに先立
ち、該磁性１！１面に酸素等の酸化性ガスを含む雰囲気
下でボンバード処理を行なうことを特徴とする。
摩耗性を向上せしめた耐摩耗性磁気記録体を製造する方
法を提供するもので、磁気記録体基材面に形成した磁性
膜面に高級脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着するに先立
ち、該磁性１！１面に酸素等の酸化性ガスを含む雰囲気
下でボンバード処理を行なうことを特徴とする。
次に本発明の製１！１沫の実施例を説明する。
によりＯｏ−！ｉ０％ｌＩｉから成る斜め蒸着磁性膜（
厚さ２５００ム）を形成し飽和磁化１０４００Ｇ１保磁
力９００ｏ・の磁気テープを作成した０次に之を添付図
面に示す本性を実施するための真空蒸着装置ムの真空容
器１１）内の上部に配設した１対のロール（２） ＋２
１間にかけて設置した（、ａは前記磁気テープを示す。
厚さ２５００ム）を形成し飽和磁化１０４００Ｇ１保磁
力９００ｏ・の磁気テープを作成した０次に之を添付図
面に示す本性を実施するための真空蒸着装置ムの真空容
器１１）内の上部に配設した１対のロール（２） ＋２
１間にかけて設置した（、ａは前記磁気テープを示す。
図面で、（３）は、１方のｐ−ル（２）をベルトを介し
駆動する正逆回転の駆動モータニを示す。（４）は、外
部の直流電Ｉｔ（５１に接続するメツシュ状のイオンボ
ンバード用電極を示し、該電極（４）は、該磁気チー１
１の磁性膜面下方に対向し平行設置されている。（６）
は、容器（１）の下部側面に導入されたガス供給管を示
し、該１１Ｆ ＋６）に介入のパルプ（７）により、酸
素ガスやアルゴン等の不活性ガス等のガス量の供給が調
節自在となり、真空容器内のそのガス圧を適当に調節さ
れる。磁気テープａの張設された水平面部の中間部直下
に蒸発用加熱器（８）を設置する。
駆動する正逆回転の駆動モータニを示す。（４）は、外
部の直流電Ｉｔ（５１に接続するメツシュ状のイオンボ
ンバード用電極を示し、該電極（４）は、該磁気チー１
１の磁性膜面下方に対向し平行設置されている。（６）
は、容器（１）の下部側面に導入されたガス供給管を示
し、該１１Ｆ ＋６）に介入のパルプ（７）により、酸
素ガスやアルゴン等の不活性ガス等のガス量の供給が調
節自在となり、真空容器内のそのガス圧を適当に調節さ
れる。磁気テープａの張設された水平面部の中間部直下
に蒸発用加熱器（８）を設置する。
該加熱ＩＩ （８）は、外周面にタンタル１１（９）を
コイル状に巻き付けた縦型の炉芯筒ａ−とその外周を被
包した耐大ウール等から成る外筒■とから成り、該コイ
ル状タンタル巻線（９）は外部の交流電源Ｉに接続し、
スライダックＩにより加熱温度が制御されるようにした
。ａ４は、該筒状加熱Ｉ！＃（８）内に収容したるつぼ
を示し、蒙るつぼＩ内に所望の一類の高級脂肪酸又はそ
の金属塩の潤滑剤ａＳを入れる・翰は、該原料鱈の加熱
温度を測定するための熱電対を示す。これにより、その
温度を測定し乍ら、前記スライダック０を操作し、加熱
温度を適当に調節するようにした＊ ａ？ｌは、前記イ
オンボンバード電ｆｉ６４）の下方に設けた磁気テープ
ａの磁性膜１１面加熱用の赤外線テンプヒーターと反射
鏡から成る加熱器を示し、蒙加熱−６７）は、外部の交
流電源ａ蹄に接続している。
コイル状に巻き付けた縦型の炉芯筒ａ−とその外周を被
包した耐大ウール等から成る外筒■とから成り、該コイ
ル状タンタル巻線（９）は外部の交流電源Ｉに接続し、
スライダックＩにより加熱温度が制御されるようにした
。ａ４は、該筒状加熱Ｉ！＃（８）内に収容したるつぼ
を示し、蒙るつぼＩ内に所望の一類の高級脂肪酸又はそ
の金属塩の潤滑剤ａＳを入れる・翰は、該原料鱈の加熱
温度を測定するための熱電対を示す。これにより、その
温度を測定し乍ら、前記スライダック０を操作し、加熱
温度を適当に調節するようにした＊ ａ？ｌは、前記イ
オンボンバード電ｆｉ６４）の下方に設けた磁気テープ
ａの磁性膜１１面加熱用の赤外線テンプヒーターと反射
鏡から成る加熱器を示し、蒙加熱−６７）は、外部の交
流電源ａ蹄に接続している。
ａ場はその回路内に介在のスライダックを示す。
（社）は、磁性膜又は蒸着裏面の温度を測定するための
熱電対を示す、＠Ｂυは、その中間に蒸着用空間を適宜
間隔で残し左右に配設された１対の遮蔽板を示す０ 次に本発明方法を上記装置により実施する例を説明する
。
熱電対を示す、＠Ｂυは、その中間に蒸着用空間を適宜
間隔で残し左右に配設された１対の遮蔽板を示す０ 次に本発明方法を上記装置により実施する例を説明する
。
真空排気により真空容器（１）内を例えばｌＸｌ０’ト
ール以下とし、ガス供給管（６）よりパルプ（７）を介
し、アルゴンガス等の不活性ガスを真空容器（１）内ニ
導入し、０．１）−ルのガス圧に保持される。１方、該
駆動モーター（３）により１儒のａ −ル（２）を１方
向に回転させ１磁気テープ１を１方へ一定速度で送り、
他側の一一ル（２）に巻きとるようにする。この間、イ
オンボンバード用電極（４）に電源（５）により例えば
−５ｏｏｖの電圧を印加し、例えばアルゴンガスぽンパ
ードが０．１シールのガス圧で１０分分間性する磁気テ
ープａの磁性膜１面がイオンボンバードを受けるような
テープ送り速度とする。かくして、該磁性膜す面に付着
の水分−塵埃等の汚物は、イオンボンバードにより除＊
されて一次他側のロール（２）に巻き取られ、浄化され
た磁性ｌ［ｂをもつ磁気テープａを他側の胃−ル（２）
上に得る。浄化蝙珊は、必要により磁気テープ＆ ｆ
ａ−ル（２） （２）間を少くとも１回往復させて完了
するようにしてもよい。
ール以下とし、ガス供給管（６）よりパルプ（７）を介
し、アルゴンガス等の不活性ガスを真空容器（１）内ニ
導入し、０．１）−ルのガス圧に保持される。１方、該
駆動モーター（３）により１儒のａ −ル（２）を１方
向に回転させ１磁気テープ１を１方へ一定速度で送り、
他側の一一ル（２）に巻きとるようにする。この間、イ
オンボンバード用電極（４）に電源（５）により例えば
−５ｏｏｖの電圧を印加し、例えばアルゴンガスぽンパ
ードが０．１シールのガス圧で１０分分間性する磁気テ
ープａの磁性膜１面がイオンボンバードを受けるような
テープ送り速度とする。かくして、該磁性膜す面に付着
の水分−塵埃等の汚物は、イオンボンバードにより除＊
されて一次他側のロール（２）に巻き取られ、浄化され
た磁性ｌ［ｂをもつ磁気テープａを他側の胃−ル（２）
上に得る。浄化蝙珊は、必要により磁気テープ＆ ｆ
ａ−ル（２） （２）間を少くとも１回往復させて完了
するようにしてもよい。
上記のようにして、磁気テープ−〇全長に亘る浄化処理
が完了したら、イオンボンバード用電極（４）の作動を
止め一次に直ちに、るつぼａ４内に用意した高級脂肪酸
又はその金属塩ａＳを一加熱！１１１ （１１＆：より
加熱蒸発させ、１方前記の例えば他側のロール（２）に
響き取られた磁気テープ＆ｔｂ前記の駆動モーター（８
）の回転を逆にして、前記と逆方向へ緩１９Ｉ＆：例え
ば１０ Ｃａｌ ／ ｍｉｍの速度で走行させ１側のり
一層（２）に巻き取るようにするが、この間、通常赤外
線加熱響鰭により該磁性膜１ｒｋＪを６０℃以上の温度
に加熱し、その加熱された磁性膜す面に高級脂肪酸又は
その金属塩の蒸着を行なうようにすることが好ましい。
が完了したら、イオンボンバード用電極（４）の作動を
止め一次に直ちに、るつぼａ４内に用意した高級脂肪酸
又はその金属塩ａＳを一加熱！１１１ （１１＆：より
加熱蒸発させ、１方前記の例えば他側のロール（２）に
響き取られた磁気テープ＆ｔｂ前記の駆動モーター（８
）の回転を逆にして、前記と逆方向へ緩１９Ｉ＆：例え
ば１０ Ｃａｌ ／ ｍｉｍの速度で走行させ１側のり
一層（２）に巻き取るようにするが、この間、通常赤外
線加熱響鰭により該磁性膜１ｒｋＪを６０℃以上の温度
に加熱し、その加熱された磁性膜す面に高級脂肪酸又は
その金属塩の蒸着を行なうようにすることが好ましい。
かめて１方のロール（２）内に巻き取る。この蒸着作業
も、必要に応じ、反対方向に磁気テープを走行し少くと
も１＠の往復で行なうようにしてもよい。
も、必要に応じ、反対方向に磁気テープを走行し少くと
も１＠の往復で行なうようにしてもよい。
崗、多くの実験による知見によれば、磁性金属粒子のみ
から成る磁性膜の表面を酸化させ鬼その酸化表面に高級
脂肪酸又はその金属塩の蒸着させたものは、一層強一に
磁性膜に密着し耐摩耗性の蒸着膜を得られることが分っ
た。この手段として、上記の実施例に於ける不活性ガス
に代え、酸化性ガス、運常好ましくは、酸素′ガスを導
入し、この酸素ガスでイオンボンバードした場合は、そ
の磁性膜表面の浄化に加え同時にその表面を酸化せしめ
ることが出来、この浄化酸化した磁性膜面に前記潤滑剤
の真空蒸着を同様に行なうときは、下記表に明らかなよ
うに一層耐摩耗性の磁気記録体が得られた・尚、磁性膜
が１磁性金属の酸化物から成る場合は、特に酸化ガスに
よるイオンボンバードを行なわないでも、不活性ガスに
よるイオンボンバード処理で〜良好な強固に密着した前
記真空蒸着膜が得られる。この一層強國な結着は、その
贈化面に高級脂肪酸又はその塩の化学吸着がより強固に
行なわれるからであると考えられる。
から成る磁性膜の表面を酸化させ鬼その酸化表面に高級
脂肪酸又はその金属塩の蒸着させたものは、一層強一に
磁性膜に密着し耐摩耗性の蒸着膜を得られることが分っ
た。この手段として、上記の実施例に於ける不活性ガス
に代え、酸化性ガス、運常好ましくは、酸素′ガスを導
入し、この酸素ガスでイオンボンバードした場合は、そ
の磁性膜表面の浄化に加え同時にその表面を酸化せしめ
ることが出来、この浄化酸化した磁性膜面に前記潤滑剤
の真空蒸着を同様に行なうときは、下記表に明らかなよ
うに一層耐摩耗性の磁気記録体が得られた・尚、磁性膜
が１磁性金属の酸化物から成る場合は、特に酸化ガスに
よるイオンボンバードを行なわないでも、不活性ガスに
よるイオンボンバード処理で〜良好な強固に密着した前
記真空蒸着膜が得られる。この一層強國な結着は、その
贈化面に高級脂肪酸又はその塩の化学吸着がより強固に
行なわれるからであると考えられる。
尚１上記したように、磁性テープｔ６０℃以上に加熱し
た状態で前記材料の真空蒸着を行なうときは、過廟な蒸
着による粘着性の発生が防止できる利点がある。
た状態で前記材料の真空蒸着を行なうときは、過廟な蒸
着による粘着性の発生が防止できる利点がある。
次に１強磁性金属をテープ基材面に斜め蒸着によりその
磁性膜を形成した磁気テープを製造後大気中に１ｓ分放
置したもの（試料ム１〜Ａ７）及び３０日放置して該金
属磁性膜の表面にその酸化層を形成したもの（試料Ａ８
〜Ａｔ Ｏ）につきイオンボンバード処理効果を明らか
（するため、下記表１に示す如き各員なる製法で夫々の
磁気テープを得、これにつき耐摩耗性等を測定し、夫々
次の如き結果な得た・ 上記表から明らかなように、イオンボンバード処理しな
いで蒸着処理した試料ｇ２．！、８に比し、イオンボン
バード処理した後蒸着処理した本性試料Ａ！、４，４，
７．？、１０のスチル再生寿命は着しく延長したものが
得られる。
磁性膜を形成した磁気テープを製造後大気中に１ｓ分放
置したもの（試料ム１〜Ａ７）及び３０日放置して該金
属磁性膜の表面にその酸化層を形成したもの（試料Ａ８
〜Ａｔ Ｏ）につきイオンボンバード処理効果を明らか
（するため、下記表１に示す如き各員なる製法で夫々の
磁気テープを得、これにつき耐摩耗性等を測定し、夫々
次の如き結果な得た・ 上記表から明らかなように、イオンボンバード処理しな
いで蒸着処理した試料ｇ２．！、８に比し、イオンボン
バード処理した後蒸着処理した本性試料Ａ！、４，４，
７．？、１０のスチル再生寿命は着しく延長したものが
得られる。
特に１金属磁性膜は、０−ガスによるイオンボンバード
により、非酸化性のムｒガスによるイオンボンバードに
比しそのスチル再生寿命に着しい効果が得られることが
分る。（試料Ａ４及び７参照）。又試料ム！及び１０を
対比し明らかなように、磁性膜が予め金属酸化表面であ
る場合は、イオンボンバードのガスは酸化性ガスに無関
係に１試料ム４及び７と岡啼の大きし１スチル再生寿命
が得られることが分る。
により、非酸化性のムｒガスによるイオンボンバードに
比しそのスチル再生寿命に着しい効果が得られることが
分る。（試料Ａ４及び７参照）。又試料ム！及び１０を
対比し明らかなように、磁性膜が予め金属酸化表面であ
る場合は、イオンボンバードのガスは酸化性ガスに無関
係に１試料ム４及び７と岡啼の大きし１スチル再生寿命
が得られることが分る。
このように電率発明によれば１基材面に形成した磁性膜
面を１これに高級脂肪酸又はその金属塩な真空蒸着せし
める前に、イオンボンバード処理するときは、イオンボ
ンバード処理しない場合に比し、著しく強固に蒸着し得
られ、耐摩耗性の着しく向上した磁気記録体を製造し得
られる効果を有する。
面を１これに高級脂肪酸又はその金属塩な真空蒸着せし
める前に、イオンボンバード処理するときは、イオンボ
ンバード処理しない場合に比し、著しく強固に蒸着し得
られ、耐摩耗性の着しく向上した磁気記録体を製造し得
られる効果を有する。
図面は本発明方法を実施する装置の１例の截断側面Ｍ図
を示す。 ム・・・真空蒸発装置 ＝−磁気テープ １・・・磁性
１［（１）・・・真空容−（２）−・・胃−ル （３）
−・・駆動モーター （４）・・・イオンボンバード用
電極 （５；・・・電源（６）・・・ガス供給管 （７
）・・・パルプ （８）・・・蒸発用加熱１１ （１
４）・・・るつぼ ０・・・高級脂肪酸又はその金属塩 外２名 間１
を示す。 ム・・・真空蒸発装置 ＝−磁気テープ １・・・磁性
１［（１）・・・真空容−（２）−・・胃−ル （３）
−・・駆動モーター （４）・・・イオンボンバード用
電極 （５；・・・電源（６）・・・ガス供給管 （７
）・・・パルプ （８）・・・蒸発用加熱１１ （１
４）・・・るつぼ ０・・・高級脂肪酸又はその金属塩 外２名 間１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １６ 磁気記録体基材面＆：影成した磁性膜面に高級
脂肪酸又はその金属塩を真空蒸着するに先立ち１該磁性
膜面にイオンボンバード＃＆環を行なうことな特徴とす
る耐摩耗性磁気記録体の一過性。 ｚ Ｉａ気記録体基材面に形成した磁性膜面に高級脂肪
酸又はその金属塩を真空蒸着するに先立ちＳ該磁性膜面
に酸素噂の酸化性ガスを含む雰囲気下でボンバード処理
を行なうことを特徴とする耐摩耗性磁気記録体の製造法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56207997A JPS58111128A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56207997A JPS58111128A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58111128A true JPS58111128A (ja) | 1983-07-02 |
| JPH0353693B2 JPH0353693B2 (ja) | 1991-08-15 |
Family
ID=16548961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56207997A Granted JPS58111128A (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58111128A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182013A (ja) * | 1984-02-28 | 1985-09-17 | Hitachi Condenser Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54113303A (en) * | 1978-02-24 | 1979-09-04 | Ulvac Corp | Magnetic record having metal thin film |
| JPS54154306A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-05 | Ulvac Corp | Wear resistant magnetic record and method of fabricating same |
| JPS567238A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS567232A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS57186231A (en) * | 1981-05-13 | 1982-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture for magnetic recording medium |
-
1981
- 1981-12-24 JP JP56207997A patent/JPS58111128A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54113303A (en) * | 1978-02-24 | 1979-09-04 | Ulvac Corp | Magnetic record having metal thin film |
| JPS54154306A (en) * | 1978-05-26 | 1979-12-05 | Ulvac Corp | Wear resistant magnetic record and method of fabricating same |
| JPS567238A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS567232A (en) * | 1979-07-02 | 1981-01-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
| JPS57186231A (en) * | 1981-05-13 | 1982-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture for magnetic recording medium |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182013A (ja) * | 1984-02-28 | 1985-09-17 | Hitachi Condenser Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0353693B2 (ja) | 1991-08-15 |
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