JPH0353833U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0353833U JPH0353833U JP11529789U JP11529789U JPH0353833U JP H0353833 U JPH0353833 U JP H0353833U JP 11529789 U JP11529789 U JP 11529789U JP 11529789 U JP11529789 U JP 11529789U JP H0353833 U JPH0353833 U JP H0353833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction chamber
- vapor phase
- growth apparatus
- infrared lamp
- phase growth
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
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- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る気相成長装置の第１の実
施例の断面図、第２図は第１の実施例の平面図、
第３図は赤外線ランプのスペクトル及び水の光透
過率を示すグラフ、第４図は反応室の壁での光強
度分布を示すグラフ、第５図は本考案に係る気相
成長装置の第２の実施例の断面図、第６図は第２
の実施例の平面図、第７図、第８図、第９図は従
来の気相成長装置の断面図である。 １……基板、３……反応室、５……赤外線ラン
プ、７……石英パイプ、８……流路。
施例の断面図、第２図は第１の実施例の平面図、
第３図は赤外線ランプのスペクトル及び水の光透
過率を示すグラフ、第４図は反応室の壁での光強
度分布を示すグラフ、第５図は本考案に係る気相
成長装置の第２の実施例の断面図、第６図は第２
の実施例の平面図、第７図、第８図、第９図は従
来の気相成長装置の断面図である。 １……基板、３……反応室、５……赤外線ラン
プ、７……石英パイプ、８……流路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 一部または全部が透明石英からなる反応室と
、該反応室の外部に設けられた赤外線ランプとを
備えた気相成長装置において、 前記赤外線ランプに対向する側の前記反応室の
外壁面に、冷却用の水路が局所的に設けられてい
ることを特徴とする気相成長装置。 ２ 一部または全部が透明石英からなる反応室と
、該反応室の外部に設けられた赤外線ランプとを
備えた気相成長装置において、 前記赤外線ランプに対向する側の前記反応室の
壁内に、冷却用の水路が局所的に設けられている
ことを特徴とする気相成長装置。 ３ 前記赤外線ランプの光強度が小さい部分にの
み、前記水路が設けられている請求項１または請
求項２記載の気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11529789U JPH0353833U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11529789U JPH0353833U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353833U true JPH0353833U (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=31663629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11529789U Pending JPH0353833U (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353833U (ja) |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP11529789U patent/JPH0353833U/ja active Pending
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