JPH0353840Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、温水等方圧加圧装置に関し、さら
に詳述すると、温水等方圧加圧装置おける槽内の
温水から立ち上がる蒸気を冷却して、槽内の温水
の蒸気が温水等方圧加圧装置外に流出するのを効
果的に防止すると共に着脱作業を簡単に行うこと
のできる蓋を備えた、構造の簡単な温水等方圧加
圧装置に関する。

［従来の技術およびその問題点］ 従来、たとえば複数の回路基板を積層してなる
多層回路基板を製造するための装置として、等方
圧加圧装置がある。

この等方圧加圧装置は、槽内の温水中に浸漬し
た圧力容器内に複数層の回路基板を収納し、その
後、この圧力容器内に純水を圧入することにより
前記回路基板を等方加圧し、これにより一体化す
るようになつている。

また、この等方圧加圧装置は、槽内の温水によ
る蒸気が等方圧加圧装置外に流出しないように、
槽の上部開口部を覆うカバーを設けてはいる。

しかしながら、被加圧物を圧力容器内に裝填す
るときには、前記カバーを取り外さねばならな
い。そうすると、温水の蒸気がこの等方圧加圧装
置を設置する部屋中に広がる。その結果、槽内か
ら立ち上がる蒸気により、圧力容器内に被加圧物
を裝填する作業等に支障を生ずる。

さらに、室内に広がる蒸気は、他の機器に湿気
を帯びさせてこれら機器の故障の原因となる。

従来の温水等方圧加圧装置は、たとえば金属で
製造されると共に上方に開口部を有する筒状の温
水槽と、その温水槽内の温水中に浸漬された圧力
容器とを備えてなり、この圧力容器内に被加圧物
を収納し、この圧力容器内を前記温水槽内の温水
で加熱すると共に前記圧力容器内に温水を圧入す
ることにより、前記被加圧物を等方加圧する構造
を有していた。

このような構造の温水等方圧加圧装置において
は、温水槽内の温水から立ち上がる蒸気が温水槽
外に流出し、流出した蒸気がその温水等方圧加圧
装置を設置する部屋の中の他の機器の故障を誘発
するという問題があつた。さらに、流出した蒸気
が部屋中に充満することにより、この温水等方圧
加圧装置の操作が困難になると共にその部屋での
他の作業が困難になるという問題もあつた。

かかる問題を解消するために、この出願人によ
り、前記温水槽内の温水液面よりも高い位置に配
置された冷却用蛇管を有する温水等方圧加圧装置
が提案された（実開昭62−43284号公報参照）。

しかしながら、前記提案にかかる温水等方圧加
圧装置では、温水槽内の限られた空間内に冷却用
蛇管を着脱するのは非常に困難であるという問題
点、温水槽内の点検のために前記冷却蛇管を温水
槽から取り外す際にあるいは分解した冷却用蛇管
を温水槽内に再び組み立てる際に、冷却用蛇管を
過つて変形させてしまつたりするという問題点、
また、温水槽内の温水表面から立ち上がる蒸気を
完全に冷却して温水槽外に流出させることを完全
に防止するには至らないことつまり前記冷却用蛇
管によつては温水槽外への蒸気の流出を完全に防
止することができないという問題点、また冷却用
蛇管の制作として面倒なパイプの曲げ加工を必要
とする等の問題点が依然として残つていた。その
外にも、前記提案にかかる温水等方圧加圧装置に
は、冷却用蛇管が温水槽内に装着されているため
に、温水槽外から冷却用蛇管の間に異物が入り込
んだときにはそれを除去するのが非常に困難であ
るという問題点もあつた。

本考案は前記問題点を解消するためになされた
ものである。

すなわち、この考案の目的は、前記問題点を解
消し、温水槽（以下、槽と略称する。）内の温水
による蒸気が槽外に流出するのを効果的に防止す
ると共に槽に簡単に着脱することができ、また、
着脱の際に他の部材にぶつけたりしても容易に変
形することのない、冷却用の蓋を備えた温水等方
圧加圧装置を提供することにある。

［前記問題点を解決するための手段］ 前記問題点を解決するためのこの考案の概要
は、第１図に示すように、槽１内の温水２中に浸
漬した圧力容器３内に被加圧物を収納し、この圧
力容器３内に温水２を圧入することにより前記被
加圧物を等方加圧する温水等方圧加圧装置４にお
いて、 前記圧力容器３を温水２中に浸漬した前記槽１
の、前記温水２の液面よりも上方にある槽開口部
１ａを閉鎖するように配置された、前記圧力容器
３の上部が突出するように開口した貫通孔７と冷
媒がジグザグになつて流通するように配置された
邪魔板（第１図に図示されず。）とを備えた蓋体
５を有することを特徴とする温水等方圧加圧装置
である。

前記槽１としては、適宜の加熱手段により加熱
された温水２と圧力容器３とを収容するように構
成することができる。

この温水等方圧加圧装置４を多数の回路基板を
一体に積層するために使用するのであれば、前記
温水２としては、純水やフツ素系不活性液体であ
るのが好ましい。

前記圧力容器３は、被加圧物を出し入れするた
めの開口部が槽１の内側にある温水２の液面より
も高くしかも後述する蓋体５の上面よりも高い位
置になるように縦寸法を有して、前記温水２の中
に浸漬し、前記槽１の中に収容されている。

前記被加圧物としては、たとえば回路基板を挙
げることができるが、高温、高圧の下に加圧加工
する必要のあるものであれば何であろうと特に限
定がない。

前記蓋体５は、温水２の液面の上方にあつて、
内部に冷媒がジグザグに通過可能で、槽１の中に
圧力容器を収納することにより形成される槽開口
部１ａを閉鎖可能な形態であり、しかも、槽１の
中に収容されている温水２から立ち上がる蒸気を
冷却することができれば特に制限がない。

第１図には蓋体１の一例が示されている。第１
図における蓋５は、前記槽１の中に圧力容器３を
収容した場合に、圧力容器３の上部が突出するよ
うな貫通孔７を有している。

第１図に示す例の外に、蓋体５として、第３図
に示すような平面が四角形である筺体６、第４図
に示すような平面が円形である筺体８が挙げられ
る。

また、上記蓋体５としては、第５図に示すよう
に、一方に半円弧状に窪んだ円弧状側面７ａ，７
ｂを有する一対の筺体６ａ，６ｂとからなり、前
記蓋開口部１ａを閉鎖するときには、前記半円弧
状側面７ａ，７ｂを相対向させて円形の貫通孔７
を形成し、この貫通孔７から前記圧力容器３の上
部を突出させる。この態様の蓋体５は、２個の分
割された部分６ａ，６ｂから構成されている。こ
の場合には、取付け作業が簡単となる利点を有す
る。

さらに、前記蓋体５においては、第６図〜第８
図に示すような様々のパターンの邪魔板９を交互
に適宜設けることもでき、この場合には冷却効率
を向上させることができる。

前記冷媒としては、通常、水で十分である。

［作用］ 次に、この考案の作用について説明する。

圧力容器３を収容する槽１内の水を適宜の加熱
手段で所定温度たとえば80℃に加熱すると、その
温水２の液面から蒸気が立ち昇る。この温水２の
上方であつて、槽１の上面には、蓋体５として、
内部に冷媒をジグザグに流通させた筺体６を配設
しているので、この筺体６により、前記蒸気が冷
却され、凝結して液中に戻る。

その結果、温水２の液面から立ち上がる蒸気が
槽１外に流出することがなくなる。

［実施例］ 次にこの考案の具体的な実施例を図面を参照し
ながら説明する。

第２図に示す温水等方圧加圧装置１０は、温水
１１を入れた槽１２内に、上部が温水１１の液面
の上方に露出するように圧力容器１３を浸漬す
る。この温水１１は、槽１２中に配設されたヒー
タ１４により所定温度たとえば80℃に加熱され
る。この槽１２の内周面近傍であつて、温水１１
の液面上方には、蓋体５を配設し、この蓋体５は
その冷却水入口（IN）から冷却水を送水し、冷
却水出口（OUT）から熱交換した冷却水を排出
する構造となつている。

一方、前記槽１２には、前記槽１２内に一端を
開口する排出管１６を取り付け、この排出管１６
は途中で枝別れしていて各支管の先端開口部それ
ぞれを循環ポンプ１７と昇圧ポンプ１８とに接続
する。また、前記圧力容器１３内の底面近傍に一
端開口部を有する導入管１９ａをこの圧力容器１
３に取り付け、この導入管１９ａは途中枝別れし
ていて、枝別れした支管１９ｂは前記昇圧ポンプ
１７および空気駆動の弁２０を介して循環ポンプ
１８に結合する。さらに前記循環ポンプ１７と前
記弁２０との間の導入管１９ｂは、枝別れしてい
て、空気駆動の開閉バルブ２１を介して一端開口
部を槽１２内に向けて開口する供給管２２と結合
している。

また、導入管１９ａの枝別れした他の支管１９
ｃは、並列に接続した空気駆動のドレン弁２０
１，２０２を介して、一端開口部を温水液面に臨
ませた導入管２９に結合している。

前記圧力容器１３は、その上部に開口部２３を
有し、この開口部２３には、その下面に着脱自在
に取り付けたラツク２４を有する蓋２５を、前記
開口部２３に気密に封止することができるように
なつている。また、この圧力容器１３の上部周面
には、直径方向に貫通する第１貫通孔２６を有
し、この第１貫通孔２６にはクロージヤーピン２
７が貫通する。

この第１貫通孔２６は、圧力容器１３内の温水
１１をあふれ出させる開口部としての機能を有す
る。その他の機能は、後述する。

前記蓋２５には、その周側面に、この蓋２５を
前記開口部２３に装着するときに、前記第１貫通
孔２６に一致する第２貫通孔２８を開設する。

前記蓋２５は、昇降機構である昇降シリンダー
３０に、図示しない支持体を介して結合する。

前記昇降シリンダー３０は、第１切り換え弁３
２を介して空気圧で駆動する。

前記クロージヤーピン２７は、往復動機構であ
る水平移動用シリンダー３３に結合していて、こ
の水平移動用シリンダー３３は、第２切り換え弁
３４により空気圧で駆動する。

第１切り換え弁３２、第２切り換え弁３４それ
ぞれは、空気を送り込む送気管３５および空気を
排出する排気管３６を結合する。

なお、３７で示すのは、圧力容器１３内の水圧
を除くためのドレン弁である。

次に以上構成のこの温水等方圧加圧装置１０の
作用について説明する。

槽１２内に所定量の水、特に純水またはフツ素
系不活性液体を入れ、ヒータ１４により、この水
を加熱して所定たとえば80℃の温水１１にする。

この温水１１から蒸気が立ち昇る。しかし、温
水１１の液面より上方には、その内部に冷媒が流
通する蓋体５があるので、この蓋体５により液面
上方の空気が冷却される。この冷却された空気あ
るいは蓋体５により、立ち昇る蒸気が冷却する。
蒸気は凝結して温水１１に戻る。したがつて、以
下の加圧成形加工作業を行なう間、温水１１から
立ち昇る蒸気は、槽１２外に流出せず、装置外の
他の機器に蒸気による悪影響を防止することがで
きる。

加圧成形加工は、因に、次の通りである。

初期状態として、その底面にラツク２４を装着
した蓋２５を圧力容器１３の上方に位置させてお
くと共にクロージヤーピン２７を開口部２３から
退避した状態としておく。

次いで、空気作動により弁２０を開放すると共
に循環ポンプ１８を駆動して、排出管１６および
導入管１９ａ，１９ｂを介して槽１２内の温水１
１を圧力容器１３内に導入する。循環ポンプ１８
の駆動を継続すると、圧力容器１３内に温水１１
が供給される一方であり、遂には、第１貫通孔２
６からあふれ出て、あふれ出た温水１１は槽１２
内に戻る。つまり、循環機構により、温水１１が
槽１２と圧力容器１３内とを循環することにな
る。この温水１１の循環を継続することにより、
圧力容器１３の内外から、圧力容器１３が加熱さ
れ、所定温度たとえば80℃になる。

圧力容器１３が所定温度に達すると、循環ポン
プ１８の駆動を停止すると共に弁２０を閉鎖す
る。

ラツク２４に複数層たとえば30層の回路基板を
袋に入れたものを配置しておく。

第１切り換え弁３２をC2の状態にして昇降シ
リンダー３０を下降するように駆動して、蓋２５
を開口部２３に装着する。開口部２３に蓋２５を
装着したならば、第１切り換え弁３２をB2の状
態にすると共に第２切り換え弁３４のC3の状態
にして水平移動用シリンダー３３を駆動してクロ
ージヤーピン２７を水平移動し、これによりクロ
ージヤーピン２７を第１貫通孔２６および第２貫
通孔２８に貫通し、蓋２５を気密に開口部２３に
装着する。この時、ラツク２４は圧力容器１３内
に収納されている。

この後、昇圧ポンプ１７を駆動して排出管１６
および導入管１９ａ，１９ｂを介して槽１２内の
温水１１を圧力容器１３内に圧入する。温水１１
は、圧力容器１３内が所定圧に達するまで、これ
を圧入する。

この温水１１の圧入により、ラツク２４に配置
された複数層の回路基板は、所定温度の下に、等
方的に加圧されて一体の回路基板に成形される。

圧力容器１３内が所定圧力に達した後は、昇圧
ポンプ１７の駆動を停止すると共に開閉バルブ２
１を開放し、循環ポンプ１８を駆動することによ
り、供給管２２を介して、槽１２内の温水１１を
槽１２中に循環する。これにより、槽１２内の温
水１１は、槽１２内で滞留して温度勾配を生じる
ことなく、均一な温度分布を維持することとな
る。

昇圧ポンプ１７の駆動を停止したまま、圧力容
器１３内を一定時間所定圧力に維持した後、ドレ
ン弁２０１，２０２を開放して圧力容器１３内の
水圧を開放する。

第２切り換え弁３４をA3の状態にして水平移
動用シリンダー３３を駆動してクロージヤーピン
２７を後退して、これを第２貫通孔２８から除去
する。

第２切り換え弁３４をB2の状態としてクロー
ジヤーピン３５を初期状態にすると共に、第１切
り換え弁３２をA2の状態にして昇降シリンダー
３０を駆動して蓋２５を上昇させる。蓋２５が上
死点に達したならば、第１切り換え弁３２をB2
の状態にすると共に、落下防止機構を作動させ
る。

ラツク２４から、一体に成形された30層の回路
基板を取り出して、これを得る。

以上の行程が一個の多層回路基板を成形する工
程である。

この実施例装置によると、従来装置よりも迅速
に圧力容器を所定の高温度に加熱し、加圧中にお
いても所定の高温度に圧力容器内を維持すること
ができる。また、板状部材により、温水から立ち
上がる蒸気を冷却して、蒸気が槽外に漏れるのを
防止しているので、この温水等方圧加圧装置を設
置する室内の他の機器に蒸気による悪影響を防止
することができる。したがつて、この実施例装置
によると、従来よりも高温度の条件で、温水の蒸
気による欠点を除去して等方圧加圧成形加工をす
ることができる。

［効果］ この考案によると、槽内の温水の上方であつ
て、内部を冷媒が通過可能な中空を有する蓋体を
設けているので、槽内の温水から立ち昇る蒸気を
効率的に冷却することができる。また、この蓋体
は、槽開口部を完全に閉鎖するようにして配置さ
れるので、冷却効果と相俟つて、温水からの蒸気
が槽外に流出するのが効果的に防止され、装置外
の他の機器に対する、蒸気による悪影響を防止す
ることができる。

また、蓋体の槽開口部への着脱が容易であり、
蓋体の構造が簡単であるので、その製作も簡単で
ある等々種々の利点を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一態様を示す縦断面説明
図、第２図はこの考案の一実施例を示す説明図、
第３図は第１図の冷却装置の平面図、第４図〜第
８図はこの考案の他の態様を示す平面説明図であ
る。 １……槽、２……温水、３……圧力容器、４…
…温水等方圧加圧装置、５……蓋体、６……筺
体、１０……温水等方圧加圧装置、１１……温
水、１２……槽、１３……圧力容器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 槽内の温水中に浸漬した圧力容器内に被加圧物
   を収納し、この圧力容器内に温水を圧入すること
   により前記被加圧物を等方加圧する温水等方圧加
   圧装置において、 前記圧力容器を温水中に浸漬した前記槽の、前
   記温水液面よりも上方にある槽開口部を閉鎖する
   ように配置された、前記圧力容器の上部が突出す
   るように開口した貫通孔と冷媒がジグザグになつ
   て流通するように配置された邪魔板とを備えた蓋
   体を有することを特徴とする温水等方圧加圧装
   置。