JPH0353964B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はフイルタ装置に関し、特にクリーン
ルームに清浄な空気を供給するフイルタ装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

従来より、半導体工業、電子工業、精密機械工
業、製薬工業、食品工業、バイオテクノロジー関
係の工場や研究所、あるいは病院の手術室等で
は、空気中の微小な浮遊粉塵の影響を排除するた
め、クリーンルームが使用されている。このクリ
ーンルームの構造は、第５図に示したようなもの
が一般的である。

すなわち、クリーンルーム１の天井２のほぼ全
面に複数のフイルタ装置３を並設すると共に、床
面４の近傍に吸込口５を設け、またクリーンルー
ム１の外部に空調機６及び送風機７を設置する。
そして、送風機７を作動させることによつて、外
気取入口８から取り入れた外気を空調機６内で空
調・濾過した後送りダクト９を介して各フイルタ
装置３に供給し、内部でさらに濾過してクリーン
ルーム１内に吹き出すようにする。吹き出した清
浄空気は、吸込口５より戻りダクト１０を通つて
空調機６に送られ、外気と共に再びフイルタ装置
３に送られる、というものである。

このようなクリーンルーム１に設置する従来の
フイルタ装置３は、第６図に示すように、下面を
開口した箱形のケーシング１１内部に高性能フイ
ルタ１２の交換可能に装着すると共に、ケーシン
グ１１の下面にパンチングメタル等よりなるグリ
ル１３を着脱可能に取り付けたものである。そし
て、グリル１３の多数の孔が吹出口１４となつて
いる。ケーシング１１は、その下端周縁部を天井
２に密接して取り付けられ、またその上部におい
て連結ダクト１５を介して送りダクト９と接続さ
れる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記従来のフイルタ装置３は、ケーシ
ング１１の内部に高性能フイルタ１２を収容する
と共にその上部に空間１６を設ける必要があるた
め、フイルタ１２に比してケーシング１１をかな
り大きくせざるを得なかつた。またクリーンルー
ム１の天井２に多数配設する場合には、送りダク
ト９に連結ダクト１５を介して接続するため、ダ
クト９，１５の設置及び接続部分の密封が必要で
あり、施工が面倒であつた。

この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、占有スペースが小さく
嵩が低いと共に製造も容易であり、しかもクリー
ンルーム等の清浄空間への設置作業が非常に簡単
で、当該清浄空間の設備費を低減することができ
る、クリーンルーム等の清浄空間用のフイルタ装
置を提供することにある。

この発明の他の目的は、クリーンルーム等の清
浄空間内の空気流が空間全体においてほぼ一定と
なり、さらに清浄化前の空気が清浄空間内に漏れ
る恐れが非常に少ない、クリーンルーム等の清浄
空間用のフイルタ装置を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、この発明が講じた技
術的手段は、 クリーンルーム等の清浄空間に清浄な空気を供
給するためのフイルタ装置において、 前記フイルタ装置が、筒状としたフイルタエレ
メントの内外両側に筒状の有孔板を設けて前記フ
イルタエレメントを被覆すると共に、前記有孔板
の両端に鍔を固着してなる複数個の筒状フイルタ
から構成され、 前記複数個の筒状フイルタは、前記鍔同士を接
合することにより長軸方向に互いに連結されてい
て、前記各筒状フイルタの内部空間が互いに連通
しており、 さらに前記フイルタ装置は、保持部材によつて
前記清浄空間の周壁に沿つて保持され、かつその
一端の開口から内部に空気を供給して前記有孔板
の孔から前記清浄空間に放射状に吹き出すように
構成されていることを特徴とするものである。

〔作用〕

以上のように、筒状フイルタエレメントと、そ
の内外両側に設けられた筒状の有孔板と、当該有
孔板の両端に固着された鍔から成る筒状フイルタ
を設け、この筒状フイルタを複数個その長軸方向
に連結してフイルタ装置を構成すると、各筒状フ
イルタの内部空間が互いに連結され、このフイル
タ装置の内部には、その全長にわたつて延びる一
つの筒状空間が形成される。

そこで、このフイルタ装置を清浄空間の周壁に
沿つて保持してその一端の開口から内部の筒状空
間に空気を供給すると、空気は各筒状フイルタの
フイルタエレメント及び内外の有孔板の孔を通つ
て清浄化されてから清浄空間内に放射状に吹き出
す。この空気流は、各筒状フイルタの側面から同
じように吹き出すものである。

また、各筒状フイルタの継目部分は、フイルタ
装置に比べて非常に小さくなることから、空気流
はフイルタ装置のほぼ全長にわたつて切れ目なく
発生する。

さらに、箱形のケーシング内にフイルタを収容
してなる従来のフイルタ装置では、ケーシング内
部においてフイルタの上流側に多少なりとも空間
が必要であり、また設置した複数のフイルタ装置
を連結する際には、送風機に通じる送りダクトを
設けた上で各フイルタ装置内の上流側空間を連結
用ダクトで当該送りダクトに別個に接続する必要
がある。

しかしこの発明では、フイルタ装置内部に形成
される筒状空間が、従来のフイルタ装置のケーシ
ング内の上流側空間と連結用ダクトの役割を果た
すため、これらが一切不要となる。

また、この発明では、フイルタ装置を設置する
際には、一体に形成されたフイルタ装置を保持部
材によつて清浄空間の周壁に沿つて保持して、一
端の開口に送りダクトを接続すれば良く、従来の
フイルタ装置のように多数個を一つづつ設置した
り、多数のフイルタ装置を連結用ダクトを介して
送りダクトに接続する作業が不要である。

〔実施例〕

以下、添付図面に基いてこの発明の実施例を説
明する。

第１図ないし第３図において、１７はこの発明
に係るフイルタ装置で、両端を開口した複数個の
筒状フイルタ１８を長軸方向に連結して構成され
ている。この実施例では、筒状フイルタ１８は、
ジクザク状に折曲したフイルタエレメント１９を
円筒状に形成し、その内外両側面を径の異なる一
対の円筒状の有孔板２０，２１によつて被覆する
と共に、両端部に鍔２２，２２が固着されてい
る。有孔板２０，２１としては、パンチングメタ
ル等の多孔金属板が適当である。

各筒状フイルタ１８は、互いに隣接する鍔２
２，２２を円環状のガスケツト２３を介在させて
対向し、鍔２２，２２の周囲を結合部材２４によ
つて締付・保持することにより連結されている。
フイルタ装置１７の最先端の筒状フイルタ１８の
先端の開口は、閉鎖板２５をこのフイルタ１８の
先端の鍔２２に上記と同様にして締付・保持する
ことにより閉鎖されている。また、最後端の筒状
フイルタ１８の後端の開口は、このフイルタ装置
１７への空気供給口であり、たとえばクリーンル
ーム１の送りダクト９に接続される。この場合、
送りダクト９の先端に鍔２２と同様の鍔２６を取
り付けておけば、結合部材２４を用いて上記と同
様にして接続することができて便利である。

結合部材２４としては、対向する二つの鍔２
２，２２を締付・保持できるものであればよい。
たとえば、一方の鍔２２に配した数本のボルトを
他方の鍔２２に形成したネジ穴に螺合して締付け
ることができる。しかしこの実施例では、筒状フ
イルタ１８の連結及び離脱が容易に行えるように
断面Ｕ字形とした半円形の部材とされており、そ
の一方の側片２４ａに二本のボルト２７，２７を
螺合している。結合部材２４の凹部を両方の鍔２
２，２２の外周部に嵌合してボルト２７を締付け
ることにより、両筒状フイルタ１８，１８を密封
状態で連結することができる。連結を解除すると
きは、各ボルト２７を緩めて結合部材２４，２４
を鍔２２，２２より取り外せばよい。

第４図は、この発明に係るフイルタ装置１７を
クリーンルーム１の天井２に設置する場合の一実
施例を示している。フイルタ装置１７は、天井２
の一部を帯状に上方に没入させて形成した収容部
２８にその上半分を収容する形で設置され、その
後端の開口はクリーンルーム１の側壁に近い位置
で送りダクト９に接続されている。フイルタ装置
１７の保持は、細幅の帯状とした複数の保持部材
２９によつて行われている。これらの保持部材２
９は、両端を除いて略円弧状とされ、その一端は
蝶番３０によつて天井２に回動自在に取り付けら
れると共に、他端はボルト３１によつて天井２に
螺着されるようになつている。保持部材２９の略
中央部には、一対の断面略Ｌ字形の支持突起３
２，３２が形成されており、これら支持突起３
２，３２がフイルタ装置１７の各筒状フイルタ１
８の外側面に当接して支持することになる。従つ
て、筒状フイルタ１８は直接保持部材２９に接触
しないので、その側面からの空気の吹出しに及ぼ
す影響を小さくすることができる。

このフイルタ装置１７を使用する場合、その開
口端から内部空間３３に空気を送り込むと、内側
有孔板２０の孔とフイルタエレメント１９を通つ
て外側有孔板２１の孔から放射状に吹き出ること
になる。従つて、フイルタ装置１７の全長及び全
周にわたつて空気流の方向と流速分布を一定とす
ることができる。

尚、フイルタ装置１７の全長は、設置場所に応
じて筒状フイルタ１８の連結個数を変えれば、容
易に調整することができる。

〔発明の効果〕

上述の説明から明らかなように、この発明に係
るクリーンルーム等の清浄空間用のフイルタ装置
は次のような効果を有するものである。

(a) 複数個の筒状フイルタを長軸方向に連結して
フイルタ装置を構成したため、従来の箱形ケー
シング内に高性能フイルタを内蔵してなるフイ
ルタ装置を複数個並設して、それらを連結用ダ
クトを介して送りダクトに接続したものに比べ
て、占有スペースが小さくなり嵩を低くするこ
とができる。

(b) 同一の筒状フイルタを予め複数個製造してお
いて、必要に応じて適宜個数だけ連結すればよ
いので、非常に容易に製造することができる。

(c) 従来のフイルタ装置を送りダクトに連結する
際に使用する連結用ダクトがまつたく不要で、
各フイルタ装置を当該連結用ダクトに接続する
作業が必要ないため、設置時には、一つの筒状
のフイルタ装置をクリーンルーム等の清浄空間
の周壁に沿つて保持するだけで良い。従つて、
フイルタ装置の当該清浄空間への設置作業が非
常に簡単となり、設備費を大幅に低減すること
ができると共に、清浄化前の空気が連結用ダク
トとの接続部分から清浄空間内に漏れる恐れが
非常に少ない。

(d) 筒状フイルタを長軸方向に複数個連結して構
成されているので、各筒状フイルタの側面から
同じように空気流が吹き出し、また各筒状フイ
ルタの継目部分が小さくなるため、フイルタ装
置全長から吹き出す空気流はほぼ均一に切れ目
なく発生する。従つて、クリーンルーム等の清
浄空間の全体において空気流をほぼ一定にする
ことができる。

(e) 筒状フイルタの連結個数を変えるだけでフイ
ルタ装置の全長を任意に変更できるので、設置
場所の大きさ等の変化に容易に対応することが
できる。これは設置作業の容易化に寄与するも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係るフイルタ装置の先端
部の一部断面正面図。第２図は、同後端部の一部
断面正面図。第３図は、このフイルタ装置をクリ
ーンルームの天井に取り付けた状態の断面図。第
４図は、このフイルタ装置を用いたクリーンルー
ムの断面説明図。第５図は、従来のクリーンルー
ムの断面説明図。第６図は従来のフイルタ装置の
断面図。 １７……フイルタ装置、１８……筒状フイル
タ、１９……フイルタエレメント、２０，２１…
…有孔板、２２，２６……鍔、２３……ガスケツ
ト、２４……結合部材、２５……閉鎖板、２７…
…ボルト、３３……内部空間。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ クリーンルーム等の清浄空間に清浄な空気を
   供給するためのフイルタ装置において、 前記フイルタ装置が、筒状としたフイルタエレ
   メントの内外両側に筒状の有孔板を設けて前記フ
   イルタエレメントを被覆すると共に、前記有孔板
   の両端に鍔を固着してなる複数個の筒状フイルタ
   から構成され、 前記複数個の筒状フイルタは、前記鍔同士を接
   合することにより長軸方向に互いに連結されてい
   て、前記各筒状フイルタの内部空間が互いに連通
   しており、 さらに前記フイルタ装置は、保持部材によつて
   前記清浄空間の周壁に沿つて保持され、かつその
   一端の開口から内部に空気を供給して前記有孔板
   の孔から前記清浄空間に放射状に吹き出すように
   構成されていることを特徴とするフイルタ装置。 ２ 前記フイルタ装置の保持部材が、前記フイル
   タ装置を横切つてその両側で前記清浄空間の周壁
   に接続された帯状体である特許請求の範囲第１項
   記載のフイルタ装置。 ３ 前記フイルタ装置が、前記清浄空間の周壁に
   当該周壁を没入させて形成された帯状の収容部
   に、その一部を収容する形で保持される特許請求
   の範囲第１項または第２項記載のフイルタ装置。