JPH0252182B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0252182B2 JPH0252182B2 JP61027965A JP2796586A JPH0252182B2 JP H0252182 B2 JPH0252182 B2 JP H0252182B2 JP 61027965 A JP61027965 A JP 61027965A JP 2796586 A JP2796586 A JP 2796586A JP H0252182 B2 JPH0252182 B2 JP H0252182B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tunnel
- clean air
- clean
- service area
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクリーンルームにおける空気清浄装置
に係るものである。
に係るものである。
（従来の技術）
第２図は従来のクリーンルームのベイ方式等で
使用されている空気清浄装置を示し、クリーンル
ームＡにおける両側トンネル部Ｂ，Ｂ、及び同両
トンネル部Ｂに挾まれた通路部Ｃの各上方に、
夫々超高性能フイルタａが内蔵されたトンネル部
及び通路部の空気清浄部Ｄ，Ｅが個々に配設さ
れ、同各清浄部Ｄ，Ｄ，Ｅの下面から清浄空気が
吹出されている。
使用されている空気清浄装置を示し、クリーンル
ームＡにおける両側トンネル部Ｂ，Ｂ、及び同両
トンネル部Ｂに挾まれた通路部Ｃの各上方に、
夫々超高性能フイルタａが内蔵されたトンネル部
及び通路部の空気清浄部Ｄ，Ｅが個々に配設さ
れ、同各清浄部Ｄ，Ｄ，Ｅの下面から清浄空気が
吹出されている。
図中ｂはフアン、ｃは給気ダクト、ｄ，ｅはレ
ターン口、ｆは床下プレナム、Ｆはサービス域で
ある。
ターン口、ｆは床下プレナム、Ｆはサービス域で
ある。
（発明が解決しようとする問題点）
前記従来の空気清浄装置においては、一双のト
ンネル部とその中間に位置する通路部が夫々別の
空気清浄システムで空気の清浄化を図るように構
成されているので、経済性の面で問題があつた。
ンネル部とその中間に位置する通路部が夫々別の
空気清浄システムで空気の清浄化を図るように構
成されているので、経済性の面で問題があつた。
（問題点を解決するための手段）
本発明はこのような問題点を解決するために提
案されたもので、相対する両側トンネル部間に通
路部が配設されたクリーンルームにおいて、前記
各トンネル部の頂部に、同トンネル部、及び前記
通路部に指向して開口する清浄空気吹出口を夫々
下面並に側面に有する清浄空気吹出空間部を配設
するとともに、前記トンネル部に隣接するサービ
ス域の頂部には風導を配設し、同風導の側部及び
下部には夫々前記清浄空気吹出空間部並にサービ
ス域に対する清浄空気供給用の超高性能フイルタ
を装着してなることを特徴とするクリーンルーム
における空気清浄装置に係るものである。
案されたもので、相対する両側トンネル部間に通
路部が配設されたクリーンルームにおいて、前記
各トンネル部の頂部に、同トンネル部、及び前記
通路部に指向して開口する清浄空気吹出口を夫々
下面並に側面に有する清浄空気吹出空間部を配設
するとともに、前記トンネル部に隣接するサービ
ス域の頂部には風導を配設し、同風導の側部及び
下部には夫々前記清浄空気吹出空間部並にサービ
ス域に対する清浄空気供給用の超高性能フイルタ
を装着してなることを特徴とするクリーンルーム
における空気清浄装置に係るものである。
（作用）
本発明は前記したように構成されているので、
トンネル部に隣接するサービス域の頂部に配設さ
れた風導の側部に装着された超高性能フイルタに
よつて、前記トンネル部の頂部に配設された清浄
空気吹出空間部に清浄空気が供給され、同空間部
の下面及び側面に配設された清浄空気吹出口より
清浄空気がトンネル部及び通路部に指向して吹出
され、同トンネル部及び通路部の各空間が清浄化
される。
トンネル部に隣接するサービス域の頂部に配設さ
れた風導の側部に装着された超高性能フイルタに
よつて、前記トンネル部の頂部に配設された清浄
空気吹出空間部に清浄空気が供給され、同空間部
の下面及び側面に配設された清浄空気吹出口より
清浄空気がトンネル部及び通路部に指向して吹出
され、同トンネル部及び通路部の各空間が清浄化
される。
また前記風導の下部に装着された超高性能フイ
ルタによつて、サービス域に清浄空気が供給さ
れ、同サービス域が清浄化される。
ルタによつて、サービス域に清浄空気が供給さ
れ、同サービス域が清浄化される。
（発明の効果）
このように本発明によれば、クリーンルームに
おけるトンネル部と通路部との各空間が、トンネ
ル部頂部に配設され、且つサービス域頂部に配設
された風導より清浄空気の供給を受ける清浄空気
吹出空間部によつて同時に清浄化されるので、装
置が簡略化され、コストが節減される。
おけるトンネル部と通路部との各空間が、トンネ
ル部頂部に配設され、且つサービス域頂部に配設
された風導より清浄空気の供給を受ける清浄空気
吹出空間部によつて同時に清浄化されるので、装
置が簡略化され、コストが節減される。
また前記風導の下部にも超高性能フイルタが装
着されることによつて、サービス域にも清浄空気
が供給され、同サービス域が前記トンネル部及び
通路部と同時に清浄化されるものである。
着されることによつて、サービス域にも清浄空気
が供給され、同サービス域が前記トンネル部及び
通路部と同時に清浄化されるものである。
（実施例）
以下本発明を図示の実施例について説明する。
第１図においてＡはクリーンルーム、Ｂはその
両側に配設されたトンネル部、Ｃは同両トンネル
部に挾まれた通路部である。
両側に配設されたトンネル部、Ｃは同両トンネル
部に挾まれた通路部である。
前記各トンネル部Ｂの頂部には夫々清浄空気吹
出空間部１が配設され、同空間部１のトンネル部
Ｂに対向する下面、及び通路部Ｃに対向する側面
に亘つて連続的に清浄空気吹出口２が配設されて
いる。
出空間部１が配設され、同空間部１のトンネル部
Ｂに対向する下面、及び通路部Ｃに対向する側面
に亘つて連続的に清浄空気吹出口２が配設されて
いる。
トンネル部Ｂに隣接するサービス域Ｆの頂部に
は、クリーンルーム内装用断熱パネル３によつて
風導４が構成され、同風導４には給気ダクト（図
示せず）が接続されている。
は、クリーンルーム内装用断熱パネル３によつて
風導４が構成され、同風導４には給気ダクト（図
示せず）が接続されている。
また前記風導４の側部及び下部には夫々前記清
浄空気吹出空間部１及びサービス域Ｆに対する清
浄空気供給用の超高性能フイルタ５，６が装着さ
れている。
浄空気吹出空間部１及びサービス域Ｆに対する清
浄空気供給用の超高性能フイルタ５，６が装着さ
れている。
図中７及び８は夫々風導４及び床下プレナムチ
ヤンバ９に接続するレターン口である。
ヤンバ９に接続するレターン口である。
図示の実施例は前記したように構成されている
ので、前記サービス域Ｆの頂部の風導４側部に装
着された超高性能フイルタ５を経て前記トンネル
部Ｂの頂部の清浄空気吹出空間部１に供給された
清浄空気は、同空間部１の下面から側面に亘つて
連続して設けられた清浄空気吹出口２より、トン
ネル部Ｂ並に通路部Ｃに吹出され、同各部Ｂ，Ｃ
の空間を清浄化する。
ので、前記サービス域Ｆの頂部の風導４側部に装
着された超高性能フイルタ５を経て前記トンネル
部Ｂの頂部の清浄空気吹出空間部１に供給された
清浄空気は、同空間部１の下面から側面に亘つて
連続して設けられた清浄空気吹出口２より、トン
ネル部Ｂ並に通路部Ｃに吹出され、同各部Ｂ，Ｃ
の空間を清浄化する。
この際、前記清浄空気吹出口２が清浄空気吹出
空間部１の下面から側面に亘つて連続的に配設さ
れているので、トンネル部Ｂの高清浄度空間に通
路部Ｃの低清浄度空間の空気が誘引されることが
なく、更に前記清浄空気吹出空間部１から吹出さ
れる空気流の水平成分がトンネル部Ｂから通路部
Ｃに指向しているので、同通路部Ｃで発生した塵
埃のトンネル部Ｂへの侵入が防止される。
空間部１の下面から側面に亘つて連続的に配設さ
れているので、トンネル部Ｂの高清浄度空間に通
路部Ｃの低清浄度空間の空気が誘引されることが
なく、更に前記清浄空気吹出空間部１から吹出さ
れる空気流の水平成分がトンネル部Ｂから通路部
Ｃに指向しているので、同通路部Ｃで発生した塵
埃のトンネル部Ｂへの侵入が防止される。
一方、前記風導４の下部に装着された超高性能
フイルタ６を介してサービス域Ｆに清浄空気が供
給され、同サービス域Ｆも清浄化される。
フイルタ６を介してサービス域Ｆに清浄空気が供
給され、同サービス域Ｆも清浄化される。
かくして前記トンネル部Ｂ、通路部Ｃ及びサー
ビス域Ｆを清浄化した空気は、レターン口７，８
より床下プレナムチヤンバ９に入り、送風機側に
戻される。
ビス域Ｆを清浄化した空気は、レターン口７，８
より床下プレナムチヤンバ９に入り、送風機側に
戻される。
このように前記実施例によれば、クリーンルー
ムＡにおけるトンネル部Ｂと通路部Ｃとの両空間
がトンネル部Ｂの頂部に配設され、且つトンネル
部Ｂに隣接するサービス域Ｆの頂部の風導４より
清浄空気の供給を受ける清浄空気吹出空間部１に
よつて浄化されるので、装置が簡略化され、コス
トが節減される。
ムＡにおけるトンネル部Ｂと通路部Ｃとの両空間
がトンネル部Ｂの頂部に配設され、且つトンネル
部Ｂに隣接するサービス域Ｆの頂部の風導４より
清浄空気の供給を受ける清浄空気吹出空間部１に
よつて浄化されるので、装置が簡略化され、コス
トが節減される。
一方、前記風導４の下部に装着された超高性能
フイルタ６を介してサービス域Ｆにも清浄空気が
供給され、同サービス域Ｆが前記トンネル部Ｂ及
び通路部Ｃと同時に清浄化される。
フイルタ６を介してサービス域Ｆにも清浄空気が
供給され、同サービス域Ｆが前記トンネル部Ｂ及
び通路部Ｃと同時に清浄化される。
以上本発明を実施例について説明したが、本発
明は勿論このような実施例にだけ局限されるもの
ではなく、本発明の精神を逸脱しない範囲内で
種々の設計の改変を施しうるものである。
明は勿論このような実施例にだけ局限されるもの
ではなく、本発明の精神を逸脱しない範囲内で
種々の設計の改変を施しうるものである。
第１図は本発明に係るクリーンルームにおける
空気清浄装置の一実施例を示す縦断面図、第２図
は縦来のクリーンルームにおける空気清浄装置の
縦断面図である。 Ａ……クリーンルーム、Ｂ……トンネル部、Ｃ
……通路部、Ｅ……サービス域、１……清浄空気
吹出空間部、２……清浄空気吹出口、４……風
導、５……超高性能フイルタ、６……超高性能フ
イルタ。
空気清浄装置の一実施例を示す縦断面図、第２図
は縦来のクリーンルームにおける空気清浄装置の
縦断面図である。 Ａ……クリーンルーム、Ｂ……トンネル部、Ｃ
……通路部、Ｅ……サービス域、１……清浄空気
吹出空間部、２……清浄空気吹出口、４……風
導、５……超高性能フイルタ、６……超高性能フ
イルタ。
Claims (1)
- １ 相対する両側トンネル部間に通路部が配設さ
れたクリーンルームにおいて、前記各トンネル部
の頂部に、同トンネル部、及び前記通路部に指向
して開口する清浄空気吹出口を夫々下面並に側面
に有する清浄空気吹出空間部を配設するととも
に、前記トンネル部に隣接するサービス域の頂部
には風導を配設し、同風導の側部及び下部には
夫々前記清浄空気吹出空間部並にサービス域に対
する清浄空気供給用の超高性能フイルタを装着し
てなることを特徴とするクリーンルームにおける
空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027965A JPS62186149A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61027965A JPS62186149A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186149A JPS62186149A (ja) | 1987-08-14 |
| JPH0252182B2 true JPH0252182B2 (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=12235603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61027965A Granted JPS62186149A (ja) | 1986-02-13 | 1986-02-13 | クリ−ンル−ムにおける空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186149A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6430647A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPH0714481B2 (ja) * | 1987-07-24 | 1995-02-22 | 松下電器産業株式会社 | 排ガス浄化用触媒 |
| JPS6430643A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430645A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430642A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430649A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430644A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| US5487768A (en) * | 1994-01-31 | 1996-01-30 | Zytka; Donald J. | Minienvironment for material handling |
-
1986
- 1986-02-13 JP JP61027965A patent/JPS62186149A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62186149A (ja) | 1987-08-14 |
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