JPH0354414A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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- JPH0354414A JPH0354414A JP1188725A JP18872589A JPH0354414A JP H0354414 A JPH0354414 A JP H0354414A JP 1188725 A JP1188725 A JP 1188725A JP 18872589 A JP18872589 A JP 18872589A JP H0354414 A JPH0354414 A JP H0354414A
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- Japan
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- vibrating body
- angular velocity
- velocity sensor
- vibration
- frequency
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5663—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コリオリカによって発生される変位を電気信
号に変換することにより角速度を検出する角速度センサ
に関するものである。
号に変換することにより角速度を検出する角速度センサ
に関するものである。
この種の角速度センサは、従来一般に第６図の斜視図及
び第７図の側端面図に示すような構戊になっている。す
なわち角速度センサは、断面正方形の柱状の金属ビーム
からなる振動体ｌと、該振動体１の主要面１ａ乃至１ｄ
にそれぞれ付着された圧電トランスジューサ２ａ乃至２
ｄと、振動体１の振動不動点Ａ及びＢにおいて振動体ｌ
をそれぞれ支持する支持部材３ａ及び３ｂとから構威さ
れている。
び第７図の側端面図に示すような構戊になっている。す
なわち角速度センサは、断面正方形の柱状の金属ビーム
からなる振動体ｌと、該振動体１の主要面１ａ乃至１ｄ
にそれぞれ付着された圧電トランスジューサ２ａ乃至２
ｄと、振動体１の振動不動点Ａ及びＢにおいて振動体ｌ
をそれぞれ支持する支持部材３ａ及び３ｂとから構威さ
れている。
上述した構造の角速度センサでは、振動体Ｉが主要面１
ａの圧電トランスジューサ２ａによって正弦波で駆動さ
れて振動されているとき、振動体１の長手方向の軸Ｙの
回りに角速度が加わると、加わった角速度の大きさに応
して振幅と位相が大きくなり、かつ上記振動体１の振動
周波数で正弦波的に変化する力（コリオリカ）が上記主
要面（駆動面）ｌａと直角な方向に発生し、このコリオ
リ力によって振動体ｌには駆動方向と直角の方向に駆動
と同し周波数の振動が発生される。このコリオリカによ
って振動体ｌに誘起された振動は上記駆動面１ａに直角
な主要面１ｂに付着された圧電トランスジューサ２ｂに
よって検出され、この検出した振動の振幅と位相によっ
て角速度の大きさが検知されるようになっている。
ａの圧電トランスジューサ２ａによって正弦波で駆動さ
れて振動されているとき、振動体１の長手方向の軸Ｙの
回りに角速度が加わると、加わった角速度の大きさに応
して振幅と位相が大きくなり、かつ上記振動体１の振動
周波数で正弦波的に変化する力（コリオリカ）が上記主
要面（駆動面）ｌａと直角な方向に発生し、このコリオ
リ力によって振動体ｌには駆動方向と直角の方向に駆動
と同し周波数の振動が発生される。このコリオリカによ
って振動体ｌに誘起された振動は上記駆動面１ａに直角
な主要面１ｂに付着された圧電トランスジューサ２ｂに
よって検出され、この検出した振動の振幅と位相によっ
て角速度の大きさが検知されるようになっている。
なお、主要面ＩＣ及び１ｄに付着されている圧電トラン
スジューサ２Ｃ及び２ｄは、それぞれフィードバック用
及びダンピング用のものである。
スジューサ２Ｃ及び２ｄは、それぞれフィードバック用
及びダンピング用のものである。
ところで、コリオリカは下式（１）に示すように表され
る。
る。
ＦｃＣｘ−−２ｍ （ωｘＶ） −
（１）式中、ｍは振動体１の質量、ωは角速度ベクトル
、■は振動体ｌの振動速度ベクトルであり、振動速度ベ
クトルの絶対値ＩＶＩである振動の速さは下式（２）に
示すように振動振幅ξと振動周波数ｆ，，とに比例して
いる． ＶＩＯＣξ．ｆＩ， ・・・（
２）一方、上述したように断面正方形の振動体１を使用
した従来の角速度センサでは、振動体１が支持部材のな
い理想的な状態にあるときには、振動体１のＺ方向の振
動周波数すなわち駆動側の共振周波数ｆＤ，ｌとＸ方向
の振動周波数すなわち検出側の共振周波数ｆｌｉｏとが
等しくなる。しかし、実際にはＸ方向には支持部材３ａ
及び３ｂが固着されていてそれが振動の負荷となるため
、Ｘ方向の振動周波数ｒ。Ｒの方がＺ方向の振動周波数
ｆｌｌｏよりも数十七から約百止程度高くなっている。
（１）式中、ｍは振動体１の質量、ωは角速度ベクトル
、■は振動体ｌの振動速度ベクトルであり、振動速度ベ
クトルの絶対値ＩＶＩである振動の速さは下式（２）に
示すように振動振幅ξと振動周波数ｆ，，とに比例して
いる． ＶＩＯＣξ．ｆＩ， ・・・（
２）一方、上述したように断面正方形の振動体１を使用
した従来の角速度センサでは、振動体１が支持部材のな
い理想的な状態にあるときには、振動体１のＺ方向の振
動周波数すなわち駆動側の共振周波数ｆＤ，ｌとＸ方向
の振動周波数すなわち検出側の共振周波数ｆｌｉｏとが
等しくなる。しかし、実際にはＸ方向には支持部材３ａ
及び３ｂが固着されていてそれが振動の負荷となるため
、Ｘ方向の振動周波数ｒ。Ｒの方がＺ方向の振動周波数
ｆｌｌｏよりも数十七から約百止程度高くなっている。
また、振動体１を２方向に駆動した場合、上式（１）及
び（２）からコリオリカはＸ方向に現れその周波数はｆ
７となり、断面正方形の振動体では、ｆ．＝ｆ．． となるが、上述のように検出側と駆動側の共振周波数が
異なるため、 ｆｎ＝ｆｏ＊≠ｆｉｏ となり、しかもｆ，，とｆ＊ｏとの周波数の差が大きい
ため、検出感度の悪いものとなっていた。
び（２）からコリオリカはＸ方向に現れその周波数はｆ
７となり、断面正方形の振動体では、ｆ．＝ｆ．． となるが、上述のように検出側と駆動側の共振周波数が
異なるため、 ｆｎ＝ｆｏ＊≠ｆｉｏ となり、しかもｆ，，とｆ＊ｏとの周波数の差が大きい
ため、検出感度の悪いものとなっていた。
この検出感度を上げるためには、出力を発生する上式（
】）に示されるコリオリカＦＣを大きくすればよい。
】）に示されるコリオリカＦＣを大きくすればよい。
しかし、第６図及び第７図に示した従来の構造の角速度
センサにおいて、質量ｍを大きくするため単純に振動体
１の幅Ｗ、高さＨ又は長さｌを大きくすると、振動体１
が振動し難くなって振動速度ベクトルＶが小さくなり、
大きな駆動パワーが必要になる他、振動体ｌの形状その
ものが大きくなってセンサが大型になるなどの別の問題
が発生する． また、上式（１）における振動速度ベクトルＶを大きく
してコリオリカを大きくするため、上式（２）の関係に
より振動振幅ξ又は振動周波数ｆ７を大きくすることも
考えられるが、振動振幅ξと振動周波数ｆ７とは相反す
る関係になっていて振動周波数ｆ７を大きくすると振動
振幅ξが小さくなるため、振動速度ベクトル■を大きく
してコリオリカＦＣを大きくすることができない。
センサにおいて、質量ｍを大きくするため単純に振動体
１の幅Ｗ、高さＨ又は長さｌを大きくすると、振動体１
が振動し難くなって振動速度ベクトルＶが小さくなり、
大きな駆動パワーが必要になる他、振動体ｌの形状その
ものが大きくなってセンサが大型になるなどの別の問題
が発生する． また、上式（１）における振動速度ベクトルＶを大きく
してコリオリカを大きくするため、上式（２）の関係に
より振動振幅ξ又は振動周波数ｆ７を大きくすることも
考えられるが、振動振幅ξと振動周波数ｆ７とは相反す
る関係になっていて振動周波数ｆ７を大きくすると振動
振幅ξが小さくなるため、振動速度ベクトル■を大きく
してコリオリカＦＣを大きくすることができない。
従って、上述した従来の振動体構造の角速度センサにお
いて、コリオリカＦＣを大きくすることによって感度を
向上することは困難であった。
いて、コリオリカＦＣを大きくすることによって感度を
向上することは困難であった。
よって本考案は、上記従来の問題点に鑑み、コリオリカ
を大きくすることなく、感度の向上を図った角速度セン
サを提供することを課題としている。
を大きくすることなく、感度の向上を図った角速度セン
サを提供することを課題としている。
上記課題を解決するため本発明により成された角速度セ
ンサは、柱状の金属ビームからなる振動体と、該振動体
の互いに直交する主要面にそれぞれ付着された駆動用及
び検出用圧電トランスジューサと、前記検出用圧電トラ
ンスジューサが付着されている主要面と該主要面と対向
する主要面に連結され、振動体の振動不動点をそれぞれ
支持する支持部材とからなる角速度センサにおいて、前
記振動体の少なくとも端部の断面形状を前記支持部材が
連結されている主要面を結ぶ一方の辺が他方の辺よりも
小さい長方形にしたことを特徴としている。
ンサは、柱状の金属ビームからなる振動体と、該振動体
の互いに直交する主要面にそれぞれ付着された駆動用及
び検出用圧電トランスジューサと、前記検出用圧電トラ
ンスジューサが付着されている主要面と該主要面と対向
する主要面に連結され、振動体の振動不動点をそれぞれ
支持する支持部材とからなる角速度センサにおいて、前
記振動体の少なくとも端部の断面形状を前記支持部材が
連結されている主要面を結ぶ一方の辺が他方の辺よりも
小さい長方形にしたことを特徴としている。
上記構成において、振動体の少なくとも端部の断面形状
が、前記支持部材が連結されている主要面を結ぶ一方の
辺が他方の辺よりも小さい長方形にされているため、検
出用圧電トランスジューサが検出する振動の振動方向の
負荷が軽減されて支持部材による負荷増大が解消される
。
が、前記支持部材が連結されている主要面を結ぶ一方の
辺が他方の辺よりも小さい長方形にされているため、検
出用圧電トランスジューサが検出する振動の振動方向の
負荷が軽減されて支持部材による負荷増大が解消される
。
このことによって、支持部材を含む振動体の駆動方向と
検出方向の共振周波数が接近されるようになり、圧電用
圧電トランスジューサによる振動周波数（駆動方向の共
振周波数）ｆ＋ｕ＋と、ｆｌｌｍと等しいコリオリカの
周波数１１と、検出方向の共振周波数ｆ，。との関係が
ｆＤ，ｌ＝ｆ，，ξｆえ。となる．〔実施例〕 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明するが、第
６図及び第７図について上述した従来のものと同等の部
分には同一の符号を付してある。
検出方向の共振周波数が接近されるようになり、圧電用
圧電トランスジューサによる振動周波数（駆動方向の共
振周波数）ｆ＋ｕ＋と、ｆｌｌｍと等しいコリオリカの
周波数１１と、検出方向の共振周波数ｆ，。との関係が
ｆＤ，ｌ＝ｆ，，ξｆえ。となる．〔実施例〕 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明するが、第
６図及び第７図について上述した従来のものと同等の部
分には同一の符号を付してある。
第１図は本発明による角速度センナの一実施例を示す斜
視図であり、本実施例では、振動体１はその長手方向の
任意の位置での断面形状が支持部材３ａ及び３ｂがそれ
ぞれ連結されている主要面１ｂ及びｌｄを結ぶ一方の辺
が他方の辺よりも小さい長方形となるように形成されて
いる。
視図であり、本実施例では、振動体１はその長手方向の
任意の位置での断面形状が支持部材３ａ及び３ｂがそれ
ぞれ連結されている主要面１ｂ及びｌｄを結ぶ一方の辺
が他方の辺よりも小さい長方形となるように形成されて
いる。
第２図（ａ）乃至（Ｃ）は他の実施例を示す斜視図であ
り、本実施例では振動体１はその長手方向の端部での断
面形状が長方形となるように形威されており、（ａ）の
例では一端部の主要面１ｂの一部分をカットし、（ｂ）
の例では一端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカット
し、（Ｃ）の例では両端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部
分をカットすることでそれぞれ断面長方形にしている。
り、本実施例では振動体１はその長手方向の端部での断
面形状が長方形となるように形威されており、（ａ）の
例では一端部の主要面１ｂの一部分をカットし、（ｂ）
の例では一端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカット
し、（Ｃ）の例では両端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部
分をカットすることでそれぞれ断面長方形にしている。
第３図（ａ）乃至（Ｃ）は更に他の実施例を示す斜視図
であり、本実施例では振動体ｌはその長手方向の支持部
材３ａ及び３ｂの連結部を含む端部での断面形状が長方
形となるように形威されており、（ａ）の例では一端部
の主要面１ｂの一部分をカントし、０））の例では一端
部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカットし、（Ｃ）の
例では両端部の主要面ｔｂ及び１ｄの一部分をカットす
ることでそれぞれ断面長方形にしている。
であり、本実施例では振動体ｌはその長手方向の支持部
材３ａ及び３ｂの連結部を含む端部での断面形状が長方
形となるように形威されており、（ａ）の例では一端部
の主要面１ｂの一部分をカントし、０））の例では一端
部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカットし、（Ｃ）の
例では両端部の主要面ｔｂ及び１ｄの一部分をカットす
ることでそれぞれ断面長方形にしている。
第２図（ａ）乃至（Ｃ）は他の実施例を示す斜視図であ
り、本実施例では振動休１はその長手方向の端部での断
面形状が長方形となるように形威されており、（ａ）の
例では一端部の主要面１ｂの一部分をカフトし、山）の
例では一端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカットし
、（Ｃ）の例では両端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分
をカットすることでそれぞれ断面長方形にしている。
り、本実施例では振動休１はその長手方向の端部での断
面形状が長方形となるように形威されており、（ａ）の
例では一端部の主要面１ｂの一部分をカフトし、山）の
例では一端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカットし
、（Ｃ）の例では両端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分
をカットすることでそれぞれ断面長方形にしている。
第３図（ａ）乃至（Ｃ）は更に他の実施例を示す斜視図
であり、本実施例では振動体ｌはその長手方向の支持部
材３ａ及び３ｂの連結部を含む端部での断面形状が長方
形となるように形威されており、（ａ）の例では一端部
の主要面１ｂの一部分をカットし、（ｂ）の例では一端
部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカットし、（Ｃ）の
例では両端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分を力・ン卜
することでそれぞれ断面長方形にしている。
であり、本実施例では振動体ｌはその長手方向の支持部
材３ａ及び３ｂの連結部を含む端部での断面形状が長方
形となるように形威されており、（ａ）の例では一端部
の主要面１ｂの一部分をカットし、（ｂ）の例では一端
部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分をカットし、（Ｃ）の
例では両端部の主要面１ｂ及び１ｄの一部分を力・ン卜
することでそれぞれ断面長方形にしている。
第１図乃至第３図について上述したように、振動体ｌは
その断面形状が支持部材３ａ及び３ｂがそれぞれ連結さ
れている主要面１ｂ及び１ｄを結ぶ一方の辺が他方の辺
よりも小さい長方形となるように形威されているため、
振動体１は支持部材３ａ及び３ｂが設けられている検出
方向にたわみ易い構造となり、支持部材３ａ及び３ｂに
よる負荷によって生じる検出方向の共振周波数と駆動方
向の共振周波数との大きなずれが解消され、コリオリカ
の周波数と検出方向の共振周波数とが接近し、コリオリ
力による検出方向の駆動が効率的に行われるようになっ
て感度の向上が図られる。
その断面形状が支持部材３ａ及び３ｂがそれぞれ連結さ
れている主要面１ｂ及び１ｄを結ぶ一方の辺が他方の辺
よりも小さい長方形となるように形威されているため、
振動体１は支持部材３ａ及び３ｂが設けられている検出
方向にたわみ易い構造となり、支持部材３ａ及び３ｂに
よる負荷によって生じる検出方向の共振周波数と駆動方
向の共振周波数との大きなずれが解消され、コリオリカ
の周波数と検出方向の共振周波数とが接近し、コリオリ
力による検出方向の駆動が効率的に行われるようになっ
て感度の向上が図られる。
また、第２図及び第３図について上述したように、振動
体１はその長手方向の端部での断面形状が長方形となる
ように形戒されているため、圧電トランスジューサが付
着される中央部分がふくらみ、この部分の質量が相対的
に大きくなり、検出方向のたわみ性をより一層高めるこ
とができ、かつ振動体ｌに付着する圧電トランスジュー
サの面積が小さくならないので、駆動力が低下すること
もない。
体１はその長手方向の端部での断面形状が長方形となる
ように形戒されているため、圧電トランスジューサが付
着される中央部分がふくらみ、この部分の質量が相対的
に大きくなり、検出方向のたわみ性をより一層高めるこ
とができ、かつ振動体ｌに付着する圧電トランスジュー
サの面積が小さくならないので、駆動力が低下すること
もない。
更に、第３図について上述したように、振動体１はその
長手方向の支持部材３ａ及び３ｂの連結部を含む端部で
の断面形状が長方形となるように形威されているため、
支持部材３ａ及び３ｂを連結するため支持部材を構或す
るピンを挿通するための貫通孔を振動体１に形戒するた
めの加工が精度良くかつ容易にできるようになる。
長手方向の支持部材３ａ及び３ｂの連結部を含む端部で
の断面形状が長方形となるように形威されているため、
支持部材３ａ及び３ｂを連結するため支持部材を構或す
るピンを挿通するための貫通孔を振動体１に形戒するた
めの加工が精度良くかつ容易にできるようになる。
上述した断面長方形の振動体１の具体的な例を第ｌ図の
実施例について以下説明する。
実施例について以下説明する。
第４図は第１図の角速度センサの側端面図であり、同図
から明らかなように、柱状の金属ビームからなる振動体
１は、支持部材３ａ及び３ｂが固着されている主要面１
ｂ及びｌｄに垂直な幅方向の寸法Ｗが主要面１ａ及びＩ
Ｃに垂直な高さ方向の寸法Ｈよりも小さく設定されてい
る。
から明らかなように、柱状の金属ビームからなる振動体
１は、支持部材３ａ及び３ｂが固着されている主要面１
ｂ及びｌｄに垂直な幅方向の寸法Ｗが主要面１ａ及びＩ
Ｃに垂直な高さ方向の寸法Ｈよりも小さく設定されてい
る。
今、第４図において、振動体ｌの材質、支持部材３ａ及
び３ｂの構造並びに材質、振動体ｌの長さｌ、振動体ｌ
の断面積などを一定にして上記寸法Ｗ及びＨの比（Ｗ／
Ｈ）が種々の値となるように寸法Ｗ及びＨを設定したと
ころ、下表に示すように、断面正方形の振動体１の場合
の出力電圧比を１としたとき、各寸法比に対して下表に
示すような出力電圧比（ｖ／ｖｏ）が得られた。なお、
ｖｏは寸法比が１のときの出力電圧Ｖとの比が１になる
ようにするための基準値である。
び３ｂの構造並びに材質、振動体ｌの長さｌ、振動体ｌ
の断面積などを一定にして上記寸法Ｗ及びＨの比（Ｗ／
Ｈ）が種々の値となるように寸法Ｗ及びＨを設定したと
ころ、下表に示すように、断面正方形の振動体１の場合
の出力電圧比を１としたとき、各寸法比に対して下表に
示すような出力電圧比（ｖ／ｖｏ）が得られた。なお、
ｖｏは寸法比が１のときの出力電圧Ｖとの比が１になる
ようにするための基準値である。
第５図は上表に基づいて描いたグラフで、該グラフから
分かるように、第４図の断面長方形の振動体１において
、その寸法比（Ｗ／Ｈ．）が０．９７５乃至０．９９５
の範囲内にあるとき、断面正方形の振動体に比べて約２
倍以上の感度が得られる。
分かるように、第４図の断面長方形の振動体１において
、その寸法比（Ｗ／Ｈ．）が０．９７５乃至０．９９５
の範囲内にあるとき、断面正方形の振動体に比べて約２
倍以上の感度が得られる。
上記表及び第５図のグラフにおいて、寸法比が０．９２
５になると寸法比が１のものよりも出力電圧比が悪化す
るようになるが、これは振動体ｌの幅方向Ｗの寸法が小
さくなって負荷が小さくなり過ぎ、検出側の共振周波数
『，。がコリオリカの周波数ｆ７から大きくずれてしま
う結果であると想像される。
５になると寸法比が１のものよりも出力電圧比が悪化す
るようになるが、これは振動体ｌの幅方向Ｗの寸法が小
さくなって負荷が小さくなり過ぎ、検出側の共振周波数
『，。がコリオリカの周波数ｆ７から大きくずれてしま
う結果であると想像される。
従って、第２図及び第３図の実施例を実施するに当たっ
ては、第１図について上述したように、出力電圧比（ｖ
／ｖｏ）が寸法比（Ｗ／Ｈ）が少なくとも２倍以上にな
るように各寸法ＷとＨを決定するようにすればよい。
ては、第１図について上述したように、出力電圧比（ｖ
／ｖｏ）が寸法比（Ｗ／Ｈ）が少なくとも２倍以上にな
るように各寸法ＷとＨを決定するようにすればよい。
〔効 果］
以上説明したように本発明によれば、コリオリ力を大き
くするのではなく、振動体の断面形状を少なくとも端部
で長方形にすることで、支持部材を含む振動体の駆動方
向と検出方向の共振周波数を接近させ、圧電用圧電トラ
ンスジューサによる振動周波数（駆動方向の共振周波数
）Ｌｍと、ｆ，，と等しいコリオリ力の周波数ｆ。と、
検出方向の共振周波数ｆＲｏとの関係がｒ ＤＲ＝ ｆ
，，’＝ ｆ ＊ｏトなるようにしているので、駆動
用圧電トランスジューサにより発生されるコリオリカに
よって振動体が検出方向に効率的に振動されるようにな
り、感度の向上が図られる。
くするのではなく、振動体の断面形状を少なくとも端部
で長方形にすることで、支持部材を含む振動体の駆動方
向と検出方向の共振周波数を接近させ、圧電用圧電トラ
ンスジューサによる振動周波数（駆動方向の共振周波数
）Ｌｍと、ｆ，，と等しいコリオリ力の周波数ｆ。と、
検出方向の共振周波数ｆＲｏとの関係がｒ ＤＲ＝ ｆ
，，’＝ ｆ ＊ｏトなるようにしているので、駆動
用圧電トランスジューサにより発生されるコリオリカに
よって振動体が検出方向に効率的に振動されるようにな
り、感度の向上が図られる。
第１図は本発明による角速度センサの一実施例を示す斜
視図、 第２図及び第３図は本発明の角速度センサの他の実施例
をそれぞれ示す斜視図、 第４図は第１図の角速度センサの側端面図、第５図は第
１図及び第４図の実施例における振動体の寸法比と出力
電圧比の関係を示すグラフ、 第６図及び第７図は従来の角速度センサの一例を示す斜
視図及び側端面図である。 １・・・振動体と、ｌｂ，ｌｃ・・・主要面、２ａ・・
・駆動用トランスジューサ、２ｂ・・・検出用圧電トラ
ンスジューサ、３ａ，３ｂ・・・支持部材、Ａ，Ｂ・・
・振動不動点。 ノ＼ ＩＣ ２Ｃ 第 ４ 図 第 ５ 図
視図、 第２図及び第３図は本発明の角速度センサの他の実施例
をそれぞれ示す斜視図、 第４図は第１図の角速度センサの側端面図、第５図は第
１図及び第４図の実施例における振動体の寸法比と出力
電圧比の関係を示すグラフ、 第６図及び第７図は従来の角速度センサの一例を示す斜
視図及び側端面図である。 １・・・振動体と、ｌｂ，ｌｃ・・・主要面、２ａ・・
・駆動用トランスジューサ、２ｂ・・・検出用圧電トラ
ンスジューサ、３ａ，３ｂ・・・支持部材、Ａ，Ｂ・・
・振動不動点。 ノ＼ ＩＣ ２Ｃ 第 ４ 図 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 柱状の金属ビームからなる振動体と、該振動体の互い
に直交する主要面にそれぞれ付着された駆動用及び検出
用圧電トランスジューサと、前記検出用圧電トランスジ
ューサが付着されている主要面と該主要面と対向する主
要面に連結され、振動体の振動不動点をそれぞれ支持す
る支持部材とからなる角速度センサにおいて、 前記振動体の少なくとも端部の断面形状を前記支持部材
が連結されている主要面を結ぶ一方の辺が他方の辺より
も小さい長方形にした、 ことを特徴とする角速度センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188725A JPH0354414A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 角速度センサ |
| US07/553,013 US5226324A (en) | 1989-07-24 | 1990-07-16 | Angular velocity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188725A JPH0354414A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 角速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354414A true JPH0354414A (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=16228689
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP1188725A Pending JPH0354414A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 角速度センサ |
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|---|---|
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| JP (1) | JPH0354414A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH06137873A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Akai Electric Co Ltd | 振動ジャイロ用振動子 |
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Families Citing this family (8)
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Family Cites Families (2)
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| JPH087068B2 (ja) * | 1985-02-20 | 1996-01-29 | 正 近野 | 音片型振動ジヤイロ |
| US4836023A (en) * | 1988-03-09 | 1989-06-06 | Yazaki Corporation | Vibrational angular rate sensor |
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1989
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-
1990
- 1990-07-16 US US07/553,013 patent/US5226324A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008044352A (ja) * | 2002-01-11 | 2008-02-28 | Intel Corp | 電子機器用の取り外し可能でカスタマイズ可能な挿入物及びフェースプレート |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5226324A (en) | 1993-07-13 |
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