JPH0354442A - 微小部ｘ線分析におけるデータ処理方法 - Google Patents
微小部ｘ線分析におけるデータ処理方法Info
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- JPH0354442A JPH0354442A JP1190343A JP19034389A JPH0354442A JP H0354442 A JPH0354442 A JP H0354442A JP 1190343 A JP1190343 A JP 1190343A JP 19034389 A JP19034389 A JP 19034389A JP H0354442 A JPH0354442 A JP H0354442A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、微小部Ｘ線分析におけるデータ処理方法に関
する． く従来の技術〉 例えば電子顕微鏡と所謂Ｅ Ｐ Ｍ Ａ （Ｅｌｅｃｔ
ｏｒｏｎＰｒｏｂｅ Ｘ−ｒａｙ Ａｎａｌｙｚｅｒ
：エネルギー分散型ＥＤＸと波長分散型ＷＤＸとがある
）とを用いた微小部Ｘ線分析、詳しくは、試料における
微小な所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに
伴って該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域か
ら夫々放射される各含有元素の特性Ｘ線を測定し、それ
ら特性ＸｆＩの測定結果に基いて該試料の分析を行う微
小部Ｘ線分析において、特に、例えばＺＡＦ法を用いた
定量分析を行うような場合には、そのためのデータとし
て、前記各特性Ｘ線の測定結果からそれ番こ含まれる主
なノイズ成分であるンクグラウンド或分を除去したデー
タを得てお必要がある． そして、そのためのデータ処理方法としては従来から、 （ア）バックグラウンド或分のスペクトル形状・計算に
よりシミュレーシタンして、測定さｊた特性Ｘ線のスペ
クトルからそのバンクグ・ウンド戒分のスペクトルを除
去するようにＬたクレーマー法、 （イ）特性Ｘ線の測定結果を数学フィルター（１ソプハ
ントフィルター）に通すことにより、ハノクグラウンド
或分を除去するデジタルフィルター法、 などが知られている． 〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記したような従来方法による場合には
、何れの場合にも、常に精度の良いバンクグラウンド威
分の除去を行うことはできなかった。
する． く従来の技術〉 例えば電子顕微鏡と所謂Ｅ Ｐ Ｍ Ａ （Ｅｌｅｃｔ
ｏｒｏｎＰｒｏｂｅ Ｘ−ｒａｙ Ａｎａｌｙｚｅｒ
：エネルギー分散型ＥＤＸと波長分散型ＷＤＸとがある
）とを用いた微小部Ｘ線分析、詳しくは、試料における
微小な所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに
伴って該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域か
ら夫々放射される各含有元素の特性Ｘ線を測定し、それ
ら特性ＸｆＩの測定結果に基いて該試料の分析を行う微
小部Ｘ線分析において、特に、例えばＺＡＦ法を用いた
定量分析を行うような場合には、そのためのデータとし
て、前記各特性Ｘ線の測定結果からそれ番こ含まれる主
なノイズ成分であるンクグラウンド或分を除去したデー
タを得てお必要がある． そして、そのためのデータ処理方法としては従来から、 （ア）バックグラウンド或分のスペクトル形状・計算に
よりシミュレーシタンして、測定さｊた特性Ｘ線のスペ
クトルからそのバンクグ・ウンド戒分のスペクトルを除
去するようにＬたクレーマー法、 （イ）特性Ｘ線の測定結果を数学フィルター（１ソプハ
ントフィルター）に通すことにより、ハノクグラウンド
或分を除去するデジタルフィルター法、 などが知られている． 〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記したような従来方法による場合には
、何れの場合にも、常に精度の良いバンクグラウンド威
分の除去を行うことはできなかった。
即ち、前者（ア）のクレーマー法による場合には、低エ
ネルギー側のバックグラウンド戒分スペクトルの形状を
精度良く決定することが極めて困難なため誤差が大きく
、また、（イ）のデジタルフィルター法による場合には
、バックグラウンド成分のみならず本来必要な物理的な
すａ報も機械的に除去されてしまうため、やはり誤差が
大きい。
ネルギー側のバックグラウンド戒分スペクトルの形状を
精度良く決定することが極めて困難なため誤差が大きく
、また、（イ）のデジタルフィルター法による場合には
、バックグラウンド成分のみならず本来必要な物理的な
すａ報も機械的に除去されてしまうため、やはり誤差が
大きい。
本発明は、かかる従来実情に鑑みてなされたものであっ
て、その目的は、特に、試料を構威する化合物に含まれ
る二種類の元素の特性Ｘ線の測定結果に着目する画期的
な手法を用いることによって、各含有元素の特性Ｘ線の
測定結果に含まれるハンクグラウンド戒分を、容易かつ
明確な手段で、しかも非常に確実に精度良く特定ひいて
は除去することができる微小部Ｘ線分析におけるデータ
処理方法を開発せんとすることにある。
て、その目的は、特に、試料を構威する化合物に含まれ
る二種類の元素の特性Ｘ線の測定結果に着目する画期的
な手法を用いることによって、各含有元素の特性Ｘ線の
測定結果に含まれるハンクグラウンド戒分を、容易かつ
明確な手段で、しかも非常に確実に精度良く特定ひいて
は除去することができる微小部Ｘ線分析におけるデータ
処理方法を開発せんとすることにある。
〈５題を解決するための千段〉
上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも二種
類の元素を含有する化合物から威る試料における微小な
所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに伴って
該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域から夫々
放射される前記両含有元素に関する特性Ｘ線を測定し、
それら特性Ｘ線の測定結果に基いて該試料の分析を行う
微小部Ｘ線分析において、前記各含有元素の特性Ｘ ！
ｔｉＡ＋７） ＩＩＪ定結果に含まれるバックグラウン
ド戒分を特定するための微小部Ｘ線分析におけるデータ
処理方広であって、 前記両含有元素の特性Ｘ線の測定結果を夫々画像情報の
輝度値に変換した土で、前記両含有元素の画像輝度値ヒ
ストグラムを夫々作成させ、更に、それら両含有元素の
画像輝度値ヒストグラムから該両含有元素に関する画像
輝度値相関図を作成させ、その画像輝度値相関図の原点
付近に現れるデータ集団の位置する座標範囲から、前記
両含有元素の画像輝度値ヒストグラム夫々におけるバッ
クグラウンド或分の範囲を特定することを特徴とする倣
小部Ｘ綿分析におけるデータ処理方法を提供するもので
ある。
類の元素を含有する化合物から威る試料における微小な
所定範囲内に対して電子線を走査照射し、それに伴って
該所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域から夫々
放射される前記両含有元素に関する特性Ｘ線を測定し、
それら特性Ｘ線の測定結果に基いて該試料の分析を行う
微小部Ｘ線分析において、前記各含有元素の特性Ｘ ！
ｔｉＡ＋７） ＩＩＪ定結果に含まれるバックグラウン
ド戒分を特定するための微小部Ｘ線分析におけるデータ
処理方広であって、 前記両含有元素の特性Ｘ線の測定結果を夫々画像情報の
輝度値に変換した土で、前記両含有元素の画像輝度値ヒ
ストグラムを夫々作成させ、更に、それら両含有元素の
画像輝度値ヒストグラムから該両含有元素に関する画像
輝度値相関図を作成させ、その画像輝度値相関図の原点
付近に現れるデータ集団の位置する座標範囲から、前記
両含有元素の画像輝度値ヒストグラム夫々におけるバッ
クグラウンド或分の範囲を特定することを特徴とする倣
小部Ｘ綿分析におけるデータ処理方法を提供するもので
ある。
く作用〉
かかる特徴ある手段を採用したことにより発揮される作
用は下記のとおりである。
用は下記のとおりである。
即ち、本発明に係る微小部Ｘ線分析におけるデータ処理
方法においては、従来のように、データ処理（バックグ
ラウンド戒分を除去）しようとする含有元素の特性Ｘ線
の測定結果のみを単独で取り扱うのでは無く、試料を横
或する化合物に含まれる二種類の元素に着目し、それら
二種類の含有元素の両特性ＸｖＡの測定結果を組み合わ
せてデータ処理する、つまり、前記両含有元素の特性Ｘ
線の測定結果を夫々画像情報の輝度値に変換した上で、
前記両含有元素の画像輝度値ヒストグラムを大々作成さ
せ、更に、それら両含有元累の画像輝度値ヒストグラム
から該両含有元素に関する画像輝度値相関図を作成させ
、その画像輝度値相関図の原点付近に現れるデータ集団
の位置する座標範囲から、前記両含有元素の画像輝度値
ヒストグラム夫々におけるバックグラウンド成分の範囲
を特定する、という画期的な手法を用いるようにしたか
ら、後述する実施例の記載からもより一層明らかとなる
ように、各含有元素の特性Ｘ線の測定結果に含まれるバ
・冫クグラウンド或分を、容易かつ確実に、しかも非常
に精度良く除去できるようになった。
方法においては、従来のように、データ処理（バックグ
ラウンド戒分を除去）しようとする含有元素の特性Ｘ線
の測定結果のみを単独で取り扱うのでは無く、試料を横
或する化合物に含まれる二種類の元素に着目し、それら
二種類の含有元素の両特性ＸｖＡの測定結果を組み合わ
せてデータ処理する、つまり、前記両含有元素の特性Ｘ
線の測定結果を夫々画像情報の輝度値に変換した上で、
前記両含有元素の画像輝度値ヒストグラムを大々作成さ
せ、更に、それら両含有元累の画像輝度値ヒストグラム
から該両含有元素に関する画像輝度値相関図を作成させ
、その画像輝度値相関図の原点付近に現れるデータ集団
の位置する座標範囲から、前記両含有元素の画像輝度値
ヒストグラム夫々におけるバックグラウンド成分の範囲
を特定する、という画期的な手法を用いるようにしたか
ら、後述する実施例の記載からもより一層明らかとなる
ように、各含有元素の特性Ｘ線の測定結果に含まれるバ
・冫クグラウンド或分を、容易かつ確実に、しかも非常
に精度良く除去できるようになった。
く実施例〉
以下、本発明に係る微小部Ｘ線分析におけるデータ処理
方法の具体的な一実施例として、少なくとも二種類の元
素（第１元素Ｃａ，第２元素Ｍｇなど）を含有する化合
物から成る限石を試料とした分析結果について説明する
。
方法の具体的な一実施例として、少なくとも二種類の元
素（第１元素Ｃａ，第２元素Ｍｇなど）を含有する化合
物から成る限石を試料とした分析結果について説明する
。
先ず、従来方法におけると同様に、電子顕微鏡およびＥ
ＰＭＡを用いて、前記試料における微小な所定範囲内に
対して電子線を走査照射し、それに伴って該試料の所定
範囲内におけるマトリクス状検出点領域の各検出点から
夫々放射される前記各含有元素（Ｃａ，Ｍｇ，・・・）
に関する特性ｘｎ（各元素別に特有のＸ線強度）を測定
する．次に、前記ＥＰＭＡにより得られた元素（Ｃａ，
Ｍ ｇ ，・・・）別の特性Ｘ線の測定結果を、夫々、
前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域
（例えば、２５６Ｘ２５６ビクセル）に対応するメモリ
領域（６ ５ ５ ３ ６メモリー）およびアドレスを
有するメモリー内に、アドレス別に記憶させる。
ＰＭＡを用いて、前記試料における微小な所定範囲内に
対して電子線を走査照射し、それに伴って該試料の所定
範囲内におけるマトリクス状検出点領域の各検出点から
夫々放射される前記各含有元素（Ｃａ，Ｍｇ，・・・）
に関する特性ｘｎ（各元素別に特有のＸ線強度）を測定
する．次に、前記ＥＰＭＡにより得られた元素（Ｃａ，
Ｍ ｇ ，・・・）別の特性Ｘ線の測定結果を、夫々、
前記試料の所定範囲内におけるマトリクス状検出点領域
（例えば、２５６Ｘ２５６ビクセル）に対応するメモリ
領域（６ ５ ５ ３ ６メモリー）およびアドレスを
有するメモリー内に、アドレス別に記憶させる。
更に、前記各メモリー内に記憶されている特性Ｘ線の測
定結果を夫々画像情報の輝度値（画像濃度値）に変換（
例えば、０〜２５５にノルマライズ）した上で、夫々の
元素についてその画ｌ！輝度値ヒストグラム（画像輝度
値と、画像輝度値が同しピクセルのカウント数との関係
）を、第１図および第２図に例示しているように作成さ
せる。
定結果を夫々画像情報の輝度値（画像濃度値）に変換（
例えば、０〜２５５にノルマライズ）した上で、夫々の
元素についてその画ｌ！輝度値ヒストグラム（画像輝度
値と、画像輝度値が同しピクセルのカウント数との関係
）を、第１図および第２図に例示しているように作成さ
せる。
このうち、第１図に示す第１元素Ｃａの特性Ｘ２図に示
す第２元素Ｍｇの特性Ｘ線の画像輝度値そして、前記第
１元素Ｃａおよび第２元素Ｍｇの両画像輝度値ヒストグ
ラムＨｌ，Ｈ２からみる限り、バックグラウンド（ノイ
ズ戒分）に相当すルピークＡＩ，Ａ２を除いて考えると
、この試料（限石）は二種類の化合物から構戒されてい
るように一応は推定される。
す第２元素Ｍｇの特性Ｘ線の画像輝度値そして、前記第
１元素Ｃａおよび第２元素Ｍｇの両画像輝度値ヒストグ
ラムＨｌ，Ｈ２からみる限り、バックグラウンド（ノイ
ズ戒分）に相当すルピークＡＩ，Ａ２を除いて考えると
、この試料（限石）は二種類の化合物から構戒されてい
るように一応は推定される。
ところが、先ず、これら第１元素Ｃａおよび第２元素Ｍ
ｇの両画像輝度値ヒストグラムＨｌ，Ｈ２を用いて、第
ｌ元素Ｃａの特性ＸＬＡの画像輝度値と第２元素Ｍｇの
特性Ｘ線の画像輝度値との相関関係を表すＣａ−Ｍｇ画
像輝度値相関図を、第３図に示すように、例えばＣＲＴ
のマトリクス画面（例えば２５６Ｘ２５６ピクセル）上
に作成してみると、上記の推定は誤っていることが判る
。
ｇの両画像輝度値ヒストグラムＨｌ，Ｈ２を用いて、第
ｌ元素Ｃａの特性ＸＬＡの画像輝度値と第２元素Ｍｇの
特性Ｘ線の画像輝度値との相関関係を表すＣａ−Ｍｇ画
像輝度値相関図を、第３図に示すように、例えばＣＲＴ
のマトリクス画面（例えば２５６Ｘ２５６ピクセル）上
に作成してみると、上記の推定は誤っていることが判る
。
即ち、この第３図に示すＣａ−Ｍｇ画像輝度値相関図に
おいて、横軸（Ｘ軸）は第１元素Ｃａの特性Ｘ線の画像
輝度値（０〜２５５）、縦軸（ｙ軸）は第２元素Ｍｇの
特性Ｘ線の画像輝度値（０〜２５５）を示し、このｘ−
ｙ画面に示された各ポイントは、（Ｃａの画像輝度値，
Ｍｇの画像輝度値）の組合せが同しとなるデータの数を
画像情報の輝度（ｉ！ｉ像濃度：例えば０〜２５５の２
５６諧調）で表したものである。例えば、ｘ＝５０でか
つｙ＝１５０を満足するデータの個数を原データを参照
してカウントし、その個数を、（Ｘ座標ｙ座標）＝（５
０．１５０）に位置するビクセルに、その個数に対応す
る輝度で表示させるのである。この例では、上記のよう
な操作をｘ，ｙについて夫々２５６単位で１ポイントず
つ行うと、その操作回数は２５６” ＝６５５３６回に
なる。
おいて、横軸（Ｘ軸）は第１元素Ｃａの特性Ｘ線の画像
輝度値（０〜２５５）、縦軸（ｙ軸）は第２元素Ｍｇの
特性Ｘ線の画像輝度値（０〜２５５）を示し、このｘ−
ｙ画面に示された各ポイントは、（Ｃａの画像輝度値，
Ｍｇの画像輝度値）の組合せが同しとなるデータの数を
画像情報の輝度（ｉ！ｉ像濃度：例えば０〜２５５の２
５６諧調）で表したものである。例えば、ｘ＝５０でか
つｙ＝１５０を満足するデータの個数を原データを参照
してカウントし、その個数を、（Ｘ座標ｙ座標）＝（５
０．１５０）に位置するビクセルに、その個数に対応す
る輝度で表示させるのである。この例では、上記のよう
な操作をｘ，ｙについて夫々２５６単位で１ポイントず
つ行うと、その操作回数は２５６” ＝６５５３６回に
なる。
さて、上記したＣａ−Ｍｇ画像輝度値相関図から明らか
なように、この例では、前記両元素ＣａＭｇの画像輝度
値の比率が略等しいところに、夫々、データ集団（この
例では、四つのデータ集団Ｇｏ，Ｇｌ．Ｇ２，Ｇ３）が
形威されていることが判る． このうち、Ｃａ−Ｍｇ画像輝度値相関図の原点付近に現
れたデータ集団Ｇｏは、「ハノクグラウンド戒分は基本
的に本来の信号成分よりも小さい」ということから、ハ
ンクグラウンド或分に係るデータ集団であることが明ら
かであり、他の三つの７ データ集団Ｇｌ，Ｇ２，Ｇ３は、前記両元素Ｃａ？よび
Ｍｇを含有する三種類の化合物に対応するデータ集団で
あることが判る。つまり、この試料を構成する化合物の
数は、前記第１図および第２図から推定された二種類で
はなく、実際には三種類存在していることが判る。つま
り、この例の場合には、前記第１図に示す第１元素Ｃａ
の特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムＨｌにおいては、
二つのデータ集団Ｃｌ．Ｇ２が一つのピークＢｌとして
、また、前記第２図に示す第２元素Ｓｉの特性Ｘ線の画
像輝度値ヒストグラムＨ２においては、一つのデータ集
団Ｇｌ，Ｇ３が一つのピークＢ２として現れていたとい
うことが理解できる。
なように、この例では、前記両元素ＣａＭｇの画像輝度
値の比率が略等しいところに、夫々、データ集団（この
例では、四つのデータ集団Ｇｏ，Ｇｌ．Ｇ２，Ｇ３）が
形威されていることが判る． このうち、Ｃａ−Ｍｇ画像輝度値相関図の原点付近に現
れたデータ集団Ｇｏは、「ハノクグラウンド戒分は基本
的に本来の信号成分よりも小さい」ということから、ハ
ンクグラウンド或分に係るデータ集団であることが明ら
かであり、他の三つの７ データ集団Ｇｌ，Ｇ２，Ｇ３は、前記両元素Ｃａ？よび
Ｍｇを含有する三種類の化合物に対応するデータ集団で
あることが判る。つまり、この試料を構成する化合物の
数は、前記第１図および第２図から推定された二種類で
はなく、実際には三種類存在していることが判る。つま
り、この例の場合には、前記第１図に示す第１元素Ｃａ
の特性Ｘ線の画像輝度値ヒストグラムＨｌにおいては、
二つのデータ集団Ｃｌ．Ｇ２が一つのピークＢｌとして
、また、前記第２図に示す第２元素Ｓｉの特性Ｘ線の画
像輝度値ヒストグラムＨ２においては、一つのデータ集
団Ｇｌ，Ｇ３が一つのピークＢ２として現れていたとい
うことが理解できる。
さて、前記Ｃａ −Ｍｇ画像輝度値相関図に現れたバッ
クグラウンド戒分に係るデータ集団ＧＯのの位置する座
標範囲を読み取ると、この例では、Ｘ■ｘ＝１７．ｙ■
、−＝３０となっており、従って、前記第１図のＣａの
両画像輝度値ヒストグラムＩ｛Ｉにおいてハノチングで
示した部分（輝度値が１７以下の部分）および前記第２
図のＭｇの両画像輝度値ヒストグラムＨ２においてハノ
チングで示した部分（輝度値が３０以下の部分）が、夫
々、バンクグラウンド威分のデータに相当しているとい
うことを、非常に明確な形でかつ精度良く特定すること
ができる。
クグラウンド戒分に係るデータ集団ＧＯのの位置する座
標範囲を読み取ると、この例では、Ｘ■ｘ＝１７．ｙ■
、−＝３０となっており、従って、前記第１図のＣａの
両画像輝度値ヒストグラムＩ｛Ｉにおいてハノチングで
示した部分（輝度値が１７以下の部分）および前記第２
図のＭｇの両画像輝度値ヒストグラムＨ２においてハノ
チングで示した部分（輝度値が３０以下の部分）が、夫
々、バンクグラウンド威分のデータに相当しているとい
うことを、非常に明確な形でかつ精度良く特定すること
ができる。
そこで、前記第１図のＣａの両画像輝度値ヒストグラム
Ｈｌを用いて、第１含有元素Ｃａの本来の強度測定成分
■。は、 で求められ、 また、前記第２図のＭｇの両画像輝度値ヒストグラムＨ
２を用いて、第２含有元素Ｍｇの本来の強度測定成分■
９，は、 で求められる。
Ｈｌを用いて、第１含有元素Ｃａの本来の強度測定成分
■。は、 で求められ、 また、前記第２図のＭｇの両画像輝度値ヒストグラムＨ
２を用いて、第２含有元素Ｍｇの本来の強度測定成分■
９，は、 で求められる。
なお、上記Ｃａの強度測定或分ＩＣｓおよびＭｇの強度
測定成分Ｔ Ｍｌは、夫々、例えば次頁に示す式で定義
されるＺＡＦ法により濃度Ｃに変換する、等の定量分析
に供される。
測定成分Ｔ Ｍｌは、夫々、例えば次頁に示す式で定義
されるＺＡＦ法により濃度Ｃに変換する、等の定量分析
に供される。
Ｃ＝ｋ−Ｚ−Ａ−Ｆ
ここに、ｋは強度比（測定試料の強度測定威分ＩＣａ．
ＩＭｑ の標′＄試料の強度測定成分■。。
ＩＭｑ の標′＄試料の強度測定成分■。。
Ｉ Ｍ９。に対する比）、Ｚは原子番号効果値、Ａは質
量吸収補正値、Ｆは蛍光Ｘ線補正値である。
量吸収補正値、Ｆは蛍光Ｘ線補正値である。
ところで、前記第３図のＣａ−Ｍｇ画像輝度値相関図に
現れた各データ集団Ｇｏ，Ｇｌ．Ｇ２．０３（夫々の集
団において第１元素Ｃａと第２元素Ｍｇの含有比率が一
定となっている）について、夫々、同図において例えば
四角のウスンドウマークａ’ ｂ’，ｃ’ で示し
ているようにその代表部分を抽出（つまり多値化）し、
それら多値化部分ａ’，ｂ′．Ｃ′に該当するデータを
、前記メモリー内に記憶されている特性Ｘ線の測定結果
から取り出して、夫々、画像輝度値（画像濃度値）ζこ
変換（例えば、Ｏ〜２５５にノルマライズ）した上で、
第４図に例示しているように、前記試料の所定範囲内に
おけるマトリクス状検出点領域に対応する画素ｅ（２５
６Ｘ２５６ビクセル）およびアドレスを有する一つのマ
トリクス画面Ｐ（例えばＣＲＴ）上に、データ集団別に
互いに異なる色（例えば、赤，青．黄）または記号（例
えば、Ｏ，×，Δ）等により区別して表示させる（マン
ビングする）ようにすれば、前記試料（閉石）を構戒す
る全ての化合物が夫々占める領域および各境界、つまり
、それらの化合物の相を明６ｍに区別して捉えることが
でき、従って、それらの化合物の含有比率を読み取るこ
とも可能となる。
現れた各データ集団Ｇｏ，Ｇｌ．Ｇ２．０３（夫々の集
団において第１元素Ｃａと第２元素Ｍｇの含有比率が一
定となっている）について、夫々、同図において例えば
四角のウスンドウマークａ’ ｂ’，ｃ’ で示し
ているようにその代表部分を抽出（つまり多値化）し、
それら多値化部分ａ’，ｂ′．Ｃ′に該当するデータを
、前記メモリー内に記憶されている特性Ｘ線の測定結果
から取り出して、夫々、画像輝度値（画像濃度値）ζこ
変換（例えば、Ｏ〜２５５にノルマライズ）した上で、
第４図に例示しているように、前記試料の所定範囲内に
おけるマトリクス状検出点領域に対応する画素ｅ（２５
６Ｘ２５６ビクセル）およびアドレスを有する一つのマ
トリクス画面Ｐ（例えばＣＲＴ）上に、データ集団別に
互いに異なる色（例えば、赤，青．黄）または記号（例
えば、Ｏ，×，Δ）等により区別して表示させる（マン
ビングする）ようにすれば、前記試料（閉石）を構戒す
る全ての化合物が夫々占める領域および各境界、つまり
、それらの化合物の相を明６ｍに区別して捉えることが
でき、従って、それらの化合物の含有比率を読み取るこ
とも可能となる。
〈発明の効果〉
以上詳述したところから明らかなように、本発明に係る
微小部Ｘ線分析におけるデータ処理方法によれば、特に
、試料を構威する化合物に含まれる二種類の元素に着目
し、それら二種類の含有元素の両特性Ｘ線の測定結果を
組み合わせてデータ処理する、つまり、前記両含有元素
の特性Ｘ線の測定結果を夫々画像情報の輝度値に変換し
た上で、前記両含有元素の画像輝度値ヒストグラムを夫
々作成させ、更に、それら両含有元素の画像輝度値ヒス
トグラムから該両含有元素に関する画像輝度値相関図を
作戒させ、その画像輝度値相関図の原点付近に現れるデ
ータ集団の位置する座標範囲から、前記両含有元素の画
像輝度値ヒストグラム夫々におけるバックグラウンド成
分の範囲を特定する、という画期的な手法を用いるよう
にしたから、各含有元素の特性Ｘ線の測定結果に含まれ
るバンクグラウンド戒分を、容易かつ確実に、しかも非
常に精度良く除去できる、という顕著に優れた効果が発
揮される。
微小部Ｘ線分析におけるデータ処理方法によれば、特に
、試料を構威する化合物に含まれる二種類の元素に着目
し、それら二種類の含有元素の両特性Ｘ線の測定結果を
組み合わせてデータ処理する、つまり、前記両含有元素
の特性Ｘ線の測定結果を夫々画像情報の輝度値に変換し
た上で、前記両含有元素の画像輝度値ヒストグラムを夫
々作成させ、更に、それら両含有元素の画像輝度値ヒス
トグラムから該両含有元素に関する画像輝度値相関図を
作戒させ、その画像輝度値相関図の原点付近に現れるデ
ータ集団の位置する座標範囲から、前記両含有元素の画
像輝度値ヒストグラム夫々におけるバックグラウンド成
分の範囲を特定する、という画期的な手法を用いるよう
にしたから、各含有元素の特性Ｘ線の測定結果に含まれ
るバンクグラウンド戒分を、容易かつ確実に、しかも非
常に精度良く除去できる、という顕著に優れた効果が発
揮される。
図面は、本発明に係る微小部Ｘ線分析におけるデータ処
理方法の具体的な一実施例を説明するためのものであっ
て、第１図は試料（限石）を横威する化合物に含まれる
第１元素（Ｃａ）の特性Ｘ綿の画像輝度値ヒストグラム
、第２図は同しく第２元素（ Ｍ ｇ ）の特性Ｘ線の
画像輝度値ヒストグラム、第３図は輝度表示方式で表現
したＣ ａ − Ｍｇ画像輝度値相関図、そして、第４
図は前記第１元素（Ｃａ）および第２元素（Ｍｇ）を含
む化合物の分布状態を表示したマトリクス画面の模式的
説明図を示している。 第１図 カウン｝１足（ヒ゜７セ，ノｋちζ） １・ 第２図
理方法の具体的な一実施例を説明するためのものであっ
て、第１図は試料（限石）を横威する化合物に含まれる
第１元素（Ｃａ）の特性Ｘ綿の画像輝度値ヒストグラム
、第２図は同しく第２元素（ Ｍ ｇ ）の特性Ｘ線の
画像輝度値ヒストグラム、第３図は輝度表示方式で表現
したＣ ａ − Ｍｇ画像輝度値相関図、そして、第４
図は前記第１元素（Ｃａ）および第２元素（Ｍｇ）を含
む化合物の分布状態を表示したマトリクス画面の模式的
説明図を示している。 第１図 カウン｝１足（ヒ゜７セ，ノｋちζ） １・ 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 少なくとも二種類の元素を含有する化合物から成る試料
における微小な所定範囲内に対して電子線を走査照射し
、それに伴って該所定範囲内におけるマトリクス状検出
点領域から夫々放射される前記両含有元素に関する特性
Ｘ線を測定し、それら特性Ｘ線の測定結果に基いて該試
料の分析を行う微小部Ｘ線分析において、前記各含有元
素の特性Ｘ線の測定結果に含まれるバックグラウンド成
分を特定するための微小部Ｘ線分析におけるデータ処理
方法であって、 前記両含有元素の特性Ｘ線の測定結果を夫々画像情報の
輝度値に変換した上で、前記両含有元素の画像輝度値ヒ
ストグラムを夫々作成させ、更に、それら両含有元素の
画像輝度値ヒストグラムから該両含有元素に関する画像
輝度値相関図を作成させ、その画像輝度値相関図の原点
付近に現れるデータ集団の位置する座標範囲から、前記
両含有元素の画像輝度値ヒストグラム夫々におけるバッ
クグラウンド成分の範囲を特定することを特徴とする微
小部Ｘ線分析におけるデータ処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190343A JP2539270B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 微小部ｘ線分析におけるデ―タ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190343A JP2539270B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 微小部ｘ線分析におけるデ―タ処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354442A true JPH0354442A (ja) | 1991-03-08 |
| JP2539270B2 JP2539270B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=16256619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1190343A Expired - Lifetime JP2539270B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 微小部ｘ線分析におけるデ―タ処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539270B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270740A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光定量分析方法 |
| JPS63259950A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP1190343A patent/JP2539270B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270740A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光定量分析方法 |
| JPS63259950A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2539270B2 (ja) | 1996-10-02 |
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