JPH0354611A - 微少変位駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は、例えば粒度測定装置等の各種測定装置の光
学系の光軸自動調整、マイクロマニュビュレータ等に使
用される微少変位駆動装置に関する。

（口）従来の技術 従来、光軸調整のための微少変位駆動装置としては、ス
テップモータとギアを組み合わせたものがある． （ハ）発明が解決しようとする課題 従来のステンブモータとギアを組み合わせた微少変位駆
動装置では、ステップモー夕の変位量には限界があるた
め、数十μｍ以下の変位を行うためには、ギアを多く使
用せねばならず、その分装置が大型化するし、応答速度
も遅くなるという問題があった。

この発明は、上記問題点に着目してなされたものであっ
て、微少変位を高速、高精度に確保でき、しかも小形の
微少変位駆動装置を提供することを目的としている。

（二）課題を解決するための手段及び作用この発明の微
少変位駆動装置は、電圧が印加されると積層方向に変位
する積層型圧電素子（８）と、この変位を伝達する変位
伝達レバー（７）と、発光素子（１０）、受光素子（Ｉ
Ｉ）、及びこの発光素子と受光素子間に配置されるセク
タ（１２）からなり、前、記変位伝達レバーの変位堅を
測定する微少変位計（１３）と、外部設定信号と前記微
少変位計の出力の差を増幅し前記積層型圧電素子に加え
る回路手段（３５、３６）とから構威されている。

この微少変位駆動装置では、外部設定器により設定され
る電圧が増幅器で増幅され積層型圧電素子に印加され、
積層型圧電素子は１枚の圧電素子あたり最大１ｌｌｍ程
度変位する。積層型圧電素子の総変位量は積層枚数と印
加電圧によって決まる。

積層型圧電素子の変位は伝達レバーを介して被変位体に
伝えられる。伝達レバーの変位量は微少変位計で検出さ
れ、その変位量はフィードバックされて、外部設定信号
との差の電圧が増幅器で増幅されて積層型圧電素子に印
加される。外部設定信号と微少変位計の出力との差がＯ
となると、積層型圧電素子に印加される変位電圧はＯと
なり、積層型圧電素子の変位はＯとなり、被変位体には
目的とする変位量を得ることになる。

（ホ）実施例 以下、実施例により、この発明をさらに詳細に説明する
。

第１図は、この発明の一実施例を示す微少変位駆動装置
の概略機構図である。同図においてフレーム１には前壁
２と側壁３、４が立設されており、側壁３、４間には、
軸５、６によって枢支されたレバー７が設けられている
。またフレーム１の水平部１ａの上面には、両端が前壁
２とレバー７の下端側部に密着された積層型圧電素子８
が配置されている。この積層型圧電素子８は、？！Ｇ枚
の圧電素子９が密着積層されて構成されている。

又側壁３には側壁４方向に向けて光を発光するＬＥＤ（
発光素子）１０が設けられ、側璧４にはＬＥＤＩＯから
の光を受ける２分割フォトセンサｌ１が設けられ、レバ
ー７には、ＬＥＤＩＯから２分割フォトセンサ１１への
光を遮るセクタｌ２が設けられている。このＬＥＤ　１
　０、２分割フォトセンサ１１及びセクタ１２で微少変
位計１３を構成している。２分割フォトセンサ１ｌは分
割された２つの受光面１１ａ、ｌｌｂからなり、受光面
１１ａには、ＬＥＤ　１　０からの光が人力し、受光面
１ｌｂにはＬＥＤＩＯからの光がセクタｌ２で一部遮光
されて人力するようになっている。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）電圧が印加されると積層方向に変位する積層型圧
   電素子と、この変位を伝達する変位伝達レバーと、発光
   素子、受光素子、及びこの発光素子と受光素子間に配置
   されるセクタからなり、前記変位伝達レバーの変位量を
   測定する微少変位計と、外部設定信号と前記微少変位計
   の出力の差を増幅し前記積層型圧電素子に加える回路手
   段とからなる微少変位駆動装置。