JPH0354774U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0354774U JPH0354774U JP11265489U JP11265489U JPH0354774U JP H0354774 U JPH0354774 U JP H0354774U JP 11265489 U JP11265489 U JP 11265489U JP 11265489 U JP11265489 U JP 11265489U JP H0354774 U JPH0354774 U JP H0354774U
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- JP
- Japan
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- base portion
- coating
- coating liquid
- discharge portion
- coating nozzle
- Prior art date
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- Granted
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Nozzles (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案に係る実施例の塗布ノズルの
要部断面図、第２図は本考案に係る塗布ノズルを
用いた塗布装置の側面図、及び第３図は従来の塗
布ノズルの断面図である。 １０……塗布ノズル、１１……大径部、１２…
…基体部、１３……小径部、１４……薄膜、１５
……スプリング中空部材、１６……吐出部（可撓
性パイプ部材）。
要部断面図、第２図は本考案に係る塗布ノズルを
用いた塗布装置の側面図、及び第３図は従来の塗
布ノズルの断面図である。 １０……塗布ノズル、１１……大径部、１２…
…基体部、１３……小径部、１４……薄膜、１５
……スプリング中空部材、１６……吐出部（可撓
性パイプ部材）。
Claims (1)
- 塗布液の供給パイプが結合される基体部と、こ
の基体部の出口側で結合される可撓性パイプ部材
の吐出部とを備えた塗布ノズルであつて、前記吐
出部はスプリング材を巻回した中空部材に薄膜を
被着して塗布液の漏出を阻止するようにしたこと
を特徴とする塗布ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989112654U JPH0632873Y2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 自動シリコン塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989112654U JPH0632873Y2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 自動シリコン塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354774U true JPH0354774U (ja) | 1991-05-27 |
| JPH0632873Y2 JPH0632873Y2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=31661097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989112654U Expired - Lifetime JPH0632873Y2 (ja) | 1989-09-26 | 1989-09-26 | 自動シリコン塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632873Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100719999B1 (ko) * | 2005-12-09 | 2007-05-21 | 두영전자 주식회사 | 실리콘 도포장치 및 방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193545U (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-13 |
-
1989
- 1989-09-26 JP JP1989112654U patent/JPH0632873Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193545U (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0632873Y2 (ja) | 1994-08-31 |