JPH0354784B2 - - Google Patents
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- JPH0354784B2 JPH0354784B2 JP17099784A JP17099784A JPH0354784B2 JP H0354784 B2 JPH0354784 B2 JP H0354784B2 JP 17099784 A JP17099784 A JP 17099784A JP 17099784 A JP17099784 A JP 17099784A JP H0354784 B2 JPH0354784 B2 JP H0354784B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
（産業上の利用分野）
本発明は、反射面を有する検体を光学的に検査
する方法に関する。
する方法に関する。
（従来の技術）
反射面を有する検体としては、第４図に示すよ
うに表面１００ａが鏡面（反射面）をなす検体１
００、第５図に示すように透明体からなり表面１
００ａが反射面をなす検体１００、第６図に示す
ように多層構造をなすとともに少なくとも上部層
が透明体をなし、その表面１００ａが反射面をな
している検体１００等がある。なお、第４図の場
合には、検体１００は透明体であつてもよいし不
透明体であつてもよい。第４図の検体１００とし
ては例えば研摩された金属がある。また、第６図
の検体１００としては、透明材料により多層にコ
ーテイングされた半導体基板等がある。
うに表面１００ａが鏡面（反射面）をなす検体１
００、第５図に示すように透明体からなり表面１
００ａが反射面をなす検体１００、第６図に示す
ように多層構造をなすとともに少なくとも上部層
が透明体をなし、その表面１００ａが反射面をな
している検体１００等がある。なお、第４図の場
合には、検体１００は透明体であつてもよいし不
透明体であつてもよい。第４図の検体１００とし
ては例えば研摩された金属がある。また、第６図
の検体１００としては、透明材料により多層にコ
ーテイングされた半導体基板等がある。
第４図の検体１００では、鏡面をなす表面１０
０ａの傷、しみ、ごみ等の欠陥ａがあるか否かを
光学的に検査することがある。第５図の検体１０
０では、表面１００ａ、内部、裏面の欠陥ｂがあ
るか否かを光学的検査することがある。第６図の
検体１００では、表面１００ａや層間の傷、し
み、ごみ等の欠陥ｃ、層間の剥離等の欠陥ｄがあ
るか否かを検査することがある。
０ａの傷、しみ、ごみ等の欠陥ａがあるか否かを
光学的に検査することがある。第５図の検体１０
０では、表面１００ａ、内部、裏面の欠陥ｂがあ
るか否かを光学的検査することがある。第６図の
検体１００では、表面１００ａや層間の傷、し
み、ごみ等の欠陥ｃ、層間の剥離等の欠陥ｄがあ
るか否かを検査することがある。
上記検体１００を光学的に検査する場合、従来
では第７図に示すような方法で検査を行なつてい
た。すなわち、先端部に受光部１１１を有するプ
ローブ１１０と、電球からなる照射部１１２とを
互いに離れた位置に配置する。そして、照射部１
１２の光を凹面鏡１１３により反射させて検体１
００に供給し、さらに検体１００の表面１００ａ
で反射させて受光部１１１に供給する。このよう
にして、検体１００を高輝度に照らし出し、この
検体１００の欠陥ａ，ｂ，ｃ，ｄ（第４図〜第６
図）を検出する。
では第７図に示すような方法で検査を行なつてい
た。すなわち、先端部に受光部１１１を有するプ
ローブ１１０と、電球からなる照射部１１２とを
互いに離れた位置に配置する。そして、照射部１
１２の光を凹面鏡１１３により反射させて検体１
００に供給し、さらに検体１００の表面１００ａ
で反射させて受光部１１１に供給する。このよう
にして、検体１００を高輝度に照らし出し、この
検体１００の欠陥ａ，ｂ，ｃ，ｄ（第４図〜第６
図）を検出する。
しかしながら、上述した従来の方法では、照射
部１１２と受光部１１１とが別体であるためコス
ト高となつた。
部１１２と受光部１１１とが別体であるためコス
ト高となつた。
そこで、第８図に示すように、プローブ１２０
を一般の内視鏡の挿入部と同様に構成し、プロー
ブ１２０の先端部に受光部１２１と照射部１２２
とを設け、検体１００の正面から、照明光を照射
して検査を行なうことが考えられる。しかし、こ
の検査方法では、高輝度の照射部の１２２像が、
検体１００の表面１００ａで反射して受光部１２
１に入射し、ハレーシヨンを生じるため、例えば
画像信号処理の段階で著しくＳ／Ｎ比が悪化し、
必要とする欠陥像を確実に検出することができな
い。
を一般の内視鏡の挿入部と同様に構成し、プロー
ブ１２０の先端部に受光部１２１と照射部１２２
とを設け、検体１００の正面から、照明光を照射
して検査を行なうことが考えられる。しかし、こ
の検査方法では、高輝度の照射部の１２２像が、
検体１００の表面１００ａで反射して受光部１２
１に入射し、ハレーシヨンを生じるため、例えば
画像信号処理の段階で著しくＳ／Ｎ比が悪化し、
必要とする欠陥像を確実に検出することができな
い。
また、上記プローブ１２０を検体１００に対し
て斜めに配置し、照明光を検体１００の表面１０
０ａに対して斜めに照射して、照射部１２２の像
が受光部１２１に入射しないようにすることも考
えられる。しかしこの場合には、照明光が検体１
００の表面１００ａに反射して背景を照らし出
し、この背景像が検体１００の表面１００ａで反
射して受光部１２１に入射するため、上記と同様
にＳ／Ｎ比が悪化し、必要とする欠陥像を確実に
検出することができない。
て斜めに配置し、照明光を検体１００の表面１０
０ａに対して斜めに照射して、照射部１２２の像
が受光部１２１に入射しないようにすることも考
えられる。しかしこの場合には、照明光が検体１
００の表面１００ａに反射して背景を照らし出
し、この背景像が検体１００の表面１００ａで反
射して受光部１２１に入射するため、上記と同様
にＳ／Ｎ比が悪化し、必要とする欠陥像を確実に
検出することができない。
（発明が解決しようとしている問題点）
上記の事情から、安価かつ検査作業が簡単であ
り、検体の欠陥を確実に検出できるプローブの開
発が待たれていた。
り、検体の欠陥を確実に検出できるプローブの開
発が待たれていた。
発明の構成
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点を解決するためになされた
もので、その要旨は、反射面を有する検体を光学
的に検査する方法において、照射部と受光部とを
先端部に備えたプローブの照射部から、照明光を
斜め方向に検体に照射し、この検体の像を受光部
でとらえるとともに、検体の反射面を介しての照
射部の照射範囲および受光部の視野範囲を、遮蔽
体でほぼ塞ぐようにしたことを特徴とする光学的
検査方法にある。
もので、その要旨は、反射面を有する検体を光学
的に検査する方法において、照射部と受光部とを
先端部に備えたプローブの照射部から、照明光を
斜め方向に検体に照射し、この検体の像を受光部
でとらえるとともに、検体の反射面を介しての照
射部の照射範囲および受光部の視野範囲を、遮蔽
体でほぼ塞ぐようにしたことを特徴とする光学的
検査方法にある。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説
明する。第１図中１はプローブを示す。プローブ
１は、一般の硬性内視鏡の挿入部と似た構成を有
し長尺に形成されている。プローブ１には画像伝
送光学系２と光フアイバー束３とが互いに平行を
なして内蔵されている。プローブ１の先端部には
画像伝送光学系２の受光部５および対物レンズが
配置されている。画像伝送光学系２は、さらにプ
ローブ１の基端部に配置された接眼レンズ（図示
しない）と、この接眼レンズに至るまでのレンズ
群（図示しない）を有している。光フアイバー束
３の先端面はプローブ１の先端部において露出
し、照射部６となつている。照射部６は受光部５
の近傍位置に配置されている。画像伝送光学系２
の光軸Ａと光フアイバー束３光軸Ｂはほぼ平行に
なつている。
明する。第１図中１はプローブを示す。プローブ
１は、一般の硬性内視鏡の挿入部と似た構成を有
し長尺に形成されている。プローブ１には画像伝
送光学系２と光フアイバー束３とが互いに平行を
なして内蔵されている。プローブ１の先端部には
画像伝送光学系２の受光部５および対物レンズが
配置されている。画像伝送光学系２は、さらにプ
ローブ１の基端部に配置された接眼レンズ（図示
しない）と、この接眼レンズに至るまでのレンズ
群（図示しない）を有している。光フアイバー束
３の先端面はプローブ１の先端部において露出
し、照射部６となつている。照射部６は受光部５
の近傍位置に配置されている。画像伝送光学系２
の光軸Ａと光フアイバー束３光軸Ｂはほぼ平行に
なつている。
光フアイバー束３の基端部は光源装置に接続さ
れており、この光源装置の光を先端の照射部６か
ら照射するようになつている。また、画像伝送光
学系２の基端部では接眼レンズを通して肉眼で検
査を行なつたり、カメラやテレビカメラ等により
撮影するようになつている。
れており、この光源装置の光を先端の照射部６か
ら照射するようになつている。また、画像伝送光
学系２の基端部では接眼レンズを通して肉眼で検
査を行なつたり、カメラやテレビカメラ等により
撮影するようになつている。
図中９は遮蔽体であり、この遮蔽体９の面９ａ
は無模様の白色拡散面からなり、光を乱反射する
ようになつている。
は無模様の白色拡散面からなり、光を乱反射する
ようになつている。
本例では第４図〜第６図に示すいずれの検体１
００でも検査することができる。
００でも検査することができる。
まず、上記プローブ１を検体１００に対して斜
めに配置する。また、遮蔽体９を検体１００に対
して傾けるとともに、検体１００の表面１００ａ
を介してプローブ１の先端部と鏡像位置関係にな
るように配置する。すなわち、遮蔽体９を、検体
１００の表面１００ａでの反射を介しての照射部
６の照射範囲および受光部５の視野範囲をほぼ塞
ぐようにして配置する。
めに配置する。また、遮蔽体９を検体１００に対
して傾けるとともに、検体１００の表面１００ａ
を介してプローブ１の先端部と鏡像位置関係にな
るように配置する。すなわち、遮蔽体９を、検体
１００の表面１００ａでの反射を介しての照射部
６の照射範囲および受光部５の視野範囲をほぼ塞
ぐようにして配置する。
上記配置状態で、照射部６から照明光を検体１
００に照射する。照射方向は検体１００の表面１
００ａに対して傾斜している。照射された光は検
体１００の表面１００ａで反射されて遮蔽体９に
至りここで乱反射され、検体１００を明かるく照
らし出す。照らし出された検体１００の像は、受
光部５から画像伝送光学系２によつて伝送されテ
レビカメラ等より撮像される。この際、検体１０
０が明かるくむらなく照らし出されているため、
表面１００ａのみならず内部、裏面等の欠陥を確
実に検出できる。なお、第６図に示すように欠陥
が剥離ｄである場合には虹彩として検出できる。
００に照射する。照射方向は検体１００の表面１
００ａに対して傾斜している。照射された光は検
体１００の表面１００ａで反射されて遮蔽体９に
至りここで乱反射され、検体１００を明かるく照
らし出す。照らし出された検体１００の像は、受
光部５から画像伝送光学系２によつて伝送されテ
レビカメラ等より撮像される。この際、検体１０
０が明かるくむらなく照らし出されているため、
表面１００ａのみならず内部、裏面等の欠陥を確
実に検出できる。なお、第６図に示すように欠陥
が剥離ｄである場合には虹彩として検出できる。
また、照射方向が検体１００の表面１００ａに
対して傾斜しており、高輝度の照射部６の像が遮
蔽体９方向へ反射され、この遮蔽体９で乱反射さ
れるため、受光部５に入射しない。したがつて、
例えば画像処理の段階でのＳ／Ｎ比が悪化せず、
検体１００の欠陥像を確実に検査できる。
対して傾斜しており、高輝度の照射部６の像が遮
蔽体９方向へ反射され、この遮蔽体９で乱反射さ
れるため、受光部５に入射しない。したがつて、
例えば画像処理の段階でのＳ／Ｎ比が悪化せず、
検体１００の欠陥像を確実に検査できる。
また、照明光は検体１００の表面１００ａによ
つて反射されるが、遮蔽体９に遮ぎられるため背
景を照らし出すことがなく、しかも背景像が遮蔽
体９に遮ぎられるため検体１００の表面１００ａ
で反射して受光部５に入射することがなく、この
点からもＳ／Ｎ比の悪化を防止でき、検体１００
の欠陥像を確実に検出することができる。
つて反射されるが、遮蔽体９に遮ぎられるため背
景を照らし出すことがなく、しかも背景像が遮蔽
体９に遮ぎられるため検体１００の表面１００ａ
で反射して受光部５に入射することがなく、この
点からもＳ／Ｎ比の悪化を防止でき、検体１００
の欠陥像を確実に検出することができる。
本発明は上記実施例に制約されず種々の態様が
可能である。例えば、第２図に示すようにしても
よい。なお、この実施例において第１図に対応す
る部材には同番号を付してその詳細な説明を省略
する。以下の実施例についても同様である。本例
では遮蔽体１０を凹面鏡としている。照射部６か
らの照明光は遮蔽体１０に反射されて検体１００
の表面１００ａに戻され、この表面１００ａで反
射されて受光部５に供給される。遮蔽体１０の焦
点は受光部５の近傍で結ぶようにする。なお、照
射部６の像は凹面鏡をなす遮蔽体１０で反射され
るため、画像としては受光部５に供給されず、欠
陥検出の障害となることはない。本例では、第１
図の場合よりもさらに高い輝度で検体を照らし出
すことができ、特に検体１００の内部や裏面の欠
陥を検出するのに適している。
可能である。例えば、第２図に示すようにしても
よい。なお、この実施例において第１図に対応す
る部材には同番号を付してその詳細な説明を省略
する。以下の実施例についても同様である。本例
では遮蔽体１０を凹面鏡としている。照射部６か
らの照明光は遮蔽体１０に反射されて検体１００
の表面１００ａに戻され、この表面１００ａで反
射されて受光部５に供給される。遮蔽体１０の焦
点は受光部５の近傍で結ぶようにする。なお、照
射部６の像は凹面鏡をなす遮蔽体１０で反射され
るため、画像としては受光部５に供給されず、欠
陥検出の障害となることはない。本例では、第１
図の場合よりもさらに高い輝度で検体を照らし出
すことができ、特に検体１００の内部や裏面の欠
陥を検出するのに適している。
また、遮蔽体の面を黒色吸収面とし、遮蔽体に
供給された光を反射する事なく吸収してもよい。
この例では、表面が鏡面をなす検体において直接
プローブの方向へ照射光を反射するような傷等の
欠陥を検出する場合に用いられる。
供給された光を反射する事なく吸収してもよい。
この例では、表面が鏡面をなす検体において直接
プローブの方向へ照射光を反射するような傷等の
欠陥を検出する場合に用いられる。
さらに、上記実施例では光フアイバー束の先端
によつて照射部を構成したが、第３図に示すよう
にプローブ１の先端部に、凹面鏡１１付きの電球
１２（照射部）を配置し、画像伝送光学系４の光
軸Ａとほぼ平行の光軸Ｂをなす照明光を照射する
ようにしてもよい。
によつて照射部を構成したが、第３図に示すよう
にプローブ１の先端部に、凹面鏡１１付きの電球
１２（照射部）を配置し、画像伝送光学系４の光
軸Ａとほぼ平行の光軸Ｂをなす照明光を照射する
ようにしてもよい。
また、上記実施例では受光部を一般の内視鏡の
挿入部に似た構成としたが、光電センサー、固体
撮像素子を用いてもよい。
挿入部に似た構成としたが、光電センサー、固体
撮像素子を用いてもよい。
また、背景に、無模様の壁や紙、梨地処理した
アルミ板からなるケース等が配置されている場合
には、この背景物自体を遮蔽体としてもよい。
アルミ板からなるケース等が配置されている場合
には、この背景物自体を遮蔽体としてもよい。
発明の効果
以上説明したように、本発明によれば、先端部
に照射部と受光部を備えたプローブを用いること
により、安価になる。しかも、照射部の像が受光
部に供給されず、また、模様等がある背景像が受
光部に供給されないため、確実に検体の欠陥を検
出することができる。
に照射部と受光部を備えたプローブを用いること
により、安価になる。しかも、照射部の像が受光
部に供給されず、また、模様等がある背景像が受
光部に供給されないため、確実に検体の欠陥を検
出することができる。
第１図〜第３図は本発明の異なる実施例をそれ
ぞれ示す図、第４図から第６図は検体の異なる態
様をそれぞれ示す図、第７図は従来例を示す図、
第８図は本発明を発案するまでの過程で考えた例
を示す図である。 １……プローブ、５……受光部、６，１２……
照射部、９，１０……遮蔽体、１００……検体、
１００ａ……検体の表面（反射面）。
ぞれ示す図、第４図から第６図は検体の異なる態
様をそれぞれ示す図、第７図は従来例を示す図、
第８図は本発明を発案するまでの過程で考えた例
を示す図である。 １……プローブ、５……受光部、６，１２……
照射部、９，１０……遮蔽体、１００……検体、
１００ａ……検体の表面（反射面）。
Claims (1)
- １ 反射面を有する検体を光学的に検査する方法
において、照射部と受光部とを先端部に備えたプ
ローブの照射部から、照明光を斜め方向に検体に
照射し、この検体の像を受光部でとらえるととも
に、検体の反射面を介しての照射部の照射範囲お
よび受光部の視野範囲を、遮蔽体でほぼ塞ぐよう
にしたことを特徴とする光学的検査方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17099784A JPS6150044A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 光学的検査方法 |
| US06/765,670 US4718760A (en) | 1984-08-18 | 1985-08-14 | Apparatus for optically inspecting object having reflecting surface |
| US07/072,121 US4732474A (en) | 1984-08-18 | 1987-07-10 | Apparatus for optically inspecting object having reflecting surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17099784A JPS6150044A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 光学的検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150044A JPS6150044A (ja) | 1986-03-12 |
| JPH0354784B2 true JPH0354784B2 (ja) | 1991-08-21 |
Family
ID=15915198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17099784A Granted JPS6150044A (ja) | 1984-08-18 | 1984-08-18 | 光学的検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6150044A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1126273A1 (en) * | 2000-02-09 | 2001-08-22 | Orbis Oy | Method and arrangement for inspecting a transparent object for flaws |
| GB201718699D0 (en) | 2017-11-13 | 2017-12-27 | Rolls-Royce Ltd | Measuring surface roughness |
| CN109632824B (zh) * | 2019-01-11 | 2020-04-21 | 英特尔产品（成都）有限公司 | 用于物体异常检查的物体检查系统 |
-
1984
- 1984-08-18 JP JP17099784A patent/JPS6150044A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6150044A (ja) | 1986-03-12 |
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