JPH0355237Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0355237Y2 JPH0355237Y2 JP1985124965U JP12496585U JPH0355237Y2 JP H0355237 Y2 JPH0355237 Y2 JP H0355237Y2 JP 1985124965 U JP1985124965 U JP 1985124965U JP 12496585 U JP12496585 U JP 12496585U JP H0355237 Y2 JPH0355237 Y2 JP H0355237Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- rotary cylinder
- sample
- cylindrical body
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は電子顕微鏡等の真空装置において試
料を交換するための試料装置に関するものであ
る。
料を交換するための試料装置に関するものであ
る。
電子顕微鏡等において試料交換用のエアロツク
弁を有する試料装置が提案されている。（例えば
実公昭56−9234号）。第６図は従来の試料装置の
概略構成図である。図において、EMは電子顕微
鏡等の真空装置、SEGはその側壁部を貫通して
取付けられた試料装置であつて、試料ホルダＨお
よびエアロツク用の弁V1が設けられている。試
料装置SEGに接続する排気管Ｐには弁V2を介し
て油回転ポンプRPおよび弁V3を介して油拡散ポ
ンプDPが接続するとともに、真空計Ｇおよびリ
ーク弁V4が接続している。
弁を有する試料装置が提案されている。（例えば
実公昭56−9234号）。第６図は従来の試料装置の
概略構成図である。図において、EMは電子顕微
鏡等の真空装置、SEGはその側壁部を貫通して
取付けられた試料装置であつて、試料ホルダＨお
よびエアロツク用の弁V1が設けられている。試
料装置SEGに接続する排気管Ｐには弁V2を介し
て油回転ポンプRPおよび弁V3を介して油拡散ポ
ンプDPが接続するとともに、真空計Ｇおよびリ
ーク弁V4が接続している。
上記の構成において、試料装置SEGに試料ホ
ルダＨを挿入すると、図示しないスイツチにより
弁V2が開いて油回転ポンプRPにより排気が行わ
れ、真空計Ｇが所定の真空度を検知すると、弁
V3が開いて油拡散ポンプDPにより排気が行われ
る。真空計Ｇが所定の圧力を検出して表示ランプ
が点灯した時点で試料ホルダＨを回転させて弁
V1を開き、試料を真空装置EMに挿入し検鏡を行
う。
ルダＨを挿入すると、図示しないスイツチにより
弁V2が開いて油回転ポンプRPにより排気が行わ
れ、真空計Ｇが所定の真空度を検知すると、弁
V3が開いて油拡散ポンプDPにより排気が行われ
る。真空計Ｇが所定の圧力を検出して表示ランプ
が点灯した時点で試料ホルダＨを回転させて弁
V1を開き、試料を真空装置EMに挿入し検鏡を行
う。
しかしながら、このような従来の試料装置にお
いては、排気管Ｐが長いため十分な真空度に到達
させることができず、排気管Ｐが真空装置EMの
真空負荷になり、真空装置EM内の真空度が悪く
なるという問題点があつた。
いては、排気管Ｐが長いため十分な真空度に到達
させることができず、排気管Ｐが真空装置EMの
真空負荷になり、真空装置EM内の真空度が悪く
なるという問題点があつた。
この考案は上記問題点を解決するためのもの
で、エアロツク用の弁の開動作に連動して排気管
を遮断し、排気管が真空負荷となるのを防止し、
効率よく真空度を保つことができる試料装置を提
供することを目的としている。
で、エアロツク用の弁の開動作に連動して排気管
を遮断し、排気管が真空負荷となるのを防止し、
効率よく真空度を保つことができる試料装置を提
供することを目的としている。
この考案は、真空装置に軸受を介して回動自在
に取付けられた筒状体と、この筒状体内に回転可
能に設けられた回転筒と、この回転筒に摺動可能
に挿入されかつ前記回転筒とともに回転する試料
ホルダと、この試料ホルダに設けられたキーを案
内して試料ホルダを摺動させるように回転筒に設
けられた直線状のキー溝と、このキー溝から突出
する前記キーを案内して試料ホルダを摺動および
回転させるとともに回転筒を回転させるように前
記筒体状に設けられた階段状のキー溝と、前記軸
受の内部に形成された弁座および弁体からなるエ
アロツク用の弁と、前記回転筒の回転を弁体の開
閉動作に変換するための変換機構と、前記筒状体
に接続する排気管に設けられた遮断用の弁と、前
記回転筒に設けられたピンと、回転筒の回転に伴
うピンによる押圧または解除により動作して前記
遮断用の弁を開閉するスイツチとを備えた試料装
置である。
に取付けられた筒状体と、この筒状体内に回転可
能に設けられた回転筒と、この回転筒に摺動可能
に挿入されかつ前記回転筒とともに回転する試料
ホルダと、この試料ホルダに設けられたキーを案
内して試料ホルダを摺動させるように回転筒に設
けられた直線状のキー溝と、このキー溝から突出
する前記キーを案内して試料ホルダを摺動および
回転させるとともに回転筒を回転させるように前
記筒体状に設けられた階段状のキー溝と、前記軸
受の内部に形成された弁座および弁体からなるエ
アロツク用の弁と、前記回転筒の回転を弁体の開
閉動作に変換するための変換機構と、前記筒状体
に接続する排気管に設けられた遮断用の弁と、前
記回転筒に設けられたピンと、回転筒の回転に伴
うピンによる押圧または解除により動作して前記
遮断用の弁を開閉するスイツチとを備えた試料装
置である。
この考案の試料装置においては、試料ホルダを
回転させると回転筒も同時に回転して、変換機構
によりエアロツク用の弁の弁体を閉じる。同時に
回転筒の回転によりピンが回転してスイツチを動
作させ、遮断用の弁を閉じる。こうして試料ホル
ダを回転させることにより、エアロツク用の弁の
開動作に連動して遮断用の弁が閉じ、試料装置を
排気管から遮断する。そして遮断用の弁が閉じた
後エアロツク用の弁が開いて試料ホルダが真空装
置に挿入される。こうして排気管は遮断されるた
め、真空装置の負荷は軽減される。
回転させると回転筒も同時に回転して、変換機構
によりエアロツク用の弁の弁体を閉じる。同時に
回転筒の回転によりピンが回転してスイツチを動
作させ、遮断用の弁を閉じる。こうして試料ホル
ダを回転させることにより、エアロツク用の弁の
開動作に連動して遮断用の弁が閉じ、試料装置を
排気管から遮断する。そして遮断用の弁が閉じた
後エアロツク用の弁が開いて試料ホルダが真空装
置に挿入される。こうして排気管は遮断されるた
め、真空装置の負荷は軽減される。
以下、本考案を図面の実施例について説明す
る。第１図は本考案の一実施例を示す概略構成
図、第２図は水平断面図、第３図はそのＡ−Ａ断
面図、第４図はＢ−Ｂ断面図、第５図は筒状体の
一部の斜視図である。
る。第１図は本考案の一実施例を示す概略構成
図、第２図は水平断面図、第３図はそのＡ−Ａ断
面図、第４図はＢ−Ｂ断面図、第５図は筒状体の
一部の斜視図である。
第１図において、V5は試料装置SEGの出口の
排気管Ｐに設けられた遮断用の弁で、試料ホルダ
Ｈを回転させてエアロツク用の弁V1の開動作を
行うと閉じて、試料装置SEGを排気管Ｐから遮
断するようになつている。他の構成は第６図と同
様である。
排気管Ｐに設けられた遮断用の弁で、試料ホルダ
Ｈを回転させてエアロツク用の弁V1の開動作を
行うと閉じて、試料装置SEGを排気管Ｐから遮
断するようになつている。他の構成は第６図と同
様である。
第２図ないし第５図において、１は真空装置
EMとしての電子顕微鏡の鏡体、２は一端が鏡体
１内に突出するように鏡体１に固定された試料装
置SEGの本体で、本体２はその軸心が光軸と直
交するように設置されている。３は本体２内に球
体軸受４を介して回動自在に挿入された筒状体
で、筒状体３の球体軸受４の内部には円錐状の弁
座５が形成されている。６はエアロツク用の弁
V1の弁体で、脚７ａ，７ｂおよび軸８ａ，８ｂ
を介して球体軸受４に回動自在に取付けられてお
り、この回転中心（すなわち軸８ａと８ｂとの軸
心を結ぶ直線）は本体２の軸心と直交またはほぼ
直交している。弁体６の外周にはＯ−リングパッ
キング６ａが嵌合されており、弁６の脚７ａにカ
サ歯車９が形成されている。カサ歯車９にはカサ
歯車１０が噛み合つており、このカサ歯車１０は
回転筒１１の端に固定されている。回転筒１１は
筒状体３の内部に回転可能に挿入されている。カ
サ歯車９は弁体６が図の状態から時計方向に90°
回転できるだけの歯数だけ設けられている。
EMとしての電子顕微鏡の鏡体、２は一端が鏡体
１内に突出するように鏡体１に固定された試料装
置SEGの本体で、本体２はその軸心が光軸と直
交するように設置されている。３は本体２内に球
体軸受４を介して回動自在に挿入された筒状体
で、筒状体３の球体軸受４の内部には円錐状の弁
座５が形成されている。６はエアロツク用の弁
V1の弁体で、脚７ａ，７ｂおよび軸８ａ，８ｂ
を介して球体軸受４に回動自在に取付けられてお
り、この回転中心（すなわち軸８ａと８ｂとの軸
心を結ぶ直線）は本体２の軸心と直交またはほぼ
直交している。弁体６の外周にはＯ−リングパッ
キング６ａが嵌合されており、弁６の脚７ａにカ
サ歯車９が形成されている。カサ歯車９にはカサ
歯車１０が噛み合つており、このカサ歯車１０は
回転筒１１の端に固定されている。回転筒１１は
筒状体３の内部に回転可能に挿入されている。カ
サ歯車９は弁体６が図の状態から時計方向に90°
回転できるだけの歯数だけ設けられている。
１２は回転筒１１内に摺動自在に挿入された試
料ホルダＨのホルダで、一端に試料１３を保持し
ており、他端には摘子１２ａが設けられている。
ホルダ１２には回転筒１１に形成したキー溝１４
に嵌合されたキー１５が設けられてその摺動方向
が規制されており、キー１５はキー溝１４より突
出していて筒状体３のキー溝１６内に嵌合してい
る。キー溝１６は筒状体３の先端付近（大気側）
において階段状に形成され、回転筒１１およびホ
ルダ１２を任意角度回転させるように構成されて
いる。ホルダ１２には鏡体１内と大気とを遮断す
るためのＯ−リングパツキン１８が設けられてい
る。
料ホルダＨのホルダで、一端に試料１３を保持し
ており、他端には摘子１２ａが設けられている。
ホルダ１２には回転筒１１に形成したキー溝１４
に嵌合されたキー１５が設けられてその摺動方向
が規制されており、キー１５はキー溝１４より突
出していて筒状体３のキー溝１６内に嵌合してい
る。キー溝１６は筒状体３の先端付近（大気側）
において階段状に形成され、回転筒１１およびホ
ルダ１２を任意角度回転させるように構成されて
いる。ホルダ１２には鏡体１内と大気とを遮断す
るためのＯ−リングパツキン１８が設けられてい
る。
１９は球体軸受４を中心にして筒状体３を光軸
と直交した平面内で回動させるための押しネジ
で、筒状のブロツク２０にねじ付けられ、反対側
にはスプリング２１で押圧された押し棒２２がキ
ヤツプ２３内に摺動自在に保持されている。２４
は球体軸受４を中心にして筒状体３を光軸を含む
平面内で回動させるための押しネジで、筒状のブ
ロツク２０にねじ付けられ、反対側にはスプリン
グ２５に押圧された押し棒２６およびキヤツプ２
７が設けられている。２８ａおよび２８ｂは鏡体
１内と大気とを遮断する役目を果すＯ−リングパ
ツキングである。
と直交した平面内で回動させるための押しネジ
で、筒状のブロツク２０にねじ付けられ、反対側
にはスプリング２１で押圧された押し棒２２がキ
ヤツプ２３内に摺動自在に保持されている。２４
は球体軸受４を中心にして筒状体３を光軸を含む
平面内で回動させるための押しネジで、筒状のブ
ロツク２０にねじ付けられ、反対側にはスプリン
グ２５に押圧された押し棒２６およびキヤツプ２
７が設けられている。２８ａおよび２８ｂは鏡体
１内と大気とを遮断する役目を果すＯ−リングパ
ツキングである。
排気管Ｐは本体２を貫通して筒状体３内に接続
しており、鏡体１出口には弁V5が設けられてい
る。ブロツク２０にはスイツチ２９が設けられて
おり、弁V5を開閉するようになつている。回転
筒１１にはピン３０が設けられ、筒状体３の円周
上に形成された溝３１に沿つてほぼ90°回転し、
その先端に設けられたローラ３２がスイツチ２９
を押すと弁V5が開くようになつている。
しており、鏡体１出口には弁V5が設けられてい
る。ブロツク２０にはスイツチ２９が設けられて
おり、弁V5を開閉するようになつている。回転
筒１１にはピン３０が設けられ、筒状体３の円周
上に形成された溝３１に沿つてほぼ90°回転し、
その先端に設けられたローラ３２がスイツチ２９
を押すと弁V5が開くようになつている。
上記の構成において、第２図および第３図の状
態すなわち試料１３が電子線通路上に配置されて
いる状態から摘子１２ａによりホルダー１２をキ
ー１５がキー溝１４，１６に沿うように第３図中
矢印Ｃ方向に移動させて一点鎖線ａの位置まで移
動させるとキー１５が筒状体３のキー溝１６の側
壁に当接（第５図中点線ｂの位置）してその移動
が阻止される。この状態ではホルダ１２の先端は
球体軸受４内に収納されて弁体６の回転を阻害し
ない位置まで移動する。キー溝１６は直角方向に
曲折していてホルダ１２が時計方向に回転できる
ようになつているため、摘子１２ａを操作してホ
ルダ１２のキー１５をキー溝１６に沿つて回転さ
せると、キー溝１４が直線状であるためキー１５
の回転に伴つて回転筒１１も回転する。これによ
りカサ歯車１０が一緒に回転するため、カサ歯車
９が第３図中矢印Ｄ方向に回転し、脚７ａ，７ｂ
を介して弁体６が同方向に回転する。ホルダ１２
を回転してキー１５を第５図中点線ｃまで回転さ
せると、弁体６が弁座５に完全に閉鎖するため、
鏡体１内と大気とを遮断する。
態すなわち試料１３が電子線通路上に配置されて
いる状態から摘子１２ａによりホルダー１２をキ
ー１５がキー溝１４，１６に沿うように第３図中
矢印Ｃ方向に移動させて一点鎖線ａの位置まで移
動させるとキー１５が筒状体３のキー溝１６の側
壁に当接（第５図中点線ｂの位置）してその移動
が阻止される。この状態ではホルダ１２の先端は
球体軸受４内に収納されて弁体６の回転を阻害し
ない位置まで移動する。キー溝１６は直角方向に
曲折していてホルダ１２が時計方向に回転できる
ようになつているため、摘子１２ａを操作してホ
ルダ１２のキー１５をキー溝１６に沿つて回転さ
せると、キー溝１４が直線状であるためキー１５
の回転に伴つて回転筒１１も回転する。これによ
りカサ歯車１０が一緒に回転するため、カサ歯車
９が第３図中矢印Ｄ方向に回転し、脚７ａ，７ｂ
を介して弁体６が同方向に回転する。ホルダ１２
を回転してキー１５を第５図中点線ｃまで回転さ
せると、弁体６が弁座５に完全に閉鎖するため、
鏡体１内と大気とを遮断する。
このときホルダ１２の回転により回転筒１１も
回転し、これによりピン３０が溝３１に沿つて破
線ｄの位置まで回転し、弁体６が弁座５を完全に
閉鎖した位置においてスイツチ２９を押し、弁
V5が開く。同時にリーク弁V4が開いた筒状体３
内が大気になる。この状態でホルダ１２をキー１
５がキー溝１６に沿うように第３図中矢印Ｃ方向
に移動させることにより、試料１３を外部に取出
すことができる。新しい試料と交換した後、キー
溝１４，１６内にキー１５を一致させながら回転
筒１１内にホルダ１２を挿入し、ホルダ１２を第
３図中矢印Ｃとは逆の方向に移動させて、キー１
５を第５図中点線ｃの位置まで移動させる。
回転し、これによりピン３０が溝３１に沿つて破
線ｄの位置まで回転し、弁体６が弁座５を完全に
閉鎖した位置においてスイツチ２９を押し、弁
V5が開く。同時にリーク弁V4が開いた筒状体３
内が大気になる。この状態でホルダ１２をキー１
５がキー溝１６に沿うように第３図中矢印Ｃ方向
に移動させることにより、試料１３を外部に取出
すことができる。新しい試料と交換した後、キー
溝１４，１６内にキー１５を一致させながら回転
筒１１内にホルダ１２を挿入し、ホルダ１２を第
３図中矢印Ｃとは逆の方向に移動させて、キー１
５を第５図中点線ｃの位置まで移動させる。
この状態で図示しないスイツチによりリーク弁
V4が閉じて弁V2が開き、油回転ポンプRPによる
粗引きが行われ、次いで弁V2が閉じて弁V3が開
いて本引きが行われる。このとき弁5は開いたま
まであり、筒状体３内の空気は排気管Ｐを通して
排気される。そして所定の真空度に到着した段階
でホルダ１２を反時計方向に回転させると、回転
筒１１も回転してピン３０はスイツチ２９に押圧
を解除し、弁V5が閉じて排気管Ｐを遮断する。
V4が閉じて弁V2が開き、油回転ポンプRPによる
粗引きが行われ、次いで弁V2が閉じて弁V3が開
いて本引きが行われる。このとき弁5は開いたま
まであり、筒状体３内の空気は排気管Ｐを通して
排気される。そして所定の真空度に到着した段階
でホルダ１２を反時計方向に回転させると、回転
筒１１も回転してピン３０はスイツチ２９に押圧
を解除し、弁V5が閉じて排気管Ｐを遮断する。
さらにホルダ１２を反時計方向に回転させると
回転筒１１、カサ歯車１０，９および脚７ａ，７
ｂを介して弁体６が前述とは逆の方向に回転し、
弁座５が開放される。こうしてキー１５を第５図
中点線ｂの位置まで回転すると弁体６が完全に開
放されるため、ホルダ１２を矢印Ｃと逆の方向に
移動させることにより、新しい試料１３を電子線
通路上に配置させることができる。
回転筒１１、カサ歯車１０，９および脚７ａ，７
ｂを介して弁体６が前述とは逆の方向に回転し、
弁座５が開放される。こうしてキー１５を第５図
中点線ｂの位置まで回転すると弁体６が完全に開
放されるため、ホルダ１２を矢印Ｃと逆の方向に
移動させることにより、新しい試料１３を電子線
通路上に配置させることができる。
このようにエアロツク用の弁V1が閉じている
とき、ピン３０がスイツチ２９を押して遮断用の
弁V5を開き、弁V1を開くために回転筒１１が回
転するとピン３０がスイツチ２９から離れて弁
V5が閉じる。こうして弁V1の開動作に連動して
弁V5は閉じ、試料装置SEGを排気管Ｐから遮断
して、排気管Ｐが鏡体１（真空装置EM）の真空
負荷となるのを防止する。
とき、ピン３０がスイツチ２９を押して遮断用の
弁V5を開き、弁V1を開くために回転筒１１が回
転するとピン３０がスイツチ２９から離れて弁
V5が閉じる。こうして弁V1の開動作に連動して
弁V5は閉じ、試料装置SEGを排気管Ｐから遮断
して、排気管Ｐが鏡体１（真空装置EM）の真空
負荷となるのを防止する。
なお以上の説明においてエアロツク用の弁V1、
筒状体３、回転筒１１、ホルダ１２等の構造は図
示のものに限定されず変更可能である。またこの
考案は電子顕微鏡に限らず、他の真空装置にも適
用可能である。
筒状体３、回転筒１１、ホルダ１２等の構造は図
示のものに限定されず変更可能である。またこの
考案は電子顕微鏡に限らず、他の真空装置にも適
用可能である。
この考案によれば、エアロツク用の弁の開動作
に連動して遮断用の弁を閉じるようにしたので、
エアロツク用の弁が開く前に排気管を遮断するこ
とができ、これにより排気管が真空装置の負荷と
なるのを防止し、効率よく真空装置の真空度を保
つことができる。また排気管に遮断用の弁を設
け、試料ホルダの回転によりスイツチを動作させ
て開閉するようにしたので、試料交換のための操
作により、確実に弁を開閉して真空装置を高真空
に繊維することができるなどの効果がある。
に連動して遮断用の弁を閉じるようにしたので、
エアロツク用の弁が開く前に排気管を遮断するこ
とができ、これにより排気管が真空装置の負荷と
なるのを防止し、効率よく真空装置の真空度を保
つことができる。また排気管に遮断用の弁を設
け、試料ホルダの回転によりスイツチを動作させ
て開閉するようにしたので、試料交換のための操
作により、確実に弁を開閉して真空装置を高真空
に繊維することができるなどの効果がある。
第１図は実施例の概略構成図、第２図は水平断
面図、第３図はそのＡ−Ａ断面図、第４図はＢ−
Ｂ断面図、第５図は筒状体の一部分の斜視図、第
６図は従来の試料装置の概略構成図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、EMは真空装置、SEGは試料装置、Ｐは排気
管、V1〜V5は弁、１は鏡体、２は本体、３は筒
状体、４は球体軸受、５は弁座、６は弁体、１１
は回転筒、１２はホルダ、１３は試料、２９はス
イツチ、３０はピン、３１は溝である。
面図、第３図はそのＡ−Ａ断面図、第４図はＢ−
Ｂ断面図、第５図は筒状体の一部分の斜視図、第
６図は従来の試料装置の概略構成図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、EMは真空装置、SEGは試料装置、Ｐは排気
管、V1〜V5は弁、１は鏡体、２は本体、３は筒
状体、４は球体軸受、５は弁座、６は弁体、１１
は回転筒、１２はホルダ、１３は試料、２９はス
イツチ、３０はピン、３１は溝である。
Claims (1)
- 真空装置に軸受を介して回動自在に取付けられ
た筒状体と、この筒状体内に回転可能に設けられ
た回転筒と、この回転筒に摺動可能に挿入されか
つ前記回転筒とともに回転する試料ホルダと、こ
の試料ホルダに設けられたキーを案内して試料ホ
ルダを摺動させるように回転筒に設けられた直線
状のキー溝と、このキー溝から突出する前記キー
を案内して試料ホルダを摺動および回転させると
ともに回転筒を回転させるように前記筒状体に設
けられた階段状のキー溝と、前記軸受の内部に形
成された弁座および弁体からなるエアロツク用の
弁と、前記回転筒の回転を弁体の開閉動作に変換
するための変換機構と、前記筒状体に接続する排
気管に設けられた遮断用の弁と、前記回転筒に設
けられたピンと、回転筒の回転に伴うピンによる
押圧または解除により動作して前記遮断用の弁を
開閉するスイツチとを備えた試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985124965U JPH0355237Y2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985124965U JPH0355237Y2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233158U JPS6233158U (ja) | 1987-02-27 |
| JPH0355237Y2 true JPH0355237Y2 (ja) | 1991-12-09 |
Family
ID=31017449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985124965U Expired JPH0355237Y2 (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0355237Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5530917B2 (ja) * | 2010-12-27 | 2014-06-25 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダの排気方法及び装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5548545Y2 (ja) * | 1973-12-29 | 1980-11-13 | ||
| JPS5133555A (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-22 | Hitachi Ltd |
-
1985
- 1985-08-14 JP JP1985124965U patent/JPH0355237Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6233158U (ja) | 1987-02-27 |
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|---|---|---|
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