JPS63200445A - 走査型電子顕微鏡等における試料交換装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡等における試料交換装置Info
- Publication number
- JPS63200445A JPS63200445A JP3116987A JP3116987A JPS63200445A JP S63200445 A JPS63200445 A JP S63200445A JP 3116987 A JP3116987 A JP 3116987A JP 3116987 A JP3116987 A JP 3116987A JP S63200445 A JPS63200445 A JP S63200445A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、走査型電子顕微鏡等における試料交換装置の
改良に関する。
改良に関する。
［従来の技術］
かかる試料交換装置の従来例としては、試料室内に仕切
弁を介して連通された試料交換室を前記試料室外壁に形
成すると共に、先端に雄ネジを有する試料交換棒を球体
軸受を介して前記試料交換室側壁に設けた覗き窓に摺動
かつ回動可能に貫通して取付けた構造が広く使用されて
いる。交換する際は、仕切弁を開け、前記覗き窓を覗き
ながら試料交換棒を前進させ、その雄ネジを試料室内に
置かれた試料ホルダの雌ネジ穴に螺合させて両者を一体
化した後、試料交換棒を後退させて試料ホルダを試料交
換室内に収納してから仕切弁を閉じ、試料交換室を大気
圧に戻して新しい試料に交換するようにしている。
弁を介して連通された試料交換室を前記試料室外壁に形
成すると共に、先端に雄ネジを有する試料交換棒を球体
軸受を介して前記試料交換室側壁に設けた覗き窓に摺動
かつ回動可能に貫通して取付けた構造が広く使用されて
いる。交換する際は、仕切弁を開け、前記覗き窓を覗き
ながら試料交換棒を前進させ、その雄ネジを試料室内に
置かれた試料ホルダの雌ネジ穴に螺合させて両者を一体
化した後、試料交換棒を後退させて試料ホルダを試料交
換室内に収納してから仕切弁を閉じ、試料交換室を大気
圧に戻して新しい試料に交換するようにしている。
一方、走査型電子顕微鏡においては、水平移動機構の移
動範囲を長くすることなくできるだけ大型の試料をあら
ゆる方向から観察２分析可能となすため、試料には通常
に行なわれる水平移動に加えて、回転や傾斜が与えられ
る。
動範囲を長くすることなくできるだけ大型の試料をあら
ゆる方向から観察２分析可能となすため、試料には通常
に行なわれる水平移動に加えて、回転や傾斜が与えられ
る。
［発明が解決しようとする問題点］
このように試料交換棒の先端に試料ホルダを着脱可能に
取付けて試料の交換を行なう方式においては、試料ホル
ダを試料室内から取出す際、水平移動や回転あるいは傾
斜により試料ホルダに形成した雌ネジ穴が試料交換棒に
対してズレるため、試料交換棒の先端に試料ホルダを取
付けることができなくなる。そこで、試料ホルダの雌ネ
ジ穴が試料交換棒と対向することができる試料の交換用
位置を予め決めておき、試料を交換する度に、試料を水
平移動や回転あるいは傾斜させることにより試料位置を
交換用位置にセットする操作が必要となる。そのため取
扱い操作が非常に面倒である。
取付けて試料の交換を行なう方式においては、試料ホル
ダを試料室内から取出す際、水平移動や回転あるいは傾
斜により試料ホルダに形成した雌ネジ穴が試料交換棒に
対してズレるため、試料交換棒の先端に試料ホルダを取
付けることができなくなる。そこで、試料ホルダの雌ネ
ジ穴が試料交換棒と対向することができる試料の交換用
位置を予め決めておき、試料を交換する度に、試料を水
平移動や回転あるいは傾斜させることにより試料位置を
交換用位置にセットする操作が必要となる。そのため取
扱い操作が非常に面倒である。
そこで、本発明はこのような点に鑑みてなされたもので
あり、試料の傾斜状態に関係なく試料交換を行なうこと
のできる走査型電子顕微鏡等における試料交換装置を提
供することを目的とするものである。
あり、試料の傾斜状態に関係なく試料交換を行なうこと
のできる走査型電子顕微鏡等における試料交換装置を提
供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明は真空に保たれた試
料室と、電子線光軸と直交する傾動軸を中心にして回動
可能に前記試料室内壁に取付けられた傾斜体と、前記傾
動軸を含み、かつ光軸と交差する平面と平行な面内で移
動するように前記傾斜体に支持された移動体と、該移動
体に着脱可能に装着され、かつ試料を収納した試料ホル
ダと、前記試料室内に仕切弁を介して連通した試料交換
室と、前記試料ホルダをその先端に取外し可能に取付け
た状態で試料室と試料交換室との間を往復させるため試
料交換室側壁を摺動可能に口過した試料交換棒とを備え
、前記試料交換棒の軸心及び試料ホルダの試料交換棒と
の連結穴の中心を夫々前記傾斜体の傾動軸上に一致させ
るように構成したことを特徴とするものである。
料室と、電子線光軸と直交する傾動軸を中心にして回動
可能に前記試料室内壁に取付けられた傾斜体と、前記傾
動軸を含み、かつ光軸と交差する平面と平行な面内で移
動するように前記傾斜体に支持された移動体と、該移動
体に着脱可能に装着され、かつ試料を収納した試料ホル
ダと、前記試料室内に仕切弁を介して連通した試料交換
室と、前記試料ホルダをその先端に取外し可能に取付け
た状態で試料室と試料交換室との間を往復させるため試
料交換室側壁を摺動可能に口過した試料交換棒とを備え
、前記試料交換棒の軸心及び試料ホルダの試料交換棒と
の連結穴の中心を夫々前記傾斜体の傾動軸上に一致させ
るように構成したことを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡＡ断面図である。
１図のＡＡ断面図である。
第１図及び第２図において、１は試料室で、上方には図
示外の電子銃から発生した電子線ＥＢを細く集束して試
料２上に照射するための対物レンズ３が設置しである。
示外の電子銃から発生した電子線ＥＢを細く集束して試
料２上に照射するための対物レンズ３が設置しである。
また、底部には図示外の真空ポンプに連通された排気管
４が接続してあり、試料室内は高真空に保たれる。さら
に、この試料室１の前面側壁には前面カバー５が気密を
保った状態で取外し可能に設けである。
４が接続してあり、試料室内は高真空に保たれる。さら
に、この試料室１の前面側壁には前面カバー５が気密を
保った状態で取外し可能に設けである。
６は前記前面カバー５の内壁に軸受７を介して回動可能
に取付けられた傾斜体で、この傾斜体の傾動軸Ｔは前記
電子線ＥＢの光軸２と直交しており、また、この傾斜体
６の下端には光軸Ｚと交差する方向に張出し部６ａが設
けである。この張出し部６ａ上にはＸ移動体８．Ｙ移動
体９及び回転台１０が夫々積重ねるようにして設置しで
ある。
に取付けられた傾斜体で、この傾斜体の傾動軸Ｔは前記
電子線ＥＢの光軸２と直交しており、また、この傾斜体
６の下端には光軸Ｚと交差する方向に張出し部６ａが設
けである。この張出し部６ａ上にはＸ移動体８．Ｙ移動
体９及び回転台１０が夫々積重ねるようにして設置しで
ある。
前記回転台１０の上面には前記試料２を収納した試料ホ
ルダ１１がアリ及びアリ溝等によって着脱可能に装着さ
れる。ここで、試料ホルダ１１を回転台１０に装着した
とき、試料２の表面が前記傾斜体６の傾動軸Ｔと一致す
るようにしである。
ルダ１１がアリ及びアリ溝等によって着脱可能に装着さ
れる。ここで、試料ホルダ１１を回転台１０に装着した
とき、試料２の表面が前記傾斜体６の傾動軸Ｔと一致す
るようにしである。
１２は前記傾斜体６の上端部に前記傾動軸Ｔと同心状に
取付けられた円弧状のウオーム歯車で、この歯車には前
記軸受７（前面カバー５でも良い）に回転可能に保持さ
れたウオーム１３が噛合っている。このウオーム１３は
回転軸１４を介して前記前面カバー５の外壁に回転可能
に取付けられたつまみ１５に連結されている。
取付けられた円弧状のウオーム歯車で、この歯車には前
記軸受７（前面カバー５でも良い）に回転可能に保持さ
れたウオーム１３が噛合っている。このウオーム１３は
回転軸１４を介して前記前面カバー５の外壁に回転可能
に取付けられたつまみ１５に連結されている。
１６は前記試料ホルダ１１の側面に形成した雌ネジ穴で
、この雌ネジ穴の中心は前記回転台がある回転位置、例
えば回転角が零度のとき前記傾斜体６の傾動軸Ｔと一致
するようにしである。
、この雌ネジ穴の中心は前記回転台がある回転位置、例
えば回転角が零度のとき前記傾斜体６の傾動軸Ｔと一致
するようにしである。
１７は前記前面カバー５の外壁に気密を保って固定され
、かつ前記傾動軸Ｔの延長線上に配置された試料交換室
で、この試料交換室の右側は前記軸受７の中心部に形成
した連通穴１８を介して前記試料室１内に連通されてお
り、また、この試料交換室の左側には蓋体１９が取外し
可能に嵌合されている。前記蓋体１９は透明な部材、例
えばガラスで形成され、この蓋体を通して試料交換室１
７や試料室１内を観察できるようになしである。
、かつ前記傾動軸Ｔの延長線上に配置された試料交換室
で、この試料交換室の右側は前記軸受７の中心部に形成
した連通穴１８を介して前記試料室１内に連通されてお
り、また、この試料交換室の左側には蓋体１９が取外し
可能に嵌合されている。前記蓋体１９は透明な部材、例
えばガラスで形成され、この蓋体を通して試料交換室１
７や試料室１内を観察できるようになしである。
２０はこの蓋体１９を気密を保った状態で摺動可能に貫
通して保持された試料交換棒で、この試料交換棒の軸心
は前記傾動軸Ｔと一致するように配置されている。また
、この試料交換棒の一端（頁空側）には前記雌ネジ穴１
６に螺合可能な雄ネジ２１が形成してあり、他端にはっ
まみ２２が設けである。２３は試料室１と試料交換室１
７との境に設けられた仕切弁である。
通して保持された試料交換棒で、この試料交換棒の軸心
は前記傾動軸Ｔと一致するように配置されている。また
、この試料交換棒の一端（頁空側）には前記雌ネジ穴１
６に螺合可能な雄ネジ２１が形成してあり、他端にはっ
まみ２２が設けである。２３は試料室１と試料交換室１
７との境に設けられた仕切弁である。
尚、傾斜体６の傾動軸ＴはＸ移動体８の移動方向、つま
りＸ方向と一致するように配置しである。
りＸ方向と一致するように配置しである。
また、試料ホルダ１１に形成した雌ネジ穴１６の中心は
試料２の中心Ｏが光軸２と一致、っまりＹ移動体９の移
動量表示目盛が零のとき、前記傾動軸Ｔと一致できるよ
うにしである。
試料２の中心Ｏが光軸２と一致、っまりＹ移動体９の移
動量表示目盛が零のとき、前記傾動軸Ｔと一致できるよ
うにしである。
２ 今、Ｘ移動体８を動かせば、試料２がＸ方向に移動
すると共に、Ｙ移動体９を動かせば、試料がＹ方向に移
動するため、試料２の任意の場所の走査像を観察するこ
とができる。また、各移動体８゜９によって回転台１０
の回転中心を光軸Ｚからある距離ズラした状態で、この
回転台を断続的に回転させながら走査像を観察するよう
になせば、ＸＹ移動体８．９の移動範囲を大きくするこ
となく大型の試料を観察することができる。さらに、っ
まみ１５を介してウオーム１３及びウオーム歯車１２を
回せば、傾斜体６が傾動軸Ｔを中心にして時計あるいは
反時計方向に回動するため、試料２が光軸Ｚに対して傾
斜し、試料の任意の角度の傾斜状態の走査像を観察する
ことができる。
すると共に、Ｙ移動体９を動かせば、試料がＹ方向に移
動するため、試料２の任意の場所の走査像を観察するこ
とができる。また、各移動体８゜９によって回転台１０
の回転中心を光軸Ｚからある距離ズラした状態で、この
回転台を断続的に回転させながら走査像を観察するよう
になせば、ＸＹ移動体８．９の移動範囲を大きくするこ
となく大型の試料を観察することができる。さらに、っ
まみ１５を介してウオーム１３及びウオーム歯車１２を
回せば、傾斜体６が傾動軸Ｔを中心にして時計あるいは
反時計方向に回動するため、試料２が光軸Ｚに対して傾
斜し、試料の任意の角度の傾斜状態の走査像を観察する
ことができる。
次に、新しい試料と交換するには、先ず、Ｙ移動体９の
移動量表示目盛を零に合わせて試料２の中心Ｏを光軸Ｚ
に一致させると共に、回転台１゜の回転角表示目盛を零
に合わせることにより、第１図及び第２図にその状態を
示すように試料ホルダ１１の雌ネジ穴１６の中心と傾動
軸Ｔとを合致させる。この時、試料２の傾斜に関しては
、試料２の傾斜角が零度の場合を試料交換室側から見た
第３図（ａ）及び同じく試料２の傾斜角が４５度の場合
を示す第３図（ｂ）から明らかなように試料ホルダ１１
の雌ネジ穴１６の中心は試料２の傾斜位置に拘わらず常
に傾動軸Ｔと一致、即ち試料交換棒２０の軸心と一致し
ている。そこで、上述のように試料２のＹ方向の位置及
び回転角を交換位置にセットして、試料交換棒２０の軸
心と試料ホルダ１１の雌ネジ穴１６の中心とを合致せし
めた状態において、試料交換棒２０を試料室１側に押込
めば、その先端に設けた雄ネジ２１が試料ホルダ１１の
雌ネジ穴１６に挿入される。そして、この試料交換棒２
０を時計方向に回せば、雄ネジが雌ネジ穴に螺合して試
料交換棒と試料ホルダとが一体化されるため、試料交換
棒を前述とは逆の方向に動かして試料ホルダを回転台１
０から抜き出して交換室１７内に収納する。その後、仕
切弁２３を閉じて試料室１と試料交換室１７とを遮断し
た状態で、試料交換室内をリークすれば、蓋体１９が外
れるため、試料交換棒２０の先端に新しい試料を収納し
た試料ホルダ１１を取付けることができる。そして、再
び蓋体１９を試料交換室１７に装着し、試料交換室内を
粗引きした後、前述とは逆の動作を行なうことにより新
しい試料を試料室１内に装着することができる。
移動量表示目盛を零に合わせて試料２の中心Ｏを光軸Ｚ
に一致させると共に、回転台１゜の回転角表示目盛を零
に合わせることにより、第１図及び第２図にその状態を
示すように試料ホルダ１１の雌ネジ穴１６の中心と傾動
軸Ｔとを合致させる。この時、試料２の傾斜に関しては
、試料２の傾斜角が零度の場合を試料交換室側から見た
第３図（ａ）及び同じく試料２の傾斜角が４５度の場合
を示す第３図（ｂ）から明らかなように試料ホルダ１１
の雌ネジ穴１６の中心は試料２の傾斜位置に拘わらず常
に傾動軸Ｔと一致、即ち試料交換棒２０の軸心と一致し
ている。そこで、上述のように試料２のＹ方向の位置及
び回転角を交換位置にセットして、試料交換棒２０の軸
心と試料ホルダ１１の雌ネジ穴１６の中心とを合致せし
めた状態において、試料交換棒２０を試料室１側に押込
めば、その先端に設けた雄ネジ２１が試料ホルダ１１の
雌ネジ穴１６に挿入される。そして、この試料交換棒２
０を時計方向に回せば、雄ネジが雌ネジ穴に螺合して試
料交換棒と試料ホルダとが一体化されるため、試料交換
棒を前述とは逆の方向に動かして試料ホルダを回転台１
０から抜き出して交換室１７内に収納する。その後、仕
切弁２３を閉じて試料室１と試料交換室１７とを遮断し
た状態で、試料交換室内をリークすれば、蓋体１９が外
れるため、試料交換棒２０の先端に新しい試料を収納し
た試料ホルダ１１を取付けることができる。そして、再
び蓋体１９を試料交換室１７に装着し、試料交換室内を
粗引きした後、前述とは逆の動作を行なうことにより新
しい試料を試料室１内に装着することができる。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では試料
交換棒と試料ホルダとの取付は手段としてネジを利用し
たが、これに限定されることなく、試料交換棒及び試料
ホルダのいずれが一方にバネで押されたボールを取付け
ると共に、他方にそのボールが嵌合する凹部を形成し、
試料交換棒の着脱動作に関連してボールを四部に嵌合す
ることにより両部材を一体化させるような機構を使用し
ても良い。
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では試料
交換棒と試料ホルダとの取付は手段としてネジを利用し
たが、これに限定されることなく、試料交換棒及び試料
ホルダのいずれが一方にバネで押されたボールを取付け
ると共に、他方にそのボールが嵌合する凹部を形成し、
試料交換棒の着脱動作に関連してボールを四部に嵌合す
ることにより両部材を一体化させるような機構を使用し
ても良い。
また、上記実施例では回転台を組込んだ場合を示したが
、これに限定されることなく回転台を使用しないで直接
試料ホルダをＹ移動体に着脱可能に装着するようにして
も良い。
、これに限定されることなく回転台を使用しないで直接
試料ホルダをＹ移動体に着脱可能に装着するようにして
も良い。
また、試料交換棒を取付けた蓋体を試料交換室から外す
ことにより試料ホルダを大気中に取出す場合について述
べたが、この蓋体は試料交換室に固定すると共に、試料
ホルダ取出し専用の蓋体を別に設けても良い。
ことにより試料ホルダを大気中に取出す場合について述
べたが、この蓋体は試料交換室に固定すると共に、試料
ホルダ取出し専用の蓋体を別に設けても良い。
また、本発明は走査型電子顕微鏡に限らず、Ｘ線マイク
ロアナライザー等にも同様に実施することができる。
ロアナライザー等にも同様に実施することができる。
［効巣］
以上詳述した如く本発明によれば、試料の傾斜状態に関
係なく試料の交換を行なうことができるため、従来のよ
うに試料の傾斜角を交換位置に戻す操作が不要となり、
それだけ取扱いが容易となる。
係なく試料の交換を行なうことができるため、従来のよ
うに試料の傾斜角を交換位置に戻す操作が不要となり、
それだけ取扱いが容易となる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡＡ断面図、第３図（ａ）及び（ｂ）は本発明の
詳細な説明するための図である。 １；試料室 ２：試料 ３：対物レンズ ４：排気管 ５：前面カバー ６＝傾斜体 ７：軸受 ８：Ｘ移動体 ９：Ｙ移動体 １０：回転台 １１：試料ホルダ １２：ウォーム歯車１３：ウオー
ム １４：回転軸 １５：つまみ １６：雌ネジ穴 １７：試料交換室 １８：連通穴 １９：Ｍ体 ２０：試料交換棒２１：雄ネジ
２２：つまみ ２３：仕切弁
１図のＡＡ断面図、第３図（ａ）及び（ｂ）は本発明の
詳細な説明するための図である。 １；試料室 ２：試料 ３：対物レンズ ４：排気管 ５：前面カバー ６＝傾斜体 ７：軸受 ８：Ｘ移動体 ９：Ｙ移動体 １０：回転台 １１：試料ホルダ １２：ウォーム歯車１３：ウオー
ム １４：回転軸 １５：つまみ １６：雌ネジ穴 １７：試料交換室 １８：連通穴 １９：Ｍ体 ２０：試料交換棒２１：雄ネジ
２２：つまみ ２３：仕切弁
Claims (1)
- 真空に保たれた試料室と、電子線光軸と直交する傾動軸
を中心にして回動可能に前記試料室内壁に取付けられた
傾斜体と、前記傾動軸を含み、かつ光軸と交差する平面
と平行な面内で移動するように前記傾斜体に支持された
移動体と、該移動体に着脱可能に装着され、かつ試料を
収納した試料ホルダと、前記試料室内に仕切弁を介して
連通した試料交換室と、前記試料ホルダをその先端に取
外し可能に取付けた状態で試料室と試料交換室との間を
往復させるため試料交換室側壁を摺動可能に貫通した試
料交換棒とを備え、前記試料交換棒の軸心及び試料ホル
ダの試料交換棒との連結穴の中心を夫々前記傾斜体の傾
動軸上に一致させるように構成したことを特徴とする走
査型電子顕微鏡等における試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62031169A JPH0619965B2 (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | 走査型電子顕微鏡等における試料交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62031169A JPH0619965B2 (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | 走査型電子顕微鏡等における試料交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200445A true JPS63200445A (ja) | 1988-08-18 |
| JPH0619965B2 JPH0619965B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=12323933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62031169A Expired - Lifetime JPH0619965B2 (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | 走査型電子顕微鏡等における試料交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619965B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4262047B2 (ja) * | 2003-10-20 | 2009-05-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| US9318108B2 (en) | 2010-01-18 | 2016-04-19 | Apple Inc. | Intelligent automated assistant |
| US8977255B2 (en) | 2007-04-03 | 2015-03-10 | Apple Inc. | Method and system for operating a multi-function portable electronic device using voice-activation |
| US9053089B2 (en) | 2007-10-02 | 2015-06-09 | Apple Inc. | Part-of-speech tagging using latent analogy |
| US8364694B2 (en) | 2007-10-26 | 2013-01-29 | Apple Inc. | Search assistant for digital media assets |
| US8996376B2 (en) | 2008-04-05 | 2015-03-31 | Apple Inc. | Intelligent text-to-speech conversion |
| US8898568B2 (en) | 2008-09-09 | 2014-11-25 | Apple Inc. | Audio user interface |
| US8862252B2 (en) | 2009-01-30 | 2014-10-14 | Apple Inc. | Audio user interface for displayless electronic device |
| DE112011100329T5 (de) | 2010-01-25 | 2012-10-31 | Andrew Peter Nelson Jerram | Vorrichtungen, Verfahren und Systeme für eine Digitalkonversationsmanagementplattform |
| US8719014B2 (en) | 2010-09-27 | 2014-05-06 | Apple Inc. | Electronic device with text error correction based on voice recognition data |
| US9495129B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-11-15 | Apple Inc. | Device, method, and user interface for voice-activated navigation and browsing of a document |
| US8935167B2 (en) | 2012-09-25 | 2015-01-13 | Apple Inc. | Exemplar-based latent perceptual modeling for automatic speech recognition |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49121456U (ja) * | 1973-02-14 | 1974-10-17 |
-
1987
- 1987-02-13 JP JP62031169A patent/JPH0619965B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49121456U (ja) * | 1973-02-14 | 1974-10-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0619965B2 (ja) | 1994-03-16 |
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