JPH0355542U - - Google Patents

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JPH0355542U
JPH0355542U JP1990104102U JP10410290U JPH0355542U JP H0355542 U JPH0355542 U JP H0355542U JP 1990104102 U JP1990104102 U JP 1990104102U JP 10410290 U JP10410290 U JP 10410290U JP H0355542 U JPH0355542 U JP H0355542U
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JP
Japan
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pump
capacitive manometer
manometer
capacitive
model registration
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Application number
JP1990104102U
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
    • G01L27/005—Apparatus for calibrating pressure sensors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図は、本考案の望ましい実施例構成のブロツク
ダイヤグラムである。 １４……３分岐バルブ、１５……インレツト導
管、１６……アウトレツト導管、１７，１８……
バルブ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 第１の真空度まで測定可能な容量性マノメー
    ターのゼロドリフト修正のための装置において、
    少なくとも前記第１の真空度以下の大きさである
    第２の真空度まで引き下げることのできるポンプ
    装置と、前記ポンプ装置が少なくとも容量性マノ
    メーターの読取可能な圧力よりも小さな量の程度
    の圧力である時、容量性マノメーターを前記ポン
    プ装置に接続する第１装置と、容量性マノメータ
    ーが前記ポンプ装置に接続された時に修正要素（
    コレクシヨンフアクター）として容量性マノメー
    ターの読取値を記録するために容量性マノメータ
    ーに接続される第２装置と、容量性マノメーター
    および前記第２装置に接続されて、容量性マノメ
    ーターの引き続く読取値に前記修正要素を適用さ
    せるための第３装置とを、結合した形式で有して
    成る容量性マノメーターの自動ゼロ調整装置。 ２ 前記ポンプ装置が拡散（デイフユージヨン）
    ポンプであるような、実用新案登録請求の範囲第
    １項記載の装置。 ３ 前記ポンプ装置がイオンポンプであるような
    、実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置。 ４ 前記ポンプ装置がターボ分子ポンプであるよ
    うな、実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置
    。 ５ 前記ポンプ装置が吸収ポンプであるような、
    実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置。 ６ 前記拡散ポンプに接続され、前記拡散ポンプ
    が効果的に動作する圧力にまで前記拡散ポンプを
    吸引する機械式ポンプ装置をさらに有するような
    、実用新案登録請求の範囲第２項記載の装置。 ７ 前記イオンポンプに接続され、前記イオンポ
    ンプが効果的に動作する圧力にまで前記イオンポ
    ンプを吸引する機械式ポンプ装置をさらに有する
    ような、実用新案登録請求の範囲第３項記載の装
    置。 ８ 前記ポンプ装置に接続され、前記ポンプ装置
    が容量性マノメーターの接続に十分な程度に前も
    つて動作状態となつていることを検知するための
    センサー装置をさらに有するような、実用新案登
    録請求の範囲第６項または第７項記載の装置。 ９ その圧力が容量性マノメーターによつてモニ
    ター（監視）されているチヤンバーを含む処理モ
    ジユールと、前記修正要素が記録された後に容量
    性マノメーターを前記処理モジユールに接続する
    前記第１装置とをさらに有するような、実用新案
    登録請求の範囲第８項記載の装置。 １０ 前記第３装置に接続され、容量性マノメー
    ターによつて読取られた修正された圧力を表示す
    るための表示装置をさらに有するような、実用新
    案登録請求の範囲第９項記載の装置。 １１ 容量性マノメーターに接続され、これによ
    り得られる各修正要素を記録するための恒久（不
    揮発性）蓄積装置をさらに有するような、実用新
    案登録請求の範囲第１０項記載の装置。 １２ 前記第１装置に接続された制御装置と、前
    記制御装置に接続されたコンピユーター装置とを
    さらに有し、前記コンピユーター装置は前記第３
    装置を含み、また前記センサー装置からの入力を
    受けて、前記ポンプ装置が動作状態にあることを
    前記センサー装置が検知した時に、容量性マノメ
    ーターを前記ポンプ装置に接続するよう前記第１
    装置を動作させるような、実用新案登録請求の範
    囲第１１項記載の装置。
JP1990104102U 1980-11-03 1990-10-04 Pending JPH0355542U (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/203,735 US4383431A (en) 1980-11-03 1980-11-03 Auto-zero system for pressure transducers

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0355542U true JPH0355542U (ja) 1991-05-29

Family

ID=22755112

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56173125A Pending JPS57108631A (en) 1980-11-03 1981-10-30 Automatic zero adjustor for capacitive manometer
JP1990104102U Pending JPH0355542U (ja) 1980-11-03 1990-10-04

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP56173125A Pending JPS57108631A (en) 1980-11-03 1981-10-30 Automatic zero adjustor for capacitive manometer

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US (1) US4383431A (ja)
EP (1) EP0051289B1 (ja)
JP (2) JPS57108631A (ja)
CA (1) CA1156487A (ja)
DE (1) DE3174333D1 (ja)

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Publication number Publication date
DE3174333D1 (en) 1986-05-15
JPS57108631A (en) 1982-07-06
CA1156487A (en) 1983-11-08
EP0051289A1 (en) 1982-05-12
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