JPH0355677B2 - - Google Patents

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JPH0355677B2
JPH0355677B2 JP2229507A JP22950790A JPH0355677B2 JP H0355677 B2 JPH0355677 B2 JP H0355677B2 JP 2229507 A JP2229507 A JP 2229507A JP 22950790 A JP22950790 A JP 22950790A JP H0355677 B2 JPH0355677 B2 JP H0355677B2
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    • F04B11/0008—Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation using accumulators
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明はオイルシールを持つ真空ポンプに接続
された真空槽を含む装置のための逆流防止安全装
置を提供する。
発明の要約 本発明によれば、装置は、剛性管の端部に密封
式に固定された可撓性管の２つの端部を持ち、且
つ内部に位置する該可撓性管を持つ該剛性管より
成る弁と、剛性管の壁を通つてその中央部近傍に
設けられた制御オリフイスとを含んでおり、前記
弁が槽と前記ポンプへの吸込み入口との間に結合
されており、また２つの異なる連絡路を作るのに
適した滑り弁が共通出口ｃと入口ａ及び入口ｂの
異なる２つの一方又は他方との間の結合を作りあ
げるために適するように備えられており、前記共
通出口ｃが可撓性管を持つ前記弁の制御オリフイ
スに結合されており、入口ａが前記ポンプの吸込
み入口に結合され、そして入口ｂが大気圧に開か
れており、前記滑り弁がコイルによつて電磁的に
制御され、コイル自体は前記ポンプを駆動するモ
ータが電源に接続されるとき動作するリレーによ
つて制御され、そしてリレーは前記モータが電源
から接続を切れると動作を止め、共通出口ｃ及び
その入口ａ間の連絡を前記コイルが電力を与えら
れる限り滑り弁が作り、その共通出口ｃとその大
気に結合した入口ｂとの間の連絡が前記コイルに
電力を与えられていない時は常時作られているこ
とを特徴とする。
より有利には、コアが前記弁の可撓性管の内部
に配置されており、前記コアの断面は管が休止位
置にあるときは管の内部断面より小さい。このや
り方によつて可撓性管はそれ自体に対してよりも
コアに対して閉止がより良好となる。その理由は
コアが無い時は通路を完全にふさぐことが難かし
いからである。
次に添付図面を参照して本発明のいくつかの実
施例を例として説明する。
実施例 逆流防止安全装置について説明する前に、この
装置に用いられている弁１６を第２図を参照して
説明する。
ここで第２図を参照すれば、弁１６は２つの接
続用端部２及び３を備えた剛性管１を含む。可撓
性管４は剛性管内に位置し、可撓性管の２つの端
部５及び６は剛性管１の端部に密閉式に結合され
ている。可撓性管４の中央部は空白部７が剛性管
と可撓性管との間に存在するようにして自由であ
る。制御オリフイス８は剛性管の壁を通つてその
中央部の近傍に設けられている。空白部７がオリ
フイス８を介して可撓性管４の内側に対比してよ
り大きめの圧力をかけられるとき、弁は可撓性管
の締めつけによつて閉じられる。空白部７の内圧
が可撓性管の内圧に等しいか又はこれよりも低い
ときは、その弾力性は可撓性管を開いたままに保
つ。
この種の弁は直接的であり従つて最大コンダク
タンスを持つ通路を持つ。
第３図に示す変形例では、コア９は可撓性管４
の内部に配置されている。このようにすれば弁が
閉じるとき、可撓性管４はそれ自体間で押圧せず
にコアを押圧し、こうして管を完全に閉じ易くす
る。
第３図に示す場合では、コア９は、例えば１１
及び１２のようなスポークを用いて端部２及び３
に固定されている軸１０によつて支えられてい
る。
次に、本発明逆流防止安全装置について第１図
を参照して説明する。
図では、排気槽１４はオイルシートを持つ真空
ポンプ１５に結合している。
この種の装置では、ポンプから立上がるオイル
によつて槽が汚染されるのを防ぐため、特に電力
故障が生じた場合に処置が講じられることが必要
である。
一つの公知型では、電力が中断したとき閉じる
ベルを備えた角度弁が用いられているが、しかし
このような解決法はコンダクタンスを低下させ、
更に一定圧力範囲以上に対してのみ適性であると
いう欠点を示す。
本発明によれば、弁は第２図及び第３図に示す
ように使用され、後者では弁は小型断面コアを持
つている。こうして、符号１６で概略的に示した
ようなこの種の弁が槽１４とポンプ１５への吸込
み入口との間に挿入されている。
弁１６は、共通出口ｃ及び入口ａとｂとの２つ
を持つ電気的制御滑り弁１７の出口ｃに管２３を
介して接続された制御オリフイス８によつて制御
される。そして滑り弁はａ及びｃ間又はｂ及びｃ
間のどちらかに連絡を作るために適している。制
御は電磁式で、戻しばねによつて逆流する。
電磁制御が付与されると、太い実線が示すよう
にａ及びｃ間に連絡が作られ、そしてコイル１８
への電力が切れると、戻しばねが点線が示すよう
にｂ及びｃ間に確実に連絡がつくようにする。
入口ａはダクト２２を介してポンプ１５の吸込
み入口に結合され、一方入口ｂはフイルタ３２を
介して大気又はガス供給点（例えば不活性ガス供
給用）と結合する。早く弁１６を閉じようとする
際は入口６により高圧を加える。１９は電源２０
から給電されるポンプ１５のための駆動モータを
表わす。スイツチ２１がモータ１９に給電する電
気回路内に、電気的制御滑り弁１７のコイル１８
への給電を制御するリレー３３と共に配置されて
いる。
作動は次の通りである。スイツチ２１が閉じる
と、第１図に示すようにポンプ１５が働き、一方
コイル１８はリレー３３から給電され、その結果
滑り弁１７はａ及びｃ間の連絡を作る。結果とし
て、ダクト２２を介して結合するため、弁１６の
空白部１７の内圧はポンプ１５の吸込み圧であ
り、そして弁１６は開いたままとなる。
ポンプ１５への電力供給が中断した場合は、コ
イル１８はもはやリレー３３によつて給電され
ず、滑り弁１７の戻しばね（図示せず）がｂ及び
ｃ間に連絡を作る。こうして空白部７は大気圧又
は加圧ガスの圧力をフイルタ３２を介して受け、
一方弁１６の内部２４は低圧である。これによつ
て可撓性管４はもしコアが無ければそれ自体に対
して、あるいはもし弁が第３図に示すようなコア
を持つていればコアに対して圧縮される。このこ
とはポンプ１５及び槽１４間の連絡が電力が中断
した場面に自動的に閉じることを保証し、こうし
て槽１４内に油が侵入することのないようにして
いる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明逆流防止安全装置を備えたポン
プ設備の説明図、第２図は第１図に用いられた弁
を表わす説明図、及び第３図は第１図の装置に用
いられるのに適した、第２図に示す弁の変形例の
説明図である。 ４……可撓性管、７……空白部、８……制御オ
リフイス、１４……排気槽、１５……真空ポン
プ、１６……弁、１７……滑り弁、１８……コイ
ル、２０……電源、１９……モータ、３２……フ
イルタ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ オイルシールを持つ真空ポンプと結合された
    真空槽を含む設備のための逆流防止安全装置であ
    つて、装置が、剛性管の端部に可撓性管の２つの
    端部が密封式に固定されて、且つ内部に位置する
    前記可撓性管を持つ前記剛性管より成る弁と、剛
    性管の壁を通つてその中央部近傍に設けられた制
    御オリフイスとから成り、前記弁が槽と前記ポン
    プへの吸込み入口との間に結合されており、また
    ２つの異なる連絡路を作るのに適した滑り弁が共
    通出口ｃと入口ａ及び入口ｂの異なる２つの一方
    又は他方との間の結合を作りあげるために適する
    ように備えられており、前記共通出口ｃが可撓性
    管を持つ前記弁の制御オリフイスに結合されてお
    り、入口ａが前記ポンプの吸込み入口と結合さ
    れ、入口ｂが大気圧に開かれており、前記滑り弁
    がコイルによつて電磁的に制御され、コイル自体
    は前記ポンプを駆動するモータが電源に接続する
    と動作するリレーによつて制御され、リレーは前
    記モータが電源から切れると動作を止め、滑り弁
    が共通出口ｃとその入口ａとの間の連絡を前記コ
    イルに電力が与えられる限り作りあげ、共通出口
    ｃと大気に結合した入口ｂとの間の連絡が前記コ
    イルに電力が与えられなくなると常時作りあげら
    れることを特徴とする装置。 ２ 前記弁の可撓性管の内部にコアが配置されて
    おり、前記コアの断面が、管が静止位置にあると
    きは管の内部断面よりも小さいことを特徴とする
    請求項１に記載の装置。
JP2229507A 1989-09-01 1990-08-30 真空槽を含む設備のための逆流防止安全装置 Granted JPH0392588A (ja)

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JP2229507A Granted JPH0392588A (ja) 1989-09-01 1990-08-30 真空槽を含む設備のための逆流防止安全装置

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EP (2) EP0415317B1 (ja)
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AT (2) ATE97196T1 (ja)
DE (2) DE69004525T2 (ja)
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5167491A (en) * 1991-09-23 1992-12-01 Carrier Corporation High to low side bypass to prevent reverse rotation
US5478537A (en) * 1992-09-24 1995-12-26 Sunburst Chemicals, Inc. Detergent dispenser for use with solid casting detergent
FR2703338B1 (fr) * 1993-03-30 1995-05-12 Atochem Elf Sa Dispositif d'inertage d'un stockeur.
US5957152A (en) * 1996-09-24 1999-09-28 Hydro Systems Company Select valve purge
US6737028B1 (en) 1999-06-02 2004-05-18 Sunburst Chemicals, Inc. Solid cast container
GB0208840D0 (en) * 2002-04-18 2002-05-29 Novamedix Distrib Ltd Fluid control valve
DE102004043922B4 (de) * 2004-09-10 2006-11-16 Kvt Gmbh Ventil
CN100439774C (zh) * 2007-01-26 2008-12-03 清华大学 一种气动式截断阀
ITBO20130679A1 (it) * 2013-12-06 2015-06-07 Tera Automation S R L Macchina, e relativo metodo, per la produzione di lingotti metallici in continuo
ITBO20130680A1 (it) * 2013-12-06 2015-06-07 Tera Automation S R L Valvola di ritegno per un tunnel di passaggio di elementi solidi
US9718082B2 (en) * 2014-01-26 2017-08-01 Tokyo Electron Limited Inline dispense capacitor
US10354872B2 (en) 2016-08-11 2019-07-16 Tokyo Electron Limited High-precision dispense system with meniscus control
CN107728432A (zh) 2016-08-11 2018-02-23 东京毅力科创株式会社 高纯度分配系统
KR102394995B1 (ko) 2016-08-11 2022-05-04 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 고순도 분배 유닛
CN107575601B (zh) * 2017-08-23 2024-03-19 上海泽宁环保科技有限公司 一种负压源动力真空阀芯、密封装置及界面阀
DE102021121809A1 (de) * 2021-08-23 2023-02-23 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Regelungsvorrichtung für Filteranlagen

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2124390A (en) * 1935-05-07 1938-07-19 Gen Electric Vacuum pump apparatus
FR1595857A (ja) * 1968-11-29 1970-06-15
US3838704A (en) * 1971-11-01 1974-10-01 D Johnson Method of assembling an axial flow valve
US4138087A (en) * 1976-06-18 1979-02-06 Rockwell International Corporation Axial flow throttling valve
US4135550A (en) * 1977-03-11 1979-01-23 Trelleborg Rubber Company, Inc. Pinch valve control circuit
GB2054041A (en) * 1979-02-08 1981-02-11 Johal K S Surge Suppression Device
FR2458013A1 (fr) * 1979-05-28 1980-12-26 Gibert Rene Vanne a manchon deformable
DE3247325C2 (de) * 1982-12-21 1990-02-15 Grünbeck Wasseraufbereitung GmbH, 8884 Höchstädt Rohrtrenner
US4645174A (en) * 1985-05-16 1987-02-24 American Meter Company Mounting arrangement for a critical flow device

Also Published As

Publication number Publication date
DE69006982D1 (de) 1994-04-07
US5049042A (en) 1991-09-17
US5048559A (en) 1991-09-17
JPH0392588A (ja) 1991-04-17
JPH0392684A (ja) 1991-04-17
FR2651552A1 (fr) 1991-03-08
ATE97196T1 (de) 1993-11-15
EP0415317A3 (en) 1991-10-09
DE69006982T2 (de) 1994-06-09
EP0415311A2 (fr) 1991-03-06
ES2046629T3 (es) 1994-02-01
EP0415311A3 (en) 1991-10-02
ATE102316T1 (de) 1994-03-15
ES2050899T3 (es) 1994-06-01
EP0415317A2 (fr) 1991-03-06
EP0415311B1 (fr) 1994-03-02
EP0415317B1 (fr) 1993-11-10
DE69004525T2 (de) 1994-03-03
FR2651552B1 (fr) 1991-12-06
DE69004525D1 (de) 1993-12-16

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