JPH0355855A - ダイボンド方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造装置のダイボンド方法に関する
ものである．， 〔従来の技術〕 第２図は、例えば特開昭６０−１８３７３３号公報に示
された従来のダイボンド装置を示す略図であり、図にか
いて（１）はペレット、（２）はピックアップ、（８）
はＩＴＶカメラ、（４）はパターン認識処理部、（６）
はピックアップ制御部、（６）は制御装置、（γ）はＸ
−Ｙ移動ステージ制御部、（８）はリードフレーム％　
（９）　ハｘ　−　ｙ移動ステージである。

次に動作について説明する。ＸＹ移動ステージ（９）上
に取付けられたペレット（１》は，ＩＴＶカメラ（８）
によｂ検出され、とｂ込まれた信号は、パターン認識処
理部（４）で、位置ズレ量測定，良否判定を行なう。

次いで、制御装置により、ピックアップ制御部及びＸ−
Ｙステージ制御部に動作指示が行なわれ、ペレット（１
）のピックアップ及び、リードフＬ／　−４（８）への
プレース，接合が行われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のダイボンド方法は、以上の様に構成されているの
で、Ｘ−Ｙ移動ステージ上のペレットをピックアップす
る点と、ＩＴＶカメラがペレットを認識する点を同じに
しなければならず、また、ペレットの位置ズレ量測定及
び良否判定の認識処理中は、ペレットのピックアップ動
作ができず、タクトタイムが大となるなどの問題があっ
た。

この発明は、上記の様な問題点を解消するためになされ
たもので、ペレットをピックアップする点と、ＩＴＶカ
メラがペレットを認識する点を任意に設定できるととも
に、ペレットの位置ズレ量測定及び良否判定の認識処理
中でも、ペレットのピックアップ動作を同時に行なう事
ができる、生産性の良い方法を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るダイボンド方法は、ペレットをピックア
ップする点と、ＩＴＶカメラがペレットを認識する点を
別々としたものである。

〔作用〕

この発明にかけるダイボンド方法は、ペレットをピンク
アップする点と、ｒＴＶカメラがペレットを認識する点
を別々とすることによシ、ウエハ上のチップの良否判定
及び位置決め認識と、ペレットのピックアップ動作の並
列処理が司能となル又、前述の２点を同一としなければ
ならないといった位置的条件がいらない．１ 〔発明の実施例〕 以下、この発明の−実施例を図にかいて説明する。第１
図において、（１）はベレン｝、（９）はこのペレット
（１）を移動させるＸ−Ｙ移動ステージ、（２）はピッ
クアップヘッド、（８）はペレットの位置決め及び良否
判定を行なうセンサー　叫は認識の際にペレット（１）
を移動させる認識ステージ、（８）はリードフレームで
ある。

次に動作について説明する。認識ステージ（９）に載せ
られたベレット（１）は、移動しながらセンサー（８）
によｂ１位置検出と、良否判定を，ウエハ１枚分すべて
をかこなう。次にピックアップヘッド（２）側に移動し
たペレット（１）はピックアツナヘッド（２）によｂ１
　リードフレーム（８）に移載接合でれる。

〔発明の効果〕

以上の様にこの発明によれば、ペレットの認識をピンク
アップ部よう分離したので、生産性の良い高速のダイボ
ンド装置を得られる効果がある、，

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の−実施例によるダイボンド装置を示
す図、第２図は従来のダイボンド装置を示す構成図であ
る。 （１》はベレット、（２）はピックアップヘッド、（８
）はＩＴＶカメラ、（４）はパターン認識処理部、（５
）はピツクアップ制御部、《６）は制御装置、（γ冫は
Ｘ−Ｙ移動ステージ制御部、〈８》はリードフレーム、
（９）はＸＹ移動ステージ、叫は認識ステージである。 なか、各図中同一符号は同一又は相当部分を示す・・

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体をダイボンドする装置において、ウェハ上のチ
   ップの良否判定及び位置決め認識を、ウエハ単位で一括
   して行うことを特徴とするダイボンド方法。