JPH0356249Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本考案は、プラズマ処理等の表面処理に利用さ
れる真空圧力容器に関するものである。 〔従来の技術〕 従来、合成樹脂成形品、金属部品等の被塗装物
にプラズマ処理する際には、第３図および第４図
に示すような真空圧力容器が利用されている。 第３図および第４図において、５１は圧力容器
であつて、この圧力容器５１の近傍には排気ポン
プ５２が配設されている。また、圧力容器５１と
排気ポンプ５２とは給排気管５３によつて接続さ
れており、その途中にはバルブ５４を有する大気
開放管５５が設けられている。さらに、圧力容器
５１側の給排気管５３にはフイルタ５６が設けら
れており、排気ポンプ５２側の給排気管５３には
バルブ５７が設けられている。 そして、圧力容器５１内を真空にして被処理物
（図示せず）をプラズマ処理する際には、大気開
放管５５のバルブ５４を閉鎖し、給排気管５３の
バルブ５７を開放する。次に、排気ポンプ５２を
作動させて圧力容器５１内を真空にしつつ、被処
理物にプラズマ処理するようになつている。 また、圧力容器５１内を真空にする際に、圧力
容器５１内の空気中に含まれる塵埃等の異物が排
気ポンプにかみ込まないようにするために、給排
気管５３の途中にフイルタ５６を設けて除去して
いる。 〔考案が解決しようとする課題〕 しかしながら、このような真空圧力容器におい
ては、高湿度時あるいは圧力容器５１内に濡れた
物品がある時等において排気によつて気化した水
が空中で細かい水滴となつてフイルタ５６に付着
し、霜状となつてフイルタ５６の目づまりを起こ
すことはもとより、排気効率を著しく低下させる
不具合がある。 従つて、この考案は、上記の不具合を解消する
ためになされたもので、フイルタに直接的に伝導
熱または輻射熱を加えることによつて、濾過器内
のフイルタへの霜の付着を防ぎ、目づまりおよび
排気効率の低下を防止させることにある。 〔課題を解決するための手段〕 すなわち、この考案に係る真空圧力容器におい
ては、圧力容器と排気ポンプとを給排気管によつ
て接続し、この給排気管の途中に開閉弁を有する
大気開放管を設け、この大気開放管と排気ポンプ
との間の給排気管に開閉弁を設けると共に、大気
開放管と圧力容器との間の給排気管にフイルタを
有する濾過器を設けてなる真空圧力容器であつ
て、前記濾過器の内部に、前記フイルタを直接的
に加熱する加熱器と濾過器内の温度を検出する温
度検知器を設けたものである。 〔作用〕 かかる、真空圧力容器において、圧力容器内を
真空にして被処理物をプラズマ処理等の表面処理
をする際には、大気開放管の開閉弁を閉鎖し、給
排気管の開閉弁を開放する。次に、排気ポンプを
作動させ、圧力容器内の空気を吸引して真空にし
つつ、被処理物にプラズマ処理等の表面処理を行
なう。 その際、濾過器の内部の温度が温度検知器で検
知されており、所定の温度以下に低下した際には
加熱器を作動させて濾過器内のフイルタを直接的
に加熱する。そして、このフイルタへの直接的な
加熱によつて、高湿度時あるいは圧力容器内に濡
れた物品がある場合でも気化した水が霜となつて
濾過器内のフイルタに付着するのが防止され、目
づまりおよび排気効率の低下が防止される。 〔実施例〕 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。 第１図は本考案に係る真空圧力容器の正面図、
第２図は本考案の真空圧力容器に用いられる濾過
器の拡大斜視図を示すものである。 第１図および第２図において、１は円筒形状に
形成されている圧力容器であつて、この圧力容器
１の一方には蓋部材１ａが開閉可能に設けられて
おり、閉塞した際には圧力容器１内が密封できる
ようになつている。そして、この圧力容器１は台
座２に立設された複数の支持部材３によつて支持
されている。 また、圧力容器１の近傍には排気ポンプ４が配
設されている。そして、この排気ポンプ４と圧力
容器１とは給排気管５によつて接続されており、
その途中にはバルブ６を有する大気開放管７が接
続されている。さらに、排気ポンプ４には排気管
８が接続されており、排気ポンプ４からの排気空
気を大気に放出するようになつている。 また、排気ポンプ４と大気開放管７との間の給
排気管５にはバルブ９が設けられており、圧力容
器１と大気開放管５との間の給排気管５には濾過
器１０が設けられている。そして、この濾過器１
０は、第２図に示すように円筒形状に形成された
管体１１を有し、その管体１１内にステンレス線
で形成されたフイルタ１２が横断して配設されて
おり、その孔は10メツシユ程度とされている。 また、濾過器１０の管体１１内におけるフイル
タ１２の上方排気ポンプ８側には管体１１を貫通
して温度検出器としての熱電対１３が設けられて
おり、管体１１内の温度を検知するようになつて
いる。さらに、管体１１内におけるフイルタ１２
の下方にはニクロム線からなるヒータ１４が横断
して配設されており、その一部には電圧供給源１
５に通ずるプラスおよびマイナスの導線１６ａ，
１６ｂが接続されている。 上記のように構成された真空圧力容器におい
て、圧力容器１内を真空にして被処理物（図示せ
ず）をプラズマ処理等の表面処理する際には、大
気開放管７のバルブ６を閉鎖し、給排気管５のバ
ルブ９を開放する。この状態で、排気ポンプ４を
作動させ、圧力容器１内の空気を吸引・排気して
真空にしつつ、被処理物にプラズマ処理等の表面
処理を行なう。 その際、熱電対１３によつて濾過器１０の管体
１１内の温度が検知されており、設定温度である
５℃以下に低下した際には電圧供給源１５からヒ
ータ１４を通電して管体１１内のフイルタ１２を
このヒータ１４により直接的に加熱する。そし
て、このフイルタ１２への直接的な加熱によつて
高湿度時あるいは圧力容器１内に濡れた物品があ
る場合でも気化した水が霜となつてフイルタ１２
に付着することが防止がされ、フイルタ１２の目
づまりおよび排気効率の低下が防止される。 ちなみに、実施例および従来の真空圧力容器に
ついて、圧力容器１，５１内の雰囲気湿度を変化
させ、圧力容器１，５１内の設定圧力が0.5torr
に達するまでの時間を調査したみた。その結果を
下記の表に示す。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案に係る真空圧力容
器においては、フイルタを有する濾過器の内部
に、フイルタを直接的に加熱する加熱器と、濾過
器内の温度を検出する温度検知器手段を設けたか
ら、濾過器内の温度が設定以下に低下した際に
は、濾過器内の加熱器を作動させてフイルタを直
接的に加温することができるので、濾過器内のフ
イルタへの霜の付着を確実に防止することができ
る。 また、フイルタへの霜の付着を防止することが
できることによつて、フイルタの目づまりを防止
することができると共に、排気効率の低下を防止
することができる。 さらに、フイルタの目づまりが防止されること
によつて、圧力容器内を真空にする時間を短縮す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る真空圧力容器の正面図で
ある。第２図は本考案の真空圧力容器に用いられ
る濾過器の拡大斜視図である。第３図は従来技術
に係る真空圧力容器の正面図である。第４図は従
来技術の真空圧力容器に用いられる濾過器の拡大
斜視図である。 １……圧力容器、４……排気ポンプ、５……給
排気管、６……バルブ、７……大気開放管、９…
…バルブ、１０……濾過器、１１……管体、１２
……フイルタ、１３……熱電対、１４……ヒー
タ、１５……電圧供給源、１６ａ，１６ｂ……導
線。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 圧力容器と排気ポンプとを給排気管によつて接
   続し、この給排気管の途中に開閉弁を有する大気
   開放管を設け、この大気開放管と排気ポンプとの
   間の給排気管に開閉弁を設けると共に、大気開放
   管と圧力容器との間の給排気管にフイルタを有す
   る濾過器を設けてなる真空圧力容器であつて、前
   記濾過器の内部に、前記フイルタを直接的に加熱
   する加熱器と濾過器内の温度を検出する温度検知
   器を設けたことを特徴とする真空圧力容器。