JPH0356825Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、工業生産用又は研究実験設備として
クリーンな環境を必要とする場合に使用される、
伸縮式ジヤバラハウスを用いたクリーンルームに
関するものである。

［従来の技術］ 従来のクリーンルームは第９図に示すように、
床面に固定され４方を囲む側壁に天井を載置して
作業室ａを形成し、該作業室ａの一方の側壁にリ
ターンダクトｂをプレフイルターｃを介して接続
し、リターンダクトｂからの排気に外気取入口ダ
クトｄからの外気を混合し、空調機ｅによりサプ
ライダクトｆからメインフイルターｇを介して前
記作業室ａ内に供給するようにしている。図中
ｈ，ｉはプレフイルター、ｊは一部排気口、ｋは
ミキシングチヤンバー、ｌは調圧ダンパーを示
す。

このように、従来のクリーンルームは堅牢な構
造と高い密閉性が必要とされることから、建設費
が高コストになるばかりでなく、以下のようにな
種々の問題点が存在していた。

固定式で天井が低く、しかも出入口が小さく
て搬出入に手がかかることから、特に天井クレ
ーンやホークリフト等の運搬用具でないと搬出
入できない大形機材への利用は難しい。

壁、天井及び床等構成材の合せ部ｍは密閉性
を必要とすることから、シールを確実にせねば
ならない。

構成材の多くは発塵性でありこれを防止する
ため特殊材料の選定あるいは塗装が必要とな
る。

声が通りにくく、採光性も不良である。

内圧調整用の調圧ダンパーｌが必要となる。

室内の気流がスムーズでないため滞留部分
ｎが発生し、クリーン度の分布が悪い。

四隅のデツドスペースｏには比較的粒子の大
きな塵埃が堆積する。

［考案が解決しようとする問題点］ 本考案は、上述の従来のクリーンルームが有す
る問題点を解決し、機材の搬出入を容易にし、ク
リーン度を均一に維持でき、更に低コストで建設
できるようにしようとするものである。

［問題点を解決するための手段］ 本考案は、平行に敷設したレール上に、門型の
支柱を前記レールに上面及び両側面から当接する
複数のローラにより跨がつて移動し得るよう複数
載置し、該複数の支柱の外側に各支柱を一体に覆
うよう屈曲可能な膜体を配設し、該膜体の両下端
部外側に床面まで届くスカート状の膜体フラツパ
ーを設けて伸縮可能なジヤバラを形成し、該ジヤ
バラの両端側に固定支枠を夫々設け該各固定支枠
と開閉可能なジヤバラとにより密閉空間を形成し
得るようにし、前記両固定支枠にダクトを夫々接
続し、該各ダクトを空調機に連結して前記密閉空
間内の空気をフイルターを通して循環し得るよう
構成したことを特徴とするクリーンルームにかか
るものである。

［作用］ レール上を移動して伸縮するジヤバラは、片側
又は両側に開くようにしてあるため広い開口部が
得られる。

又、ジヤバラは一体の膜体により形成されてい
るので極めて密閉性がよく、スカート状の膜体フ
ラツパーにより内圧調整、堆積塵埃の排出が可能
になるためクリーン度が均一になる。

［実施例］ 以下、図面に基づいて本考案の実施例を説明す
る。

第１図乃至第５図は本考案の一実施例を示すも
ので、所定の間隔で立設した一対の固定支枠１，
２間の床面３に、該固定支枠１，２の幅と同じ幅
になるよう一対のレール４を平行に敷設し、該レ
ール４上に門型の支柱５をローラ６，７，８によ
り跨つて移動し得るよう複数載置してある。該ロ
ーラ６，７，８とレール４との関係は、中央のロ
ーラ６がレール４上面を転動し、左右のローラ
７，８にてレール４の両側からサポートするよう
にして内圧の変動による脱輪を防止してある。

前記複数の支柱５の外側に可撓性の膜体９を、
各支柱５の間隔が略等しくなるよう一体に配設
し、該膜体９の両下端部外側に床面３まで届く長
さのスカート状の膜体フラツパー１０をシーム加
工により一体的に設けて伸縮可能なジヤバラ１１
を形成してある。該ジヤバラ１１は両端部を夫夫
両側の固定支枠１，２に密着固定し、該ジヤバラ
１１の中間部に接続離間可能な開閉用支枠１２，
１３を設け、前記固定支枠１，２と開閉可能なジ
ヤバラ１１とにより密閉空間を形成し得るように
してある。

前記一方の固定支枠１の略中央部にリターング
リル１４を設け、該リターングリル１４にリター
ンダクト１５を接続し、該リターンダクト１５の
他側をミキシングチヤンバー１６に接続すると共
に該ミキシングチヤンバー１６にプレフイルター
１７を備えた外気取入口ダクト１８を接続する。

該ミキシングチヤンバー１６に空調機１９を連
結し、該空調機１９に接続したサプライダクト２
０によりプレフイルター２１及びメインフイルタ
ー２２を順次介して前記他方の固定支枠２側から
前記ジヤバラ１１内に清浄空気を送給し得るよう
にしてある。

以上のように構成したので、ジヤバラ１１は膜
体９が可撓性であるため中央部の開閉用支枠１
２，１３を離間することにより両開きするため、
天井及び側壁を広い間口で開くことができ大形機
材の搬出入が容易にできる。

ジヤバラ１１の膜体９は可撓性であり且つ各支
柱５がローラ６，７，８によりレール４上を滑ら
かに移動できるので人力により容易に開閉するこ
とができる。

該ジヤバラ１１を閉じて空調機１９を運転する
と、クリーンルーム２３内の空気はリターングリ
ル１４から排出され、リターンダクト１５を経て
ミキシングチヤンバー１６に入り、該ミキシング
チヤンバー１６において外気取入口ダクト１８か
らプレフイルター１７を通過した外気が取り入れ
られて混合され、サプライダクト２０からプレフ
イルター２１及びメインフイルター２２を順次通
過してクリーンルーム２３内に入り、該クリーン
ルーム２３内を流れて、リターングリル１４から
排出されて循環する。

以上のサイクルを繰り返すことにより、フイル
ター１７，２１，２２で塵埃が除去され暫時塵埃
濃度が低下し、清浄となる。

ここで、空調機１９からクリーンルーム２３内
に送入される清浄空気の一部は、第６図ロに示す
ように膜体９下部のスカート状の膜体フラツパー
１０から全周に亘つて室外に放出され、該放出の
際、床面３に堆積した比較的大きな粒子の塵埃が
一緒にはきだされる。更に、室内の空気圧が高ま
ると第６図ハに示すように床面３と膜体フラツパ
ー１０との〓間が拡大して圧力が逃され、内圧は
一定に保持される。又、室内の空気圧が低下し、
室内側が負圧に移行しようとすると、第６図イに
示すように前記膜体フラツパー１０が床面３に接
して室内への外気の流入は防止される。

更に又、室内の圧力が低下すると前述のように
膜体フラツパー１０が床面に接するばかりでな
く、第７図イに示すように膜体９が外気に押さ
れ、第７図ロに示す定常時と比較して内側に変形
し、内圧が一定に維持される。

第８図は本考案の他の実施例であり、前記実施
例と略同様の構成において、ジヤバラ１１を両開
きでなく、片開きにした例である。

本実施例の場合にも、前記実施例と同様にクリ
ーンルームが得られ、特に開口幅を大きくとるこ
とができる。

なお、本考案のクリーンルームは上述の実施例
のみに限定されるものではなく本考案の要旨を逸
脱しない範囲内において種々変更を加え得ること
は勿論である。

［考案の効果］ 以上述べたように本考案のクリーンルームによ
れば、下記の如き種々の優れた効果を奏し得る。

（） 天井、側壁部に大きな開口が得られ、天
井クレーン等による大形機材の搬出入が容易に
できる。

（） 開閉が人力により容易にできる。

（） 天井、側壁及びスカートを膜体構造と
し、シーム加工で一体化したことから気密性が
高い。

（） 膜体下部に設けた独特のスカート構造に
より、内圧が変化するとスカートが持ち上がり
排出量を変化させて内圧を一定に保つ。又排出
時に床面に堆積した比較的大きな粒子の塵埃を
一緒にはきだすことができる。

（） 膜体及び下部スカートは調圧ダンパーの
役目を果しており、送風停止時あるいはドアー
の開放時に室内圧が負側に移行しようとする
と、これらが縮んで吸収し、内圧を一定に保ち
外気の侵入を防止する。

（） 膜体下部のスカートのフラツパー効果に
よりクリーン度分布が均一になる。従つて、大
規模なクリーンルームの提供が可能となる。

（） 組合せ面がないため、シーリング作業が
不要であり、軽量で簡易なプレハブ工法により
短工期かつ廉価に完成できる。

（） 移設が容易である。

（） 側壁部の膜体に透明なものを採用すれ
ば、万一室内に事故が発生した時でも外部から
視認できる。又、明るく開放的な雰囲気下で作
業することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のクリーンルームの全体説明
図、第２図は第１図の平面図、第３図は第２図の
−方向矢視図、第４図は第３図の部詳細
図、第５図は第２図の−方向矢視図、第６図
イ，ロ，ハは第４図における膜体フラツパーの停
止時、定常時及び内圧上昇時の各状態を夫々示す
説明図、第７図イ，ロは第４図における膜体の停
止時及び定常時の状態を夫々示す説明図、第８図
は本考案のクリーンルームの他の実施例の概略説
明図、第９図は従来のクリーンルームの説明図を
示す。 １，２は固定支枠、３は床面、４はレール、５
は支柱、６，７，８はローラ、９は膜体、１０は
膜体フラツパー、１４はリターングリル、１５は
リターンダクト、１６はミキシングチヤンバー、
２０はサプライダクト、２２はメインフイルタ
ー、２３はクリーンルームを示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 平行に敷設したレール上に、門型の支柱をロー
   ラにより跨がつて移動し得るよう複数載置し、該
   複数の支柱の外側に各支柱を一体に覆うよう屈曲
   可能な膜体を配設し、該膜体の両下端部外側に床
   面まで届くスカート状の膜体フラツパーを設けて
   伸縮可能なジヤバラを形成し、該ジヤバラの両側
   端に固定支枠を夫々設け該各固定支枠と開閉可能
   なジヤバラとにより密閉空間を形成し得るように
   し、前記両固定支枠にダクトを夫々接続し、該各
   ダクトを空調機に連結して前記密閉空間内の空気
   をフイルターを通して循環し得るよう構成したこ
   とを特徴とするクリーンルーム。