JPH035704A - 接合レンズの光軸合わせ方法およびその装置 - Google Patents
接合レンズの光軸合わせ方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH035704A JPH035704A JP13930489A JP13930489A JPH035704A JP H035704 A JPH035704 A JP H035704A JP 13930489 A JP13930489 A JP 13930489A JP 13930489 A JP13930489 A JP 13930489A JP H035704 A JPH035704 A JP H035704A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- optical axis
- image
- cemented
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、接合レンズの光軸合せ装着に関し、詳しくは
、複数のレンズを接合して接合レンズを作る際のレンズ
の光軸合せ装置に関するものである。
、複数のレンズを接合して接合レンズを作る際のレンズ
の光軸合せ装置に関するものである。
［従来の技術］
複数のレンズを接合して、１つの接合レンズを作成する
作業には、各々のレンズの光軸を合わせる必要があるが
、従来は、このような光軸合せ作業の場合、目視を主と
していた。すなわち、まず、複数のレンズを接着剤によ
り貼り合わせた後、このレンズに対して光線を入射させ
ると共にレンズ外径部を固定部材につぎあてた状態で回
転させ、その時の光線のふれを抑えるように適宜レンズ
を移動して調整するようにしていた。
作業には、各々のレンズの光軸を合わせる必要があるが
、従来は、このような光軸合せ作業の場合、目視を主と
していた。すなわち、まず、複数のレンズを接着剤によ
り貼り合わせた後、このレンズに対して光線を入射させ
ると共にレンズ外径部を固定部材につぎあてた状態で回
転させ、その時の光線のふれを抑えるように適宜レンズ
を移動して調整するようにしていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来例では、目視によっているため
個人差があり、さらには作業の繰り返しによる疲労のた
めに光軸合せ精度を一定に維持しづらい。
個人差があり、さらには作業の繰り返しによる疲労のた
めに光軸合せ精度を一定に維持しづらい。
また、作業対象のレンズ毎に焦点距離が異なっているた
めに、対象のレンズが変わる毎に光線の像をカメラに結
像させるための補助レンズの取り替えおよび調整に手間
がかかるという問題点があった。
めに、対象のレンズが変わる毎に光線の像をカメラに結
像させるための補助レンズの取り替えおよび調整に手間
がかかるという問題点があった。
本発明の目的は、上述した従来の問題点に着目し、その
解決を図るべく、焦点距離の異なる接合レンズに対して
も汎用的かつ容易に光軸合わせを実施することのできる
接合レンズの光軸合せ装置を提供することにある。
解決を図るべく、焦点距離の異なる接合レンズに対して
も汎用的かつ容易に光軸合わせを実施することのできる
接合レンズの光軸合せ装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
かかる目的を達成するために、本発明は、平行光束を発
生させる手段と、平行光束を透光させる同心円状の格子
と、接合されるレンズのうちの第１のレンズを高精度に
保持する手段と、第１レンズ上に重ね合わされる第２レ
ンズの微少変位が可能な手段と、格子、第１レンズおよ
び第２レンズを透光した光の像を検出するための撮像手
段と、撮像手段により検出された光の像からその重心位
置を検出するための手段とを具え、接合されるレンズの
焦点距離のいかんに拘らず、１最像手段に平行光束を発
生させる手段からの光の像が結像されるようにしたこと
を特徴とするものである。
生させる手段と、平行光束を透光させる同心円状の格子
と、接合されるレンズのうちの第１のレンズを高精度に
保持する手段と、第１レンズ上に重ね合わされる第２レ
ンズの微少変位が可能な手段と、格子、第１レンズおよ
び第２レンズを透光した光の像を検出するための撮像手
段と、撮像手段により検出された光の像からその重心位
置を検出するための手段とを具え、接合されるレンズの
焦点距離のいかんに拘らず、１最像手段に平行光束を発
生させる手段からの光の像が結像されるようにしたこと
を特徴とするものである。
［作 用］
本発明によれば、同心円状の格子を透光した光が接合レ
ンズを介して常に１つの光軸ビームに集束されるので、
接合レンズの焦点距離が異なっても常に一定して撮像手
段に光の像を結像させることが可能となり、汎用的に光
軸合せを行うことができる。
ンズを介して常に１つの光軸ビームに集束されるので、
接合レンズの焦点距離が異なっても常に一定して撮像手
段に光の像を結像させることが可能となり、汎用的に光
軸合せを行うことができる。
［実施例］
以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細かつ具体
的に説明する。
的に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す。ここで、１はレーザ
光源、２はレンズにより平行光束線を得るようにしたコ
リメータ、３はその光束線とは直角の方向に設けられた
同心円状の格子、４はハーフミラ−５は接合するレンズ
のうちの基準レンズ、６は基準レンズ５を高精度に把持
するチャック、７は基準レンズ５に重ね合わされる調整
レンズ、８は調整レンズ７を微少変位させるための高精
度マイクロメータ、９はマイクロメータ駆動用モータ、
ｌＯは後述するようにしてレンズからの光軸ビームを撮
像するためのカメラ、１１はカメラｌＧにより撮像され
た光軸ビームに基づく光の像が信号として人力される画
像処理装置である。
光源、２はレンズにより平行光束線を得るようにしたコ
リメータ、３はその光束線とは直角の方向に設けられた
同心円状の格子、４はハーフミラ−５は接合するレンズ
のうちの基準レンズ、６は基準レンズ５を高精度に把持
するチャック、７は基準レンズ５に重ね合わされる調整
レンズ、８は調整レンズ７を微少変位させるための高精
度マイクロメータ、９はマイクロメータ駆動用モータ、
ｌＯは後述するようにしてレンズからの光軸ビームを撮
像するためのカメラ、１１はカメラｌＧにより撮像され
た光軸ビームに基づく光の像が信号として人力される画
像処理装置である。
第２図は調整レンズ７の駆動系を示す、調整レンズ７は
２方向から高精度のマイクロメータ８のヘッド８Ａにつ
きあてられて保持されるとともに、反対方向から圧縮ば
ね１２によりマイクロメータヘッド８＾に向けて偏倚さ
れている。従って、２つのマイクロメータ８をそれぞれ
適量微動させることにより、調整レンズ７を２次元平面
内で任意の方向に微少変位させることができる。
２方向から高精度のマイクロメータ８のヘッド８Ａにつ
きあてられて保持されるとともに、反対方向から圧縮ば
ね１２によりマイクロメータヘッド８＾に向けて偏倚さ
れている。従って、２つのマイクロメータ８をそれぞれ
適量微動させることにより、調整レンズ７を２次元平面
内で任意の方向に微少変位させることができる。
また、第１図に示す同心円状の格子３は明部と暗部とが
同心円状のパターンに形成されているもので、そのピッ
チは例えば５０μｍに設定されている。そこで、本発明
ではコリメータ２を介して得られたレーザ光の平行光束
が格子３を通過するときに生じる光の回折現象を利用し
、後述するようにして光軸合せを行うが、いま、上述の
平行光束１３が第３図に示すように格子３の明部３Ａを
通過すると、回折現象により光線がそれぞれ離散する。
同心円状のパターンに形成されているもので、そのピッ
チは例えば５０μｍに設定されている。そこで、本発明
ではコリメータ２を介して得られたレーザ光の平行光束
が格子３を通過するときに生じる光の回折現象を利用し
、後述するようにして光軸合せを行うが、いま、上述の
平行光束１３が第３図に示すように格子３の明部３Ａを
通過すると、回折現象により光線がそれぞれ離散する。
そして、この場合１つの回折角θを有する回折光は、第
４図に示すように同心に設けられた円形の明部３＾ごと
にレンズ（ここでは接合レンズを模式的に示す） １４
を通過後、その光軸上の１点に集光する。なお、他の回
折光についても同様の集光が行われ、かくして、光軸ビ
ーム１５は見かけ上これらの集光された回折光の連続に
よる１つのビーム光となる。しかしてこのような現象は
レンズの焦点距離がいかにかわっても同様に発生するも
ので、本発明ではこの現象を利用し、次の手順に従って
接合レンズの光軸合せを行う。
４図に示すように同心に設けられた円形の明部３＾ごと
にレンズ（ここでは接合レンズを模式的に示す） １４
を通過後、その光軸上の１点に集光する。なお、他の回
折光についても同様の集光が行われ、かくして、光軸ビ
ーム１５は見かけ上これらの集光された回折光の連続に
よる１つのビーム光となる。しかしてこのような現象は
レンズの焦点距離がいかにかわっても同様に発生するも
ので、本発明ではこの現象を利用し、次の手順に従って
接合レンズの光軸合せを行う。
すなわち、まず、前準備として非常に精度よく貼り合わ
されたマスターレンズを用意し、これを第１図に示すチ
ャック６に固定する。そして、このマスターレンズの光
軸ビームをカメラｌＯで検出し、画像処理装置１１を用
いて、その像の重心位置（Ｘｏｏ、ｙａｏ）を演算する
。
されたマスターレンズを用意し、これを第１図に示すチ
ャック６に固定する。そして、このマスターレンズの光
軸ビームをカメラｌＯで検出し、画像処理装置１１を用
いて、その像の重心位置（Ｘｏｏ、ｙａｏ）を演算する
。
次に、これから接合しようとする複数のレンズのうちの
基準レンズ５をチャック６で正確に固定した上、接着剤
を介して調整レンズ７をレンズ５上にのせ、しかる後、
この２枚のレンズ５．７による接合レンズの光軸ビーム
をカメラｌＯで検出し、画像処理装置１１でその像の重
心位置（ｘ（１，ｙｃ＋）を演算する。そしてこの重心
位置（ｘａ、ｙａ）が先に求めたマスターレンズの光軸
ビームに基づく像の重心位置ビーム（Ｘａｏ、ｙａｏ）
に一致するように、調整レンズ７をマイクロメータヘッ
ド８＾で微移動させ、その位置調整をする。
基準レンズ５をチャック６で正確に固定した上、接着剤
を介して調整レンズ７をレンズ５上にのせ、しかる後、
この２枚のレンズ５．７による接合レンズの光軸ビーム
をカメラｌＯで検出し、画像処理装置１１でその像の重
心位置（ｘ（１，ｙｃ＋）を演算する。そしてこの重心
位置（ｘａ、ｙａ）が先に求めたマスターレンズの光軸
ビームに基づく像の重心位置ビーム（Ｘａｏ、ｙａｏ）
に一致するように、調整レンズ７をマイクロメータヘッ
ド８＾で微移動させ、その位置調整をする。
以上の処理を行うことにより、位置調整された接合レン
ズの光軸をマスターレンズの光軸と一致させ、正しく光
１ト１ｈ合せを実施することかできる。
ズの光軸をマスターレンズの光軸と一致させ、正しく光
１ト１ｈ合せを実施することかできる。
なお、以上に述べた実施例では光軸合せのための動作の
一部をマニュアルで行ったが、マイクロメータヘッド８
Ａの送り用にサーボモータを用い、さらにマイクロコン
ピュータによフて、画像処理装置１１で求められた重心
位置（Ｘａ、Ｖａ）と、マスターレンズの光軸ビームに
よる重心位置（ＸＧＯ，ｙＧＯ）との比較をもとに、上
記サーボモータの駆動量演算をリアルタイムで行うよう
にすれば、光軸合せ全体の動作を自動的に一貫して行う
ことが可能となる。
一部をマニュアルで行ったが、マイクロメータヘッド８
Ａの送り用にサーボモータを用い、さらにマイクロコン
ピュータによフて、画像処理装置１１で求められた重心
位置（Ｘａ、Ｖａ）と、マスターレンズの光軸ビームに
よる重心位置（ＸＧＯ，ｙＧＯ）との比較をもとに、上
記サーボモータの駆動量演算をリアルタイムで行うよう
にすれば、光軸合せ全体の動作を自動的に一貫して行う
ことが可能となる。
［発明の効果］
以上説明してきたように、本発明によれば、接合するレ
ンズの焦点距離のいかんに拘らず、光源からの光を所定
の光軸上に集束させるようにしたので、従来のように接
合するレンズの光線像をレンズから所定の距離に配設し
たカメラに結像させるためにいちいち補助レンズを変え
る必要がなく、汎用的に光軸合せができるようになった
。
ンズの焦点距離のいかんに拘らず、光源からの光を所定
の光軸上に集束させるようにしたので、従来のように接
合するレンズの光線像をレンズから所定の距離に配設し
たカメラに結像させるためにいちいち補助レンズを変え
る必要がなく、汎用的に光軸合せができるようになった
。
第１図は本発明の接合レンズの光軸合せ装置の一例を模
式的に示す構成図、 第２図は本発明にかかる調整レンズの微動調整手段の構
成図、 第３図は本発明にかかる格子による光の回折現象の説明
図、 第４図は本発明による光軸ビーム形成動作の説明図であ
る。 １０・・・カメラ、 Ｉｆ・・・画像処理装置、 １３・・・平行光束、 １５・・・光軸ビーム。 １・・・レーザ光源、 ２・・・コリメータ、 ３・・・格子、 ５・・・基準レンズ、 ６・・・チャック、 ７・・・調整レンズ、 ８・・・マイクロメータ、 ９・・・モータ、 第 １ 図 第２図 １７−
式的に示す構成図、 第２図は本発明にかかる調整レンズの微動調整手段の構
成図、 第３図は本発明にかかる格子による光の回折現象の説明
図、 第４図は本発明による光軸ビーム形成動作の説明図であ
る。 １０・・・カメラ、 Ｉｆ・・・画像処理装置、 １３・・・平行光束、 １５・・・光軸ビーム。 １・・・レーザ光源、 ２・・・コリメータ、 ３・・・格子、 ５・・・基準レンズ、 ６・・・チャック、 ７・・・調整レンズ、 ８・・・マイクロメータ、 ９・・・モータ、 第 １ 図 第２図 １７−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）平行光束を発生させる手段と、 該平行光束を透光させる同心円状の格子と、接合される
レンズのうちの第１のレンズを高精度に保持する手段と
、 前記第１レンズ上に重ね合わされる第２レンズの微少変
位が可能な手段と、 前記格子、前記第１レンズおよび第２レンズを透光した
光の像を検出するための撮像手段と、該撮像手段により
検出された光の像からその重心位置を検出するための手
段と を具え、前記接合されるレンズの焦点距離のいかんに拘
らず、前記撮像手段に前記平行光束を発生させる手段か
らの光の像が結像されるようにしたことを特徴とする接
合レンズの光軸合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13930489A JP2664248B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 接合レンズの光軸合わせ方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13930489A JP2664248B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 接合レンズの光軸合わせ方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH035704A true JPH035704A (ja) | 1991-01-11 |
| JP2664248B2 JP2664248B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=15242172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13930489A Expired - Fee Related JP2664248B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 接合レンズの光軸合わせ方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2664248B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5026521A (en) * | 1989-05-08 | 1991-06-25 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Zirconium-titanium and/or tantalum oxygen alloy |
| CN113125124A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-16 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种大口径便携式光轴标定装置及光电系统 |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP13930489A patent/JP2664248B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5026521A (en) * | 1989-05-08 | 1991-06-25 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Zirconium-titanium and/or tantalum oxygen alloy |
| CN113125124A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-16 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种大口径便携式光轴标定装置及光电系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2664248B2 (ja) | 1997-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6297876B1 (en) | Lithographic projection apparatus with an alignment system for aligning substrate on mask | |
| JP2913984B2 (ja) | 傾斜角測定装置 | |
| US5548396A (en) | Method and apparatus for measuring eccentricity of aspherical lens having an aspherical surface on only one lens face | |
| US3806725A (en) | Apparatus for automatic tracking of pupil of eye | |
| CN101019057A (zh) | 透镜系统调整装置和使用该装置的透镜系统调整方法以及摄像装置的制造装置和摄像装置的制造方法 | |
| JP5305281B2 (ja) | オートコリメータ | |
| US4932781A (en) | Gap measuring apparatus using interference fringes of reflected light | |
| JPH05243118A (ja) | 位置検出方法及びそれを用いた位置検出装置 | |
| US6823599B1 (en) | Alignment structure and method for multiple field camera | |
| US5258804A (en) | Focus detection device having a mechanism for adjusting light-receiving state | |
| US4385325A (en) | Raster input scanner comprising two CCD arrays | |
| JPH035704A (ja) | 接合レンズの光軸合わせ方法およびその装置 | |
| JP2696364B2 (ja) | 走査式光学装置のモニター機構 | |
| JPS6161178B2 (ja) | ||
| US4708484A (en) | Projection alignment method and apparatus | |
| JPS62502421A (ja) | 二次元の対象物を整向、検査及び／または測定するための装置 | |
| JPH0139042B2 (ja) | ||
| JP2513281B2 (ja) | 位置合わせ装置 | |
| JP3517262B2 (ja) | 光軸調整装置および光軸調整方法 | |
| JPS60111212A (ja) | コリメ−タ調整装置 | |
| JP2949179B2 (ja) | 非接触式形状測定装置及び形状測定法 | |
| JPS62503049A (ja) | 二次元的な対象物を整向、検査及び／または測定するための方法及び装置 | |
| JPH0219810A (ja) | 光回路部品の組立装置 | |
| US4685805A (en) | Small gap measuring apparatus | |
| JP2513282B2 (ja) | 位置合わせ装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |