JPH0357399Y2 - - Google Patents
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- JPH0357399Y2 JPH0357399Y2 JP1987005021U JP502187U JPH0357399Y2 JP H0357399 Y2 JPH0357399 Y2 JP H0357399Y2 JP 1987005021 U JP1987005021 U JP 1987005021U JP 502187 U JP502187 U JP 502187U JP H0357399 Y2 JPH0357399 Y2 JP H0357399Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- fixed
- chuck
- cylinder
- movable end
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案はデイスクチヤツクに係り、特に磁気デ
イスクのように精密に加工されたデイスクをクラ
ンプするデイスクチヤツクに関する。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention relates to a disk chuck, and more particularly to a disk chuck for clamping precisely machined disks such as magnetic disks.
従来の技術
例えば、磁気デイスク装置等に組み込まれて磁
気記録/再生される磁気デイスクにおいては、そ
の形状、寸法及び記録面等を精密に加工した後、
埃等が付着しないようにクリーンルーム内で磁気
性能、寸法形状等の検査が行なわれている。この
ように、クリーンルーム内で行なわれる磁気デイ
スクの検査工程では工業用ロボツト等を使用して
自動化が図られており、磁気デイスクはロボツト
のアームの先端等に設けられたデイスクチヤツク
によりクランプされて搬送される。そしてロボツ
トの動作により磁気デイスクは検査装置に装着さ
れ、検査終了後には再びデイスクチヤツクにクラ
ンプされてマガジン等に挿入される。Prior Art For example, in a magnetic disk that is incorporated into a magnetic disk device or the like for magnetic recording/reproduction, after its shape, dimensions, recording surface, etc. are precisely processed,
Magnetic performance, size and shape, etc. are inspected in a clean room to prevent dust from adhering. In this way, the magnetic disk inspection process carried out in a clean room is automated using industrial robots, etc., and the magnetic disk is clamped by a disk chuck installed at the tip of the robot's arm. transported. Then, the magnetic disk is attached to the inspection device by the operation of the robot, and after the inspection is completed, it is again clamped to the disk chuck and inserted into a magazine or the like.
この種のデイスクチヤツクとしては、従来磁気
デイスクの内周側の無信号部分を環状に吸着する
真空チヤツクと、2点ずつ両側の可動部に設けら
れた4点の可動端が同時に変位して磁気デイスク
の外周に当接する構成とされた4点チヤツク等が
知られている。 Conventionally, this type of disk chuck consists of a vacuum chuck that annularly attracts the non-signal part on the inner circumferential side of the magnetic disk, and a vacuum chuck that simultaneously displaces four movable ends, two on each side of the movable part. A four-point chuck and the like configured to abut against the outer periphery of a magnetic disk are known.
考案が解決しようとする問題点
しかるに、上記デイスクチヤツクの前者の場
合、真空チヤツクがデイスクを吸着するときデイ
スク表面にキズをつけてしまうおそれがあり、特
にチヤツクを急激に動作させたときデイスク表面
にキズがつきやすい。また、真空チヤツクの場合
真空チヤツク本体を薄型化することが難しく磁気
デイスクを収納するマガジン等の狭部に入り込め
ないといつた欠点があつた。また上記デイスクチ
ヤツクの後者の場合両側の可動部を同時に駆動し
て4点の可動端を変位させるため、構造が複雑に
なり大型化してしまうといつた欠点があつた。ま
た、後者の場合可動部が多いのでクリーンルーム
内で作業することが不利であるといつた欠点もあ
つた。Problems to be Solved by the Invention However, in the case of the former disc chuck, there is a risk of scratching the disc surface when the vacuum chuck adsorbs the disc, and especially when the chuck is moved rapidly, the disc surface may be scratched. is easily scratched. Another disadvantage of vacuum chucks is that it is difficult to make the vacuum chuck body thin, making it difficult to fit into narrow spaces such as magazines that house magnetic disks. Furthermore, in the case of the latter type of disc chuck, the movable parts on both sides are driven simultaneously to displace the four movable ends, which has the drawback of complicating the structure and increasing the size. In addition, the latter method has many moving parts, so it is disadvantageous to work in a clean room.
そこで、本考案は上記欠点を除去したデイスク
チヤツクを提供することを目的とする。 Therefore, it is an object of the present invention to provide a disk that eliminates the above-mentioned drawbacks.
問題点を解決するための手段及び作用
高密度に加工されたデイスクを移送するために
用いられるデイスクチヤツクであつて、垂直、水
平方向に移動可能な本体と、この本体に固定され
たシリンダ機構と、このシリンダ機構と連結され
ており、シリンダ機構の駆動により作動される可
動端と、この可動端に連結されていると共に上記
シリンダ機構内に設けられたピンシリンダに連通
しており、所定方向に吸引力が付与されている吸
気ポートと、前記本体に固定された、その下方に
延在する腕部を設けると共に、この腕部に取付け
られた一対の固定端を有するフレームとを具備し
てなり、前記一対の固定端を前記デイスクの外周
に当接させ、このデイスクを介して前記ピンシリ
ンダにより前記可動端を上記一対の固定端側に変
位させることにより上記デイスクの外周をクラン
プすると共に、前記ピンシリンダの作動時に生ず
る埃、塵等の不純物を前記吸気ポートにより吸引
するよう構成したことにより、高密度に加工され
た磁気デイスクの性能を維持すると共に、このデ
イスクチヤツク全体の薄型化及び小形化を図り、
併せてクリーンルーム内の使用に適用できるよう
にしたものである。Means and action for solving the problem A disk chuck is used to transport disks processed with high density, and includes a main body that is movable in vertical and horizontal directions, and a cylinder mechanism fixed to this main body. and a movable end that is connected to this cylinder mechanism and is operated by the driving of the cylinder mechanism, and a movable end that is connected to this movable end and communicates with a pin cylinder provided in the cylinder mechanism, and that is connected to a pin cylinder that is provided in the cylinder mechanism and that moves in a predetermined direction. an intake port to which a suction force is applied; an arm fixed to the main body and extending downward; and a frame having a pair of fixed ends attached to the arm. The pair of fixed ends are brought into contact with the outer periphery of the disk, and the pin cylinder displaces the movable end toward the pair of fixed ends through the disk, thereby clamping the outer periphery of the disk, By configuring the suction port to suck in impurities such as dirt and dust generated during the operation of the pin cylinder, the performance of the highly processed magnetic disk can be maintained, and the overall thickness of the disk can be reduced. Aiming for miniaturization,
It is also designed to be applicable to use inside a clean room.
実施例
第1図に本考案になるデイスクチヤツクの一実
施例を示す。第1図中、デイスクチヤツク1は工
業用ロボツトのアーム2に取付けられており、ア
ーム2の動作により矢印X,Y,Z方向に移動す
る。また、デイスクチヤツク1は降下してマガジ
ン3内に挿入されると、マガジン3内に収納され
た磁気デイスク(以下単にデイスクと言う)4を
クランプし、アーム2の上昇とともにデイスク4
をマガジン3より取り出す。なお、マガジン3に
は加工済みの複数のデイスク41,42,43,…
4nが収納してある。これらのデイスク41,4
2,43,…4nはクリーンルーム内で工業用ロボ
ツトの動作により1枚ずつ取り出されて検査装置
(図示せず)に装着された後、磁気性能等を検査
される。また、検査を終了したデイスク4は、再
びデイスクチヤツク1にクランプされ搬送された
後、別のマガジン(図示せず)に挿入される。Embodiment FIG. 1 shows an embodiment of the disk chuck according to the present invention. In FIG. 1, a disk chuck 1 is attached to an arm 2 of an industrial robot, and moves in the directions of arrows X, Y, and Z as the arm 2 moves. When the disk chuck 1 is lowered and inserted into the magazine 3, it clamps the magnetic disk (hereinafter simply referred to as disk) 4 housed in the magazine 3, and as the arm 2 rises, the disk chuck 1 is inserted into the magazine 3.
Take out from magazine 3. Note that the magazine 3 includes a plurality of processed disks 4 1 , 4 2 , 4 3 ,...
4n is stored. These disks 4 1 , 4
2 , 4 3 , . . . 4n are taken out one by one in a clean room by the operation of an industrial robot, mounted on an inspection device (not shown), and then inspected for magnetic performance, etc. The disk 4 that has been inspected is again clamped to the disk chuck 1 and transported, and then inserted into another magazine (not shown).
このように、デイスク4をクランプするデイス
クチヤツク1は第2,3図に示すように大略一対
の固定端5,6と可動端7との3点によりデイス
ク4の外周をクランプする構成とされている。デ
イスクチヤツク1の本体8はアーム2の先端部2
aに取付けれられており、アーム2とともに垂
直、水平方向に移動する。第4,5図に示す如
く、本体8の内部にはシリンダ室9b内に設けら
れたピンシリンダ9及びピンシリンダ9により駆
動される可動端7の移動を案内するガイドシヤフ
ト10,11、ガイドシヤフト10,11を摺動
自在に支持する支持部12,13がその内部に組
み込まれている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the disk chuck 1 that clamps the disk 4 is configured to clamp the outer periphery of the disk 4 at roughly three points, a pair of fixed ends 5 and 6 and a movable end 7. ing. The main body 8 of the disk chuck 1 is connected to the tip 2 of the arm 2.
It is attached to the arm 2 and moves vertically and horizontally with the arm 2. As shown in FIGS. 4 and 5, inside the main body 8 there are a pin cylinder 9 provided in a cylinder chamber 9b, guide shafts 10 and 11 for guiding the movement of the movable end 7 driven by the pin cylinder 9, and a guide shaft. Support parts 12 and 13 that slidably support parts 10 and 11 are incorporated therein.
ここでピンシリンダ9は、固定用部材26によ
つてフレーム14に固定されている。なお、9a
はピンシリンダ9内を摺動するピストンロツド、
9cはピストンロツド9aの一端に連結された連
結ロツド、9dはシリンダ室9bの上方に形成さ
れた孔である。 Here, the pin cylinder 9 is fixed to the frame 14 by a fixing member 26. In addition, 9a
is a piston rod sliding inside the pin cylinder 9,
9c is a connecting rod connected to one end of the piston rod 9a, and 9d is a hole formed above the cylinder chamber 9b.
14はフレームで、本体8より突出するボス8
a,8bとの嵌合により位置決めされて、4本の
ネジ15の締め付けにより本体8に固定される。
また、フレーム14は逆U字形状に形成されてお
り、その下方に延在する腕部14a,14bの先
端に固定端5,6が設けられている。なお、固定
端5,6の外周にはV字形状の溝5a,6aが形
成されており、クランプ時デイスク4はこの溝5
a,6a内に嵌入保持される。また、フレーム1
4が下方にいくにしたがつて末広がり形状となつ
ているので、一対の固定端5,6は夫々対称な位
置に離間しているが、その離間寸法はマガジン3
の仕切板3a間に挿入可能な寸法とされている。 14 is a frame, and a boss 8 protrudes from the main body 8.
It is positioned by fitting with the parts a and 8b, and is fixed to the main body 8 by tightening the four screws 15.
Further, the frame 14 is formed in an inverted U-shape, and fixed ends 5 and 6 are provided at the tips of arms 14a and 14b extending downward. Note that V-shaped grooves 5a and 6a are formed on the outer periphery of the fixed ends 5 and 6, and the disk 4 is moved into these grooves 5 during clamping.
a, 6a and held therein. Also, frame 1
4 has a shape that widens toward the bottom as it goes downward, so the pair of fixed ends 5 and 6 are spaced apart at symmetrical positions, but the distance between them is the same as that of the magazine 3.
The size is such that it can be inserted between the partition plates 3a.
また、一対の固定端5,6が可動しない構造で
あるため、フレーム14の如くマガジン3内の狭
い空間に挿入される部分の薄型化が図られてい
る。 Further, since the pair of fixed ends 5 and 6 are of a non-movable structure, parts such as the frame 14 that are inserted into a narrow space within the magazine 3 can be made thinner.
可動端7はデイスク4を介して一対の固定端
5,6と対向する位置に配されており、第5図に
示すようにブラケツト16に固定されている。な
お、可動端7はV字状の溝7aを有しており、デ
イスク4の外周をこの溝7aに嵌入させてデイス
ク4を安定に保持せしめる。ブラケツト16はピ
ンシリンダ9のピストンロツド9aの先端に固定
された円盤状の係合部材17に係合している。ま
た、第6図に示す如く、ブラケツト16はコ字形
の中央部に設けた溝16a内に係合部材17の一
部を嵌入係合され、両端の孔16b,16cにガ
イドシヤフト10,11の端部が嵌入固定されて
いる。 The movable end 7 is disposed at a position facing the pair of fixed ends 5 and 6 with the disk 4 in between, and is fixed to a bracket 16 as shown in FIG. The movable end 7 has a V-shaped groove 7a, and the outer periphery of the disk 4 is fitted into this groove 7a to stably hold the disk 4. The bracket 16 engages with a disc-shaped engagement member 17 fixed to the tip of the piston rod 9a of the pin cylinder 9. Further, as shown in FIG. 6, the bracket 16 has a part of the engaging member 17 fitted into the groove 16a provided at the center of the U-shape, and the guide shafts 10, 11 are inserted into the holes 16b, 16c at both ends. The ends are fitted and fixed.
18はフオトセンサで、本体8の側面に固定さ
れており、フレーム14に取付けられた取付部材
19に挿入された光フアイバ20が接続されてお
り、デイスク4の存在を検出する。また、光フア
イバ20は先端がフレーム14に穿設された孔1
4cに対向しており、デイスク4がクランプされ
るとその反射光による信号をフオトセンサ18に
供給する。 A photo sensor 18 is fixed to the side surface of the main body 8, and an optical fiber 20 inserted into a mounting member 19 attached to the frame 14 is connected to detect the presence of the disk 4. Further, the tip of the optical fiber 20 is connected to a hole 1 formed in the frame 14.
4c, and when the disk 4 is clamped, a signal from the reflected light is supplied to the photo sensor 18.
第5図、第6図に示す如く、固定用部材26に
は、圧縮空気供給、排出用のポート21,22が
設けられており、それぞれエア供給パイプ23,
25の内部と連通している。ピンシリンダ9の連
結ロツド9cの先端部には上記した如く係合部材
17が固定されており、この係合部材17はブラ
ケツト16に設けられた溝16aにより、このブ
ラケツト16と連結されているので、連結ロツド
9cの動きは、ブラケツト16に固定された可動
片7に伝達される。 As shown in FIGS. 5 and 6, the fixing member 26 is provided with ports 21 and 22 for supplying and discharging compressed air, and air supply pipes 23 and 22, respectively, are provided in the fixing member 26.
It communicates with the inside of 25. As described above, the engaging member 17 is fixed to the tip of the connecting rod 9c of the pin cylinder 9, and the engaging member 17 is connected to the bracket 16 by the groove 16a provided in the bracket 16. , the movement of the connecting rod 9c is transmitted to the movable piece 7 fixed to the bracket 16.
また、ブラケツト16の両側には支持部12,
13にガイドされて直動するガイドシヤフト1
0,11が固定されているので、前記可動片7は
スムーズに直線運動をする。 Further, on both sides of the bracket 16, there are supporting parts 12,
Guide shaft 1 that moves linearly while being guided by 13
0 and 11 are fixed, the movable piece 7 moves linearly smoothly.
なお、ピンシリンダ9内には、前記した固定用
部材26のポート21,22と対応する位置に、
モレ空気吸引用のポート27が設けられ、これに
連通した供給パイプ24より真空吸引することに
よりシリンダ室9bからのモレ空気は孔9dから
流出するようなことはなく、ポート27より供給
パイプ24を経由して真空ポンプ等に入り込み、
したがつて、ピンシリンダの作動時に生ずる埃、
塵等の不純物はクリーンルーム内に運ばれるよう
なことはなくクリーンルームが汚染されるような
ことはない。 In addition, in the pin cylinder 9, at positions corresponding to the ports 21 and 22 of the above-mentioned fixing member 26,
A port 27 for suctioning leakage air is provided, and by vacuum suction from the supply pipe 24 communicating with this port, the leakage air from the cylinder chamber 9b will not flow out from the hole 9d, and the supply pipe 24 will be sucked from the port 27. It enters the vacuum pump etc. via the
Therefore, dust generated when the pin cylinder operates,
Impurities such as dust are not carried into the clean room and the clean room is not contaminated.
ここでマガジン3内に収納されているデイスク
4を取り出す際のデイスクチヤツク1の動作につ
き説明する。 The operation of the disk chuck 1 when taking out the disk 4 stored in the magazine 3 will now be explained.
まず、クランプ前のデイスクチヤツク1におい
てはピンシリンダ9の一方のポート21よりシリ
ンダ室9b内に空気が供給されており、ピストン
ロツド9aは矢印Y1方向に変位する。すなわち、
可動端7は第5図中、一対の固定端5,6より離
間する一点鎖線で示す位置に変位している。次に
アーム2が駆動されて降下するとともにデイスク
チヤツク1はマガジン3内に降下する。そして、
デイスクチヤツク1の下端に位置する一対の固定
端5,6をデイスク4の下端に潜り込ませデイス
ク4の外周縁に当接させる。 First, in the disk chuck 1 before clamping, air is supplied into the cylinder chamber 9b from one port 21 of the pin cylinder 9, and the piston rod 9a is displaced in the direction of arrow Y1 . That is,
In FIG. 5, the movable end 7 has been displaced to a position indicated by a dashed line that is spaced apart from the pair of fixed ends 5 and 6. Next, the arm 2 is driven and lowered, and the disk chuck 1 is lowered into the magazine 3. and,
A pair of fixed ends 5 and 6 located at the lower end of the disk chuck 1 are inserted into the lower end of the disk 4 and brought into contact with the outer peripheral edge of the disk 4.
次に、デイスク4の外周が固定端5,6の溝5
a,6aに嵌入した状態で、他方のポート22に
空気を供給するとともに一方のポート21の空気
を排気させピストンロツド9aを矢印Y2方向に
駆動する。このため、可動端7はガイドシヤフト
10,11に案内されながら一対の固定端5,6
側へ駆動変位してデイスク4の上側の外周縁に当
接する。 Next, the outer periphery of the disk 4 is connected to the grooves 5 and 6 of the fixed ends 5 and 6.
a, 6a, air is supplied to the other port 22, air is exhausted from one port 21, and the piston rod 9a is driven in the direction of arrow Y2 . For this reason, the movable end 7 is guided by the guide shafts 10 and 11 while moving between the pair of fixed ends 5 and 6.
It is driven to the side and comes into contact with the upper outer peripheral edge of the disk 4.
したがつて、デイスク4は下側の周縁に当接す
る一対の固定端5,6と、上側の周縁に当接する
可動端7とによりクランプされる。よつて、クラ
ンプ時デイスク4の記録面等にキズをつけるおそ
れがなく、そのため急激なクランプ動作を行なう
ことが可能であり、さらにデイスク搬送時間の短
縮化を図つて作業能率を向上させることもでき
る。 Therefore, the disk 4 is clamped by a pair of fixed ends 5, 6 that abut the lower periphery and a movable end 7 that abuts the upper periphery. Therefore, there is no risk of scratching the recording surface of the disk 4 during clamping, and therefore it is possible to perform a rapid clamping operation, and it is also possible to improve work efficiency by shortening the disk transport time. .
なお、デイスク4はその周縁を固定端5,6及
び可動端7のV字形の溝5a,6a,7a内に嵌
入させ脱落することなく安定に挟持される。そし
て、アーム2の上昇移動とともにデイスクチヤツ
ク1にクランプされたデイスク4はマガジン3よ
り取出されて検査装置に搬送される。検査終了後
は上記と逆の動作によりデイスク4を別のマガジ
ンに挿入する。 The disk 4 is stably held by fitting its peripheral edges into the V-shaped grooves 5a, 6a, 7a of the fixed ends 5, 6 and the movable end 7 without falling off. Then, as the arm 2 moves upward, the disk 4 clamped to the disk chuck 1 is taken out from the magazine 3 and conveyed to the inspection device. After the inspection is completed, the disk 4 is inserted into another magazine by the reverse operation to the above.
また、デイスク4をクランプして搬送する際
は、フオトセンサ18によりデイスク4の存在を
検出しており、万が一デイスク4が落下しても即
座にこれを検出できる。また、デイスクチヤツク
1は上記のように可動端7を駆動する可動部が1
個であるので、特に埃、塵等を嫌うクリーンルー
ム内で使用するのに有利である。また、駆動部と
して1個のピンシリンダ9を設けるだけなのでデ
イスクチヤツク1はよりコンパクトな構成とされ
ている。 Further, when the disk 4 is clamped and transported, the presence of the disk 4 is detected by the photo sensor 18, and even if the disk 4 should fall, this can be detected immediately. Further, as mentioned above, the disk chuck 1 has one movable part that drives the movable end 7.
It is particularly advantageous for use in a clean room where dirt, dust, etc. are disliked. Further, since only one pin cylinder 9 is provided as a driving section, the disk chuck 1 has a more compact structure.
なお、上記説明では複数のデイスク41,42,
…4nを第1図に示すマガジン3に収納するとし
て説明したが、これ以外の構造のマガジンとして
各デイスク4の中央孔4aにシヤフト(図示せ
ず)を嵌入させて収納するものがある。しかるに
本考案デイスクチヤツク1ではフレーム4の先端
に固定端5,6が設けてあるため、デイスク4の
中央孔4aに対向するフレーム14に余計な構造
物を配設せずに済み、フレーム14がシヤフトを
股ぐように中央部分に逃げ部14dを設けた形状
とすることができる。したがつて、デイスクチヤ
ツク1によりシヤフトを有するマガジンに装着さ
れたデイスク4を取り出したり、検査後のデイス
ク4をシヤフトに装着することが可能になる。 In addition, in the above description, a plurality of disks 4 1 , 4 2 ,
. . 4n is described as being stored in the magazine 3 shown in FIG. 1, but there is a magazine with a structure other than this, in which a shaft (not shown) is fitted into the center hole 4a of each disk 4. However, in the disk chuck 1 of the present invention, since the fixed ends 5 and 6 are provided at the tip of the frame 4, there is no need to provide an unnecessary structure on the frame 14 facing the central hole 4a of the disk 4. It is possible to provide a relief portion 14d in the center so that the shaft crosses the shaft. Therefore, the disk chuck 1 makes it possible to take out the disk 4 mounted on a magazine having a shaft, and to mount the disk 4 after inspection on the shaft.
なお、上記説明では磁気デイスクをクランプす
るものとして説明したが、磁気デイスクに限らず
例えばコンパクトデイスク、ビデオデイスク、レ
コード盤等の円盤状のものであればクランプして
搬送することができる。 In the above description, a magnetic disk was described as being clamped, but not only a magnetic disk but also a disk-shaped object such as a compact disk, a video disk, a record disc, etc. can be clamped and transported.
考案の効果
上述の如く、本考案になるデイスクチヤツクは
固定端側に駆動部を設ける必要がないので固定端
側の薄型化を図ることができ、特に複数のデイス
クを近接して収納するマガジン内の挟部等に固定
端を嵌入することが可能になる。また、デイスク
の外周を固定端と可動端によりクランプするた
め、クランプ時デイスクの記録面にキズをつけて
しまうおそれがなく、デイスクを安定にクランプ
することができる。ことができ、したがつて、デ
イスクの性能は維持されることになる。さらに、
可動端を駆動する駆動部が1個で良いため、構成
をよりコンパクトにすることができるとともにク
リーンルーム内の使用に好適であり、特に精密な
製品、装置等を取り扱う場所で使用するのに有利
である。更にまた、可動端の移動時、この可動端
に連結されていると共に、シリンダ機構内に設け
られたピンシリンダに連通しており、所定方向に
吸引力が付与されている吸気ポートにより空気の
もれを吸引するよう構成したので、エアーシリン
ダ使用にもかかわらずエアシリンダの作動時に生
ずる埃、塵等の不純物がクリーンルーム内に運ば
れるようなことはなく、したがつて、クリーンル
ーム内が汚染されるようなこともない。また、フ
レームの先端に固定端を設けることにより、デイ
スクの中央孔に対向する部分に余計な部材を取付
けずに済み、例えばデイスクの中央孔にシヤフト
を嵌入させて収納するマガジンよりデイスクを取
り出したり、またデイスクをシヤフトに装着する
ことができる等の特長を有する。Effects of the invention As mentioned above, the disk chuck according to the present invention does not require a drive unit on the fixed end side, so the fixed end side can be made thinner, especially for magazines that store multiple disks in close proximity. It becomes possible to fit the fixed end into the inner clamping part or the like. Furthermore, since the outer periphery of the disk is clamped by the fixed end and the movable end, there is no risk of scratching the recording surface of the disk during clamping, and the disk can be stably clamped. Therefore, the performance of the disk will be maintained. moreover,
Since only one drive unit is required to drive the movable end, the configuration can be made more compact, and it is suitable for use in clean rooms, and is especially advantageous for use in places where precision products, equipment, etc. are handled. be. Furthermore, when the movable end is moved, the intake port is connected to the movable end and communicates with a pin cylinder provided in the cylinder mechanism, and the suction force is applied in a predetermined direction. Since the air cylinder is configured to suck air, impurities such as dirt and dust generated during the operation of the air cylinder will not be carried into the clean room even though the air cylinder is used, and the clean room will therefore be contaminated. There is no such thing. In addition, by providing a fixed end at the tip of the frame, there is no need to attach unnecessary parts to the part facing the center hole of the disk. It also has features such as being able to attach the disk to the shaft.
第1図は本考案になるデイスクチヤツクの一実
施例を説明するための斜視図、第2,3,4図は
夫々デイスクチヤツクの正面図、側面図、底面
図、第5図は第2図中V−V線に沿う縦断面図、
第6図はデイスクチヤツクの上面図である。
1……デイスクチヤツク、4……デイスク、
5,6……固定端、7……可動端、9……ピンシ
リンダ、10,11……ガイドシヤフト、14…
…フレーム。
FIG. 1 is a perspective view for explaining one embodiment of the disk chuck according to the present invention, FIGS. 2, 3, and 4 are a front view, side view, and bottom view of the disk chuck, respectively, and FIG. A vertical cross-sectional view along the line V-V in Figure 2,
FIG. 6 is a top view of the disk chuck. 1...disk chuck, 4...disk,
5, 6... Fixed end, 7... Movable end, 9... Pin cylinder, 10, 11... Guide shaft, 14...
…flame.
Claims (1)
用いられるデイスクチヤツクであつて、垂直、水
平方向に移動可能な本体と、この本体に固定され
たシリンダ機構と、このシリンダ機構と連結され
ており、シリンダ機構の駆動により作動される可
動端と、この可動端に連結されていると共に上記
シリンダ機構内に設けられたピンシリンダに連通
しており、所定方向に吸引力が付与されている吸
気ポートと、前記本体に固定された、その下方に
延在する腕部を設けると共に、この腕部に取付け
られた一対の固定端を有するフレームとを具備し
てなり、前記一対の固定端を前記デイスクの外周
に当接させ、このデイスクを介して前記ピンシリ
ンダにより前記可動端を上記一対の固定端側に変
位させることにより上記デイスクの外周をクラン
プすると共に、前記ピンシリンダの作動時に生ず
る埃、塵等の不純物を前記吸気ポートにより吸引
するよう構成したことを特徴とするデイスクチヤ
ツク。 It is a disk chuck used to transport disks processed with high density, and it consists of a main body that can move vertically and horizontally, a cylinder mechanism fixed to this main body, and a cylinder mechanism connected to this cylinder mechanism. , a movable end operated by the drive of the cylinder mechanism, and an intake port connected to the movable end and communicating with a pin cylinder provided in the cylinder mechanism, to which a suction force is applied in a predetermined direction. and a frame having an arm fixed to the main body and extending downward thereof, and a frame having a pair of fixed ends attached to the arm, the pair of fixed ends being connected to the disk. The pin cylinder displaces the movable end toward the pair of fixed ends through the disk, thereby clamping the outer circumference of the disk and removing dust and dirt generated when the pin cylinder operates. A disk chuck characterized in that it is configured to suck impurities such as the like through the intake port.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987005021U JPH0357399Y2 (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987005021U JPH0357399Y2 (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63113537U JPS63113537U (en) | 1988-07-21 |
| JPH0357399Y2 true JPH0357399Y2 (en) | 1991-12-27 |
Family
ID=30786216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987005021U Expired JPH0357399Y2 (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0357399Y2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS566279Y2 (en) * | 1972-09-29 | 1981-02-10 | ||
| JPS517580A (en) * | 1974-07-08 | 1976-01-21 | Taiyo Kinzoku Kogyo Kk | OOTOROODAA |
-
1987
- 1987-01-17 JP JP1987005021U patent/JPH0357399Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63113537U (en) | 1988-07-21 |
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