JPH0358497A - Manufacture of multilayer printed wiring board - Google Patents

Manufacture of multilayer printed wiring board

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JPH0358497A
JPH0358497A JP19376789A JP19376789A JPH0358497A JP H0358497 A JPH0358497 A JP H0358497A JP 19376789 A JP19376789 A JP 19376789A JP 19376789 A JP19376789 A JP 19376789A JP H0358497 A JPH0358497 A JP H0358497A
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clearance
hole
holes
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Kunihiko Takeda
邦彦 武田
Akira Sudo
須藤 彰
Haruo Kawamata
川俣 晴男
Yoshinori Ueno
上野 芳則
Toshiro Kodama
敏郎 児玉
Nobuo Sakuragi
桜木 信男
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent voids from remaining in resin of a clearance hole by employing a conductor foil provided with an air flowing groove communicating with the hole. CONSTITUTION:A copper foil is formed on a base material 11, air flowing grooves 13 are formed in communication with clearance holes 12 on the surface, and the grooves 13 are extended to the end of the foil 10. A plurality of such materials 11 formed with the foil 10 formed with the grooves 13 on the surface and another base material are laminated through a prepreg (adhesive sheet) 14, and thermally press-adhered. In this case, when the boards 11 are thermally press-adhered, the airs in the holes 12 are escaped externally through the grooves 13. Thus, it can prevent voids from remaining in the resins of the holes.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 比較的厚い導体箔を表面に設けられた基材を多層に積層
された多層プリント配線板に関し、熱圧着時に、導体箔
に設けられているクリアランスホールにおいてボイド(
気泡〉をなくシ、シかもクラックを防止することを目的
とし、導体箔としてクリアランスホールと連通する空気
流通溝を設けたものを用いるか、基材としてクリアラン
スホールと連通ずる空気流通孔を設けたものを用いるか
、クリアランスホールに対応した僚置に突部を有する金
型を用いて圧着するか、導体箔としてクリアランスホー
ルを形成するエッジ部の断面が傾斜したものを用いる。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a multilayer printed wiring board in which a base material with a relatively thick conductive foil provided on the surface is laminated in multiple layers, voids occur in the clearance holes provided in the conductive foil during thermocompression bonding. (
In order to eliminate air bubbles and prevent cracks, conductive foil with air circulation grooves that communicate with the clearance holes is used, or the base material has air circulation holes that communicate with the clearance holes. Either a metal mold with a protrusion placed on the opposite side corresponding to the clearance hole is used for crimping, or a conductive foil whose edge portion forming the clearance hole has a sloped cross section is used.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、比較的厚い導体船を表面に設けられた基材を
多層に8iwIJされた多層プリント配線板に関する。
The present invention relates to a multilayer printed wiring board in which a base material having a relatively thick conductor layer on its surface is formed into multiple layers.

近年の大型コンビ1−夕はますます動作速度の速いもの
が要求されるようになってきており、これに対処するた
めに例えば演算回路等に使用される多層プリント配線板
の特にi4i11!it及びグランド層の銅箔は、例え
ば70μ一以上の厚さの容(至)の大きいものが必要と
される。このように銅箭の厚さが厚くなると、そこに設
けられるクリアランスホールには熱圧着時にボイドを生
じ易く、しかも大きな応力を生じてクラックを生じ易く
なる。そこで、このような比較的厚いstiを用いる多
層プリント配線板ではその製造時において、クリアラン
スホールにおいてボイドをなくし、又、クラックを防止
することが必要である。
In recent years, large combinations have been required to operate at increasingly high speeds, and in order to meet this demand, multilayer printed wiring boards, especially i4i11!, used for arithmetic circuits, etc. The copper foil for the IT and ground layers must have a large capacity, for example, a thickness of 70 μm or more. When the thickness of the copper bar becomes thick in this way, voids are likely to be formed in the clearance holes provided there during thermocompression bonding, and moreover, large stress is generated and cracks are likely to occur. Therefore, it is necessary to eliminate voids in the clearance holes and prevent cracks during manufacture of multilayer printed wiring boards using such relatively thick sti.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

多肩プリント配線板は、表面に銅箔の配線パターン(イ
IJI)や表面に略一向に銅箔(IIii源層、グラン
ド層)を形成された基材を複数、その間にプリブレグ(
接肴シート)を介して!aWJt,,てこれを然圧着し
、所定部分にスルーホールを形成したものである。ここ
で、電源層及びグランド層の銅箔は信号層の銅箔の2倍
以上の70μ一以上の厚さのものが用いられ、特にスル
ーホール部分においては銅箔にクリアランスホールを設
けてスルーホールの銅と電気的に導通をとらないように
する部分がある。
A multi-shouldered printed wiring board consists of a plurality of base materials each having a copper foil wiring pattern (IJI) on the surface and a copper foil (III source layer, ground layer) formed almost all over the surface, and a pre-reg (IJI) layer between them.
via appetizer sheet)! aWJt, which is naturally pressed together and through-holes are formed in predetermined portions. Here, the thickness of the copper foil for the power supply layer and the ground layer is 70 μm or more, which is more than twice that of the copper foil for the signal layer. Especially in the through-hole area, a clearance hole is provided in the copper foil to make the through-hole. There is a part that prevents electrical continuity with the copper.

従来の製造方法は、第5図(A)に示すようなクリアラ
ンスホール1を有する電m層又はグランド居の銅箔2を
表面に形成された基材3,及び信号層の銅箔パターンを
表面に形成ざれた基材(図示せず)を同図(B)に示す
ようにプリプレグ4を間に介して複数枚M4層して同図
(C)に示すようにこれらを熱圧着する,1熱圧着後、
クリアランスホール1に露出している基材3にクリアラ
ンスホール1より小さい径の孔6を穿設してここにスル
ーホール(銅)を形成する。
In the conventional manufacturing method, as shown in FIG. 5(A), a base material 3 is formed with a copper foil 2 for an electric layer or a ground layer having a clearance hole 1 on the surface, and a copper foil pattern for a signal layer is formed on the surface. As shown in the figure (B), the formed base material (not shown) is layered with a plurality of M4 sheets with prepregs 4 interposed therebetween, and these are thermocompression bonded as shown in the figure (C). After thermocompression bonding,
A hole 6 having a smaller diameter than the clearance hole 1 is bored in the base material 3 exposed in the clearance hole 1, and a through hole (copper) is formed here.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

基材3をプリプレグ4を介して熱圧着する時、特にII
aが厚い場合はプリプレグ4の樹脂がクリアランスホー
ルの隅にまで入り込まないことがあり、熱圧着装置を真
空にしてクリアランスホール1内の空気を逃がすように
しているが、実際にはこれでは不十分であり、クリアラ
ンスホール1内には溶融したプリプレグ4の′lMIl
中にボイド5が残る。特に、クリアランスホール1の径
とスルーホールの径とにあまり差がない楊合(叩ち、s
lmの部分が僅か〉はボイド5の部分でスパークを生じ
ることがあり、誤動作の原因となる問題点があった。
When thermocompression bonding the base material 3 through the prepreg 4, especially II
If a is thick, the resin of prepreg 4 may not reach the corners of the clearance hole, so the thermocompression bonding device is evacuated to release the air in clearance hole 1, but in reality this is insufficient. In the clearance hole 1, the melted prepreg 4 is
Void 5 remains inside. In particular, there is no difference between the diameter of clearance hole 1 and the diameter of the through hole.
If the portion 1m is small, sparks may occur at the void 5, causing a problem that may cause malfunction.

又、銅箔2の厚さが70μ日以上と比較的厚いため、熱
圧着時にブリプレグ4がクリアランスホール1に入り込
む際に撓みが大きくなり、クリアランス部1を形成する
銅箔稜部1aに応力が集中してこの部分の樹脂にクラツ
クを生じ、短寿命となる問題点があった。
In addition, since the thickness of the copper foil 2 is relatively thick at 70 μdays or more, the bending becomes large when the buripreg 4 enters the clearance hole 1 during thermocompression bonding, and stress is applied to the copper foil ridge 1a forming the clearance part 1. There was a problem in that the resin in this area was concentrated and cracked, resulting in a short service life.

本発明は、熱圧着時に、導体箭に設けられているクリア
ランスホールにおいてボイドをなくし、しかもクラック
を防止できる多層プリント配線板の製造方法を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer printed wiring board that can eliminate voids in clearance holes provided in a conductor cage and prevent cracks during thermocompression bonding.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記問題点は、導体箔としてクリアランスホールと連通
ずる空気流通溝を設けられたものを用いるか、基材とし
てクリアランスホールと連通ずる空気流通孔を設けられ
たものを用いるか、クリアランスホールに対応した位慟
に突部を有する金型を用いて圧肴するか、導体箔として
径の異なる円形部からなるクリアランスホールを設けら
れたものを用いることを特徴とする多層プリント配線板
の製造方法によって解決される.. (作用) 導体箔が厚いと、熱圧着時、溶融した接着シートの樹脂
がクリアランスホールの隅にまで入り込みにくく、樹脂
中にボイドを生じ易い。然るに、導体箔にクリアランス
ホールと連通した空気流通溝を設けたり、基材にクリア
ランスホールと連通した空気流通孔を設けたものを用い
れば、熱圧着時、クリアランスホール内の空気は上記満
や孔を通って外部に逃がされるので、樹脂中にボイドが
残るようなことはない。
The above problem can be solved by using a conductor foil with air circulation grooves that communicate with the clearance hole, or by using a base material with air circulation holes that communicate with the clearance hole, or by using a conductor foil that has air circulation holes that communicate with the clearance hole. Solved by a method for producing a multilayer printed wiring board characterized by pressing using a mold with a protrusion in the groove or using a conductor foil with a clearance hole consisting of circular parts of different diameters. It will be done. .. (Function) If the conductor foil is thick, it is difficult for the melted resin of the adhesive sheet to penetrate into the corners of the clearance hole during thermocompression bonding, and voids are likely to occur in the resin. However, if the conductor foil is provided with an air circulation groove that communicates with the clearance hole, or the base material is provided with an air circulation hole that communicates with the clearance hole, then during thermo-compression bonding, the air in the clearance hole will not be filled up or Since the resin is released through the resin to the outside, no voids remain in the resin.

又、クリアランスホールに対応した位置に突部を有する
金型を用いて熱圧着すれば、クリアランスホールの基材
が圧着方向に少し撓んで樹脂がクリアランスホールの隅
にまで入り込み、樹脂中のボイドが押出される。しかも
熱圧着時、基材が少し撓むのでクリアランスホールに入
る樹脂量は少なくなり、クラックを生じる割合が少なく
なる。
In addition, if thermocompression bonding is performed using a mold with a protrusion at a position corresponding to the clearance hole, the base material of the clearance hole will bend slightly in the compression direction, allowing the resin to penetrate into the corners of the clearance hole, thereby eliminating voids in the resin. Extruded. Moreover, since the base material is slightly bent during thermocompression bonding, the amount of resin that enters the clearance hole is reduced, and the rate of cracks is reduced.

更に、導体箔に径の異なる円形部を重ねたものからなる
クリアランスホールを設けたものを用いれば、導体箔の
厚さが厚厚くても、熱圧着時に接着シートがクリアラン
スホールに入り込む際の撓みが小さくなり、クリアラン
スホールの2つの円形部の夫々の稜部に応力が分散され
ることになり、この部分にクラツクを生じることはない
。しかも熱1′}着時、導体箔が厚くても樹脂がクリア
ランスホールの深い部分まで十分に入り込むことができ
、ボイドの発生を少なくできる。
Furthermore, if you use a conductor foil with a clearance hole made of stacked circular parts with different diameters, even if the conductor foil is thick, the adhesive sheet will not bend when it enters the clearance hole during thermocompression bonding. becomes smaller, and the stress is distributed to the ridges of the two circular parts of the clearance hole, so that no cracks occur in these parts. Furthermore, upon heating (1'), even if the conductor foil is thick, the resin can sufficiently penetrate deep into the clearance hole, reducing the occurrence of voids.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の第1実施例を説明する図を示す。同図
(A>中、10は銅箔(導体箔)で、基材11の上に形
成されており、その表面にはクリアランスホール12に
運通して空気流通溝13が形成されており、溝13は銅
箔10の端部まで延在されている。このような溝13が
形成された銅箔10を表面に形成された基材11,及び
別の基材(図示せず)を同図(B)に示すようにプリブ
レグ(接着シート)14を間に介して複数枚!i141
mして同図(C)に示すようにこれらを熱圧@する。
FIG. 1 shows a diagram illustrating a first embodiment of the present invention. In the same figure (A>, 10 is a copper foil (conductor foil), which is formed on a base material 11, and air circulation grooves 13 are formed on the surface of the copper foil, which communicates with the clearance holes 12. 13 extends to the end of the copper foil 10. A base material 11 on which the copper foil 10 with such grooves 13 is formed, and another base material (not shown) are shown in the same figure. As shown in (B), multiple pre-regs (adhesive sheets) 14 are interposed between them!i141
m and heat-press them as shown in the same figure (C).

熱圧着後、クリアランスホール12に露出している基材
11にクリアランスホール12より小さ0径の孔15を
穿設してここにスルーホールを形成する. 銅II10に満13及びクリアランスホール12を形成
するに際し、表面に銅箔を形成ざれた基材にW413に
対するマスクを形成し、基材を高速度で移動させて低圧
力で噴射するエッチング液によって浅い部分に溝13を
形成する。続いてこの基材にクリアランスホール12に
対するマスクを形成し、基材を低速度で移動させて高圧
力で噴射するエッチング液によって基材11が露出する
ようにクリアランスホール12を形成する。
After thermocompression bonding, a hole 15 smaller than the clearance hole 12 and having a diameter of 0 is bored in the base material 11 exposed in the clearance hole 12 to form a through hole. When forming the fill hole 13 and the clearance hole 12 in copper II 10, a mask for W413 is formed on the base material on which the copper foil has not been formed, and the base material is moved at high speed and etched with an etching solution sprayed at low pressure. A groove 13 is formed in the portion. Subsequently, a mask for the clearance hole 12 is formed in this base material, and the clearance hole 12 is formed so that the base material 11 is exposed by an etching solution that is sprayed at high pressure while moving the base material at a low speed.

このように、銅箔10の表面に溝13を形成したため、
基材11を熱圧肴する時にクリアランスホール12内の
空気が溝13を通って外部に逃がされる(このとき、従
来例と同様に熱圧着装置は真空にしてある)。これによ
り、クリアランスホール12内には溶融したブリプレグ
14の1jAti中にボイドが残るようなことはなく、
従って、スパークを生じるようなことはない。
In this way, since the grooves 13 were formed on the surface of the copper foil 10,
When the base material 11 is heat-pressed, the air in the clearance hole 12 is released to the outside through the groove 13 (at this time, the heat-press bonding apparatus is kept in a vacuum as in the conventional example). As a result, no voids remain in the 1jAti of the melted Bripreg 14 in the clearance hole 12,
Therefore, no sparks are generated.

なお、上記溝13は銅箔10の端部まで延在しないで、
クリアランスホール12から数履程度の長さでも同様の
効果を生ずる。
Note that the groove 13 does not extend to the end of the copper foil 10;
A similar effect can be produced even if the length is about several shoes from the clearance hole 12.

第2図は本発明の第2実施例を説明する図を示す。同図
(A)中、20は基材で、その表面に設けられた銅箔(
導体箔)21のクリアランスホール22によって露出し
た面に空気流通孔23が形成されている。同図(8)に
丞す如く、このような基材20及び別の銅箔24を形成
された基材25を間にプリプレグ(接着シート〉26を
介して複数枚積居して熱圧着する。
FIG. 2 shows a diagram illustrating a second embodiment of the present invention. In the same figure (A), 20 is a base material, and the copper foil (
Air circulation holes 23 are formed in the surface exposed by the clearance holes 22 of the conductive foil 21. As shown in FIG. 8 (8), a plurality of such base materials 20 and a base material 25 on which another copper foil 24 is formed are stacked together with a prepreg (adhesive sheet) 26 interposed therebetween and bonded by thermocompression. .

このように、基材20にクリアランスホール22に連通
する孔23を形成したため、基材20を熱圧着する時に
クリアランスホール22内の空気が孔23を通って外部
に逃がされ、これにより、第1実施例と同様にクリアラ
ンスホール22内にボイドが残ることはない。なお、基
材20の両面に銅箔を形成するタイプのものでは、基材
20に孔23を形成する時に銅簡にも孔を形成するよう
にすればよい。
As described above, since the holes 23 communicating with the clearance holes 22 are formed in the base material 20, when the base material 20 is bonded by thermocompression, the air in the clearance holes 22 escapes to the outside through the holes 23. Similar to the first embodiment, no voids remain within the clearance hole 22. In addition, in the case of a type in which copper foil is formed on both sides of the base material 20, when the holes 23 are formed in the base material 20, the holes may also be formed in the copper strip.

第3図は本発明の第3実施例を説明する図を示す。同図
(A)に示す如く、クリアランスホール30を設けられ
た電a層又はグランド層の銅酒(導体箔)(例えば17
5μ信の厚さ)31を表面に、信弓層の銅箔32を裏面
に夫々形成された基材33を2つブリプレグ(接着シー
ト)34を介して熱圧着し、これを例えば一つの中間基
材として使用し、これを複数、間にプリプレグを介して
更に積層する。熱圧着に際してクリアランスホール30
に対応した位置に突部35aを有する金型35を用い、
突部35aをクリアランスホール30に対向させる。
FIG. 3 shows a diagram illustrating a third embodiment of the present invention. As shown in the same figure (A), a conductor foil (for example, 17
Two base materials 33 each having a thickness of 5μ thick) 31 on the front side and a copper foil 32 of the copper foil layer on the back side are bonded together by thermocompression via a Bripreg (adhesive sheet) 34, and these are bonded together, for example, with one intermediate layer. Used as a base material, a plurality of these are further laminated with prepreg interposed between them. Clearance hole 30 for thermocompression bonding
Using a mold 35 having a protrusion 35a at a position corresponding to
The protrusion 35a is opposed to the clearance hole 30.

同図<8>に示す如く、熱圧着時における突部35aに
よる押動により、クリアランスホール30に露出してい
る部分の基材33は中心方向(圧着方向)に少し撓み、
これにより、ブリプレグ34の樹脂はクリアランスホー
ル30の隅にまで入り込み、樹脂中のボイドは容易に外
部に押出される。又、クリアランスホール30内で基材
33が少し撓むので、従来例に比してクリアランスホー
ル30内に入る樹脂量は少なくなり、これにより、クラ
ックを生じる割合が少なくなる(樹脂吊が多い程、クラ
ックを生じる割合は多くなる)。熱圧着後、クリアラン
スホール30より小さい径の孔36を穿設してここにス
ルーホールを形成する。
As shown in <8> of the same figure, the portion of the base material 33 exposed in the clearance hole 30 is slightly bent toward the center (in the crimp direction) due to the pushing by the protrusion 35a during thermocompression bonding.
As a result, the resin of the buripreg 34 penetrates into the corners of the clearance hole 30, and voids in the resin are easily pushed out. In addition, since the base material 33 is slightly bent within the clearance hole 30, the amount of resin that enters the clearance hole 30 is reduced compared to the conventional example, and this reduces the rate of cracks (the more the resin hangs, the more , the proportion of cracks will increase). After thermocompression bonding, a hole 36 having a smaller diameter than the clearance hole 30 is bored to form a through hole.

第4図は本発明の第4実施例を説明する図を示す。同図
(A)に示す如く、基材40の表面に銅箔{導体箔}4
1を形成し、更にその表面に本来のクリアランスホール
より大きい径のエッチングレジスト42を形成して銅箔
41の表面を浅くエッチングして円形部44を形成する
。次に、同図(B)に示す如く、銅箔41の表面に本来
のクリアランスホールと同じ径のエッチングレジスト4
3を形成して銅箔41を基材40が露出するようにエッ
チングして円形部45を形成する。次に、エッチングレ
ジスト43を除ムすると、同図(C)に示す如く、円形
部45及びこの上部にこれと中心を略同じにしてこれよ
りも径の大きい円形部44からなるクリアランスホール
46を設けられた銅箔41が完成する。続いて、同図(
C)に示すものを間にプリプレグ(接肴シート〉を介し
て複数枚mm+,,て熱圧着し、圧着後、円形部45よ
り小さい径の孔47を穿設してここにスルーホールを形
成する。
FIG. 4 shows a diagram illustrating a fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG.
Further, an etching resist 42 having a diameter larger than the original clearance hole is formed on the surface of the copper foil 41, and the surface of the copper foil 41 is shallowly etched to form a circular portion 44. Next, as shown in FIG. 4B, an etching resist 4 with the same diameter as the original clearance hole is formed on the surface of the copper foil 41.
3 is formed and the copper foil 41 is etched so that the base material 40 is exposed to form a circular portion 45. Next, when the etching resist 43 is removed, a clearance hole 46 consisting of a circular portion 45 and a circular portion 44 having a larger diameter than the circular portion 45 with approximately the same center as the circular portion 45 is formed above the circular portion 45, as shown in FIG. The provided copper foil 41 is completed. Next, the same figure (
The material shown in C) is thermo-compressed with a plurality of sheets of prepreg (separate sheet) of mm+,., in between, and after the crimping, a hole 47 with a diameter smaller than the circular part 45 is bored to form a through-hole here. do.

同図(C)に示すようにtj4箔41に形成されたクリ
アランスホール46は円形部44.45にて傾斜部44
aを形成されるため、銅箔41の厚さが厚くても、熱圧
着時にプリブレグ(図示せず)がクリアランスホール4
6に入り込む際の撓みが従来例よりは小さく、従って、
従来例のようにクリアランスホールの銅箔稜部1個所に
応力が集中することはなく、傾斜部44aに応力が分散
されることになる。これにより、この部分の樹脂にクラ
ックを生じることはなく、長寿命化できる。又、クリア
ランスホール46が傾斜状になっているので、従来例に
比して熱圧着時にプリプレグの樹脂がクリアランスホー
ル46の深い部分(円形部45の隅)にまで十分に入り
込むことができ、ボイドの発生を少なくできる1, なお、上記実施例では、基村上に銅箔を看する銅張り板
を用いたが、第2実施例を除く第1,第3,第4実施例
では基材のない銅箔のみを用いることもできる。
As shown in FIG. 4(C), the clearance hole 46 formed in the TJ4 foil 41 has a circular portion 44.45 and an inclined portion 44.
a is formed, even if the copper foil 41 is thick, the pre-reg (not shown) will close the clearance hole 4 during thermocompression bonding.
The deflection when entering 6 is smaller than the conventional example, therefore,
Stress is not concentrated on one copper foil ridge of the clearance hole as in the conventional example, but is dispersed on the inclined portion 44a. This prevents cracks from occurring in the resin in this area, making it possible to extend the service life. In addition, since the clearance hole 46 is inclined, the resin of the prepreg can sufficiently penetrate into the deep part of the clearance hole 46 (the corner of the circular part 45) during thermocompression bonding compared to the conventional example, thereby eliminating voids. 1. In the above embodiments, a copper clad plate was used to display the copper foil on the base plate, but in the first, third and fourth embodiments, excluding the second embodiment, the base material was It is also possible to use only copper foil.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明した如く、本発明によれば、導体箔又番よ基材
にクリアランスホールに連通して空気流通溝又 は空気流通孔を設けたものを用いるため、熱圧着時にお
いてクリアランスホール内の空気を外部に逃がすことが
でき、クリアランスホールの樹脂中にボイドが残ること
はない。又、クリアランスホールに対応した位置に突部
を有する金型を用いて熱圧着するため、突部によってク
リアランスホールの樹脂中のボイドを押出すことができ
、しかも、クリアランスホール内の樹ti@が少なくな
るのでクラックを防止できる。更に、導体箔に径の異な
る円形部を重ねたものからなるクリアランスホールを設
けたものを用いるため、導体箔がなくても熱圧着時にお
いて接着シートがクリアランスホールに入り込む際の撓
みが小さくなってその稜部に応力が分散されることにな
り、この部分にクラツクを生じるのを防止でき、しかも
導体箔が厚くても樹脂がクリアランスホールの深い部分
まで入り込むことができるのでボイドの発生を少なくで
きる。
As explained above, according to the present invention, since air circulation grooves or air circulation holes are provided in the conductor foil or the base material in communication with the clearance holes, the air in the clearance holes is removed during thermocompression bonding. It can escape to the outside and no voids remain in the resin in the clearance hole. In addition, since thermocompression bonding is carried out using a mold that has a protrusion at a position corresponding to the clearance hole, the protrusion can push out voids in the resin in the clearance hole, and the wood inside the clearance hole can be Since the amount is reduced, cracks can be prevented. Furthermore, since we use a conductor foil with a clearance hole made of stacked circular parts with different diameters, the bending of the adhesive sheet when it enters the clearance hole during thermocompression bonding is reduced even without the conductor foil. Stress is dispersed to the ridge, preventing cracks from occurring in this area, and even if the conductor foil is thick, the resin can penetrate deep into the clearance hole, reducing the occurrence of voids. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図乃至第4図は夫々本発明の第1乃〒第4実施例を
説明する図、 第5図は従来例を説明する図である。 図において、 10,21.24.31,32.41は銅箔(導体箔〉
、 11,20.25,33.40は基材、12.22.3
0.46はクリアランスホール、13は空気流通溝、 14.26.34はプリブレグ《接着シート〉、23は
空気流通孔、 35は金型、 35aは突部、 42, 43はエッチングレジスト、 44, 45は円形部 を示す。
1 to 4 are diagrams for explaining the first to fourth embodiments of the present invention, respectively, and FIG. 5 is a diagram for explaining a conventional example. In the figure, 10, 21, 24, 31, 32, 41 are copper foils (conductor foils)
, 11, 20.25, 33.40 is the base material, 12.22.3
0.46 is a clearance hole, 13 is an air circulation groove, 14.26.34 is a pre-reg (adhesive sheet), 23 is an air circulation hole, 35 is a mold, 35a is a protrusion, 42, 43 is an etching resist, 44, 45 indicates a circular portion.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)クリアランスホール(12)を有する導体箔(1
0)を接着シート(14)を介して熱圧着して多層構造
とした後、該クリアランスホールにスルーホールを形成
する多層プリント配線板の製造方法において、 上記導体箔(10)として、上記クリアランスホール(
12)と連通する空気流通溝(13)が設けられたもの
を用いることを特徴とする多層プリント配線板の製造方
法。
(1) Conductor foil (1) with clearance hole (12)
0) through an adhesive sheet (14) to form a multilayer structure, and then a through hole is formed in the clearance hole. (
12) A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, characterized in that a multilayer printed wiring board is provided with an air circulation groove (13) communicating with the board.
(2)クリアランスホール(22)を有する導体箔(2
1)が基材(20)表面に形成された基板を接着シート
(26)を介して熱圧着して多層構造とした後、該クリ
アランスホールにスルーホールを形成する多層プリント
配線板の製造方法において、 上記基材(20)として、上記クリアランスホール(2
2)と連通して上記基材(20)外部にまで通じる空気
流通孔(23)が設けられたものを用いることを特徴と
する多層プリント配線板の製造方法。
(2) Conductor foil (2) with clearance hole (22)
1) is a method for manufacturing a multilayer printed wiring board, in which a substrate formed on the surface of a base material (20) is bonded by thermocompression via an adhesive sheet (26) to form a multilayer structure, and then through holes are formed in the clearance holes. , As the base material (20), the clearance hole (2
2) A method for producing a multilayer printed wiring board, characterized in that a board is provided with air circulation holes (23) communicating with the base material (20) and extending to the outside of the base material (20).
(3)クリアランスホール(30)を有する導体箔(3
1)を接着シート(34)を介して熱圧着して多層構造
とした後、該クリアランスホールにスルーホールを形成
する多層プリント配線板の製造方法において、 上記クリアランスホール(30)に対応した位置に突部
(35a)を有する金型(35)を用い、該突部(35
a)を上記クリアランスホール(30)に対向させて熱
圧着することを特徴とする多層プリント配線板の製造方
法。
(3) Conductor foil (3) with clearance hole (30)
1) to form a multilayer structure by thermocompression bonding via an adhesive sheet (34), and then forming a through hole in the clearance hole. Using a mold (35) having a protrusion (35a), the protrusion (35a) is
A method for producing a multilayer printed wiring board, characterized in that a) is thermocompression bonded with the material facing the clearance hole (30).
(4)クリアランスホール(46)を有する導体箔(4
1)を接着シートを介して熱圧着して多層構造とした後
、該クリアランスホールにスルーホールを形成する多層
プリント配線板の製造方法において、 上記導体箔(41)の上記クリアランスホール(46)
を形成するエッジ部の断面が傾斜したものを用いること
を特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
(4) Conductor foil (4) with clearance hole (46)
1) to form a multilayer structure by thermocompression bonding via an adhesive sheet, and then forming through holes in the clearance holes, the clearance hole (46) of the conductor foil (41)
1. A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, characterized in that the cross section of the edge portion forming the board is sloped.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008004825A (en) * 2006-06-23 2008-01-10 Hitachi Ltd Printed wiring board and manufacturing method thereof

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