JPH0359386A - 表面乾燥装置 - Google Patents

表面乾燥装置

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Publication number
JPH0359386A
JPH0359386A JP19262189A JP19262189A JPH0359386A JP H0359386 A JPH0359386 A JP H0359386A JP 19262189 A JP19262189 A JP 19262189A JP 19262189 A JP19262189 A JP 19262189A JP H0359386 A JPH0359386 A JP H0359386A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
laser beam
projecting
objective matter
laser beams
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19262189A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Matsumura
正夫 松村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP19262189A priority Critical patent/JPH0359386A/ja
Publication of JPH0359386A publication Critical patent/JPH0359386A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Drying Of Solid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、洗浄液、塗料等の各種液体が表面に付着して
濡れた状態となった対象物を乾燥して、その表面に付着
した液体を除去する表面乾燥装置に関する。
[従来の技術] 洗浄液による洗浄作業、液体塗料による塗布作業、その
他において、対象物の表面に各種液体が付着して濡れた
状態となる場合が種々存在する。
ここで、対tvAの表嘱に各風板体を信看ち姪寸;tま
でいると、該液体が不純物として悪影響を及ぼしてしま
う場合がある。
そのため、従来、対象物が濡れた状態になった後に、対
象物の表面を乾燥するため、該対象物は乾燥炉の様な設
備に搬入されていた。そして、該設備内部で熱風等が対
象物の表面に当てられて、表面が乾燥し付着した液体が
除去されるのである。
[発明が解決しようとする課題] しかし、上記したような従来の熱風等を利用した乾燥装
置では、清浄な雰囲気を維持しつつ、短時間で能率的に
対象物表面を乾燥することができなかった。すなわち、
除去の対象となる液体が、熱伝達、熱伝導、幅射熱によ
り比較的穏やかに気化、蒸発してゆくので、該液体中の
不純物が濃縮されたり、熱風そのものが汚染物質を運搬
あるいは拡散してしまうという問題点が存在したのであ
る。
本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて創作された
もので、清浄な雰囲気を維持しつつ短時間で能率的に対
象物表面を乾燥して、そこに付着した液体を除去するこ
とができる表面乾燥装置の提供を目的としている。
[課題を解決するための手段] 本発明の表面乾燥装置は、対象物の表面に付着した液体
を除去するための表面乾燥装置において、対象物の表面
にレーザ光を照射する手段を設け、該レーザ光は対象物
の表面に付着した液体に選択的に吸収される波長となっ
ている。
本発明を実施するに際して、対象物は固定されていても
良く、或いは回転可能に支持されてレーザ光照射に伴っ
て回転されるように構成しても良い。
また、対象物の表面に付着した液体に選択的に吸収され
るレーザ光としては、例えば、該液体が水の場合はCO
又はCO2レーザが用いられる。
但し、より選択性の良い各種レーザを用いることも可能
である。
[作用] 上記のような構成を有する本発明の表面乾燥装置によれ
ば、対象物表面のレーザ光照射範囲上に付着した液体は
、レーザ光の照射によって瞬時に気化、蒸発する。その
ため、熱風等を用いた場合の様に、液体中の不純物が徐
々に濃縮されたり、汚染物質が運搬あるいは拡散されて
しまうことは無い。
ここで、前記レーザ光は、対象物の表面に付着した液体
に選択的に吸収される波長となっているので、レーザ光
の照射により対象物の表面が傷んでしまうことはない。
[実施例] 以下、添付図面を参照して、本発明の1実施例について
説明する。
第1図において、全体を符号10で示す表面乾燥装置は
、レーザ光発生装置12と、対象物Wの上側表面に付着
した液体りにレーザ光Bを照射するレーザ光照射装置1
4とを含んでいる。ここで、レーザ光線Bは、液体りに
選択的に吸収されるような波長を有するものが選定され
る。換言すると、レーザ光線Bは液体りの種類によって
決定されるのである。
なお、第1図では明確に示されていないが、レーザ光照
射装置14にはレーザ光Bの照射位置を矢印Aで示すよ
うに移動する機構が設けられている。また、対象物Wは
、図示しない回転テーブルに載置されている。
対象物Wの表面に付着した液体りを除去するに際して、
レーザ光発生装置12により発生したレーザ光Bはレー
ザ光照射装置14から液体りに照射され、照射範囲上の
該液体を瞬時に蒸発せしめる。そして、図示しない回転
テーブルの作動と相俟って、レーザ光Bの照射位置は対
象物Wの表面全域に亘って移動(走査)される。これに
より、対象物Wの乾燥が完了するのである。
第2図および第3図は、レーザ光照射装置14の実施例
をそれぞれ示している。
第2図において、レーザ光発生装置12には光ファイバ
18が接続されており、該発生装置12で発生したレー
ザ光は光フアイバ18内を通過して、その先端部19か
らレーザ光Bとして照射される。この先端部19は移動
ヘッド20に支持、固定されており、該移動ヘッド20
は案内部材22上を矢印Aで示すように摺動移動する。
なお、移動ヘッド20を案内部材22上で摺動移動する
ための手段として各種アクチュエータ等を利用すること
が出来るが、図示は省略しである。
第3図で示す実施例では、前記案内部材22がガイド2
4上をさらに摺動移動するようになっている。ここで、
案内部材22の摺動部には、ガイドローラ方式を採用す
ることもできるし、また磁気浮上方式を採用することも
できる。この場合、ゴミ発生防止という観点からは磁気
浮上方式が好ましいが、設備の簡略化の点からはガイド
ローラ方式が好ましい。すなわち、状況に応じて両方式
が採用可能である。
なお、レーザ光発生装置12で発生したレーザ光を通過
せしめるレーザ光誘導部材としては、ファイバ以外のも
のを用いることも可能であるが、軽量化という観点から
は、ファイバが最も好ましい。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明による表面乾燥装置によれ
ば、対象物の表面に付着した液体にレーザ光を照射する
ことで、照射範囲上の液体を瞬時に気化、蒸発すること
ができる。しかも、対象物の表面を傷める事がない。
そのため、乾燥作業の高能率化、雰囲気の清浄化が同時
に達成されるのである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の1実施例を簡略化して示す正面図、第
2図は本発明で用いられるレーザ光発生装置のl実施例
を示す斜視図、第3図は本発明で用いられるレーザ光発
生装置のその他の実施例を示す斜視図である。 IO・・・表面乾燥装置  12・・・レーザ光発生装
置  14・・・レーザ光照射装置  B・・・レーザ
光L・・・液体  W・・・対象物 第 図 2

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 対象物の表面に付着した液体を除去するための表面乾燥
    装置において、対象物の表面にレーザ光を照射する手段
    を設け、該レーザ光は対象物の表面に付着した液体に選
    択的に吸収される波長である事を特徴とする表面乾燥装
    置。
JP19262189A 1989-07-27 1989-07-27 表面乾燥装置 Pending JPH0359386A (ja)

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JP19262189A JPH0359386A (ja) 1989-07-27 1989-07-27 表面乾燥装置

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JP19262189A JPH0359386A (ja) 1989-07-27 1989-07-27 表面乾燥装置

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JPH0359386A true JPH0359386A (ja) 1991-03-14

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JP19262189A Pending JPH0359386A (ja) 1989-07-27 1989-07-27 表面乾燥装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116493345A (zh) * 2023-05-26 2023-07-28 江苏大学 一种有机溶剂激光清洗系统及其控制方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59133058A (ja) * 1983-01-21 1984-07-31 Nippon Insatsu Seihon Shiko Kikai Kougiyoukai 印刷物のインキ乾燥装置
JPH01105952A (ja) * 1987-10-19 1989-04-24 Nissha Printing Co Ltd 遮光板の製造方法

Patent Citations (2)

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