JPH0359590B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0359590B2 JPH0359590B2 JP57181957A JP18195782A JPH0359590B2 JP H0359590 B2 JPH0359590 B2 JP H0359590B2 JP 57181957 A JP57181957 A JP 57181957A JP 18195782 A JP18195782 A JP 18195782A JP H0359590 B2 JPH0359590 B2 JP H0359590B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- housing
- magnetic
- magnetoresistive element
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁界の変化に応じて抵抗値が変化する
磁気抵抗素子を用いた磁気検出器の製造方法関す
るものである。
磁気抵抗素子を用いた磁気検出器の製造方法関す
るものである。
InSb、InSb−NiSb、InAs等のキヤリヤ移動度
の高い半導体又はNi−Co、Ni−Fe、Ni−Fe−
Co等の強磁性体はこれに作用する磁界の状態に
応じて抵抗値が変化するという性質を有してお
り、この性質を利用して磁気の存在、磁性体の存
在、移動を検出する磁気検出器が実用化されてい
る。
の高い半導体又はNi−Co、Ni−Fe、Ni−Fe−
Co等の強磁性体はこれに作用する磁界の状態に
応じて抵抗値が変化するという性質を有してお
り、この性質を利用して磁気の存在、磁性体の存
在、移動を検出する磁気検出器が実用化されてい
る。
第１図は従来の磁気検出器を示す正面断面図で
あり、図中２１は筐体を示している。筐体２１は
プラスチツクを素材として一体成形されており、
上面に形成した開口部２１ａはベリリウム一銅製
の薄膜よりなる保護板２２にて閉鎖されている。
保護板２２は筐体２１に一体にモールドされてお
り、その外面には耐摩耗性向上のために必要に応
じてクロムメツキが施される。
あり、図中２１は筐体を示している。筐体２１は
プラスチツクを素材として一体成形されており、
上面に形成した開口部２１ａはベリリウム一銅製
の薄膜よりなる保護板２２にて閉鎖されている。
保護板２２は筐体２１に一体にモールドされてお
り、その外面には耐摩耗性向上のために必要に応
じてクロムメツキが施される。
筐体２１内にはこの保護板２２と適当な間〓を
隔ててセンサユニツト２３が配設されている。セ
ンキユニツト２３はフエライト製の磁性体基板２
４上に接着用樹脂２５を用いて磁気抵抗素子２
６，２７を並設したものであり、この磁性体基板
２４はプラスチツク製のマウント基板２８に穿設
した穴に嵌合され、マウント基板２８下面のリン
青銅製の底板２８′を介して、その下面をバイア
ス用の永久磁石２９に対向させてある。マウント
基板２８上にはセンサユニツト２３を囲繞する環
状スペーサ３０が設けられており、保護板２２の
周縁に該スペーサ３０の上面を接触させて保護板
２２と磁気抵抗素子２６，２７との間隔が所定値
になるようにしてある。各磁気抵抗素子２６，２
７から引き出されたリードはマウント基板２８上
のプリント配線を経、筐体２１の内壁面に設けた
ターミナル３１に一旦あずけた後、底板を通して
外部に導出されているリード線３２に接続されて
いる。
隔ててセンサユニツト２３が配設されている。セ
ンキユニツト２３はフエライト製の磁性体基板２
４上に接着用樹脂２５を用いて磁気抵抗素子２
６，２７を並設したものであり、この磁性体基板
２４はプラスチツク製のマウント基板２８に穿設
した穴に嵌合され、マウント基板２８下面のリン
青銅製の底板２８′を介して、その下面をバイア
ス用の永久磁石２９に対向させてある。マウント
基板２８上にはセンサユニツト２３を囲繞する環
状スペーサ３０が設けられており、保護板２２の
周縁に該スペーサ３０の上面を接触させて保護板
２２と磁気抵抗素子２６，２７との間隔が所定値
になるようにしてある。各磁気抵抗素子２６，２
７から引き出されたリードはマウント基板２８上
のプリント配線を経、筐体２１の内壁面に設けた
ターミナル３１に一旦あずけた後、底板を通して
外部に導出されているリード線３２に接続されて
いる。
なお筐体２１内の空間部にはエポキシ樹脂（図
示せず）等が充填せしめられる。
示せず）等が充填せしめられる。
ところでこのような従来の磁気検出器の筐体は
プラスチツク製としてあるが、これは成形性に優
れ、このために磁気検出器自体の組立及び磁気検
出器の装置への取付け等の作業性、便宜性の向上
のための形状面での工夫を講じ易く、コスト面で
も安価であること等による。
プラスチツク製としてあるが、これは成形性に優
れ、このために磁気検出器自体の組立及び磁気検
出器の装置への取付け等の作業性、便宜性の向上
のための形状面での工夫を講じ易く、コスト面で
も安価であること等による。
通常磁気検出器は保護板２２が被検物移動域に
臨み又はこれと摺接するように使用されるのであ
るが、検出感度を高めるべくリード線３２に高増
幅度の増幅器を接続する場合は、磁気抵抗素子２
６，２７、或は筐体内導体部分が受ける静電誘導
の影響により誤検出を招来するという問題点があ
る。また保護板２２表面を摺接させて磁気インク
を用いている紙幣の識別に使用する場合には保護
板２２周縁のプラスチツクと紙幣の紙との摩擦に
より静電気が発生して筐体が帯電し、これが素子
２６，２７又はこれに連なる電気回路に放電して
素子又は前述した如き増幅器等を破壊するという
問題点がある。また摩擦以外の理由によつても放
電が生じることがあるが、この場合の電撃に対し
ても素子等は無防備であり破壊の危険に曝されて
いる。
臨み又はこれと摺接するように使用されるのであ
るが、検出感度を高めるべくリード線３２に高増
幅度の増幅器を接続する場合は、磁気抵抗素子２
６，２７、或は筐体内導体部分が受ける静電誘導
の影響により誤検出を招来するという問題点があ
る。また保護板２２表面を摺接させて磁気インク
を用いている紙幣の識別に使用する場合には保護
板２２周縁のプラスチツクと紙幣の紙との摩擦に
より静電気が発生して筐体が帯電し、これが素子
２６，２７又はこれに連なる電気回路に放電して
素子又は前述した如き増幅器等を破壊するという
問題点がある。また摩擦以外の理由によつても放
電が生じることがあるが、この場合の電撃に対し
ても素子等は無防備であり破壊の危険に曝されて
いる。
このため本発明者等は上述した如き静電誘導、
静電気放電の防止を図り、また筐体全体の強度を
図るために金属製筐体を用いることを着想するに
至つたが、筐体を金属製とする場合には次のよう
な問題がある。即ち、検出精度を向上させるため
には、センサユニツト２３を構成する磁気抵抗素
子２６，２７と被検物との離隔寸法はこれを小さ
くするのが望ましいが、そのためには磁気抵抗素
子２６，２７と対向する部分の筐体の肉厚はこれ
を可及的に薄く形成する必要があり、一方筐体の
他の部分は実用的強度を維持するために、所定の
厚さに形成する必要があるが、このような局部的
に肉厚の異なる筐体を金属にて絞り加工するのは
極めて難しい。
静電気放電の防止を図り、また筐体全体の強度を
図るために金属製筐体を用いることを着想するに
至つたが、筐体を金属製とする場合には次のよう
な問題がある。即ち、検出精度を向上させるため
には、センサユニツト２３を構成する磁気抵抗素
子２６，２７と被検物との離隔寸法はこれを小さ
くするのが望ましいが、そのためには磁気抵抗素
子２６，２７と対向する部分の筐体の肉厚はこれ
を可及的に薄く形成する必要があり、一方筐体の
他の部分は実用的強度を維持するために、所定の
厚さに形成する必要があるが、このような局部的
に肉厚の異なる筐体を金属にて絞り加工するのは
極めて難しい。
本発明はかかる事情に鑑みなされたものであつ
て、その目的とするところは磁気抵抗素子を収納
すべき金属製筐体における磁気抵抗素子を対向位
置させるべき平坦な壁部を外方に膨出せしめて筐
素体を得、その膨出壁部の外面を平坦に研摩し、
この部分を他の部分よりも薄肉化することによ
り、厚肉部分と薄肉部分とを有する筐体を容易に
製造することが出来て筐体全体の機械的強度が大
きく、外部からの湿気等の侵入も防止出来、また
薄肉部分はより薄く成形出来て感度の向上も図れ
るようにした磁気検出器の製造方法を提供するに
ある。
て、その目的とするところは磁気抵抗素子を収納
すべき金属製筐体における磁気抵抗素子を対向位
置させるべき平坦な壁部を外方に膨出せしめて筐
素体を得、その膨出壁部の外面を平坦に研摩し、
この部分を他の部分よりも薄肉化することによ
り、厚肉部分と薄肉部分とを有する筐体を容易に
製造することが出来て筐体全体の機械的強度が大
きく、外部からの湿気等の侵入も防止出来、また
薄肉部分はより薄く成形出来て感度の向上も図れ
るようにした磁気検出器の製造方法を提供するに
ある。
以下本発明方法をその実施状態を示す図面に基
いて具体的に説明する。第２図は本発明方法に係
る磁気検出器の製造方法により得た磁気検出器の
正面断面図、第３図は同じく部分破砕側面図、第
４図イ，ロは本発明方法による筐体の製造工程を
示す説明図であり、図中１は筐体、１１は筐体１
を構成する本体部分、１２は底板部分を示してい
る。
いて具体的に説明する。第２図は本発明方法に係
る磁気検出器の製造方法により得た磁気検出器の
正面断面図、第３図は同じく部分破砕側面図、第
４図イ，ロは本発明方法による筐体の製造工程を
示す説明図であり、図中１は筐体、１１は筐体１
を構成する本体部分、１２は底板部分を示してい
る。
本体部分１１は黄銅を素材にして上端部を閉鎖
され、四隅部に若干の丸味を与えた四角筒状に形
成され、下端部は底板部分１２にて閉鎖され、内
部にはマウント基板２、センサユニツト３、永久
磁石４等が配設され、センサユニツト３のスペー
サ５で囲われた部分を除く他の空間部には合成樹
脂が充填せしめられている。この本体部分１１は
先ず、第４図イに示す如く黄銅板に絞り加工を施
して上端部が閉鎖された肉厚が一様（0.5mm程度）
な四角筒形をなし、且つ、磁気抵抗素子７，８を
対向させるべき上部壁の中央部を外方に膨出せし
めた状態の筐素体１０を成形する。筐素体１０の
上部壁における膨出部１１ａの外方への膨出寸法
は筐素体１０の肉厚寸法よりも僅かに小さくして
おき、次いで第４図ロに示す如く膨出部１１ａの
外壁を破線で示す位置迄研摩し、膨出部１１ａ外
面をその周囲の面と面一となるよう平坦面に仕上
げる。これによつて上部壁の中央に外面が平坦面
であつて内面に凹み１１ｂを有し、肉厚が0.1mm
程度の薄肉部分１１ｃを備えた本体部分１１が形
成される。
され、四隅部に若干の丸味を与えた四角筒状に形
成され、下端部は底板部分１２にて閉鎖され、内
部にはマウント基板２、センサユニツト３、永久
磁石４等が配設され、センサユニツト３のスペー
サ５で囲われた部分を除く他の空間部には合成樹
脂が充填せしめられている。この本体部分１１は
先ず、第４図イに示す如く黄銅板に絞り加工を施
して上端部が閉鎖された肉厚が一様（0.5mm程度）
な四角筒形をなし、且つ、磁気抵抗素子７，８を
対向させるべき上部壁の中央部を外方に膨出せし
めた状態の筐素体１０を成形する。筐素体１０の
上部壁における膨出部１１ａの外方への膨出寸法
は筐素体１０の肉厚寸法よりも僅かに小さくして
おき、次いで第４図ロに示す如く膨出部１１ａの
外壁を破線で示す位置迄研摩し、膨出部１１ａ外
面をその周囲の面と面一となるよう平坦面に仕上
げる。これによつて上部壁の中央に外面が平坦面
であつて内面に凹み１１ｂを有し、肉厚が0.1mm
程度の薄肉部分１１ｃを備えた本体部分１１が形
成される。
なお、本体部分１１の形成態様については特に
上述した態様にのみ限定するものではなく、例え
ば第５図イに示す如く、絞り加工によつて形成さ
れる筐素体１０′の上部壁における膨出部１１′ａ
の周縁部からの膨出寸法を肉厚以上とし、次いで
膨出部１１′ａ外面を破線で示す如く0.1mm程度の
厚さに迄研摩して第５図ロに示す如く内面に凹み
１１′ｂを有し、薄肉部分１１′ｃを備えた本体部
分１１′を形成してもよい。
上述した態様にのみ限定するものではなく、例え
ば第５図イに示す如く、絞り加工によつて形成さ
れる筐素体１０′の上部壁における膨出部１１′ａ
の周縁部からの膨出寸法を肉厚以上とし、次いで
膨出部１１′ａ外面を破線で示す如く0.1mm程度の
厚さに迄研摩して第５図ロに示す如く内面に凹み
１１′ｂを有し、薄肉部分１１′ｃを備えた本体部
分１１′を形成してもよい。
底板部分１２は例えばプラスチツク成形品であ
つて本体部分１１の下端開口部に嵌合固定されて
いる。
つて本体部分１１の下端開口部に嵌合固定されて
いる。
マウント基板２は前記した各部材によつて形成
される筐体１内に本体部分１１の薄肉部分１１
ｃ，１１′ｃに面して位置し、薄肉部分１１ｃ，
１１′ｃの下面に上端部を突き当てたスペーサ５
によりこれと所要の間隔を隔てて配設され、上面
には凹み１１ｂ，１１′ｂ内に位置してセンサユ
ニツト３が、また下面には円柱状の永久磁石４の
一磁極端面が固定されている。センサユニツト３
はマウント基板２上面の磁性体基板６上に接着用
樹脂６ａを用いて２個の磁気抵抗素子７，８を並
列固定して形成され、各磁気抵抗素子７，８から
引き出したリードはマウント基板２に穿つた孔を
通してその下面に導かれ、ここでリード板９ａ，
９ｂ，９ｃの各一端に接続されており、その各他
端は底板部分１２に穿つた孔を通してその下方に
夫々所要長にわたつて延在されている。９ｄは筐
体１の本体部分１１内面に一端を接続されたアー
ス用のリード板であつてその他端は同じく底板部
分１２に穿つた孔を通してその下方に延在せしめ
られている。
される筐体１内に本体部分１１の薄肉部分１１
ｃ，１１′ｃに面して位置し、薄肉部分１１ｃ，
１１′ｃの下面に上端部を突き当てたスペーサ５
によりこれと所要の間隔を隔てて配設され、上面
には凹み１１ｂ，１１′ｂ内に位置してセンサユ
ニツト３が、また下面には円柱状の永久磁石４の
一磁極端面が固定されている。センサユニツト３
はマウント基板２上面の磁性体基板６上に接着用
樹脂６ａを用いて２個の磁気抵抗素子７，８を並
列固定して形成され、各磁気抵抗素子７，８から
引き出したリードはマウント基板２に穿つた孔を
通してその下面に導かれ、ここでリード板９ａ，
９ｂ，９ｃの各一端に接続されており、その各他
端は底板部分１２に穿つた孔を通してその下方に
夫々所要長にわたつて延在されている。９ｄは筐
体１の本体部分１１内面に一端を接続されたアー
ス用のリード板であつてその他端は同じく底板部
分１２に穿つた孔を通してその下方に延在せしめ
られている。
本発明にあつては筐体１を金属製とし、磁気抵
抗素子７，８を対向させるべき部分の壁部を外方
に膨出せしめた筐素体１０，１０′を得、この筐
素体１０，１０′における膨出部１１ａ，１１′ａ
を研摩し、薄肉化して製造することとしているか
ら、表面が平滑であつて、従来の如く筐体と保護
板との間における如き段差が形成されず、被検物
が係止する等の不都合がなく、また薄肉化部分１
１ｃ，１１′ｃは周縁部が厚肉部分に一体的に連
らなつているため、強度が大きく、より薄肉化す
ることも可能で、検出感度の大幅な向上も図れ
る。更に被検物との摩擦によつて摩擦電気が生じ
てもアース用リード板９ｄを通じて放電されるこ
ととなり、静電誘導、電撃等からも磁気抵抗素子
７，８を保護することが出来る。しかも筐体１は
底板部分１２を除いて一体的に形成されるため、
気密性が高く、湿気の侵入による磁気抵抗素子
７，８の特性劣化も生じない。
抗素子７，８を対向させるべき部分の壁部を外方
に膨出せしめた筐素体１０，１０′を得、この筐
素体１０，１０′における膨出部１１ａ，１１′ａ
を研摩し、薄肉化して製造することとしているか
ら、表面が平滑であつて、従来の如く筐体と保護
板との間における如き段差が形成されず、被検物
が係止する等の不都合がなく、また薄肉化部分１
１ｃ，１１′ｃは周縁部が厚肉部分に一体的に連
らなつているため、強度が大きく、より薄肉化す
ることも可能で、検出感度の大幅な向上も図れ
る。更に被検物との摩擦によつて摩擦電気が生じ
てもアース用リード板９ｄを通じて放電されるこ
ととなり、静電誘導、電撃等からも磁気抵抗素子
７，８を保護することが出来る。しかも筐体１は
底板部分１２を除いて一体的に形成されるため、
気密性が高く、湿気の侵入による磁気抵抗素子
７，８の特性劣化も生じない。
以上の如く本発明方法にあつては金属製筐体に
おける磁気抵抗素子と対向する平坦な壁部を外方
に膨出せしめた後、この膨出部の外面を平坦に研
摩して薄肉化する工程を含むから磁気抵抗素子を
壁部、更には被検物と平行に均一な離隔寸法で対
向せしめ得るから検出値のばらつきが少なく精度
も高く、また筐体を一体成形することが出来て筐
体全体としての機械的強度が大きく、また静電誘
導、電撃から磁気抵抗素子を保護することが出
来、更に筐体内部の気密性が高く、湿気等の侵入
を確実に防止でき、更に薄肉化部分を一層薄く形
成出来るため被検物と磁気抵抗素子との離隔寸法
を短縮出来て検出精度を大幅に向上し得るなど本
発明は優れた効果を奏するものである。
おける磁気抵抗素子と対向する平坦な壁部を外方
に膨出せしめた後、この膨出部の外面を平坦に研
摩して薄肉化する工程を含むから磁気抵抗素子を
壁部、更には被検物と平行に均一な離隔寸法で対
向せしめ得るから検出値のばらつきが少なく精度
も高く、また筐体を一体成形することが出来て筐
体全体としての機械的強度が大きく、また静電誘
導、電撃から磁気抵抗素子を保護することが出
来、更に筐体内部の気密性が高く、湿気等の侵入
を確実に防止でき、更に薄肉化部分を一層薄く形
成出来るため被検物と磁気抵抗素子との離隔寸法
を短縮出来て検出精度を大幅に向上し得るなど本
発明は優れた効果を奏するものである。
第１図は従来の磁気検出器の正面断面図、第２
図は本発明方法により製造した磁気検出器の正面
断面図、第３図は同じく部分破砕側面図、第４図
イ，ロは本発明方法による筐体の製造態様を示す
説明図、第５図イ，ロは同じく筐体の他の製造態
様を示す説明図である。 １……筐体、２……マウント基板、３……セン
サユニツト、４……永久磁石、５……スペーサ、
６……磁性体基板、６ａ……接着剤、７，８……
磁気抵抗素子、９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ……リー
ド板、１０，１０′……筐素体、１１，１１′……
本体部分、１１ａ，１１′ａ……膨出部、１１ｂ，
１１′ｂ……凹所、１１ｃ，１１′ｃ……薄肉部
分、１２……底板部分。
図は本発明方法により製造した磁気検出器の正面
断面図、第３図は同じく部分破砕側面図、第４図
イ，ロは本発明方法による筐体の製造態様を示す
説明図、第５図イ，ロは同じく筐体の他の製造態
様を示す説明図である。 １……筐体、２……マウント基板、３……セン
サユニツト、４……永久磁石、５……スペーサ、
６……磁性体基板、６ａ……接着剤、７，８……
磁気抵抗素子、９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ……リー
ド板、１０，１０′……筐素体、１１，１１′……
本体部分、１１ａ，１１′ａ……膨出部、１１ｂ，
１１′ｂ……凹所、１１ｃ，１１′ｃ……薄肉部
分、１２……底板部分。
Claims (1)
- １ 金属板を絞り加工し、磁気抵抗素子を収納す
る上端の閉鎖した金属性筐体で且つ前記磁気抵抗
素子を対向位置させるべき前記金属性筐体の平坦
上部壁を外方に膨出する第１の工程と、この上部
壁の膨出部を平坦研磨し、他の部分より薄肉化す
る第２の工程と、前記膨出したとき筐体内面に生
じた凹みに、少なくともスペーサおよびリードと
を備えた磁気抵抗素子を収納する第３の工程と、
前記金属性筐体内に樹脂を注入する第４の工程と
を備え、前記第２の工程以降にアース用のリード
を筐体の内面に接続する工程を有する磁気検出器
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57181957A JPS5969978A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 磁気検出器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57181957A JPS5969978A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 磁気検出器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969978A JPS5969978A (ja) | 1984-04-20 |
| JPH0359590B2 true JPH0359590B2 (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=16109825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57181957A Granted JPS5969978A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 磁気検出器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969978A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6149466U (ja) * | 1984-09-04 | 1986-04-03 | ||
| DE3447312A1 (de) * | 1984-12-24 | 1986-07-10 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Magnetfeldsensor |
| JPH02124575U (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-15 | ||
| JP4583789B2 (ja) * | 2004-03-29 | 2010-11-17 | 有限会社大新製作所 | 薄板基板の研磨方法及び薄板振動素子の製造方法 |
| JP4919176B2 (ja) * | 2009-03-23 | 2012-04-18 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ |
| JP5346071B2 (ja) * | 2011-12-02 | 2013-11-20 | ファナック株式会社 | 薄肉の検出面を有する磁気式エンコーダ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5931878B2 (ja) * | 1976-02-10 | 1984-08-04 | 電気音響株式会社 | 磁気センタ−装置 |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP57181957A patent/JPS5969978A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5969978A (ja) | 1984-04-20 |
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