JPS5969978A - 磁気検出器の製造方法 - Google Patents
磁気検出器の製造方法Info
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- JPS5969978A JPS5969978A JP57181957A JP18195782A JPS5969978A JP S5969978 A JPS5969978 A JP S5969978A JP 57181957 A JP57181957 A JP 57181957A JP 18195782 A JP18195782 A JP 18195782A JP S5969978 A JPS5969978 A JP S5969978A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 abstract description 2
- 230000009545 invasion Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 2
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical group [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017112 Fe—C Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 In5b-NiSb Chemical compound 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁界の変化に応じて抵抗値が変化する磁気抵抗
素子を用いた磁気検出器の製造方法に関するものである
。
素子を用いた磁気検出器の製造方法に関するものである
。
ＩｎＳｂ、 Ｉｎ５ｂ−ＮｉＳｂ、 ＩｎＡｓ等のキャ
リヤ移動度の高い半導体又／ｄ Ｎｉ−Ｃｏ 、 Ｎｉ
−Ｆｅ 、 Ｎ１−Ｆｅ−Ｃ。
リヤ移動度の高い半導体又／ｄ Ｎｉ−Ｃｏ 、 Ｎｉ
−Ｆｅ 、 Ｎ１−Ｆｅ−Ｃ。
等の強磁性体はこれに作用する磁界の状態に応じて抵抗
値が変化するという性質を有しており、この性質を利用
して磁気の存在、磁性体の存在、移動を検出する磁気検
出器が実用化されている。
値が変化するという性質を有しており、この性質を利用
して磁気の存在、磁性体の存在、移動を検出する磁気検
出器が実用化されている。
第１図は従来の磁気検出器を示す正面断面図であり、図
中２１は筐体を示している。筐体２１はプラスチックを
素材として一体成形されており、上面に形成した開口部
２．１ａはべＩＪ ＩＪクムー銅製のｗｉＭよりなる保
護板２２にて閉鎖されている。保１度板２２ｔ／ｉ筐体
２１に一体にモールドされており、その外面には耐摩耗
性向上のために必要に応じてクロムメッキが施される。
中２１は筐体を示している。筐体２１はプラスチックを
素材として一体成形されており、上面に形成した開口部
２．１ａはべＩＪ ＩＪクムー銅製のｗｉＭよりなる保
護板２２にて閉鎖されている。保１度板２２ｔ／ｉ筐体
２１に一体にモールドされており、その外面には耐摩耗
性向上のために必要に応じてクロムメッキが施される。
筐体２１内にはこの保護板２２と適当なｌ１１隙を隔て
てセンサユニット２３が配設されている。センキュニッ
ト２３はフェライト製の磁性体基板２４上に接着用樹脂
２５を用いて磁気抵Ｕし素子２６゜２７を並設したもの
であり、この磁性体基１２４はプラスチック製のマクン
ト基板２８に穿設した穴に嵌合され、マクント基板２８
下１ｒｒｉのＩＪン青剣１間製の底板２８′を介して、
′その下面をノ（イアス用の永久磁石２９に対向させで
ある。マクレ）Ｍ板２８上にはセンサユニット２３を囲
続する環状スペーサ３０が設けられており、保護板２２
の周縁に８斐スペーサ３０の上面を接触させて保護板２
２と磁気抵抗素子２６．２７との間隔が所定値に々るよ
うにしである。各磁気抵抗素子２６．２７から引き出さ
れたリードはマクント基板２８上のプリント配線を経、
筐体２１の内壁面に設けたターミナル３１に一旦あずけ
た後、底板を通して外部に導出されているリード線３２
に接続されている。
てセンサユニット２３が配設されている。センキュニッ
ト２３はフェライト製の磁性体基板２４上に接着用樹脂
２５を用いて磁気抵Ｕし素子２６゜２７を並設したもの
であり、この磁性体基１２４はプラスチック製のマクン
ト基板２８に穿設した穴に嵌合され、マクント基板２８
下１ｒｒｉのＩＪン青剣１間製の底板２８′を介して、
′その下面をノ（イアス用の永久磁石２９に対向させで
ある。マクレ）Ｍ板２８上にはセンサユニット２３を囲
続する環状スペーサ３０が設けられており、保護板２２
の周縁に８斐スペーサ３０の上面を接触させて保護板２
２と磁気抵抗素子２６．２７との間隔が所定値に々るよ
うにしである。各磁気抵抗素子２６．２７から引き出さ
れたリードはマクント基板２８上のプリント配線を経、
筐体２１の内壁面に設けたターミナル３１に一旦あずけ
た後、底板を通して外部に導出されているリード線３２
に接続されている。
なお筐体２１内の空間部にはエポキシ樹脂（図示せず）
等が充填せしめられる。
等が充填せしめられる。
ところでこのような従来の磁気検出器の筐体はプラスチ
ック製としであるが、これは成形性に優ハ、このために
磁気検出器自体の組立及び磁気検出器の装置への取付は
等の作業性９便宜性の向上のための形状面での工夫を講
じ易く、コスト面でも安価であること等による。
ック製としであるが、これは成形性に優ハ、このために
磁気検出器自体の組立及び磁気検出器の装置への取付は
等の作業性９便宜性の向上のための形状面での工夫を講
じ易く、コスト面でも安価であること等による。
通常磁気検出器は保護板２２が被検物移動域に臨み又は
これと摺接するように使用されるのであるが、検出感度
を高めるべくリード線３２に高増幅度の増幅器を接続す
る場合は、磁気抵抗素子２６゜２７、或は筐体内導体部
分が受ける静電誘導の影響により誤検出を招来するとい
う問題点がある。
これと摺接するように使用されるのであるが、検出感度
を高めるべくリード線３２に高増幅度の増幅器を接続す
る場合は、磁気抵抗素子２６゜２７、或は筐体内導体部
分が受ける静電誘導の影響により誤検出を招来するとい
う問題点がある。
また保護板２２表面を摺接させて磁気インクを用いてい
る紙幣の識別に使用する場合には保護板２２周縁のプラ
スチックと紙幣の紙との摩擦により静電気が発生して筐
体が帯電し、これが素子２６゜２７又はこれに連なる′
電気回路に放電して素子又Ｉ／′ｉ前述した如き増幅器
等を破壊するという問題点がある。また摩擦以外の理由
によっても放電が生じることがあるが、この場合の電撃
に対しても素子等は無防備であり破壊の危険に曝されて
いる。
る紙幣の識別に使用する場合には保護板２２周縁のプラ
スチックと紙幣の紙との摩擦により静電気が発生して筐
体が帯電し、これが素子２６゜２７又はこれに連なる′
電気回路に放電して素子又Ｉ／′ｉ前述した如き増幅器
等を破壊するという問題点がある。また摩擦以外の理由
によっても放電が生じることがあるが、この場合の電撃
に対しても素子等は無防備であり破壊の危険に曝されて
いる。
このため木発明者匈は上述した如き静電誘導、静電気放
電の防止を図り、まだ筐体全体の強度を図るために金属
製筐体を用いることを着想するに至ったが、筐体を金属
製とする場合には次のような問題がある。即ち、検出精
度を向上させるためには、センサユニット２３を構成す
る磁気抵抗素子２６．２７と被検物との離隔寸法はこれ
を小さくするのが望ましいが、そのためには磁気抵抗素
子２６．２７と対向する部分の筐体の肉厚はこれを可及
的に薄く形成する必要があり、一方筐体の他の部分は実
用的強度を維持するだめに、所定の厚さ忙形成する必要
があるが、このような局部的に肉厚の異なる筐体を金属
にて絞り加工するのけ極めて難しい。
電の防止を図り、まだ筐体全体の強度を図るために金属
製筐体を用いることを着想するに至ったが、筐体を金属
製とする場合には次のような問題がある。即ち、検出精
度を向上させるためには、センサユニット２３を構成す
る磁気抵抗素子２６．２７と被検物との離隔寸法はこれ
を小さくするのが望ましいが、そのためには磁気抵抗素
子２６．２７と対向する部分の筐体の肉厚はこれを可及
的に薄く形成する必要があり、一方筐体の他の部分は実
用的強度を維持するだめに、所定の厚さ忙形成する必要
があるが、このような局部的に肉厚の異なる筐体を金属
にて絞り加工するのけ極めて難しい。
本発明はかかる事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは磁気抵抗素子を収納すべき金属製筐
体を、磁気抵抗素子を対向位置させるべき部分の壁部を
外方に膨出せしめた筐素体を得、その膨出部の外面を研
厚し、薄肉化することによって製造することにより、厚
肉部分と薄肉部分とを有する筐体を容易に製造すること
が出来て筐体全体の機械的強度が大きく、外部からの湿
気等の侵入も防止出来、まだ薄肉部分はより蒔く成形出
来て感度の向上も図れるようにした磁気検出器の製造方
法を提供するにある。
目的とするところは磁気抵抗素子を収納すべき金属製筐
体を、磁気抵抗素子を対向位置させるべき部分の壁部を
外方に膨出せしめた筐素体を得、その膨出部の外面を研
厚し、薄肉化することによって製造することにより、厚
肉部分と薄肉部分とを有する筐体を容易に製造すること
が出来て筐体全体の機械的強度が大きく、外部からの湿
気等の侵入も防止出来、まだ薄肉部分はより蒔く成形出
来て感度の向上も図れるようにした磁気検出器の製造方
法を提供するにある。
以下本発明方法をその実施状態を示す図面に基いて具体
的に説明する。第２図は本発明方法に係る磁気検出器の
製造方法により得た磁気検出器の正面断面図、第３図は
同じく部分破砕側面図、第４図（イ）、（ロ）は本発明
方法による筐体の製造工程を示す説明図であり、図中１
は筐体、１１は筐体１を構成する本体部分、１２は底板
部分を示している。
的に説明する。第２図は本発明方法に係る磁気検出器の
製造方法により得た磁気検出器の正面断面図、第３図は
同じく部分破砕側面図、第４図（イ）、（ロ）は本発明
方法による筐体の製造工程を示す説明図であり、図中１
は筐体、１１は筐体１を構成する本体部分、１２は底板
部分を示している。
本体部分１１は黄が１１を素祠にして上端部を閉鎖され
、四隅部に若干の丸味を与えた四角筒状に形成され、下
端部は底板）１１ｚ分１２にて閉鎖され、内部にはマク
ント基板２、センサユニット３、永久磁石４等が配設さ
九、センサユニット３のスペーサ５で囲われた部分を除
く他の空間部には合成樹脂が充填せ°しめられている。
、四隅部に若干の丸味を与えた四角筒状に形成され、下
端部は底板）１１ｚ分１２にて閉鎖され、内部にはマク
ント基板２、センサユニット３、永久磁石４等が配設さ
九、センサユニット３のスペーサ５で囲われた部分を除
く他の空間部には合成樹脂が充填せ°しめられている。
この本体部分１１は先ず、第４図（イ）に示す如く黄銅
板に絞り加工を施して上端部が閉鎖された肉厚が一様（
０，５ａｍ程度）な四角筒形を々し、且つ、磁気抵抗素
子７．８を対向させるべき上部壁の中央部を゛外方に膨
出せしめた状態の筐素体１０を成形する。筐素体１０の
上部壁における膨出部１１ａの外方への）膨出寸法は筐
素体１０の肉厚寸法よりも僅かに小さくしておき、次い
で第４図（ロ）に示す如く１膨出部１１ａの外壁を破線
で示す位置迄研摩し、膨出部１１ａ外面をその周囲の面
と面一となるよう平坦面に仕上げる。
板に絞り加工を施して上端部が閉鎖された肉厚が一様（
０，５ａｍ程度）な四角筒形を々し、且つ、磁気抵抗素
子７．８を対向させるべき上部壁の中央部を゛外方に膨
出せしめた状態の筐素体１０を成形する。筐素体１０の
上部壁における膨出部１１ａの外方への）膨出寸法は筐
素体１０の肉厚寸法よりも僅かに小さくしておき、次い
で第４図（ロ）に示す如く１膨出部１１ａの外壁を破線
で示す位置迄研摩し、膨出部１１ａ外面をその周囲の面
と面一となるよう平坦面に仕上げる。
これによって上部壁の中央に外面が平坦面であって内面
に凹みｌｌｂを有し、肉厚が０．１ ｔｍ程度の薄肉部
分１１ｃを備えた本体部分１１が形成される。
に凹みｌｌｂを有し、肉厚が０．１ ｔｍ程度の薄肉部
分１１ｃを備えた本体部分１１が形成される。
なお、本体部分１１の形成態様については特に上述した
態様にのみ限定するものではなく、例えば第５図（イ）
に示す如く、絞り加工によって形成される筐素体１０′
の上部量における膨出部１１’ａの周縁部からのＩＦｒ
出寸法を肉厚以上とし、次いで膨出部１１′ａ外面を破
線で示す如＜ ０．１ ｍｍ程度のｊ９．さに迄研摩し
て第５図（ロ）に示す如く内面に凹み１１′ｂを有し、
薄肉部分１１′ｃを備えた本体部分１１’を形成しても
よい。
態様にのみ限定するものではなく、例えば第５図（イ）
に示す如く、絞り加工によって形成される筐素体１０′
の上部量における膨出部１１’ａの周縁部からのＩＦｒ
出寸法を肉厚以上とし、次いで膨出部１１′ａ外面を破
線で示す如＜ ０．１ ｍｍ程度のｊ９．さに迄研摩し
て第５図（ロ）に示す如く内面に凹み１１′ｂを有し、
薄肉部分１１′ｃを備えた本体部分１１’を形成しても
よい。
底板部分１２は例えばプラスチック成形品であって本体
部分１１の下端開口部に底合固定されている。
部分１１の下端開口部に底合固定されている。
マクント基板２は前記した各部材によって形成される筐
体１内に本体部分１１の薄肉部分１１ｃ（１１’ｃ ）
に而して位置し、薄肉部分１１Ｃ（１１’Ｃ）の下面に
上端部を突き当てたスペーサ５によりこれと所要の間隔
を隔てて配設され、上面には凹み１ｌｂ（１１’ｂ ）
内に位置してセンサユニット３が、また下面には円柱状
の永久磁石４の一磁極端面が固定されでいる。センサユ
ニット３はマクント基板２上簡の磁性体基板６上に接着
用樹脂６ａを用いて２個の磁気抵抗素子７，８を並列固
定して形成され、各磁気抵抗素子７，８から引き出した
リードはマクント基板２に穿った孔を通してその下面に
導か九、ここでリード板９ａ、９ｂ、９ｃの各一端に接
続されており、その各他喘ｐまｌＬ′ｃ板８１板針１５
分１２た孔を通してその下方に夫々所製長にわたって延
在されている。９ｄｌ″ｉ、筐体１の本体部分１１内面
に一端を接続されたアース用のリード板であってその他
＠は同じく底板８ｆ≦分１２に穿った孔を通してその下
方に延在せしめられている゛。
体１内に本体部分１１の薄肉部分１１ｃ（１１’ｃ ）
に而して位置し、薄肉部分１１Ｃ（１１’Ｃ）の下面に
上端部を突き当てたスペーサ５によりこれと所要の間隔
を隔てて配設され、上面には凹み１ｌｂ（１１’ｂ ）
内に位置してセンサユニット３が、また下面には円柱状
の永久磁石４の一磁極端面が固定されでいる。センサユ
ニット３はマクント基板２上簡の磁性体基板６上に接着
用樹脂６ａを用いて２個の磁気抵抗素子７，８を並列固
定して形成され、各磁気抵抗素子７，８から引き出した
リードはマクント基板２に穿った孔を通してその下面に
導か九、ここでリード板９ａ、９ｂ、９ｃの各一端に接
続されており、その各他喘ｐまｌＬ′ｃ板８１板針１５
分１２た孔を通してその下方に夫々所製長にわたって延
在されている。９ｄｌ″ｉ、筐体１の本体部分１１内面
に一端を接続されたアース用のリード板であってその他
＠は同じく底板８ｆ≦分１２に穿った孔を通してその下
方に延在せしめられている゛。
本発明にあっては筐体１を金１１似製とし、磁気抵抗素
子７，８を対向させるべき部分の壁部を外方に膨出せし
めた筐素体１０．１０’を得、この筐素体１０．１０’
における膨出部１１ａ、ｌｌ’ａを研摩し、薄肉化して
製造することとしているから、表面が平滑であって、従
来の如く筐体と保護板との間における如き段差が形成さ
れず、被検物が係止する等の不都合がなく、またｔＩ肉
化部分１１ｃ、ｌｌ’ｃけ周縁部が厚内部分に一体的に
連らなっているため、強度が大きく、より薄肉化するこ
とも可能で、検出感度の大Ｉｌｖ、ｔな向上も図れる。
子７，８を対向させるべき部分の壁部を外方に膨出せし
めた筐素体１０．１０’を得、この筐素体１０．１０’
における膨出部１１ａ、ｌｌ’ａを研摩し、薄肉化して
製造することとしているから、表面が平滑であって、従
来の如く筐体と保護板との間における如き段差が形成さ
れず、被検物が係止する等の不都合がなく、またｔＩ肉
化部分１１ｃ、ｌｌ’ｃけ周縁部が厚内部分に一体的に
連らなっているため、強度が大きく、より薄肉化するこ
とも可能で、検出感度の大Ｉｌｖ、ｔな向上も図れる。
更に被検物との摩擦によってＷ擦電気が生じてもアース
用リード板９ｄを通じて放電されることとなり、静電＠
導、電撃等からも磁気抵抗素子７．８を保護することが
出来る。しかも筐体ｌは底板部分１２を除いて一体的に
形成されるため、気密性が高く、湿気の ゛侵入による
磁気抵抗素子７．８の特性劣化も生じない。
用リード板９ｄを通じて放電されることとなり、静電＠
導、電撃等からも磁気抵抗素子７．８を保護することが
出来る。しかも筐体ｌは底板部分１２を除いて一体的に
形成されるため、気密性が高く、湿気の ゛侵入による
磁気抵抗素子７．８の特性劣化も生じない。
以上の如く本発明方法にあっては筐体を金ＪＦＡ製であ
ってしかも部分的に肉厚を異ならせる必要のある筐体を
一体成形することが出来て筐体全体としての機械的強度
が大きく、また静電誘導、電撃から磁気抵抗素子を保護
することが出来、更に筐体内部の気密性が高く、湿気等
の侵入を確実に防止でき、更に痩肉化部分を一層薄く形
成出来るため被検物と磁気抵抗素子との離隔寸法をｇｒ
ｊ縮出米゛゛て検出精度を大幅に向上し得・る橙ど木発
ＦＪＡは優れた効果を奏するものである。
ってしかも部分的に肉厚を異ならせる必要のある筐体を
一体成形することが出来て筐体全体としての機械的強度
が大きく、また静電誘導、電撃から磁気抵抗素子を保護
することが出来、更に筐体内部の気密性が高く、湿気等
の侵入を確実に防止でき、更に痩肉化部分を一層薄く形
成出来るため被検物と磁気抵抗素子との離隔寸法をｇｒ
ｊ縮出米゛゛て検出精度を大幅に向上し得・る橙ど木発
ＦＪＡは優れた効果を奏するものである。
第１図は従来の磁気検出器の正面断面図、第２図は本発
明方法により製造した磁気検出器の正面断面図、第３図
は同じく部分破砕側面図、第４図（イ）、（ロ）は本発
明方法による筐体の製進態様を示す説明図、第５図（イ
）、（ロ）は同じく筺体の他の製造態様を示す説明図で
ある。 ｌ・・・筐体、２・・・マクント２（１＆ ３・、セ
ンサユニット ４・・・永久磁石 ５・・・スペーサ
６・・・イ庭性体基板 ６ａ・・・接着剤 ７，８・・
・磁気４］Ｕ抗素子９ａ、９Ｊ ９ｃ、９ｄ−−−リ
ード板 １０． １０’ ・・・筺素体１１、１１’
・＝本体部分 １１ ａ 、 １１’ａ”・、ｌｊｉ出
部１１ｂ、 ｌｌ’ｂ −凹所 １１ｃ、 ｌｌ’ｃ
＝Ｊ＃肉１１１３分 １２・・底板部分 特許出願人 三洋′改機株式会社 外１名 代理人 弁理士 河 野 登 夫 第３図 第４図 １５１
明方法により製造した磁気検出器の正面断面図、第３図
は同じく部分破砕側面図、第４図（イ）、（ロ）は本発
明方法による筐体の製進態様を示す説明図、第５図（イ
）、（ロ）は同じく筺体の他の製造態様を示す説明図で
ある。 ｌ・・・筐体、２・・・マクント２（１＆ ３・、セ
ンサユニット ４・・・永久磁石 ５・・・スペーサ
６・・・イ庭性体基板 ６ａ・・・接着剤 ７，８・・
・磁気４］Ｕ抗素子９ａ、９Ｊ ９ｃ、９ｄ−−−リ
ード板 １０． １０’ ・・・筺素体１１、１１’
・＝本体部分 １１ ａ 、 １１’ａ”・、ｌｊｉ出
部１１ｂ、 ｌｌ’ｂ −凹所 １１ｃ、 ｌｌ’ｃ
＝Ｊ＃肉１１１３分 １２・・底板部分 特許出願人 三洋′改機株式会社 外１名 代理人 弁理士 河 野 登 夫 第３図 第４図 １５１
Claims (1)
- １、磁気抵抗素子を収納すべき金属製筐体を、磁気抵抗
素子を対向位置させるべき部分の壁部を外方に膨出せし
めた筐素体を得、その膨出部の外面を研摩し、薄肉化す
ることによって製造することを特徴とする磁気検出器の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57181957A JPS5969978A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 磁気検出器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57181957A JPS5969978A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 磁気検出器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969978A true JPS5969978A (ja) | 1984-04-20 |
| JPH0359590B2 JPH0359590B2 (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=16109825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57181957A Granted JPS5969978A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 磁気検出器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969978A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6149466U (ja) * | 1984-09-04 | 1986-04-03 | ||
| JPS61209376A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-09-17 | アルカテル エヌ．ブイ． | 磁界センサ |
| JPH02124575U (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-15 | ||
| JP2005286602A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Daishin Seisakusho:Kk | 薄板基板の研磨方法及び薄板振動素子の製造方法 |
| JP2010223652A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ |
| DE102012022924B4 (de) * | 2011-12-02 | 2020-07-09 | Fanuc Corporation | Magnetischer messgeber mit dünner erfassungsoberfläche |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5296877A (en) * | 1976-02-10 | 1977-08-15 | Denki Onkyo Co Ltd | Magnetic center device |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP57181957A patent/JPS5969978A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5296877A (en) * | 1976-02-10 | 1977-08-15 | Denki Onkyo Co Ltd | Magnetic center device |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6149466U (ja) * | 1984-09-04 | 1986-04-03 | ||
| JPS61209376A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-09-17 | アルカテル エヌ．ブイ． | 磁界センサ |
| JPH02124575U (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-15 | ||
| JP2005286602A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Daishin Seisakusho:Kk | 薄板基板の研磨方法及び薄板振動素子の製造方法 |
| JP2010223652A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ |
| DE102012022924B4 (de) * | 2011-12-02 | 2020-07-09 | Fanuc Corporation | Magnetischer messgeber mit dünner erfassungsoberfläche |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0359590B2 (ja) | 1991-09-11 |
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