JPH0360149B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0360149B2 JPH0360149B2 JP57152386A JP15238682A JPH0360149B2 JP H0360149 B2 JPH0360149 B2 JP H0360149B2 JP 57152386 A JP57152386 A JP 57152386A JP 15238682 A JP15238682 A JP 15238682A JP H0360149 B2 JPH0360149 B2 JP H0360149B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- video
- electron beam
- sample image
- detector
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 11
- 241001417527 Pempheridae Species 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子線が照射された試料からの信号
変化量を検出しこの検出に係る信号を映像信号と
して出力する検出器と、この映像信号を映像画面
のＸ軸およびＹ軸方向への掃引信号により走査し
て試料映像を映像画面上に表示する映像表示シス
テムとを備える電子線走査形試料像表示装置に関
する。
変化量を検出しこの検出に係る信号を映像信号と
して出力する検出器と、この映像信号を映像画面
のＸ軸およびＹ軸方向への掃引信号により走査し
て試料映像を映像画面上に表示する映像表示シス
テムとを備える電子線走査形試料像表示装置に関
する。
Ｘ線マイクロアラナイザや走査形電子顕微鏡で
使用される検出器の中には、ドリフト信号が正規
の信号変化量以上になるものがある。このような
検出器を用いる場合には従来の映像表示システム
のままでは、試料像を明確に表示させることがで
きない。これを解決するために従来では、非常に
高価なロツクインアンプと信号の同期化機構とを
その映像表示システムに組み込むことにより試料
像を表示させている。しかしながら、ロツクイン
アンプにおける同期周波数はせいぜい10kHz程度
しかあげることができないので、滑らかな試料像
を表示させるためにはＸ軸の掃引周期を同期周波
数の数10分の１ないし数100分の１にまで下げな
ければならない。このため試料像を得るまでに非
常に長時間を費やさなければならないという大き
な不都合があつた。
使用される検出器の中には、ドリフト信号が正規
の信号変化量以上になるものがある。このような
検出器を用いる場合には従来の映像表示システム
のままでは、試料像を明確に表示させることがで
きない。これを解決するために従来では、非常に
高価なロツクインアンプと信号の同期化機構とを
その映像表示システムに組み込むことにより試料
像を表示させている。しかしながら、ロツクイン
アンプにおける同期周波数はせいぜい10kHz程度
しかあげることができないので、滑らかな試料像
を表示させるためにはＸ軸の掃引周期を同期周波
数の数10分の１ないし数100分の１にまで下げな
ければならない。このため試料像を得るまでに非
常に長時間を費やさなければならないという大き
な不都合があつた。
本発明は、上記不都合を解消し、高価なロツク
インアンプを使用する必要性がなく従来の映像表
示システムに簡単な回路を付加するのみでドリフ
トが大きな映像信号であつても、長時間費やすこ
となく明確に試料像が得られるようにすることを
目的とする。
インアンプを使用する必要性がなく従来の映像表
示システムに簡単な回路を付加するのみでドリフ
トが大きな映像信号であつても、長時間費やすこ
となく明確に試料像が得られるようにすることを
目的とする。
本発明は、上記目的を達成するため、Ｘ線掃引
用ブランキング信号と検出器からの映像信号とを
混合し、この混合信号中のブランキング信号を常
に一定のレベルにクランプするとともにＸ軸掃引
周期をドリフト変化時間よりも短くすることによ
り、ドリフト変化量を見かけ上小さく押えて在来
の映像表示システムにおいてドリフトが大きい映
像信号であつても明確な試料像が長時間費やすこ
となく得られるように構成されている。
用ブランキング信号と検出器からの映像信号とを
混合し、この混合信号中のブランキング信号を常
に一定のレベルにクランプするとともにＸ軸掃引
周期をドリフト変化時間よりも短くすることによ
り、ドリフト変化量を見かけ上小さく押えて在来
の映像表示システムにおいてドリフトが大きい映
像信号であつても明確な試料像が長時間費やすこ
となく得られるように構成されている。
次に、本発明の構成を実施例について図面に基
づき具体的に説明する。
づき具体的に説明する。
第１図は本発明の実施例のブロツク回路図であ
る。電子線発生器１からは電子線２が試料３に向
けて照射される。電子線２はＸ軸（例えば水平走
査方向）とＹ軸（垂直走査方向）の各偏向コイル
４，５によりそれぞれ偏向される。検出器６（例
えば赤外線用半導体検出器）は作動直前までは液
体窒素で冷却されて使用されるものであつて、電
子線が照射された試料３から発生する組成に応じ
た光量変化を検出するとともにその検出に係る第
２図ａに示すような波形の信号を映像信号として
出力する。加算器７はＸ軸発振器８からの第２図
ｂに示すような発生周期がドリフト変化時間より
も短かい一定振幅のブランキング信号と前記した
大きなドリフト成分を含む映像信号とを加算混合
するとともに、第２図ｄに示すような混合信号を
出力する。パルスクランプ回路９はＸ軸掃引のブ
ランキング信号と混合信号とにより第２図ｅに示
すように混合信号中に含まれるブランキング信号
が常に一定レベルとなるようにクランプされた信
号を出力する。従つて、第２図ａの映像信号と、
第２図ｅのクランプ化された映像信号とを比較し
て明らかなように第２図ａの映像信号に含まれる
大きなドリフトは、前記クランプによりＸ軸の１
走査以内に小さく押えられることになる。こうし
て、クランプされた映像信号は、映像増幅器１０
を介して、映像表示器１１の輝度信号入力端子に
入力される。なお、１２は倍率調整器であり、１
３は映像表示器１１の偏向コイルであり、１４は
Ｘ軸掃引器であり、１５はＹ軸掃引器であり、１
６はオフセツト調整器である。また、第２図ｄは
Ｘ軸掃引器１４の出力波形を示している。こうし
て、ブランキング信号をクランプし、かつドリフ
ト成分の変化が比較的遅く、Ｘ軸方向の操作時間
（掃引周期）をドリフト変化時間よりも短くする
ことにより、ドリフトが大きな映像信号をドリフ
トが小さく押さえられて安定した映像に変換し、
この変換に係る映像信号により明確な試料像を表
示させることが可能になる。
る。電子線発生器１からは電子線２が試料３に向
けて照射される。電子線２はＸ軸（例えば水平走
査方向）とＹ軸（垂直走査方向）の各偏向コイル
４，５によりそれぞれ偏向される。検出器６（例
えば赤外線用半導体検出器）は作動直前までは液
体窒素で冷却されて使用されるものであつて、電
子線が照射された試料３から発生する組成に応じ
た光量変化を検出するとともにその検出に係る第
２図ａに示すような波形の信号を映像信号として
出力する。加算器７はＸ軸発振器８からの第２図
ｂに示すような発生周期がドリフト変化時間より
も短かい一定振幅のブランキング信号と前記した
大きなドリフト成分を含む映像信号とを加算混合
するとともに、第２図ｄに示すような混合信号を
出力する。パルスクランプ回路９はＸ軸掃引のブ
ランキング信号と混合信号とにより第２図ｅに示
すように混合信号中に含まれるブランキング信号
が常に一定レベルとなるようにクランプされた信
号を出力する。従つて、第２図ａの映像信号と、
第２図ｅのクランプ化された映像信号とを比較し
て明らかなように第２図ａの映像信号に含まれる
大きなドリフトは、前記クランプによりＸ軸の１
走査以内に小さく押えられることになる。こうし
て、クランプされた映像信号は、映像増幅器１０
を介して、映像表示器１１の輝度信号入力端子に
入力される。なお、１２は倍率調整器であり、１
３は映像表示器１１の偏向コイルであり、１４は
Ｘ軸掃引器であり、１５はＹ軸掃引器であり、１
６はオフセツト調整器である。また、第２図ｄは
Ｘ軸掃引器１４の出力波形を示している。こうし
て、ブランキング信号をクランプし、かつドリフ
ト成分の変化が比較的遅く、Ｘ軸方向の操作時間
（掃引周期）をドリフト変化時間よりも短くする
ことにより、ドリフトが大きな映像信号をドリフ
トが小さく押さえられて安定した映像に変換し、
この変換に係る映像信号により明確な試料像を表
示させることが可能になる。
以上説明したように、本発明によれば、Ｘ軸掃
引のブランキング信号と検出器からの映像信号と
を混合し、混合信号中のブランキング信号を常に
一定となるようにクランプするとともに、Ｘ軸掃
引周期をドリフト変化時間より短かくして構成し
たので、高価なロツクインアンプを使用すること
なく在来の映像表示システムに簡単な回路を付加
するのみでドリフトが大きな映像信号が検出器か
ら出力されてきても安定した映像信号に変換する
ことができ、したがつて長時間費やすことなく明
確な試料像を安価な構成のものにて得ることがで
きる等の効果が発揮される。
引のブランキング信号と検出器からの映像信号と
を混合し、混合信号中のブランキング信号を常に
一定となるようにクランプするとともに、Ｘ軸掃
引周期をドリフト変化時間より短かくして構成し
たので、高価なロツクインアンプを使用すること
なく在来の映像表示システムに簡単な回路を付加
するのみでドリフトが大きな映像信号が検出器か
ら出力されてきても安定した映像信号に変換する
ことができ、したがつて長時間費やすことなく明
確な試料像を安価な構成のものにて得ることがで
きる等の効果が発揮される。
第１図は本発明の実施例のブロツク回路図、第
２図はその動作説明に供する信号波形図である。 １……電子線発生回路、３……試料、６……検
出器、７……加算器、８……Ｘ軸発振器、９……
パルスクランプ回路、１０……映像増幅器、１１
……映像表示器。
２図はその動作説明に供する信号波形図である。 １……電子線発生回路、３……試料、６……検
出器、７……加算器、８……Ｘ軸発振器、９……
パルスクランプ回路、１０……映像増幅器、１１
……映像表示器。
Claims (1)
- １ 電子線が照射された試料からの信号変化量を
検出して映像信号を出力する検出器と、この映像
信号を映像画面のＸ軸およびＹ軸方向への掃引信
号により走査して試料像を映像画面上に表示する
映像表示システムとを備える電子線走査形試料像
表示装置において、Ｘ軸掃引のブランキング信号
と前記検出器からの映像信号とを混合する手段
と、前記混合手段からの混合信号中に含まれるブ
ランキング信号が常に一定レベルとなるようにク
ランプする手段とを備えるとともにこのクランプ
手段からの出力信号を映像信号とする前記映像表
示システムを有し、Ｘ線掃引周期をドリフト変化
時間より短かくなるように構成したことを特徴と
する電子線走査形試料像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57152386A JPS5942751A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 電子線走査形試料像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57152386A JPS5942751A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 電子線走査形試料像表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942751A JPS5942751A (ja) | 1984-03-09 |
| JPH0360149B2 true JPH0360149B2 (ja) | 1991-09-12 |
Family
ID=15539378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57152386A Granted JPS5942751A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 電子線走査形試料像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942751A (ja) |
-
1982
- 1982-08-31 JP JP57152386A patent/JPS5942751A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5942751A (ja) | 1984-03-09 |
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