JPS631700B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS631700B2 JPS631700B2 JP56081437A JP8143781A JPS631700B2 JP S631700 B2 JPS631700 B2 JP S631700B2 JP 56081437 A JP56081437 A JP 56081437A JP 8143781 A JP8143781 A JP 8143781A JP S631700 B2 JPS631700 B2 JP S631700B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- scanning
- magnetic field
- electron beam
- horizontal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/266—Measurement of magnetic or electric fields in the object; Lorentzmicroscopy
- H01J37/268—Measurement of magnetic or electric fields in the object; Lorentzmicroscopy with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁区観察を行うための走査電子顕微鏡
に関する。
に関する。
磁性材料の開発過程において、走査電子顕微鏡
を用いた磁区観察が行われている。この磁区観察
の一手法として、磁気コントラストの変化を調べ
る方法がある。これは、例えば試料表面に対向し
た検出器を磁区の回りに回転させたり、逆に試料
自体を回転させることによる磁気コントラストの
変化あるいは変化の有無を調べるものである。
を用いた磁区観察が行われている。この磁区観察
の一手法として、磁気コントラストの変化を調べ
る方法がある。これは、例えば試料表面に対向し
た検出器を磁区の回りに回転させたり、逆に試料
自体を回転させることによる磁気コントラストの
変化あるいは変化の有無を調べるものである。
このような手法を実施しようとすると、検出器
を試料の回りで回転させたり、あるいは試料を回
転させねばならない。そのため、検出器を回転さ
せる特殊で大掛りな付属機構が必要になつたり、
あるいは一度撮影した後試料を180゜回転させても
う一度撮影するため撮影に長時間かかるなどの問
題がある。又、比較検討する像が同時に得られた
ものでないため、試料の経時的な変化による影響
を除くことが不可能である。
を試料の回りで回転させたり、あるいは試料を回
転させねばならない。そのため、検出器を回転さ
せる特殊で大掛りな付属機構が必要になつたり、
あるいは一度撮影した後試料を180゜回転させても
う一度撮影するため撮影に長時間かかるなどの問
題がある。又、比較検討する像が同時に得られた
ものでないため、試料の経時的な変化による影響
を除くことが不可能である。
本発明は上述した点に鑑みてなされたものであ
り、簡単な構成で上述した磁気コントラストの変
化を短時間に調べることのできる走査電子顕微鏡
を提供することを目的としている。
り、簡単な構成で上述した磁気コントラストの変
化を短時間に調べることのできる走査電子顕微鏡
を提供することを目的としている。
この目的を達成するため、本発明は、試料面上
に細く集束した電子線を照射する手段、前記試料
面上における電子線照射位置を水平方向と垂直方
向へ二次元的に走査する走査手段、電子線照射に
より試料から発生する信号を検出する手段及び該
検出手段の出力信号が輝度変調信号として供給さ
れる像表示手段を具備した走査電子顕微鏡におい
て、磁場を発生するとともにその磁路中に前記試
料が配設される磁場発生手段と、該磁場発生手段
の発生する磁場の極性を前記走査手段による水平
方向走査に同期して反転させる切換え励磁手段
と、前記像表示手段に各磁場極性に対応する２つ
の試料像を表示する手段を設けたことを特徴とし
ている。以下、図面を用いて本発明の一実施例を
詳説する。
に細く集束した電子線を照射する手段、前記試料
面上における電子線照射位置を水平方向と垂直方
向へ二次元的に走査する走査手段、電子線照射に
より試料から発生する信号を検出する手段及び該
検出手段の出力信号が輝度変調信号として供給さ
れる像表示手段を具備した走査電子顕微鏡におい
て、磁場を発生するとともにその磁路中に前記試
料が配設される磁場発生手段と、該磁場発生手段
の発生する磁場の極性を前記走査手段による水平
方向走査に同期して反転させる切換え励磁手段
と、前記像表示手段に各磁場極性に対応する２つ
の試料像を表示する手段を設けたことを特徴とし
ている。以下、図面を用いて本発明の一実施例を
詳説する。
第１図は本発明の一実施例装置の構成を示す図
であり、試料１の表面に平行な磁区があり、照射
電子線２に垂直な平面に対して45度程度に傾斜さ
せた場合に得られる反射電子放出量の変化を映像
信号として検出する場合が示されている。図中、
３は第２図に示すような周期的なパルスを発生す
る発振器で、その出力パルスに基づいて水平方向
走査信号発生回路４は第３図に示すような鋸歯状
の試料水平走査信号を発生して電子線２に対する
水平偏向コイル５に供給する。又走査信号発生回
路４は各帰線走査時間毎に第６図に示すようなブ
ランキング信号を発生し、該ブランキング信号は
加算回路６を経てブラウン管７の輝度変調信号と
して用いられる。
であり、試料１の表面に平行な磁区があり、照射
電子線２に垂直な平面に対して45度程度に傾斜さ
せた場合に得られる反射電子放出量の変化を映像
信号として検出する場合が示されている。図中、
３は第２図に示すような周期的なパルスを発生す
る発振器で、その出力パルスに基づいて水平方向
走査信号発生回路４は第３図に示すような鋸歯状
の試料水平走査信号を発生して電子線２に対する
水平偏向コイル５に供給する。又走査信号発生回
路４は各帰線走査時間毎に第６図に示すようなブ
ランキング信号を発生し、該ブランキング信号は
加算回路６を経てブラウン管７の輝度変調信号と
して用いられる。
ブラウン管７の画面を走査する電子線に対する
水平方向偏向コイル８には第２の走査信号発生回
路９から第４図に示すような鋸歯状のブラウン管
水平走査信号が供給されている。該走査信号発生
回路９は走査信号発生回路４の出力に基づいてそ
の２倍の周期の走査信号を発生する。
水平方向偏向コイル８には第２の走査信号発生回
路９から第４図に示すような鋸歯状のブラウン管
水平走査信号が供給されている。該走査信号発生
回路９は走査信号発生回路４の出力に基づいてそ
の２倍の周期の走査信号を発生する。
一方、照射電子線２に対する垂直方向偏向コイ
ル１０とブラウン管７の垂直偏向コイル１１には
共に垂直走査信号発生回路１２からの鋸歯状垂直
走査信号が供給されており、その周期は水平方向
走査信号の数百倍程度なので、試料表面とブラウ
ン管画面において電子線の二次元的な走査が行わ
れる。試料１から発生する反射電子は半導体検出
器１３によつて検出され、増幅器１４と加算回路
６を経てブラウン管７の輝度変調信号として用い
られる。
ル１０とブラウン管７の垂直偏向コイル１１には
共に垂直走査信号発生回路１２からの鋸歯状垂直
走査信号が供給されており、その周期は水平方向
走査信号の数百倍程度なので、試料表面とブラウ
ン管画面において電子線の二次元的な走査が行わ
れる。試料１から発生する反射電子は半導体検出
器１３によつて検出され、増幅器１４と加算回路
６を経てブラウン管７の輝度変調信号として用い
られる。
上記試料１の両端部は“コ”の字状の磁性体コ
ア１５の両端部に固定され、該試料が磁路の一部
を構成するようになつている。上記コア１５には
励磁コイル１６が巻回されており、該コイル１６
には第５図に示すように発振器３の出力パルスに
同期して電流の極性が反転する矩形波電流が矩形
波発生回路１７から供給されるので、例えばケイ
素鋼等の強磁性体試料は交流磁化される。
ア１５の両端部に固定され、該試料が磁路の一部
を構成するようになつている。上記コア１５には
励磁コイル１６が巻回されており、該コイル１６
には第５図に示すように発振器３の出力パルスに
同期して電流の極性が反転する矩形波電流が矩形
波発生回路１７から供給されるので、例えばケイ
素鋼等の強磁性体試料は交流磁化される。
第１図に示す装置における、試料上とブラウン
管画面での電子線走査の関係を示すのが第７図と
第８図である。試料１を水平走査する電子線の軌
跡は第７図に示すようにＡ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ
２，…となるのに対して、ブラウン管画面上にお
ける水平走査は第８図に示すように左半分にＡ
１，Ａ２，Ａ３，…、右半分にＢ１，Ｂ２，Ｂ
３，…という様になるので、ブラウン管画面内の
左右に同じ視野領域についての２つの試料走査
像、即ち走査線Ａ１，Ａ２，Ａ３，…により形成
される像Ａと、走査線Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，…によ
り形成される像Ｂが並んで表示される。
管画面での電子線走査の関係を示すのが第７図と
第８図である。試料１を水平走査する電子線の軌
跡は第７図に示すようにＡ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ
２，…となるのに対して、ブラウン管画面上にお
ける水平走査は第８図に示すように左半分にＡ
１，Ａ２，Ａ３，…、右半分にＢ１，Ｂ２，Ｂ
３，…という様になるので、ブラウン管画面内の
左右に同じ視野領域についての２つの試料走査
像、即ち走査線Ａ１，Ａ２，Ａ３，…により形成
される像Ａと、走査線Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，…によ
り形成される像Ｂが並んで表示される。
その際、励磁コイル１６には第５図に示すよう
に試料上の電子線の水平走査に同期して極性が反
転する励磁電流が供給されるため、試料１を磁化
する方向が試料上の電子線の水平走査に同期して
（＋），（−），（＋），（−），…と反転される。そ
の
結果、ブラウン管画面に表示される像Ａは試料を
磁化する方向が例えば（＋）の状態の走査像とな
り、像Ｂは試料を磁化する方向が（−）の状態の
走査像となり、像Ａ，Ｂが同時に得られることに
なる。このようにして同時に得られた像Ａ，Ｂを
比較することにより、磁気コントラストが像Ａと
Ｂで反転しているかあるいは反転していないかを
即座に調べることが可能となる。その際、像Ａ，
Ｂを同時に得ているため、試料の経時的な変化に
よる影響を受けることはない。
に試料上の電子線の水平走査に同期して極性が反
転する励磁電流が供給されるため、試料１を磁化
する方向が試料上の電子線の水平走査に同期して
（＋），（−），（＋），（−），…と反転される。そ
の
結果、ブラウン管画面に表示される像Ａは試料を
磁化する方向が例えば（＋）の状態の走査像とな
り、像Ｂは試料を磁化する方向が（−）の状態の
走査像となり、像Ａ，Ｂが同時に得られることに
なる。このようにして同時に得られた像Ａ，Ｂを
比較することにより、磁気コントラストが像Ａと
Ｂで反転しているかあるいは反転していないかを
即座に調べることが可能となる。その際、像Ａ，
Ｂを同時に得ているため、試料の経時的な変化に
よる影響を受けることはない。
尚、発振器３の周波数を次第に大きくしていく
と試料中の磁区構造の周波数による変化も観察す
ることができる。
と試料中の磁区構造の周波数による変化も観察す
ることができる。
又、本発明は第１図の実施例装置に限定される
ものではない。例えば、単一のブラウン管画面内
に２つの試料像Ａ，Ｂを表示する代りに２つのブ
ラウン管を設けて夫々の画面に試料像Ａ，Ｂを表
示させることも容易である。又、反射電子ではな
く二次電子を検出しても磁区観察を行うことがで
きる。
ものではない。例えば、単一のブラウン管画面内
に２つの試料像Ａ，Ｂを表示する代りに２つのブ
ラウン管を設けて夫々の画面に試料像Ａ，Ｂを表
示させることも容易である。又、反射電子ではな
く二次電子を検出しても磁区観察を行うことがで
きる。
以上の通り、本発明によれば、磁路中に試料が
配設される磁場発生手段と、該磁場発生手段の発
生する磁場の極性を試料上の電子線の水平方向走
査に同期して反転させる切換え励磁手段と、前記
像表示手段に各磁場極性に対応する２つの試料像
を表示する手段を設けるという簡単な構成で磁気
コントラストの変化を短時間に調べることが可能
となる。
配設される磁場発生手段と、該磁場発生手段の発
生する磁場の極性を試料上の電子線の水平方向走
査に同期して反転させる切換え励磁手段と、前記
像表示手段に各磁場極性に対応する２つの試料像
を表示する手段を設けるという簡単な構成で磁気
コントラストの変化を短時間に調べることが可能
となる。
第１図は本発明の一実施例装置を示す略図、第
２図乃至第６図は第１図の装置の動作を説明する
ための波形図、第７図及び第８図は試料上とブラ
ウン管画面上の電子線走査を夫々説明するための
図である。 １…試料、２…電子線、３…発振器、４…水平
方向走査信号発生回路、５，８…水平方向偏向コ
イル、６…加算回路、７…ブラウン管、９…第２
の走査信号発生回路、１０，１１…垂直方向偏向
コイル、１２…垂直方向走査信号発生回路、１３
…半導体検出器、１４…増幅器、１５…コア、１
６…コイル、１７…矩形波発生回路。
２図乃至第６図は第１図の装置の動作を説明する
ための波形図、第７図及び第８図は試料上とブラ
ウン管画面上の電子線走査を夫々説明するための
図である。 １…試料、２…電子線、３…発振器、４…水平
方向走査信号発生回路、５，８…水平方向偏向コ
イル、６…加算回路、７…ブラウン管、９…第２
の走査信号発生回路、１０，１１…垂直方向偏向
コイル、１２…垂直方向走査信号発生回路、１３
…半導体検出器、１４…増幅器、１５…コア、１
６…コイル、１７…矩形波発生回路。
Claims (1)
- １ 試料面上に細く集束した電子線を照射する手
段、前記試料面上における電子線照射位置を水平
方向と垂直方向へ二次元的に走査する走査手段、
電子線照射により試料から発生する信号を検出す
る手段及び該検出手段の出力信号が輝度変調信号
として供給される像表示手段を具備した走査電子
顕微鏡において、磁場を発生するとともにその磁
路中に前記試料が配設される磁場発生手段と、該
磁場発生手段の発生する磁場の極性を前記走査手
段による水平方向走査に同期して反転させる切換
え励磁手段と、前記像表示手段に各磁場極性に対
応する２つの試料像を表示する手段を設けたこと
を特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56081437A JPS57196465A (en) | 1981-05-28 | 1981-05-28 | Scanning electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56081437A JPS57196465A (en) | 1981-05-28 | 1981-05-28 | Scanning electron microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57196465A JPS57196465A (en) | 1982-12-02 |
| JPS631700B2 true JPS631700B2 (ja) | 1988-01-13 |
Family
ID=13746366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56081437A Granted JPS57196465A (en) | 1981-05-28 | 1981-05-28 | Scanning electron microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57196465A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02122893A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | Meidensha Corp | 嫌気処理装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59182371A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-17 | Res Dev Corp Of Japan | スキャンライン型動的観察装置 |
| JPS60195860A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-04 | Res Dev Corp Of Japan | 動的観察表示装置 |
| JPH0630233B2 (ja) * | 1984-10-31 | 1994-04-20 | 株式会社島津製作所 | 表面分析装置 |
| JPH053141U (ja) * | 1991-06-27 | 1993-01-19 | 益弘 光山 | 袋の支持具 |
| JPH0676201U (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-28 | 久雄 下山 | 使い捨て組立ごみ袋 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5623477U (ja) * | 1979-08-01 | 1981-03-03 |
-
1981
- 1981-05-28 JP JP56081437A patent/JPS57196465A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02122893A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-10 | Meidensha Corp | 嫌気処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57196465A (en) | 1982-12-02 |
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