JPH0360469A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
セラミック基板の製造方法Info
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、セラミック基板の製造方法に関するもので
ある。さらに詳しくは、この発明は、電気・電子部品等
としてのセラミック基板を、焼成による寸法のバラツキ
や反りの発生がなく、高品質でしかも優れた生産性で！
！！遺することのできる新しい方法に関するものである
。
ある。さらに詳しくは、この発明は、電気・電子部品等
としてのセラミック基板を、焼成による寸法のバラツキ
や反りの発生がなく、高品質でしかも優れた生産性で！
！！遺することのできる新しい方法に関するものである
。
（従来の技術）
従来より、耐然性に潰れた電気・電子部品用等の基板と
してセラミックが注目されており、通常、このセラミッ
ク基板は、アルミナ質、マグネシア質、珪石質、窒化質
等のセラミックの粉末を、メチルセルロース、グリセリ
ン、酢酸ビニル等のバインダーや、タルク、カルシウム
、イツトリウム等の焼結助剤および水と、ニーグー、ブ
レングーあるいはロール等によって混合・混練した後に
押出機によって連続シートの形状に押出成形し、これを
所要形状に打抜加工してグリーンシートとし、これを焼
成して製造している。
してセラミックが注目されており、通常、このセラミッ
ク基板は、アルミナ質、マグネシア質、珪石質、窒化質
等のセラミックの粉末を、メチルセルロース、グリセリ
ン、酢酸ビニル等のバインダーや、タルク、カルシウム
、イツトリウム等の焼結助剤および水と、ニーグー、ブ
レングーあるいはロール等によって混合・混練した後に
押出機によって連続シートの形状に押出成形し、これを
所要形状に打抜加工してグリーンシートとし、これを焼
成して製造している。
この際の焼成は、たとえばアルミナ製等の画然性のセッ
ターの上に１０〜２０枚程度の所要枚数のセラミックグ
リーンシートを積重ね、しかもこのセラミックグリーン
シートの相互の間、およびグリーンシートとセッターと
の間に離型剤を介在させて行っている。
ターの上に１０〜２０枚程度の所要枚数のセラミックグ
リーンシートを積重ね、しかもこのセラミックグリーン
シートの相互の間、およびグリーンシートとセッターと
の間に離型剤を介在させて行っている。
その際の温度としては、アルミナ質セラミックの場合に
は徐々に昇温して約１５７０°Ｃ程度にまで昇温する。
は徐々に昇温して約１５７０°Ｃ程度にまで昇温する。
その後降温し、焼成品としてのセラミック基板の表面と
、あらかじめ形成しておいたスルホールがある場合には
その穴内の離型剤を除去して製品セラミック基板を得て
いる。
、あらかじめ形成しておいたスルホールがある場合には
その穴内の離型剤を除去して製品セラミック基板を得て
いる。
このような従来の方法においては、アルミナ粉をバイン
ダーで結合し、焼成時にバインダーが焼失、もしくは揮
発してアルミナ粉だけが残るようにしたセパレーターシ
ートを離型剤として用いるか、あるいはアルミナ粉をと
り粉的に離型剤として用いてきている。
ダーで結合し、焼成時にバインダーが焼失、もしくは揮
発してアルミナ粉だけが残るようにしたセパレーターシ
ートを離型剤として用いるか、あるいはアルミナ粉をと
り粉的に離型剤として用いてきている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、これまでのセラミック基板の焼成による
ａ遣方法においては、セパレーターシート、あるいはと
り粉的離型剤の使用にもかかわらず、焼成品の寸法のバ
ラツキや、反り、あるいはうねりという基板の変形、さ
らには基板表面の損傷が避けられなかった。また、セパ
レーターシートは生産の合理化にはある程度寄与するも
のの、上記の欠点とともに、そのコストが極めて高いも
のとなるという問題があった。
ａ遣方法においては、セパレーターシート、あるいはと
り粉的離型剤の使用にもかかわらず、焼成品の寸法のバ
ラツキや、反り、あるいはうねりという基板の変形、さ
らには基板表面の損傷が避けられなかった。また、セパ
レーターシートは生産の合理化にはある程度寄与するも
のの、上記の欠点とともに、そのコストが極めて高いも
のとなるという問題があった。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
り、従来のセラミック基板製造に係わる焼成法の欠点を
解消し、高品質、低コストなセラミック基板を生産性よ
く製造することのできる新しい方法を提供することを目
的としている。
り、従来のセラミック基板製造に係わる焼成法の欠点を
解消し、高品質、低コストなセラミック基板を生産性よ
く製造することのできる新しい方法を提供することを目
的としている。
（課題を解決するための手段）
この発明は、上記の課題を解決するものとして、セラミ
ックグリーンシートの焼成に際し、複数枚のセラミック
グリーンシート間には０．０２〜ｏ、ｏｓｒ／１００ｃ
＋１１、セラミックグリーンシートとセッター間には０
．３６〜０．５５ 、 ／ １００−の離型剤粉末を介
在させて焼成することを特徴とするセラミック基板の製
造方法を提供する。
ックグリーンシートの焼成に際し、複数枚のセラミック
グリーンシート間には０．０２〜ｏ、ｏｓｒ／１００ｃ
＋１１、セラミックグリーンシートとセッター間には０
．３６〜０．５５ 、 ／ １００−の離型剤粉末を介
在させて焼成することを特徴とするセラミック基板の製
造方法を提供する。
この方法は、従来のセパレーター使用、あるいはとり粉
的離型剤使用のいずれの場合にも離型剤の使用量につい
て明確な基準もなく焼成が行われていたのに対し、上記
の範囲での使用がセラミック基板の品質向上に極めて有
効であり、しかも高コストなセパレーターシートの使用
も必要でないとの新しい知見に基づいている。特に、こ
の離型剤の使用については、セッター面でのグリーンシ
ートは焼成時の収縮によってその表面に損傷を生じやす
く、また寸法バラツキが大きいが、上記のこの発明の、
方法によって、これらの欠点が効果的に解消されるとい
う重要な知見が発明の基礎になっている。
的離型剤使用のいずれの場合にも離型剤の使用量につい
て明確な基準もなく焼成が行われていたのに対し、上記
の範囲での使用がセラミック基板の品質向上に極めて有
効であり、しかも高コストなセパレーターシートの使用
も必要でないとの新しい知見に基づいている。特に、こ
の離型剤の使用については、セッター面でのグリーンシ
ートは焼成時の収縮によってその表面に損傷を生じやす
く、また寸法バラツキが大きいが、上記のこの発明の、
方法によって、これらの欠点が効果的に解消されるとい
う重要な知見が発明の基礎になっている。
セラミックグリーンシート間の離型粉末を０．０２〜０
．０５ ｇ ／ １００ ｉ、セラミックグリーンとセ
ッター間の離型粉末を０．３６〜０．５５ｉｒ ／ １
００ ａａとするこの発明の方法においては、離型粉末
を自動制御しつつ機械的に散布することを可能としても
いる。散布装置のノズル噴出角度、噴出圧力等の条件を
適宜変更することによって、グリーンシート間への離型
粉末の散布と、グリーンシートとセッター間への散布と
を区分して連続的に行うことができる。
．０５ ｇ ／ １００ ｉ、セラミックグリーンとセ
ッター間の離型粉末を０．３６〜０．５５ｉｒ ／ １
００ ａａとするこの発明の方法においては、離型粉末
を自動制御しつつ機械的に散布することを可能としても
いる。散布装置のノズル噴出角度、噴出圧力等の条件を
適宜変更することによって、グリーンシート間への離型
粉末の散布と、グリーンシートとセッター間への散布と
を区分して連続的に行うことができる。
離型粉末としては、従来と同様の数μｍ以下の粒径のア
ルミナ粉等を使用することができる。その使用量が、上
記の範囲以下の場合には焼成品のセラミック基板表面の
損傷が生じやすく、寸法のバラツキや変形も生じやすい
。また、この範囲以上の場合には、反りなどの変形が生
じやすく、材料コスト増の原因となるばかりか、焼成後
の離型粉末の除去が面間になり、製造効率を低下させる
。
ルミナ粉等を使用することができる。その使用量が、上
記の範囲以下の場合には焼成品のセラミック基板表面の
損傷が生じやすく、寸法のバラツキや変形も生じやすい
。また、この範囲以上の場合には、反りなどの変形が生
じやすく、材料コスト増の原因となるばかりか、焼成後
の離型粉末の除去が面間になり、製造効率を低下させる
。
噴射ノズルを有する散布装置により離型粉末を所定の範
囲で散布する場合には、たとえばグリーンシート間への
散布を１個のノズルで、６０〜７０°の噴射角度、０．
２５〜０．４ ｉｑｒ ／−の圧力、コンベア速度７５
〜８００ｃｍ／分として行うとすると、グリーンシート
とセッター間には２個のノズルで、７５〜８０’ 、１
．０〜１．４ｋｇ／ａ＆、２５〜３５ｃｍＩ／分の条件
等とすることができる。もちろん、この数値は限定的な
ものではない。
囲で散布する場合には、たとえばグリーンシート間への
散布を１個のノズルで、６０〜７０°の噴射角度、０．
２５〜０．４ ｉｑｒ ／−の圧力、コンベア速度７５
〜８００ｃｍ／分として行うとすると、グリーンシート
とセッター間には２個のノズルで、７５〜８０’ 、１
．０〜１．４ｋｇ／ａ＆、２５〜３５ｃｍＩ／分の条件
等とすることができる。もちろん、この数値は限定的な
ものではない。
（作 用）
セラミックグリーンシート間に０．０２〜０６０５ｇ／
ｃ１１！、セラミックグリーンシートとセッターとの間
に０．３６〜０．５５ｇ／１００ ｃＪの離型粉末を介
在させて焼成することにより、焼成の寸法バラツキ、反
りやうねり等の変形、さらには基板表面の損傷を抑え、
高品質のセラミック基板の製造を可能とする。
ｃ１１！、セラミックグリーンシートとセッターとの間
に０．３６〜０．５５ｇ／１００ ｃＪの離型粉末を介
在させて焼成することにより、焼成の寸法バラツキ、反
りやうねり等の変形、さらには基板表面の損傷を抑え、
高品質のセラミック基板の製造を可能とする。
しかもこの方法によって低コストで、自動化生産も可能
となる。
となる。
（実施例）
次にこの発明の実施例を示し、さらに詳しくこの発明の
方法について説明する。
方法について説明する。
実方組例１〜４
平均粒径２．８μｍのアルミナ９８重量部、タルク２重
量部を混合した後に、メチルセルロース５重量部、水１
５重量部を加え、混合、混練した。
量部を混合した後に、メチルセルロース５重量部、水１
５重量部を加え、混合、混練した。
これを押出機で厚み０，８關のシートに押出し、乾燥後
に１００ Ｘ １００ ｒｖａサイズに打抜加工し、セ
ラミックグリーンシートとした。
に１００ Ｘ １００ ｒｖａサイズに打抜加工し、セ
ラミックグリーンシートとした。
このグリーンシート１０枚をアルミナ製セッターに積載
し、１００℃／Ｈｒで１５７０°Ｃまで昇温し、３時間
焼成した０次いで、降温させてエアブラストで洗浄し、
異物を除去してセラミック基板を得た。
し、１００℃／Ｈｒで１５７０°Ｃまで昇温し、３時間
焼成した０次いで、降温させてエアブラストで洗浄し、
異物を除去してセラミック基板を得た。
この際に、焼成に先立って、グリーンシート間およびグ
リーンシートとセッター間には、表１に示した量のアル
ミナ離型粉末を散布した。
リーンシートとセッター間には、表１に示した量のアル
ミナ離型粉末を散布した。
得られたセラミック基板について、寸法のバラツキ、焼
成セッター面の損傷、変形、さらに離型粉末の除去のた
めのエアブラスト処理回数、生産コストについて評価し
た。
成セッター面の損傷、変形、さらに離型粉末の除去のた
めのエアブラスト処理回数、生産コストについて評価し
た。
その結果も表１に示した。
従来法を示した比較例との対比からも明らかなように、
この発明の実施例の場合には寸法バラツキ、損傷、そし
て変形はなく、ブラスト除去も簡単で、しかも低コスト
生産が可能となる。
この発明の実施例の場合には寸法バラツキ、損傷、そし
て変形はなく、ブラスト除去も簡単で、しかも低コスト
生産が可能となる。
比較例１〜３
比較のために、セパレータシートを用いた場合と、従来
の離型剤散布法による場合についても実施（’／ＩＪ
１〜４と同様にしてセラミック基板を製造し、その性能
、コストを評価した。
の離型剤散布法による場合についても実施（’／ＩＪ
１〜４と同様にしてセラミック基板を製造し、その性能
、コストを評価した。
表１に示したように、いずれも実施例に比べると劣って
いた。
いた。
（発明の効果）
この発明により、焼成品の寸法バラツキ、表面損傷、さ
らには反りやうねりという変形のない高品質なセラミッ
ク基板を低コストで！！！造することができる。
らには反りやうねりという変形のない高品質なセラミッ
ク基板を低コストで！！！造することができる。
Claims (1)
- （１）セラミックグリーンシートの焼成に際し、複数枚
のセラミックグリーンシート間には０．０２〜０．０５
ｇ／１００ｃｍ＾２、セラミックグリーンシートとセッ
ター間には０．３６〜０．５５ｇ／１００ｃｍ＾２の離
型粉末を介在させて焼成することを特徴とするセラミッ
ク基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19162089A JPH0764647B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | アルミナセラミックス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19162089A JPH0764647B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | アルミナセラミックス基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360469A true JPH0360469A (ja) | 1991-03-15 |
| JPH0764647B2 JPH0764647B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=16277668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19162089A Expired - Fee Related JPH0764647B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | アルミナセラミックス基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0764647B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007196989A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-08-09 | Advics:Kk | 負圧式倍力装置 |
| EP3670474A1 (en) | 2018-12-20 | 2020-06-24 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Ceramic sheet and method for manufacturing the same |
| JP2023054889A (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-17 | 株式会社日本触媒 | リチウム伝導性シート及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP19162089A patent/JPH0764647B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007196989A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-08-09 | Advics:Kk | 負圧式倍力装置 |
| EP3670474A1 (en) | 2018-12-20 | 2020-06-24 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Ceramic sheet and method for manufacturing the same |
| US11335936B2 (en) | 2018-12-20 | 2022-05-17 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Ceramic sheet and method for manufacturing the same |
| JP2023054889A (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-17 | 株式会社日本触媒 | リチウム伝導性シート及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0764647B2 (ja) | 1995-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |