JPH0361328U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0361328U JPH0361328U JP12337989U JP12337989U JPH0361328U JP H0361328 U JPH0361328 U JP H0361328U JP 12337989 U JP12337989 U JP 12337989U JP 12337989 U JP12337989 U JP 12337989U JP H0361328 U JPH0361328 U JP H0361328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- sample
- cooling
- insertion port
- cooling unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図、第２図は本考案の実施例を示す断面図
、第３図は従来例の問題点を示す断面図、である
。 図において、１……炉心管、２……発熱体、３
……バスケツト、４……ウエハ、５……ガス導入
口、６……キヤツプ、７……排出ガスの流れ、８
……外気の流れ、９……試料挿入口、１０，１２
……冷却ユニツト、１１，１４……水冷用パイプ
、１３……空冷用パイプ、１３ａ……冷却ガス導
入口、１３ｂ……冷却ガス吹出し孔、１４ａ……
冷却水導入口、１４ｂ……冷却水排出口、である
。
、第３図は従来例の問題点を示す断面図、である
。 図において、１……炉心管、２……発熱体、３
……バスケツト、４……ウエハ、５……ガス導入
口、６……キヤツプ、７……排出ガスの流れ、８
……外気の流れ、９……試料挿入口、１０，１２
……冷却ユニツト、１１，１４……水冷用パイプ
、１３……空冷用パイプ、１３ａ……冷却ガス導
入口、１３ｂ……冷却ガス吹出し孔、１４ａ……
冷却水導入口、１４ｂ……冷却水排出口、である
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉心管の一端からガスを導入して試料の熱処理
を行う熱処理炉において、 該炉心管の試料挿入口側に冷却ユニツトを設け
たことを特徴とする熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12337989U JPH0361328U (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12337989U JPH0361328U (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0361328U true JPH0361328U (ja) | 1991-06-17 |
Family
ID=31671360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12337989U Pending JPH0361328U (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0361328U (ja) |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP12337989U patent/JPH0361328U/ja active Pending