JPH0361329U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0361329U JPH0361329U JP12247489U JP12247489U JPH0361329U JP H0361329 U JPH0361329 U JP H0361329U JP 12247489 U JP12247489 U JP 12247489U JP 12247489 U JP12247489 U JP 12247489U JP H0361329 U JPH0361329 U JP H0361329U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- semiconductor single
- wafers
- cutting device
- cutting
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の半導体単結晶切断装置の一実
施例を示す動作斜視図、第２図ａ，ｂは同じく本
装置の平面図及び側面図、第３図はマルチワイヤ
ソーの斜視図、第４図ａ及びｂはマルチワイヤソ
ーの平面図及び側面図、第５図は斜め方向切断時
の説明図である。 １……多溝滑車、２……ワイヤ、３……半導体
単結晶、４……テーブル、８Ａ……移動側送り装
置、８Ｂ……固定側送り装置、９……滑車、１０
……錘。
施例を示す動作斜視図、第２図ａ，ｂは同じく本
装置の平面図及び側面図、第３図はマルチワイヤ
ソーの斜視図、第４図ａ及びｂはマルチワイヤソ
ーの平面図及び側面図、第５図は斜め方向切断時
の説明図である。 １……多溝滑車、２……ワイヤ、３……半導体
単結晶、４……テーブル、８Ａ……移動側送り装
置、８Ｂ……固定側送り装置、９……滑車、１０
……錘。
Claims (1)
- 多溝滑車に張渡されて連続的に移動するワイヤ
に研磨液を供給しながら半導体単結晶を押当てて
複数枚のウエハに切断する切断装置において、前
記半導体単結晶を前記多溝滑車の軸方向に対し切
断線に沿つて斜め方向に昇降させる半導体単結晶
送り装置を設けたことを特徴とする切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12247489U JPH0361329U (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12247489U JPH0361329U (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0361329U true JPH0361329U (ja) | 1991-06-17 |
Family
ID=31670471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12247489U Pending JPH0361329U (ja) | 1989-10-19 | 1989-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0361329U (ja) |
-
1989
- 1989-10-19 JP JP12247489U patent/JPH0361329U/ja active Pending