JPH0361704A - Fluid bearing device and fluid pressure cylinder using fluid bearing device - Google Patents

Fluid bearing device and fluid pressure cylinder using fluid bearing device

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JPH0361704A
JPH0361704A JP19631489A JP19631489A JPH0361704A JP H0361704 A JPH0361704 A JP H0361704A JP 19631489 A JP19631489 A JP 19631489A JP 19631489 A JP19631489 A JP 19631489A JP H0361704 A JPH0361704 A JP H0361704A
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JP
Japan
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fluid
bearing device
cylinder
fluid pressure
relief groove
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JP19631489A
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Japanese (ja)
Inventor
Jinko Itaya
板谷 仁孝
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Taiyo Steel Co Ltd
Taiyo Ltd
Original Assignee
Taiyo Steel Co Ltd
Taiyo Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To fit a fluid bearing device to a fluid pressure apparatus for use by providing a relief groove section on the outer periphery of a shaft member at a position apart from the small hole of a bearing member on the inside in the axial direction, and providing a communicating passage discharging the pressure fluid flowing into it to the outside. CONSTITUTION:A thin section 32 is provided on the outer periphery of a cover member 31, and a small hole 33 opened to an inner periphery 21a is provided here. A relief groove section 34 on the outer periphery of a piston rod 13 on the inside in the axial direction from the small hole 33 and a port 35 communicating the relief groove section 34 and the atmosphere are provided. The effect of a fluid on a fluid pressure apparatus can be eliminated, thus a fluid bearing device can be fitted to the apparatus for use.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、流体軸受は装置、及び流体軸受は装置を用い
た流体圧シリンダに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a fluid bearing device and a fluid pressure cylinder using the fluid bearing device.

〔従来の技術及びその課題〕[Conventional technology and its problems]

従来より、各種の産業機械に流体圧シリンダが用いられ
ている。従来の流体圧シリンダにおいては、ピストンロ
ッドとシリンダカバーとの間に、Oリングのようなシー
ルのためのパツキンが不可欠である。
2. Description of the Related Art Hydraulic cylinders have been used in various industrial machines. In conventional hydraulic cylinders, a sealing gasket such as an O-ring is essential between the piston rod and the cylinder cover.

ところが、このパツキンは、流体圧シリンダの使用、す
なわちピストンロッドの移動によって摺動摩耗し、一定
の使用期間毎に、又は−定の総移動距離毎に交換しなけ
ればならなかった。つまり、従来の流体圧シリンダにお
いては、パンキンがあるために、パツキンの点検や交換
などのメンテナンスを欠かすことができなかった。
However, this packing wears out due to sliding due to the use of the hydraulic cylinder, that is, the movement of the piston rod, and has to be replaced after a certain period of use or after a certain total distance of movement. In other words, since conventional fluid pressure cylinders have a gasket, maintenance such as inspecting and replacing the gasket is indispensable.

また、パツキンがあるために摺動抵抗が生じ、スティッ
クスリップ現象、又は流体圧シリンダの運転始動時にピ
ストンロッドが飛び出すいわゆる飛び出し現象などが発
生し、流体圧シリンダの動作の円滑性が損なわれていた
In addition, the presence of the seals caused sliding resistance, resulting in a stick-slip phenomenon or the so-called pop-out phenomenon in which the piston rod popped out when the fluid pressure cylinder started operating, impairing the smoothness of the fluid pressure cylinder's operation. .

一方、従来より、軸部材の軸方向の移動を円滑に行うた
めに、軸部材に向けて噴出する圧縮空気又は圧油などに
よって軸部材を軸受部材から浮き上がらせて支持するよ
うにした流体軸受は装置が用いられている。
On the other hand, conventionally, in order to smoothly move the shaft member in the axial direction, hydrodynamic bearings have been designed to support the shaft member by lifting it from the bearing member using compressed air or pressure oil jetted toward the shaft member. equipment is used.

ところが、従来の流体軸受は装置は、それ単体のみで使
用することは可能であるが、他の流体圧機器に取り付け
て使用するには種々の問題がある。
However, although the conventional fluid bearing device can be used alone, there are various problems when used by attaching it to other fluid pressure equipment.

すなわち、上述した従来の流体圧シリンダにこの従来の
流体軸受は装置を取り付けた場合には、流体圧シリンダ
のピストンの作動のために供給する圧縮空気が流体軸受
は装置に廻り込み、そのため軸部材(ピストンロッド)
と軸受部材との間隙部分の圧力が上昇してしまって浮力
Fが低下し、流体軸受は装置の本来の機能が発揮できず
に軸部材が軸受部材と接触してしまうという問題がある
That is, when this conventional fluid bearing device is attached to the conventional fluid pressure cylinder described above, the compressed air supplied to operate the piston of the fluid pressure cylinder goes around the fluid bearing device, and as a result, the shaft member (piston rod)
The pressure in the gap between the bearing member and the bearing member increases, and the buoyant force F decreases, causing the problem that the hydrodynamic bearing cannot perform its original function and the shaft member comes into contact with the bearing member.

そこで、上述の問題に鑑み、請求項1の発明は、流体圧
シリンダなどの流体圧機器に取り付けて使用することが
可能な流体軸受は装置を提供することを目的としている
Therefore, in view of the above-mentioned problem, an object of the present invention is to provide a fluid bearing device that can be used by being attached to a fluid pressure device such as a fluid pressure cylinder.

請求項2の発明は、摺動部分のパツキンを無くすること
が可能で、摺動抵抗が極めて低く、メンテナンスが容易
な流体圧シリンダを提供することを目的としている。
The object of the invention is to provide a fluid pressure cylinder that can eliminate packing on sliding parts, has extremely low sliding resistance, and is easy to maintain.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

請求項1の発明は、上述の課題を解決するため、内周面
に開口し圧流体が噴出するための多数の小穴が周方向に
多数個並んで設けられた環状の軸受部材と、前記軸受部
材の内周面にクリアランスを有することが可能に挿入さ
れた円柱状の軸部材とからなる流体軸受は装置において
、前記小穴の位置に対して軸方向に離れた少なくとも一
方側に、前記軸部材の外周面に臨む周方向の逃がし溝部
が設けられ、前記逃がし溝部に連通し当該逃がし溝部内
に流入する圧流体を外部へ排出するための連通路が設け
られて構成される。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention of claim 1 provides an annular bearing member having a large number of small holes arranged in the circumferential direction that are opened in the inner circumferential surface and through which pressurized fluid is ejected, and the bearing member. In an apparatus, a hydrodynamic bearing consisting of a cylindrical shaft member inserted so as to have a clearance on the inner circumferential surface of the member is arranged such that the shaft member is disposed on at least one side axially distant from the position of the small hole. A circumferential relief groove facing the outer circumferential surface of the groove is provided, and a communication path is provided to communicate with the relief groove and discharge the pressurized fluid flowing into the relief groove to the outside.

請求項2の発明は、シリンダチューブと、前記シリンダ
チューブ内を移動するピストンと、前記ピストンに連結
されたピストンロッドと、前記シリンダチューブの両端
部を閉塞し前記軸部材が貫通するシリンダカバーとを有
する流体圧シリンダであって、前記ピストンロッドと前
記シリンダカバーとの間に請求項1の流体軸受は装置が
形成されてなることを特徴として構成される。
The invention according to claim 2 includes a cylinder tube, a piston that moves within the cylinder tube, a piston rod connected to the piston, and a cylinder cover that closes both ends of the cylinder tube and is penetrated by the shaft member. A fluid pressure cylinder according to claim 1, wherein a fluid bearing device according to claim 1 is formed between the piston rod and the cylinder cover.

〔作 用〕[For production]

小穴から軸受部材の内周面側に向かって圧流体が噴出し
、これによって軸部材と軸受部材との間に流体による膜
が形成され、軸部材と軸受部材とは非接触状態となる。
Pressure fluid is ejected from the small hole toward the inner circumferential surface of the bearing member, thereby forming a fluid film between the shaft member and the bearing member, and the shaft member and the bearing member are brought into a non-contact state.

外方から小穴に向かう圧流体は、逃がし溝部に流入し、
逃がし溝部から連通路を経て大気などに開放され、小穴
の部分の圧力は上昇せず、流体軸受は装置による浮力が
維持される。
Pressure fluid flowing from the outside toward the small hole flows into the relief groove,
The relief groove is opened to the atmosphere through the communication path, the pressure in the small hole does not increase, and the buoyancy of the fluid bearing is maintained by the device.

流体圧シリンダは、ピストンロッドが流体軸受は装置に
よって支持されており、その部分の摺動抵抗はほとんど
零となり、円滑な作動がiテわれる。
In the fluid pressure cylinder, the piston rod and the fluid bearing are supported by a device, and the sliding resistance of that part is almost zero, ensuring smooth operation.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明に係る流体軸受は装W2を用いた流体圧
シリンダ1の断面正面図である。
FIG. 1 is a sectional front view of a fluid pressure cylinder 1 using a fluid bearing assembly W2 according to the present invention.

第1図において、流体圧シリンダ1は、シリンダチュー
ブ11、シリンダチューブ11内をB動するピストン1
2、ピストン12の両側に連結されたピストンロッド1
3、シリンダチューブ11の両端部を閉塞しピストンロ
ッド13がは通ずるシリンダカバー14.15を有して
いる。
In FIG. 1, a fluid pressure cylinder 1 includes a cylinder tube 11 and a piston 1 moving B inside the cylinder tube 11.
2. Piston rod 1 connected to both sides of piston 12
3. It has cylinder covers 14 and 15 which close both ends of the cylinder tube 11 and through which the piston rod 13 passes.

シリンダカバー14は、ピストンロッド13の外径りよ
りも僅か大きい内径の内周面21aを有するカバ一部材
21と、カバ一部材21の外周の前方半分を覆ってポル
)23.23・・・により取り付けられて空気室31を
形成するキャップ22とからなる。したがって、ピスト
ンロッド13は、カバ一部材21の内周面21aにクリ
アランスを有することが可能に挿入されている。
The cylinder cover 14 covers a cover member 21 having an inner circumferential surface 21a with an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the piston rod 13, and a front half of the outer circumference of the cover member 21. and a cap 22 which is attached to form an air chamber 31. Therefore, the piston rod 13 is inserted into the inner peripheral surface 21a of the cover member 21 with a clearance.

カバ一部材21には、外周面の2箇所に周方向の溝が形
成されて薄肉部32.32が設けられ、この薄肉部32
には、薄肉部32の内周面21aに開口し圧縮空気が噴
出するための多数の小穴33.33・・・が周方向に多
数個並んで設けられている。各小穴33は、例えば直径
が0.3mm程度であり、各薄肉部32の周方向に等角
度位置に8個設けられている。
The cover member 21 is provided with thin wall portions 32 and 32 by forming circumferential grooves at two locations on the outer circumferential surface.
A large number of small holes 33, 33, . Each small hole 33 has a diameter of, for example, about 0.3 mm, and eight small holes 33 are provided at equal angular positions in the circumferential direction of each thin portion 32.

さらに、カバ一部材21には、小穴33の位置よりも軸
方向の内側において、ピストンロッド13の外周面に臨
む周方向の逃がし溝部34、逃がし溝部34に連通する
ボート35、及び、シリンダ室16に圧縮空気を供給す
るためのボート36が設けられている。
Further, the cover member 21 includes a circumferential relief groove 34 facing the outer circumferential surface of the piston rod 13 , a boat 35 communicating with the relief groove 34 , and a cylinder chamber 16 on the inside of the small hole 33 in the axial direction. A boat 36 is provided for supplying compressed air to.

キャップ22には、空気室31に圧縮空気を供給するた
めのボート37が設けられている。
The cap 22 is provided with a boat 37 for supplying compressed air to the air chamber 31.

ピストン12の外径は、シリンダチューブ11の内周面
11aの内径よりも僅か小さく、且つ、ピストン12の
外周面には、ラビリンズパッキンに相当する効果によっ
てシールを行うための多数の周溝41,41・・・が設
けられている。
The outer diameter of the piston 12 is slightly smaller than the inner diameter of the inner circumferential surface 11a of the cylinder tube 11, and the outer circumferential surface of the piston 12 has a large number of circumferential grooves 41 for sealing with an effect equivalent to labyrinth packing. , 41... are provided.

なお、51〜53はパツキンである。In addition, 51-53 are packing.

上述の流体圧シリンダ1においては、ピストンロッド1
3と両側のシリンダカバー14.15!:の間に、ピス
トンロッド13を軸部材とし、シリンダカバー14.1
5をそれぞれ軸受部材とする流体軸受は装置11F2.
 2が形成されている。
In the above-described fluid pressure cylinder 1, the piston rod 1
3 and cylinder covers on both sides 14.15! : between the piston rod 13 as a shaft member and the cylinder cover 14.1.
5 as bearing members is the device 11F2.
2 is formed.

つまり、流体圧シリンダ1は、ピストンロッド13の両
側がそれぞれ流体軸受は装置2.2によて支持され、ピ
ストン12はシリンダチューブ11と接触しない構造と
なっている。
That is, the fluid pressure cylinder 1 has a structure in which both sides of the piston rod 13 are supported by fluid bearing devices 2.2, and the piston 12 does not come into contact with the cylinder tube 11.

つまり、小穴33がある部分のピストンロッド13とカ
バ一部材21との間のクリアランスCA。
That is, the clearance CA between the piston rod 13 and the cover member 21 at the portion where the small hole 33 is located.

逃がし溝部34よりも軸方向内側のピストンロッド13
とカバ一部材21との間のクリアランスCB1及びピス
トン12とシリンダチューブ11との間のクリアランス
CCとの関係は、 クリアランスCA!−iクリアランスCBであり、 クリアランスCA<クリアランスCC である。
Piston rod 13 axially inner than relief groove 34
The relationship between the clearance CB1 between the cover member 21 and the clearance CC between the piston 12 and the cylinder tube 11 is as follows: Clearance CA! -i clearance CB, and clearance CA< clearance CC.

次に、上述のように構成された流体圧シリンダlについ
て、特に流体軸受は装置2の作用を中心にして説明する
Next, the fluid pressure cylinder 1 configured as described above will be explained, focusing on the operation of the device 2, especially the fluid bearing.

ボート37に適当な配管を行って圧縮空気を供給すると
、圧縮空気は空気室31に流入するとともに小穴33か
らピストンロッド13に向けて噴出する。小穴33から
の圧縮空気の噴出によって、内周面21aとピストンロ
ッド13との間に薄いエアー膜が形成される。ピストン
ロッド13は、エアー膜によって内周面21aから浮き
上がって非接触状態となる。また、ピストン12とシリ
ンダチューブ11との間も非接触状態である。この状態
では、ピストンロッド13とシリンダカバー14.15
との間の摩擦抵抗は極めて低く、ピストン12が軸方向
へ移動するための摺動抵抗はほとんど零である。
When compressed air is supplied to the boat 37 through appropriate piping, the compressed air flows into the air chamber 31 and is ejected from the small hole 33 toward the piston rod 13. A thin air film is formed between the inner circumferential surface 21a and the piston rod 13 by the jet of compressed air from the small hole 33. The piston rod 13 is lifted from the inner circumferential surface 21a by the air film and is in a non-contact state. Further, the piston 12 and the cylinder tube 11 are also in a non-contact state. In this state, the piston rod 13 and cylinder cover 14.15
The frictional resistance between the piston 12 and the piston 12 is extremely low, and the sliding resistance for the piston 12 to move in the axial direction is almost zero.

そこで、ボート36から圧縮空気が供給されると、圧縮
空気はシリンダ室16に流入してピストン12を図の左
方向に駆動する。
Therefore, when compressed air is supplied from the boat 36, the compressed air flows into the cylinder chamber 16 and drives the piston 12 to the left in the figure.

このとき、シリンダ室16の圧縮空気は、クリアランス
CAを通って小穴33の方へ廻り込もうとするが、それ
以前に逃がし溝部34に流入するとともに、逃がし溝部
34からボート35を通って大気に放出され、小穴33
の部分には至らない。
At this time, the compressed air in the cylinder chamber 16 tries to go around to the small hole 33 through the clearance CA, but before that, it flows into the relief groove 34 and passes from the relief groove 34 through the boat 35 to the atmosphere. released, small hole 33
It doesn't reach that part.

これによって、流体軸受は装N2による浮力Fが維持さ
れ、流体圧シリンダ1は円滑に作動する。
As a result, the fluid bearing maintains the buoyancy F due to the load N2, and the fluid pressure cylinder 1 operates smoothly.

一般に、空気軸受は装置F2の浮力F(負荷荷重)は 浮力F=KX (Ps−Pa)=−・(t)Ps・・・
空気室31の圧力 Pa・・・摺動部の圧力 K・・・軸受長さ及び軸部材の直径などに応じて定まる
定数 である。
Generally, in air bearings, the buoyancy F (load) of the device F2 is the buoyancy F=KX (Ps-Pa)=-(t)Ps...
Pressure Pa of the air chamber 31...pressure K of the sliding part...constants determined according to the length of the bearing, the diameter of the shaft member, etc.

つまり、浮力Fは、(Ps−Pa)に比例する。That is, the buoyant force F is proportional to (Ps-Pa).

上述の流体軸受は装置2の場合では、圧力Paは大気圧
にほぼ等しいが、もし仮に逃がし溝部34が無い場合に
は、シリンダ室16からの圧縮空気がクリアランスCA
に流入して廻り込み、圧力Paを上昇させ、これによっ
て(Ps−Pa)が減少し、浮力Fが低下してしまう。
In the case of the above-mentioned fluid bearing device 2, the pressure Pa is almost equal to atmospheric pressure, but if the relief groove 34 is not provided, the compressed air from the cylinder chamber 16 will reach the clearance CA.
The buoyant force F decreases as the pressure Pa increases and (Ps-Pa) decreases.

上述の実施例によると、逃がし溝部34があるため、シ
リンダ室16からの圧縮空気がクリアランスCAの部分
に流入することがなく、したがって流体軸受は装置2の
浮力Fが低下しない。
According to the above-described embodiment, since the relief groove 34 is provided, the compressed air from the cylinder chamber 16 does not flow into the clearance CA, and therefore, the buoyancy F of the device 2 does not decrease in the hydrodynamic bearing.

つまり、上述の流体軸受は装置2は、流体圧シリンダ1
などの流体圧機器に取り付けて使用することが可能とな
る。
In other words, the above-mentioned fluid bearing device 2 is connected to the fluid pressure cylinder 1.
It can be used by attaching it to fluid pressure equipment such as.

また、上述の流体圧シリンダ1は、摺動部分のパツキン
が無いため、摺動抵抗が極めて低く、作動が円滑であり
、且つ、パツキンの点検や交換などが不要でメンテナン
スが容易である。
Further, since the above-mentioned fluid pressure cylinder 1 does not have a gasket on the sliding portion, the sliding resistance is extremely low, the operation is smooth, and maintenance is easy since there is no need to inspect or replace the gasket.

上述の実施例において、カバ一部材21の2箇所に薄肉
部32を形威し、それぞれの薄肉部32に小穴33.3
3・・・を設けたが、1箇所にのみ、又は3箇所以上に
薄肉部32を設けてもよい。小穴33の大きさ、個数は
増減することができ、形状も種々のものとすることがで
きる。逃がし溝部34とボート36とが軸方向の同じ位
置に設けられているので、シリンダカバー14.15の
長さ寸法を小さくできるが、例えば逃がし溝部34を小
穴33のもっと近くに設けるようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the cover member 21 has two thin-walled portions 32, and each thin-walled portion 32 has a small hole 33.3.
3... are provided, but the thin wall portion 32 may be provided only at one location, or at three or more locations. The size and number of the small holes 33 can be increased or decreased, and the shapes can also be varied. Since the relief groove 34 and the boat 36 are provided at the same position in the axial direction, the length of the cylinder cover 14.15 can be reduced, but even if the relief groove 34 is provided closer to the small hole 33, for example. good.

逃がし溝部34の形状、寸法、大きさ、個数などは、上
述した以外の種々のものとすることができる。ピストン
12に摺動抵抗の少ないパツキンを装着することも可能
である。カバ一部材21とキャップ22とを一体的に形
成することも可能である。クリアランスCBをクリアラ
ンスCAよりも僅か大きくしてもよい。
The shape, dimensions, size, number, etc. of the escape groove portion 34 may be various other than those described above. It is also possible to mount the piston 12 with a gasket with less sliding resistance. It is also possible to form the cover member 21 and the cap 22 integrally. The clearance CB may be slightly larger than the clearance CA.

上述の実施例においては、流体圧シリンダ1が両ロンド
型であるが、シリンダカバー14をもっと長くし、片ロ
ツド型の流体圧シリンダとすることも可能である。流体
軸受は装f2は、流体圧シリンダl以外の種々の流体圧
機器に利用することが可能である。
In the above-described embodiment, the hydraulic cylinder 1 is a double-rod type, but it is also possible to make the cylinder cover 14 longer and make it a single-rod type hydraulic cylinder. The fluid bearing device f2 can be used in various fluid pressure devices other than the fluid pressure cylinder l.

〔発明の効果] 請求項1の発明によると、流体圧シリンダなどの流体圧
機器に取り付けて使用することが可能な流体軸受は装置
を提供することができる。
[Effects of the Invention] According to the invention of claim 1, it is possible to provide a fluid bearing device that can be used by being attached to a fluid pressure device such as a fluid pressure cylinder.

請求項2の発明によると、摺動部分のパツキンを無くす
ることが可能で、摺動抵抗が極めて低く、メンテナンス
が容易な流体圧シリンダを提供することができる。
According to the invention of claim 2, it is possible to eliminate packing on the sliding portion, and it is possible to provide a fluid pressure cylinder that has extremely low sliding resistance and is easy to maintain.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る流体軸受は装置を用いた流体圧シ
リンダの断面正面図である。 1・・・流体圧シリンダ、2・・・流体軸受は装置、1
1・・・シリンダチューブ、12・・・ピストン、13
・・・ピストンロッド(軸部材)、14.15・・・シ
リンダカバー(軸受部材)、21a・・・内周面、33
・・・小穴、34・・・逃がし溝部、35・・・ボート
(連通路)、CA・・・クリアランス・
FIG. 1 is a sectional front view of a fluid pressure cylinder using a fluid bearing device according to the present invention. 1...Fluid pressure cylinder, 2...Fluid bearing is a device, 1
1... Cylinder tube, 12... Piston, 13
...Piston rod (shaft member), 14.15...Cylinder cover (bearing member), 21a...Inner peripheral surface, 33
...Small hole, 34...Escape groove, 35...Boat (communicating passage), CA...Clearance.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)内周面に開口し圧流体が噴出するための多数の小
穴が周方向に多数個並んで設けられた環状の軸受部材と
、 前記軸受部材の内周面にクリアランスを有することが可
能に挿入された円柱状の軸部材とからなる流体軸受け装
置において、 前記小穴の位置に対して軸方向に離れた少なくとも一方
側に、前記軸部材の外周面に臨む周方向の逃がし溝部が
設けられ、 前記逃がし溝部に連通し当該逃がし溝部内に流入する圧
流体を外部へ排出するための連通路が設けられ てなる流体軸受け装置。
(1) It is possible to have a clearance between an annular bearing member having a large number of small holes lined up in the circumferential direction that are opened on the inner circumferential surface and through which pressurized fluid is ejected, and the inner circumferential surface of the bearing member. In a hydrodynamic bearing device comprising a cylindrical shaft member inserted into the shaft member, a circumferential relief groove facing the outer circumferential surface of the shaft member is provided on at least one side axially distant from the position of the small hole. . A hydrodynamic bearing device comprising a communication path that communicates with the relief groove and discharges the pressure fluid flowing into the relief groove to the outside.
(2)シリンダチューブと、前記シリンダチューブ内を
移動するピストンと、前記ピストンに連結されたピスト
ンロッドと、前記シリンダチューブの両端部を閉塞し前
記軸部材が貫通するシリンダカバーとを有する流体圧シ
リンダであって、 前記ピストンロッドと前記シリンダカバーとの間に請求
項1の流体軸受け装置が形成されてなることを特徴とす
る流体軸受け装置を用いた流体圧シリンダ
(2) A fluid pressure cylinder including a cylinder tube, a piston that moves within the cylinder tube, a piston rod connected to the piston, and a cylinder cover that closes both ends of the cylinder tube and is penetrated by the shaft member. A fluid pressure cylinder using a fluid bearing device, characterized in that the fluid bearing device of claim 1 is formed between the piston rod and the cylinder cover.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010247602A (en) * 2009-04-14 2010-11-04 Nabtesco Corp Actuator monitoring circuit, control device, and actuator unit

Cited By (2)

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