JPH03630Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、真空室と真空ポンプとの間に介在
させ、これらの間の管路を開閉するための真空バ
ルブに関するものである。

（従来の技術） 例えば、真空室とこれを真空状態にするための
真空ポンプは、通常第５図のように接続されてお
り、真空室Ｃを真空にするに際し、例えば当初は
真空バルブ１は閉じている。そして、まず、開閉
弁Ｖを開いて油回転ポンプＰ２を運転し、いわゆ
る荒引きによつて真空室Ｃの真空度を或程度まで
上げた後、真空バルブ１を開き、油拡散ポンプＰ
１を運転して所望の真空度を得るようにしてい
る。このような場合に使用する真空バルブ１は、
通常、空気圧で動作するアクチユエータによつて
弁板５を開閉するようにしたものがあるが、所望
の真空度が得られた後弁板５を閉じる際、管路抵
抗がなくなつているため従来のオンオフ動作のみ
の真空バルブでは弁板５が急激に閉じる。このた
め、バルブシート面に施こされた図示しないシー
ル材に弁板５が激しく当接するので、シール材を
いためやすいし、また大きな作動音が発生するの
で煩しい。また、最近、真空室中での製品の加
工、製作に際し、真空状態を得た後、特殊な気体
を注入しながら、一方では吸引する動作が求めら
れるようになつて来た。この場合、真空状態が得
られ、真空弁を閉じた後、弁板を静かに少しだけ
あける動作が必要になる。

このような必要に応じるため、空気圧作動、油
圧作動又は電動のサーボ弁を用いれば簡単にその
要求を満たすことができるが、サーボ弁自体、構
造は複雑で高価なものであるから、不経済であ
る。

（解決しようとする問題点） この考案は、通常の開閉だけでなく弁板の開閉
を静かに行なうことができる、構造簡単で安価な
真空バルブを提供しようとするものである。

（問題点を解決するための手段） この考案は、真空バルブの弁板を開閉させる駆
動部材に２個のアクチユエータを連結し、これら
別々の操作圧を与え、この操作圧の圧力差又は和
によつて弁板の駆動部材を操作することができる
ようにしたものである。（作用） ２個のアクチユエータに別々に操作力を与え、
静かに開閉する時には、これらの操作圧の差によ
る操作力を作用せしめることによつて急激な開閉
を行なわず、静かに弁板を開閉し、弁板がシール
材に当接した後など大きい操作力を必要とすると
きには、これらの操作圧の和による操作力で弁板
を閉じることができる。

（実施例） ２個のアクチユエータとしてロータリアクチユ
エータを使用し、電気スイツチ操作によつて弁板
を開閉せしめるようにした一実施例について図面
を用いて説明する。

第１図及及び第２図において、両端に外側向き
のフランジを有する円筒状のケース２の図上左端
には、ケース２のフランジ外径と同外径のバルブ
シート３が、Ｏリング４を介して図示しないボル
トによつて結合されている。バルブシート３は、
弁板５との合わせ面を残して中ぐりされたドーナ
ツ状の板であり、Ｏリング４はバルブシート３と
ケース２のフランジ面の全周にわたつてシーリン
グをしている。

弁板５は、ケース２の内径より少し小さい外径
の円板で、閉位置ではＯリング６を介して、バル
ブシート３と密着する。弁板５はその中央にコ字
形のアーム６が突設しており、このコ字形に形成
される隙間に第１リンク７が挿入され、アーム６
に対して回動自在に軸支８されている。第１リン
ク７の他端を貫通して駆動軸９が固着されてお
り、駆動軸９は、ケース２を貫通し、ケース２の
外部で、この両側の貫通部にそれぞれ取り付けら
れたロータリアクチユエータ１０ａ，１０ｂと結
合され、これらロータリアクチユエータによつて
駆動される。

ロータリアクチユエータ１０ａ，１０ｂは、第
３図のようにいずれも、時計方向、反時計方向の
回動を与えるためのそれぞれ二つの入力ポートを
有する空気圧動作のアクチユエータである。

アーム６の先端には、第１リンク７より短い第
２リンク１１，１１が回動可能に軸支１２されて
おり、第２リンク１１，１１の他端はそれぞれ、
ケース２の一部に回動可能に軸支１３されてい
る。

真空バルブ１の構造は、上記の通りであつてロ
ータリアクチユエータ１０ａ，１０ｂに別々に操
作圧を与えてその差圧などにより駆動軸９を駆動
し、弁板５を開閉するのであるが、アーム６、第
１リンク７、第２リンク１１で４節リンクを形成
しているので、ヒンジなどによつて開閉するもの
と異なり、弁板５は第２図の２点鎖線で示すよう
にほぼ全開することができる。また、ロータリア
クチユエータ１０ａ，１０ｂは第３図のような回
路で制御される。

第３図において、空気圧源１５は、２組のレギ
ユレータの入力に接続される。１組のレギユレー
タ１６ａ，１７ａはそれぞれ５Kg及び４Kgの空気
圧レギユレータで、ロータリアクチユエータ１０
ａ，用であり、もう１組のレギユレータ１６ｂ，
１７ｂもそれぞれ５Kg及び４Kgの空気圧レギユレ
ータでそれぞれロータリアクチユエータ１０ｂ用
である。

レギユレータ１６ａの出力は、制御弁１８を介
し、レギユレータ１７ｂの出力は、制御弁１９を
介してロータリアクチユエータ１０ａの一方の入
力ポートへ接続されている。レギユレータ１６
ｂの出力は制御弁２０を介してロータリアクチユ
エータ１０ｂの一方の入力力ポートへ、また、
制御弁２１を介して、他の一方の入力ポートへ
接続されており、レギユレータ１７ｂの出力は制
御弁２２、制御弁２３を順次介して、ロータリア
クチユエータ１０ｂの他の一方の入力ポートへ接
続されている。

真空バルブの開閉用スイツチ２４は、２連式の
スイツチで、制御弁の開閉を行うとともに開度セ
ンサ２５の出力選択を行う、開閉用スイツチ２４
は閉位置で、制御弁１８，２２を閉にするととも
に、開度センサ２５から制御弁２０，２３への回
路接続を接にする。また、開位置で制御弁１９及
び２１を閉にする。

開度センサ２５は、その取り付けを詳細に図示
しないが駆動軸９の回動位置を検出することによ
つて弁板５がＯリング６に接するときの弁板位置
を検出する例えばリミツトスイツチであり、開閉
用スイツチ２４が閉位置にあるときに、弁板５を
検出すると、制御弁２０を閉にし、制御弁２３を
開にする。

真空バルブ１を閉とするため、開閉用スイツチ
２４を閉位置にすると、第４ａ図のタイムチヤー
トの通り、ロータリアクチユエータ１０ａ，１０
ｂに空気圧が加わり、弁板５は静かに閉じられて
行き、Ｏリング６に接したとき、強い操作力で弁
板５を閉じる。真空ポンプが接続され、動作して
いる限り、ここで開閉用スイツチを断にしても、
弁板５は真空によつて吸引されているので、開く
ようなことはないものである。

弁板５が閉状態にあるとき、開閉用スイツチ２
４を開にすると、第４ｂ図のタイムチヤートの通
り、ロータリアクチユエータ１０ａ，１０ｂに空
気圧が加わり、弁板５は静かに開けられる。

この実施例は、真空バルブの開閉操作を手動の
スイツチで行うものであつたが、コンピユータを
内蔵した制御装置のプログラムに基づく指令によ
つて行なうようにもでき、真空室での加工、製作
ラインなどでは、その方が普通である。また、先
に述べたように、弁板５を少し開ける場合及びこ
のような小開をステツプ的に行うことは、制御装
置次第で、適宜にできる。その場合の開度センサ
は、リミツトスイツチに限らず、エンコーダなど
とすることができる。また、一般に開度センサ
は、リミツトスイツチが簡単であるが、エンコー
ダやプレツシヤゲージなどとすることもできる。

また、アクチユエータはロータリに限るもので
はなく、シリンダとし、リンク機構を駆動軸に連
結して駆動することもでき、弁板の操作機構もリ
ンクのほかヒンジとするほか各種の方式のものと
することもできる。アクチユエータに与える操作
圧も適宜に選べるものであり、レギユレータを二
つのアクチユエータに共用とすることもできる。

更にまた、アクチユエータは、空気圧式に限る
ものではなく、油圧式、電動式などとすることも
できるが、油圧式の場合は、流量を絞り、圧を高
くすることになろう。そして、２個のアクチユエ
ータへの操作圧の与え方次第で、単なるオンオフ
動作もまた可能である。

（効果） 以上の通り、この考案によれば、通常の開閉動
作のほかに、静かな開閉動作のできる、簡単な構
造で安価な真空バルブを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は、この考案の従来例及び実施例を示すも
のであつて、第１図は縦断面図、第２図は矢視図
第３図は回路図、第４図はタイムチヤート、第５
図は概略図である。 図面において、１は真空バルブ、２はケース、
５は弁板、９は駆動軸（駆動部材）、１０ａ，１
０ｂはロータリアクチユエータ（アクチユエー
タ）。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ケース内において閉時にバルブシートと当接
   する弁板に連結される弁板の駆動部材に、２方
   向に動作することができる２個のアクチユエー
   タを連結してなり、それぞれのアクチユエータ
   に加えられる操作圧の差又は和によつて前記駆
   動部材を駆動せしめることができることを特徴
   とする真空バルブ。 (2) 前記アクチユエータは、流体作動のロータリ
   アクチユエータである実用新案登録請求の範囲
   第１項記載の真空バルブ。 (3) 前記アクチユエータは、流体作動のシリンダ
   である実用新案登録請求の範囲第１項記載の真
   空バルブ。