JPH0363544A - 放出粒子計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技血立立 本発明は、物品より放射される粒子の計測方法及びこれ
に用いる測定室に関するものである。とくに本発明は、
半導体装置等の電子関係装置の製造に用いる機器よりの
放出粒子の計測装置に関する。

発ＩＲＩＬ量 半導体の製造には、長時間にわたり清浄な処理環境を必
要とし、厳格な基準を必要とするウェハの表面に粒子の
汚染が生じないようにするを要する。粒子汚染源は数限
りなくある。比較的に静止しているエア（空気）の環境
内では、粒子は動作中の機械、例えば電気モータ、また
はロボント装置等より放出される。エアが急速に動いて
いる環境では、はとんどすべての物体より表面粒子が順
次放散される。いったん粒子が空気中に浮遊すると、そ
の粒子が動作中の機械のものか表面より剥離したものか
に係りなく潜在的な汚染源となる。

何れの場合でも、粒子源を無くすか少くするよう慎重に
注意を払う必要がある。粒子源を無くすことができない
ときは、浮遊粒子が表面に堆積するのを減少させるのが
適当である。これを行う１つの方法はエアの二極イオン
化である。

数多くの研究により、静電力が電荷表面に粒子を付着さ
せる速度に最大の影響を持つことが判明している。多く
の場合、静電力が重力、エア　ダイナミック（空気力学
）、熱力学効果等よりもより重要である。双極エア　イ
オン化によると有効に表面電荷が減少し、その結果重要
な製品表面への粒子付着率が減少する。数多くの試験結
果によれば、表面電位を５ｋＶより１００ｖ以下に減少
させると表面の粒子カウントに顕著な改良が見られた。

しかし他の報告によると、ある種の高電圧ＤＣコロナ放
電イオン化自体により０．００３〜０．０３ミクロン領
域の微小粒子を多数発生することが示されている。これ
らの粒子が小寸法であることから、イオン化領域におい
て表面汚染度が低いという明瞭な矛盾が理解される。そ
の理由はほとんどの表面走査装置でこれら小寸法粒子は
検出されなかったからである。

粒子発生の報告書はいくついかの点で問題を喚起してい
る。いくつかの発表は、通常の動作レベルの５０倍まで
のコロナ電流における促進試験を基としてなされている
。他の報告は、粒子サンプリング　プローブの配置とグ
ラウンデング（付着）、イオナイザ及びプローブを通過
するエアの流れ、ならび背景となる粒子カウント等の要
因の報告が欠如している。いつくかの試験は、イオナイ
ザの製造者が急速腐食の理由で使用しない材料を使用し
ている。ロボットまたは電動モータの如き可動部のある
機械よりの粒子放出については、当然のことながら詳し
い報告がなされていない。

全体として試験方法の標準化がなされていないことの理
由によって、イオン化装置を含む各種材料及び物品の粒
子放出度合いの比較がなされていなかった。最後に粒子
発生源についての不一致がある。例えば、クリーン　ル
ーム内でイオン　エミッタ上に形成される堆積物の分析
より、残留物は非金属物質であり、恐らく同−環境内の
他の発生源より収集されたものであろうということが示
されている。

超微粒子の発生は、クリーン　ルーム内で使用される機
器の製造者並びにその購入者にとって大なる問題である
。電子装置の製造に使用されるすべての機器よりの粒子
放出の計測を可能にするためには、明らかに標準化した
試験室及び方法が必要である。

ｋ末技先 従来半導体の取扱い機器よりの粒子放出を測定するため
にいくつかの方法が使用されている。これらは次の如く
である。

１）クリーン　ルーム　での　　サンプリングもっとも
一般の装置個所（ｉｎ　５ｉｔｕ　）サンプリングはク
リーン　ルーム内で行うものである。エアロゾル粒子カ
ウンタに装着したサンプリングプローブを用いて被計測
装置附近のエア　サンプルを吸引する。サンプル　カウ
ントを基として放出される全粒子を計算する。との方法
は、プローブの位置の特定と、放散源が動作している稀
釈体積の特定ができない欠点がある。従ってその結果は
、極めて大きく変動する。

チェンバによるサンプリング との方法ではＨＥＰＡ　（高効率粒子気体）フィルタで
濾過されたエア（空気）が連続的に通過する既知の気流
速のトンネル内に装置を配置する。粒子発生源の下流に
サンプリング　チューブを位置させ粒子濃度を計測する
。連邦標準（ＦｅｄｅｒａｌＳｔａｎｄａｒｄ）　２０
９　Ｄの如き清浄エアの標準にちとづいて、装置の特性
を評価する。適当にエアを混合させることによりとの方
法は再現可能な結果を生ずる。しかしとの方法は発生率
の低い発生源のときの感度に欠ける欠点がある。

チェンバ　のサンプリング との方法では、被計測装置を完全にチェンバ内に収容し
、ある時間にわたって粒子濃度を計測する。粒子濃度が
安定状態のレベルに到達するのを待って装置の粒子発生
率を決定する。との技術は再現可能の結果を生じ、低粒
子放出レベルの検出に最高の感度を有する。

発１Ｒ刈正沃 本発明の目的は、内部に機械装置が存しない試験室を提
供するにある。

さらに本発明は粒子のバックグランド　カウントが極度
に低い試験測定室を提供することを目的とする。

さらに本発明は、粒子減衰常数が予知できる測定室を提
供することも目的とする。

本発明は物品より放出される粒子の計測装置であって、
本装置は当該被計測物品を収容するに充分な大きさの空
所を画成する閉鎖チェンバを有する。とのチェンバは第
１及び第２端部と、フィルタを有し、これらフィルタは
両端のうちの１端部を通じてチェンバにエアを導入し、
かつ他端部より排出するように配置する。圧縮エアのソ
ースにもフィルタを装着し、濾過圧縮エアをキャビティ
に供給する。最后に０．００３　ミクロンの大きさの粒
子をも検出しうる粒子カウンタを設ける。

本発明はエア流通試験と、静的試験の両者の測定を可能
にした新規な測定室を提供する。以下本試験装置のハー
ドウェア、ソトフウエア、機械的特徴を測定室の機能を
示す試験結果と共に説明する。

尖施員 第１図は本発明による粒子測定装置の一部を破断して示
す斜視図である。

第１図において、測定室１０は図示を明瞭にするため一
部を破断して示すチェンバ（外室）１２内に配置する。

チェンバ１２は環境調整室であり、空気はファン１４に
よりダクト１６を通して供給される。

ダクト１６はエア　フィルタ　システム（空気濾過装置
）１８を有している。とのエア　フィルタ　システム１
８は、ＶＬＳＩ　　グレード（Ｖｅｒｙ　Ｌａｒｇｅ　
ＳｃａｌｅＩｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ−−一高密度集積）
　ＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ　ＥｆｆｉｃｉｅｎｃｙＰａｒｔ
ｉｃｌｅ　Ａｒｒｅｓｔｏｒ−−一高効率粒子アレスタ
）フィルタ、例えばワシントンＳ、Ｃ，所在フランダー
スフィルターズ　インコーホレーテッド（Ｆｌａｎｄｅ
ｒｓＦｉｌｔｅｒｓ、　Ｉｎｃ、　）製のフィルタを有
している。とのエア　フィルタ　システムは周囲空気を
室１２内に再循環させる。

とのチェンバ１２内には、通常閉じられているドア２０
を通して出入りができる。ドア１２は汚染物質または粒
子が不用意に室内に入ることを防止するため閉じている
。ドア２０が閉しられており、エアフィルタ　システム
１８を通してチェンバ１２内に周囲空気が導入されてい
る状態ではチェンバ内の空気は一般に比較的に低い粒子
カウントを示す。

測定室１０はとのチェンバ（外室）１２内に位置してい
るので、元来比較的に清浄な環境内に位置している。と
の測定室１０は所定体積の内部キャビティ（空所）２４
を画成する。とのキャビティ２４は、従来粒子を放出す
ると知られているまたはその疑のある装置および物品を
収容するに充分な大きさとする。とのような物品は現存
の清浄室で使用されていたり、あるいは使用するに適す
るとされているものである。しかしこれら物品は、清浄
室（クリーン　ルーム）に導入前に物品より粒子放出が
生ずるか否かを定める必要がある。例えば小形の電気モ
ータは、通常の動作中に金属または油のエアロゾル寸法
の粒子を放出し易い。これらの粒子は半導体ウェファま
たはチップの製造に致命的な支障を及ぼす。

測定室１０は内側表面の清浄化が容易な材料で構成する
。測定室１０の一側面にドア２６を取付け、その内側に
入り得るようにする。とのドア２６を閉じたときは、ゴ
ムのガスケット　バッキングによってチェンバの他の部
分より測定室を密閉し、チェンバ１２内の環境空気が測
定中の測定室に入り込まないようにする。

少くとも２つの人容！を集積回路（ＶＬＳＩ）グレード
の高効率粒子除去（ＨＥＰＡ）フィルタで、ワシントン
州　フランダース　フィルタ社より市販されているフィ
ルタを空気流通口に使用する。とのＶＬＳＩ　　グレー
ド　ＨＥＰＡ　　フィルタのうち第１フイルタ２２を測
定室１０の１端側面に装着し、との側面には測定室１０
内へ濾過する空気を送る動力源となる排気のファンユニ
ット２８を装着する。測定室１０の反対端部に、同様の
ＶＬＳ　Ｉ　　グレード　ＩＩＥＰＡ　　フィルタ３０
を装着し、測定室１０内より空気を排出しうるようにす
る。測定室１０の両端側面のフィルタは、効率良く濾過
作用を行うため入力側及び出力側を有するフィルタとす
る。フィルタ２２の入力側は測定室１０のチェンバ（外
室）側とし、フィルタ３０の入力側は測定室１０の空所
（キャビティ）２４側とする。大型の測定室の場合は、
さらに多くの１１ＥＰＡ　　フィルタを設けるを可とす
る。

測定室１０の重要な特徴は複数個のエア　ジェット３２
及び３４を設けることである。エア　ジェット３２及び
３４はキャビティ２４の対向側に設け、とくに１組をキ
ャビティ２４の下側部分に位置させ、他の１組をキャビ
ティの上側部分に位置させると好都合である。また測定
室１０の大きさに応じて、エアジェツト３２及び３４の
数を変化させる。１種類のエア　ジェット３２及び１種
類のエア　ジェット３４を設ければ充分である。すなわ
ち測定室の対向壁の頂部に少くとも１つのエア　ジェッ
トを装着し、かつ底面に少くとも１つのエア　ジェット
を装着すれば良い。小型の測定室では単一のエア　ジェ
ットで充分である。ファン　ユニット２８によるエアの
流れに対向してこれらのエア　ジェットを設ける目的は
、測定室１０内のキャビティの空気を充分に攪拌するこ
とと、毎時約２回のエアの入替を行うことである。コン
プレッサ３６よりフィルタユニット３８ヘエアを送り、
これよりエアの供給を行う。

フィルタ　ユニット３８の詳細を第７図に示す。

エアは少くとも５段階のフィルタ装置へ供給する。

第１フイルタ６０は５ミクロン　フィルタを可とし、第
２フイルタ６２も同様である。フィルタ６０と６２との
間に調圧器６４を介挿する。ニードル　バルブ６Ｇによ
り第２フイルタ６２と同様の第３フイルタ６８の出口の
エアの流れを調節する。フィルタ６８は０１１ミクロン
　フィルタとするを可とする。ニードルバルブの下流に
流量計７０を設け、さらにその下流側に圧力計７２を設
ける。最後にガラス　フィルタ７４によってエアを管路
４０に送る。との管路４０はエア　ジェット３２及び３
４に通じている。各エア　ジェットには、最終のフィル
タ段として、少くとも０．０２ミクロンのメンブレン　
フィルタ７６を設け、これを直接キャビティ内に開口さ
せる。これらのフィルタは、マサチューセッツ州０１７
３０　　ベツドフォード　アシュレイ　ロード８０のミ
リボールコーポレーション（Ｍｉｌｌｉｐｏｒｅ　Ｃｏ
ｒｐ、　）より人手可能である。とのような配置により
、キャビティ内の気圧を僅かに正とし、外側の粒子が測
定室１０内に漏洩して入ることを防止する。

これまでは試験装置の静止エア　チェンバ又は流通エア
　チェンバの概略構造について説明した。

以下には試験を行うに必要な装置について説明する。

粒子のカウントはカウンタ４２で行う。カウンタ４２は
少くとも０．００５　ミクロンの如く小寸法粒子をも検
出しうる能力を有するものとする。とのようなカウンタ
はミネソタ州　セント　ボール　カーデイガン　ロード
５００のＴＳＩ、　Ｉｎｃより販売されている。とくに
モデル３７６０コンデンセーシヨン　ニュータルス　カ
ウンタは毎分１．４２リツトルのサンプル速度で０．０
１４　ミクロン以上の大きさの粒子を検出する。との粒
子カウンタ４２は第１図に見られるようにキャビティ２
４内に装着し、キャビティ２４内よりカウンタ内に直接
エアを引込む。真空ポンプ４４がとの粒子カウンタを通
ずるエアの流れを形成する。試験にはとの粒子カウンタ
４２の位置が重要である。とくに試験すべき物品と粒子
カウンタの相対位置が重要である。本明細書でとりあげ
る特定の実施例では粒子カウンタを試験すべき物品より
１ｍの距離に配置する。

粒子カウンタ４２よりの出力をコンピュータ４６に接続
し、適当な処理を行う。粒子カウントをコンピュータに
送り、−例として２分間隔で粒子カウントを記録し、そ
のデータをメモリに記憶する。

次でデータは一般のプログラムによって利用可能となる
。

上述の粒子カウンタの他に大寸法の粒子を計測するカウ
ンタが必要である。４２Ａで示すとの種カウンタはコロ
ラド州８０３０１　　ポウルダ　サウスフィフティセブ
ンス　コート１８５５所存パーテイクル　メジャリング
　システムスより入手可能である。との装置は０．１　
ミクロンより大きな粒子を計測し、これらを大きさによ
って分類する。

エア流通テスト中、キャビティ２４を通過するエア（空
気）の流速を測定すると好都合である。これは熱風速計
（ｔｈｅｒｍｏａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ）　５０で行うこ
とができる。との機器は、カリフォルニア州９３９４０
モンテレイ　ガーデン　ロード２４１１のクルツインス
トルメンツ　インコーホレーテッド（ＫｕｒｔｓＩｎｓ
ｔｒｕａ＋ｅｎｔｓ、　Ｉｎｃ、　）で販売しており入
手可能である。

空気イオン化装置（エア　イオナイザ）をチェンバ内で
試験する場合は、粒子カウンタの附近の電荷を読取るフ
ィールド　メータを用いるのが好都合である。との種メ
ータはニューヨーク州メジナソールト　ワークス　ロー
ド３９３２のトレックインコーポレーテッド（Ｔｒｅｋ
、　Ｉｎｃ、）で市販している。

イオン化装置（イオナイザ）を試験するための環境をモ
ニタするには、１０億（ピリオン）レベル当りの粒子に
対するオゾン濃度を測定するオゾン計を用いると好都合
である。とのようなオゾン計はカリフォルニア州グレン
ゾール所在のダシビエンバイロメンタル　コーポレーシ
ョン（ＤａｓｉｂｉＥｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ　Ｃｏ
ｒｐｏｒｔｉｏｎ）で販売している。

第２図は測定室１０の側面図である。第２図において、
５４は試験すべき物品を示す。

チェンバ　ダイナミックス 測定室１０を静的試験室として使用するときは、極めて
良好に混合されたボックスとしてのモデルで頚椎するこ
とができる。との技術によると使用する試験結果より、
物品５４の粒子発生率を決定することができる。良好に
混合されたボックス内の汚染濃度に対する基本的微分率
の式は次の如くして与えられる。

Ｃ Ｖ−＝Ｐ−ｋＣ−ＱＣ ｔ ・・・（１） 式中、 ■・・・室の体積 Ｐ・・・粒子発生率 Ｃ・・・粒子濃度 ｋ・・・壁損失率 Ｑ・・・メーク レート （Ｌ３　） （ｔ−’） （１３ｔ−１） アップ　エア （ＩＪ−３） フロー 適当な初期条件を入力し、（１）式を積分すれば、ボッ
クスの充填及び排出を定める一般に知られている式が得
られる。Ｃ＝０のとき１＝０においで、一定の粒子発生
が開始されたとすると、安定状態に向っての濃度上昇は
次式で与えられる。

ここにおいて、 Ｑ“＝に十Ｑ−等価エア流速 しが長くなると、零数項は小となり、（２）式を簡略化
して安定状態の式（３）が得られる。

Ｐ＝Ｃ（Ｘ）Ｑゝ ・・・（３） チェンバ内に粒子が充満した状態で、物品５４を急速に
パワー遮断（物品５４がパワー駆動として）したとする
と、濃度は次式により０に向って減少してゆく。

式（２）ないしく４）は、測定室が一次特性のＲＣフィ
ルタに似た過渡現象を有することを示す。粒子放出状態
が変動する物品を測定室内に配置すると、次の時定数で
濃度変動が減衰される。

（２）式は、安定状態に５％以内に接近するのに約２〜
３倍の定時間だけ待つ必要があることを意味する。（４
）式は、減衰曲線の傾斜が測定室の時定数の逆数である
ことを示す。塊状集積損失は無視した。その理由は、ス
モルチョウスキイ（Ｓｍｏｌｕｃｈｏｗｓｋｉ）塊状集
積が顕著になるような粒子濃度は実用上次して許容でき
ないからである。上記各式はチェンバ内が完全に混合さ
れており、一定の壁面損失がある場合を仮定している。

しかし実際の測定室がとの理想特性に如何に近く近似す
るかは、これらの各条件が如何に良好に満足されるかに
よって定まる。

拭ＩＬ失汰 測定室１０はエア流通状態、あるいは静的状態の何れで
も試験ができるように構成する。これら両方の場合、試
験工程中粒子レベルを連続的にモニタする。エア流通状
態の試験配置では、物品５４の周囲にはＩＩ　Ｅ　Ｐ　
Ａフィルタで濾過されたエアであり、物品をクリーン　
ルーム内に配置したときの動作状態をシュミレートする
。との試験では、ＨＥＰＡファン　ユニット２８をスイ
ッチ　オンし、３０分間の・清濾時間後に測定対象物品
５４をスイッチ　オンし、試験を開始する。

静的ボックス測定シーケンスは、流通測定よりも僅かに
複雑である。との測定は、ＨＥＰＡファンユニット２８
のみを動作させ、３０分のパージ（浄化）期間を経てか
ら開始する。次に、ＨＥＰＡファン　ユニット２８の動
作を中断し、エア　ジェット３２．３４からメイクアン
プ　エアのみを発生させてバックグラウンド　カウント
を６０分間チエツクする。との後ＨＥＰＡファン　ユニ
ット２８を停止し、被計測物品をメイクアップ　エアの
みで動作させる。測定のとの部分は１〜３日間継続し、
粒子発生量を測定するのが一般的である。測定室ｌＯに
おけるエアの入れ替えは、エア　メイクアップ　システ
ムを使用し、毎時２〜８回の間とする。エアの調整はフ
ィルタ　ユニット３８、また特に調圧器６４、ニードル
　バルブ６６及び流量計７０により行う。測定の最後の
１２０分において、被計測物品の動作を停止し、粒子濃
度を減衰させる。との減衰期間により、被計測物品の測
定室内への粒子放出が均衡化した後、室内の粒子残留時
間を直接測定することができる。

測定室１０は測定期間全体にわたり安定した極めて低い
バックグラウンド　カウントを有していなければならな
い。初期の組立後、室壁、）ＩＥＰＡファン　ユニット
２８およびメイクアップ　システム３２゜３４を稼働さ
せながら、メタノールで周期的にきれいに拭き取るべき
である。とのプロセスは初期には数日間繰り返すべきで
ある。最後に、メイクアップ　エアのみを動作させてＨ
ＥＰＡファン　ユニット２８を停止する。

初期処理後には、測定室１０は容易に低いバックグラウ
ンド　カウントを維持する。バンクグラウンド　カウン
トは、長期間ゼロカウントが続いた後にカウンタ４２に
１力ウント／時間よりも小さい値となって現れるのが一
般的である。第３閃は、５日間にわたり記録した典型的
なバックグラウンド　カウントを示す。測定中カウンタ
４２により記録された平均濃度は０．０３粒子／Ｌ　（
１＜ＰＰＣＰ）よりも小さかった。ＨＥＰＡファン　ユ
ニット２８を動作させている間にはドア２６を開放する
ことができ、短い３０分の清浄化（パージ）期間後に長
期間のバックグラウンド　カウントは以前のレベルに戻
る。

（グラフの最初の初期頂点は先行の動作の終了時である
。） 測定室１０　（長さ１．８ｍ、高さ０．６１ｍ及び幅１
．２２ｍを有する）をｍ通モードで動作させると、希釈
エアの流れが大幅に増加する。エア速度はＨＥＰＡファ
ン　ユニット２８から３０ｃｍ及びフィルタから１３０
ｃｍの垂直面における１６個のポイントで測定した。

これらの位置は被計測物品５４の位置及び粒子カウンタ
４２の入力に対応する。カウンタ４２におけるエア速度
は平均で２８ｃｍ／秒（５５ＰＰＭ　）±１９％であっ
た。これらの読みの値から計算した測定室１０を通過す
る平均流量は、１２．４６０　Ｌ／分（４４０ＣＦＭ）
であった。とのようにして、流通モードでは、静的ボッ
クスよりも約２００倍も多い希釈エアを生ずる。

同じ測定室１０で、静的試験を行う際の測定室１０の壁
損失時定数を決定するため減衰試験を行った。

濾過した一般の室内エアをボックス内に導入し、１０５
毎リツトル（３ＸＩＯ’　ＰＰＣＦ）までの粒子濃度を
形成した。約１０”／Ｌ　　（３ｘｌＯ’ＰｐｃＦ　）
以下の低粒子レベルで他の試験を行った。メーク　アッ
プエアはすべての場合、６０Ｌ／分（リットル７分）に
一定に保持した。全体で１０の減衰曲線を初期濃度に対
し、量子化（ノルマライズ）し、最小平方上くログ退化
曲線のデータを求めた。との曲線の傾斜は、０．０５７
　　（Ｒ”　＝０．８６）であり、ボックス時定数は１
７．５分であり、Ｑ″′値は７７．５　Ｌ／分であった
。第４図は粒子減衰データのプロット及び推定曲線を示
す。異なる寸法の測定室は異なる時定数を有すること当
然である。

測定室１０の各試験モードにおける２つの動作プロット
を以下に示す。第５図は流動エア　モードにおいて例え
ばエア　イオナイザを試験したときの結果を示す。各２
分毎に２．８Ｌの体積をサンプルし、カウンタ４２を用
いて粒子を計測した。とのプロットは極めて°゛ノイジ
イ多雑音）パの特徴を示し、粒子発生が極めて変動的で
あることを示している。試験中の平均濃度は２粒子／Ｌ
（５５ＰＰＣＦ　）であった。２０分移動時間平均線を
もプロット上に示しである。

第６図は同じイオナイザを静エアの測定室で試験した結
果を示す。粒子のサンプリング条件及び他の係数は前の
試験のときと同じとする。粒子濃度が遥に高くなること
から密閉ボックスは晶に高い感度を有することを示して
いる。との試験中の平均粒子濃度は５５粒子／Ｌ　（１
５７０ＰＰＣＦ）であった。

とのプロットはさらに静エア　ボックスにおける過渡減
衰を示している。２０分平均線は濃度の山と谷とに密接
に従っている。これはボックスが１８分の時定数をもっ
た低域通過濾波器（ロー　パスフィルタ）と同様な特性
をもっていることを示している。

以上の測定結果は測定室ｌＯが粒子放出測定用に感度の
良い計測機器となることを示している。

本発明の構成は、従来の各方法と比較して優れているも
のである。その理由は静エア　チェンバとしてもまた、
エア流通チェンバとしても使用できるからである。濾過
エア　ジェット３２〜３４を使用してボソクス内を攪拌
することにより、エア混合用ファンによる粒子の損失あ
るいは余分の汚染を回避することができる。静エア　ボ
ックスはより高感度の粒子検出器であるが、エア流通測
定室（チェンバ）１０は実際の動作状態をより良く表わ
している。

本発明はその他多くの変形が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は外室（チェンバ）の一部を破断して示す本発明
測定室の斜視図、 第２図は測定室の略断図、 第３図は測定室の浄化後のバックグラウンド粒子のカウ
ントのプロットを示す図、 第４図は静測定室内の粒子の減少を示す図、第５図はエ
ア流通モードにおいて、イオナイザより放出される粒子
のプロット（立方フート当り）を示す図、 第６図は静的モードにおいて、イオナイザより放出され
る粒子のプロット（立方フート当り）を示す図、 第７図はエアのメークアップに用いる圧縮エアシステム
を示す系統図である。 １０・・・測定室 １２・・・チェンバ（外室） １４・・・ファン １６・・・ダクト １８・・・エア　フィルタ　システム ２０、　２６・・・ドア ２２、３０・・・フィルタ ２４・・・キャビティ（測定スペース）２８・・・ファ
ン　ユニット ３２、３４・・・エア　ジェット ３６・・・コンプレッサ ３８・・・フィルタ　ユニット ４０・・・管路 ４２、４２Ａ・・・粒子カンウメ ４４・・・真空ポンプ ４６・・・コンピュータ ５０・・・熱風速計 ５４・・・被試験物品 ６０、６２．６８．７４．７６・・・フィルタ６４・・
・調圧器 ６６・・・ニードル　バルブ ７０・・・流量計 ７２・・・圧力計 図面の浄−３（内容に変更なし） ＰＡＲＴＩＣＬＥＳ　ＰＥＲＣＵＦＴ 図面の浄書（内容に変更なし） Ｒｅｌａｔｉｖｅ　Ｃｏｒｒｃｅｎｔｒｔｚｔ；ｏ？７
：　ｃｔ／ｃ。 図面の浮身（丙容に工更Ｏｆ、、） 図面の浄−占（内容ｊ：＝７なし） 手 続 補 正 量 口 （方 式） １、事件の表示 平成２年特許願第１１５３４４号 ２、発明の名称 放 出 粒 子 計 測 装 置 ３、特許出願人 事件との関係

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被計測物品を収容するに充分な大きさの空所を画成
   する閉鎖室で、第１端部と第２端部とを有し、これら第
   １端部と第２端部との間に少くとも１つのポートを形成
   する室と、前記第１端部を通じて前記室内へ濾過したエ
   アを導入するフィルタ手段と、 前記第２端部において、エアが前記室より排出されるよ
   うにしたフィルタ手段と、 圧縮エア源と、 圧縮エアを濾過するフィルタ手段と、 濾過された圧縮エアを前記室の少くとも１つのポートに
   連通させる手段と、 ０．００３ミクロン以上の大きさの粒子を検出する手段
   と、 所定の時間周期にわたり検出された粒子を計数する手段
   とを具えてなる粒子放出物品よりの放出粒子計測装置。 ２、前記空所内で第１端部より第２端部へのエアの流れ
   を計測する手段を有する請求項１記載の装置。 ３、圧縮エアの流れを制御する手段を有する請求項１記
   載の装置。 ４、圧縮エアの濾過手段は、圧縮エア流の制御手段の上
   流側に設けた少くとも１つのフィルタと、同制御手段の
   下流側に設けた少くとも１つのフィルタを含んでなる請
   求項３記載の装置。 ５、圧縮エアの濾過手段は少くとも１つのポートに位置
   するポートフィルタを含んでなる請求項４記載の装置。 ６、閉鎖室は、前記第１端部と第２端部の中間に位置す
   る第１側面及び第２側面を有し、前記少くとも１つのポ
   ートは第１側面に位置する請求項１記載の装置。 ７、第２側面に位置する第２ポートを有し、前記室の少
   くとも１つのポートに濾過した圧縮エアを導通させる手
   段は濾過圧縮エアを室の全ポートに同時に供給する手段
   を有する請求項６記載の装置。 ８、前記空所は体積Ｖを有し、圧縮エアの流れの制御手
   段は、前記室に毎時少くとも体積１Ｖでかつ１０Ｖ以下
   のエアの流れを生じさせる如くした請求項７記載の装置
   。 ９、閉鎖測定室はその１側面に出入り用ドアを設けた請
   求項８記載の装置。 １０、室内に濾過圧縮エアを供給する手段は、調圧器を
   有し、室内のエアの圧を周囲圧よりも僅か高く維持する
   請求項９記載の装置。 １１、粒子検出手段が、 室内に配置した粒子検出器と、 室外に配置した真空ポンプと、 該真空ポンプよりの真空を前記粒子検出器に連通させる
   管路手段とを有し、室のエアを粒子検出器内に吸引し、
   室内のエアの粒子を検出器で検出し、次で真空ポンプに
   より検出器より外部へ排出する如くした請求項１記載の
   装置。 １２、所定時間周期にわたって検出粒子を計数する手段
   は、室外に設けたマイクロ　プロセッサを有し、これを
   粒子検出器に接続した請求項１１記載の装置。 １３、被検物品より放出される粒子の計測システムで、 開放可能な出入口と濾過エア循環システムを有する閉鎖
   チェンバを有し、さらに該閉鎖チェンバ内に装置を設け
   、該装置は、 被検物品を収容するに充分な大きさの空所を画成する閉
   鎖測定室を有し、該室は第１端部及び第２端部を有し、
   かつこれら両端部間に少くとも１つのポートを設け、さ
   らに 第１端部を介して濾過エアを、室内に導入させるフィル
   タ手段と、 第２端部より室内のエアを室外へ導くフィルタ手段と、 圧縮エア源と、 圧縮エアのフィルタ手段と、 濾過圧縮エアを室内の少くとも１つのポートに供給する
   手段と、 ０．００３ミクロンより大きな粒子を検出する手段と、 所定時間周期にわたり検出粒子を計数する手段とを具え
   てなる物品よりの放出粒子計測システム。 １４、第１端部より第２端部間の前記空所内のエアの流
   れを計測する手段を有する請求項１３記載の装置。 １５、圧縮エアの流れを制御する手段を有する請求項１
   ３記載の装置。