JPH0363820B2 - - Google Patents
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- JPH0363820B2 JPH0363820B2 JP60025412A JP2541285A JPH0363820B2 JP H0363820 B2 JPH0363820 B2 JP H0363820B2 JP 60025412 A JP60025412 A JP 60025412A JP 2541285 A JP2541285 A JP 2541285A JP H0363820 B2 JPH0363820 B2 JP H0363820B2
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- integrated circuit
- electrode
- packaging device
- metal lid
- frame
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- Expired
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W95/00—Packaging processes not covered by the other groups of this subclass
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- Sealing Battery Cases Or Jackets (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は金属蓋によりパツケージ内に集積回
路を封止するときに使用する集積回路のパツケー
ジング装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an integrated circuit packaging device used for sealing an integrated circuit in a package with a metal lid.
従来の集積回路(IC)のパツケージ及びパツ
ケージング装置を第4図に基づいて説明する。
A conventional integrated circuit (IC) package and packaging device will be explained with reference to FIG.
図において、AはBに示すICのパツケージに
おける金属蓋を取付ける状態を示したもので、1
は内部にICを有するセラミツクから成るパツケ
ージ、2はパツケージ上面にろう付けされたシー
ルフレーム、3は周縁に所望幅を残して平坦な凹
所の形成され、ICを気密封止する金属蓋、4は
パツケージ1を基板に実装するためのリードフレ
ーム、5,5はシールフレーム2に金属蓋3周縁
を接合するためのパツケージング装置の1対のロ
ーラ電極で、その側面形状は金属蓋3内方に漸次
縮径したテーパ状に形成され、シールフレーム2
外周縁を押圧しつつ転動し、両者を接合するよう
になされている。 In the figure, A shows the state in which the metal cover is attached to the IC package shown in B, and 1
2 is a sealing frame brazed to the top surface of the package; 3 is a metal lid formed with a flat recess leaving a desired width at the periphery to hermetically seal the IC; 4; 5 is a lead frame for mounting the package 1 on the board, 5, 5 is a pair of roller electrodes of the packaging device for joining the peripheral edge of the metal lid 3 to the seal frame 2, and its side surface shape is on the inside of the metal lid 3. The seal frame 2 is formed into a tapered shape whose diameter gradually decreases.
It rolls while pressing the outer periphery to join the two together.
したがつて、1対のローラ電極5,5で金属蓋
3をシールフレーム2に押圧しつつ通電すると、
シールフレーム2と金属蓋3間にジユール熱が発
生し、両者はローラ電極5,5の転動に伴い接合
され、ICはパツケージ1内に気密封止される。 Therefore, when the metal lid 3 is pressed against the seal frame 2 with the pair of roller electrodes 5, 5 and energized,
Joule heat is generated between the seal frame 2 and the metal lid 3, and the two are joined together by the rolling of the roller electrodes 5, 5, and the IC is hermetically sealed within the package 1.
このようなパツケージング装置を用いて金属蓋
をシールフレームに接合する場合、そのパツケー
ジが円形であればローラ電極を均一な条件で使用
することができるため両者間の接合は均等に行な
われ、品質的に良好なものが得られる。しかしな
がら矩形状のパツケージの場合には、シールフレ
ーム、金属蓋の隅角部において接合部が直角に曲
がるため、必ずしも均一な接合品質を安定的に得
ることが難しいという問題点があつた。さらに、
ローラ電極は金属蓋に対して点接触をするため
(第4図A参照)、ローラ電極の点接触部にのみ発
熱を伴ない、ローラ電極が局部的に加熱され消耗
するという問題点があつた。
When joining a metal lid to a seal frame using such a packaging device, if the packaging is circular, the roller electrode can be used under uniform conditions, so the joining between the two will be even and the quality will be improved. A good product can be obtained. However, in the case of a rectangular package, the joints are bent at right angles at the corners of the seal frame and the metal lid, so there is a problem that it is difficult to stably obtain uniform joint quality. moreover,
Since the roller electrode makes point contact with the metal lid (see Figure 4 A), heat is generated only at the point contact portion of the roller electrode, causing the problem that the roller electrode is locally heated and worn out. .
この発明は叙上の問題点を解決するためになさ
れたもので、電極の消耗が少なく、しかも金属蓋
をシールフレームに対して均質に接合することの
できるICのパツケージング装置を得ることを目
的としている。 This invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide an IC packaging device that has less wear on the electrodes and can evenly bond the metal lid to the seal frame. It is said that
この発明は1対の電極のうち、一方をシールフ
レームの外周縁を押圧する給電用電極とするとと
もに、他方をシールフレームの内周縁に位置する
ように形成された金属蓋の外周をシールフレーム
内周縁に押圧し、給電用電極の通電に伴ない金属
蓋をシールフレームに溶接する溶接用電極として
ICのパツケージング装置を構成したものである。
In this invention, one of the pair of electrodes is used as a power feeding electrode that presses the outer periphery of the seal frame, and the other is used to move the outer periphery of a metal lid formed to be located on the inner periphery of the seal frame into the seal frame. As a welding electrode that presses against the periphery and welds the metal lid to the seal frame when the power supply electrode is energized.
This consists of an IC packaging device.
この発明によれば、給電用電極と溶接用電極を
シールフレーム外周縁及びシールフレームに載置
された金属蓋の重合部分にそれぞれ同時に押圧し
て通電することにより、金属蓋とシールフレーム
の重合部分に発生するジユール熱によつて一気に
両者を溶接することができ、均質な溶接接合を得
ることができる。
According to this invention, by simultaneously pressing the power supply electrode and the welding electrode to the outer periphery of the seal frame and the overlapping portion of the metal lid placed on the seal frame and applying electricity, the overlapping portion of the metal lid and the seal frame is Both can be welded together at once by the generated Joule heat, and a homogeneous welded joint can be obtained.
以下第1図ないし第3図に示す実施例に基づ
き、従来と同一又は相当部分には同一符号を付
し、この発明の特徴を中心に説明する。
Hereinafter, based on the embodiment shown in FIGS. 1 to 3, the same reference numerals will be given to parts that are the same as or corresponding to the conventional ones, and the features of the present invention will be mainly explained.
図において、3は矩形のシールフレーム2と相
似の矩形寸法を有し、外周縁をシールフレーム2
内周縁に重合して載置された金属蓋、6は金属蓋
3のシールフレーム2との非重合部を押圧し、シ
ールフレーム2に給電する角筒状に形成された給
電用電極、7は金属蓋3のシールフレーム2との
重合部分を押圧し、給電用電極6からの給電によ
つて溶接する溶接用電極で、給電用電極6によつ
て囲繞されており、給電用電極6間との通電によ
つて金属蓋3とシールフレーム2間にジユール熱
が発生し、これら両者を溶接するようになされて
いる。そして給電用電極6は、例えば銅あるいは
銅合金のように電気伝導度、熱伝導度に優れた金
属によつて加工され、また溶接用電極7は逆にこ
れら各伝導度に劣る、例えばステンレス鋼あるい
はモリブデン鋼などによつて加工されている。 In the figure, 3 has a rectangular size similar to the rectangular seal frame 2, and the outer periphery is the same as that of the seal frame 2.
A metal lid placed overlappingly on the inner peripheral edge, 6 a power feeding electrode formed in a rectangular tube shape that presses the non-overlapping part of the metal lid 3 with the seal frame 2 and supplies power to the seal frame 2; This is a welding electrode that presses the overlapping part of the metal lid 3 with the seal frame 2 and welds it by supplying power from the power supply electrode 6.It is surrounded by the power supply electrode 6, and there is a Due to the energization, Joule heat is generated between the metal lid 3 and the seal frame 2 to weld them together. The power supply electrode 6 is made of a metal with excellent electrical conductivity and thermal conductivity, such as copper or a copper alloy, and the welding electrode 7 is made of a metal with poor conductivity, such as stainless steel. Alternatively, it is made of molybdenum steel.
したがつて、給電用電極6及び溶接用電極7を
パツケージの所定部位に押圧し、両者間に通電す
るとシールフレーム2と金属蓋3間にジユール熱
が発生し、両者が溶接接合される。このとき給電
用電極7における発熱が少なく、しかもシールフ
レーム2で発生した熱は熱伝導性に優れた電極7
を経て放熱され、シールフレーム2の昇温が防止
される一方、接合部に発生する熱は拡散、放熱さ
れないで溶接用電極6に保有されて、接合部を必
要な溶接温度に容易に昇温することができ、しか
もパツケージ1に与える熱的影響を抑制すること
ができる。 Therefore, when the power supply electrode 6 and the welding electrode 7 are pressed against predetermined portions of the package and electricity is applied between them, Joule heat is generated between the seal frame 2 and the metal lid 3, and the two are welded together. At this time, the power supply electrode 7 generates less heat, and the heat generated in the seal frame 2 is transferred to the electrode 7 with excellent thermal conductivity.
The heat generated in the joint is not diffused or radiated, but is retained in the welding electrode 6, and the temperature of the joint can be easily raised to the required welding temperature. Moreover, the thermal influence on the package 1 can be suppressed.
第2図は本発明の他の実施例を示し、上記実施
例との相違点は、溶接用電極7下端部を被溶接部
分に沿つた角筒状に形成されている点にある。こ
のような構成によつて金属蓋3との接触面積を減
少させ、通電電流値を下げることができ、パツケ
ージ1に対する熱的影響をさらに軽減することが
できる。 FIG. 2 shows another embodiment of the present invention, which differs from the above embodiment in that the lower end of the welding electrode 7 is formed into a rectangular tube shape along the part to be welded. With such a configuration, the contact area with the metal lid 3 can be reduced, the current value can be lowered, and the thermal influence on the package 1 can be further reduced.
また、第4図は、例えば、コンデンサ放電によ
つて得られる波高時間が0.003秒の放電波形を示
すもので、上記電極6,7間の通電時間をこのよ
うに短時間にすると、金属蓋3とシールフレーム
2間の接触抵抗による発熱を有効に利用すること
ができるため、ほとんどパツケージ1に熱的影響
を与えずに接合することができる。なお、波高時
間が0.003秒を超えると、それに伴ない熱的影響
が大きくなることを実験的に確認している。 Moreover, FIG. 4 shows a discharge waveform with a peak time of 0.003 seconds obtained by capacitor discharge, for example, and if the current conduction time between the electrodes 6 and 7 is shortened in this way, the metal lid 3 Since the heat generated by the contact resistance between the seal frame 2 and the seal frame 2 can be effectively utilized, it is possible to join the package 1 with almost no thermal influence. It has been experimentally confirmed that when the wave height time exceeds 0.003 seconds, the thermal effects increase accordingly.
以上この発明によれば、金属蓋とシールフレー
ムとの接合を均質なものとすることができるとと
もに、電極の消耗が大幅に抑制される。
As described above, according to the present invention, it is possible to make the bond between the metal lid and the seal frame homogeneous, and the consumption of the electrodes is significantly suppressed.
第1図A,Bはこの発明の一実施例装置による
ICのパツケージング状態の要部を示す図Aとそ
の平面図B、第2図はこの発明の他の実施例装置
によるICのパツケージング状態を示す第1図A
相当図、第3図は通電時の電流波形を示す図、第
4図A,Bは従来の装置による第1図A,B相当
図である。
図において、1はパツケージ、2はシールフレ
ーム、3は金属蓋、6は給電用電極、7は溶接用
電極である。なお、各図中、同一符号は同一又は
相当部分を示す。
FIGS. 1A and 1B show an apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure A and its top view B show the main parts of an IC in a packaging state, and Figure 2 is a diagram A showing a packaging state of an IC in another embodiment of the present invention.
3 is a diagram showing the current waveform during energization, and FIGS. 4A and 4B are diagrams corresponding to FIGS. 1A and 1B of the conventional device. In the figure, 1 is a package, 2 is a seal frame, 3 is a metal lid, 6 is a power supply electrode, and 7 is a welding electrode. In each figure, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts.
Claims (1)
ージ外周縁に取付けられたフレームに金属蓋を溶
着し、内部を封止する集積回路のパツケージング
装置において、上記フレーム外周縁を押圧する給
電用電極と、この電極に囲繞され、上記フレーム
外形より内周側に位置する金属蓋をフレーム内周
縁に押圧して上記給電用電極への給電によりこれ
ら両者を溶接する溶接用電極とを備えたことを特
徴とする集積回路のパツケージング装置。 2 上記給電用電極として電気、熱伝導度の高い
金属を用いるとともに、上記溶接用電極として電
気、熱伝導度の低い金属を用いたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の集積回路のパツケ
ージング装置。 3 上記給電用電極として銅又は銅合金を用いる
とともに、上記溶接用電極としてステンレス鋼又
はモリブデン鋼を用いたことを特徴とする特許請
求の範囲第2項記載の集積回路のパツケージング
装置。 4 上記給電用電極を筒状としたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項ないし第3項いずれかに
記載の集積回路のパツケージング装置。 5 上記溶接用電極を筒状に形成したことを特徴
とする特許請求の範囲第1項ないし第3項いずれ
かに記載の集積回路のパツケージング装置。 6 上記給電電流としてその波高時間が0.003秒
以下の放電波形を有することを特徴とする特許請
求の範囲第1項ないし第5項いずれかに記載の集
積回路のパツケージング装置。[Claims] 1. In an integrated circuit packaging device in which an integrated circuit is mounted on a package, a metal lid is welded to a frame attached to the outer periphery of the package, and the inside is sealed, the outer periphery of the frame is pressed. a welding electrode that presses a metal lid that is surrounded by the electrode and is located on the inner circumferential side of the frame outer circumference against the inner circumferential edge of the frame and welds the two by supplying power to the power feeding electrode. An integrated circuit packaging device characterized by: 2. The integrated circuit according to claim 1, wherein a metal with high electrical and thermal conductivity is used as the power supply electrode, and a metal with low electrical and thermal conductivity is used as the welding electrode. packaging equipment. 3. The integrated circuit packaging device according to claim 2, wherein copper or copper alloy is used as the power supply electrode, and stainless steel or molybdenum steel is used as the welding electrode. 4. The integrated circuit packaging device according to any one of claims 1 to 3, wherein the power feeding electrode is cylindrical. 5. The integrated circuit packaging device according to any one of claims 1 to 3, wherein the welding electrode is formed in a cylindrical shape. 6. The integrated circuit packaging device according to any one of claims 1 to 5, wherein the feeding current has a discharge waveform with a peak time of 0.003 seconds or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025412A JPS61184850A (en) | 1985-02-12 | 1985-02-12 | Packaging device for integrated circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025412A JPS61184850A (en) | 1985-02-12 | 1985-02-12 | Packaging device for integrated circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61184850A JPS61184850A (en) | 1986-08-18 |
| JPH0363820B2 true JPH0363820B2 (en) | 1991-10-02 |
Family
ID=12165215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60025412A Granted JPS61184850A (en) | 1985-02-12 | 1985-02-12 | Packaging device for integrated circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61184850A (en) |
-
1985
- 1985-02-12 JP JP60025412A patent/JPS61184850A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61184850A (en) | 1986-08-18 |
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Legal Events
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |