JPH0363834U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0363834U JPH0363834U JP12413389U JP12413389U JPH0363834U JP H0363834 U JPH0363834 U JP H0363834U JP 12413389 U JP12413389 U JP 12413389U JP 12413389 U JP12413389 U JP 12413389U JP H0363834 U JPH0363834 U JP H0363834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- diaphragm
- casing
- receiving part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案による圧力センサの実施例を示
す図、第２図は第１図の要部断面図、第３図は従
来の技術による圧力センサの実施例を示す図、第
４図は第３図の要部断面図である。 １，１１……ケーシング、２ａ，１２ａ……受
圧部、２ｂ……外周部、２，１２……ダイアフラ
ム、３，１３……固定リング、４，１４……固定
ナツト、５ａ，１５ａ……歪みゲージ、５ｂ，１
５ｂ……リード線、５ｃ，１５ｃ……回路板、５
，１５……検知部材、６，１６……端子、７……
スリツト溝、８……段差面、９，１７……Ｏリン
グ。
す図、第２図は第１図の要部断面図、第３図は従
来の技術による圧力センサの実施例を示す図、第
４図は第３図の要部断面図である。 １，１１……ケーシング、２ａ，１２ａ……受
圧部、２ｂ……外周部、２，１２……ダイアフラ
ム、３，１３……固定リング、４，１４……固定
ナツト、５ａ，１５ａ……歪みゲージ、５ｂ，１
５ｂ……リード線、５ｃ，１５ｃ……回路板、５
，１５……検知部材、６，１６……端子、７……
スリツト溝、８……段差面、９，１７……Ｏリン
グ。
Claims (1)
- 流体の圧力を測定する圧力センサであつて、該
圧力センサは、圧力検知部位に取り付けられるケ
ーシング１と、該ケーシング１内に設けられ、外
周部２ｂが固定されるとともに、また中央部に圧
力の作用時に変位する受圧部２ａが設けられたダ
イアフラム２と、該ダイアフラム２の受圧部２ａ
の変位に応じた出力をする検知部材５とを具え、
前記ダイアフラム２に、前記受圧部２ａを囲んだ
状態で、環状をなすスリツト溝７を形成したこと
を特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12413389U JPH0363834U (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12413389U JPH0363834U (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0363834U true JPH0363834U (ja) | 1991-06-21 |
Family
ID=31672073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12413389U Pending JPH0363834U (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0363834U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001011329A1 (en) * | 1999-08-05 | 2001-02-15 | Fujikin Incorporated | Pressure detector mounting structure |
| JP2004045424A (ja) * | 2003-09-22 | 2004-02-12 | Tadahiro Omi | 圧力検出器の取付け構造 |
| JP2009020290A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Fujikura Ltd | 光モジュール、光モジュール把持部の製造方法、光路の変換方法及び光モジュール用金属パイプ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5839069A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | Shimadzu Corp | 半導体ダイヤフラム |
| JPS6165126A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-03 | Copal Denshi Kk | 圧力センサ |
-
1989
- 1989-10-24 JP JP12413389U patent/JPH0363834U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5839069A (ja) * | 1981-08-31 | 1983-03-07 | Shimadzu Corp | 半導体ダイヤフラム |
| JPS6165126A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-03 | Copal Denshi Kk | 圧力センサ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001011329A1 (en) * | 1999-08-05 | 2001-02-15 | Fujikin Incorporated | Pressure detector mounting structure |
| JP2004045424A (ja) * | 2003-09-22 | 2004-02-12 | Tadahiro Omi | 圧力検出器の取付け構造 |
| JP2009020290A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Fujikura Ltd | 光モジュール、光モジュール把持部の製造方法、光路の変換方法及び光モジュール用金属パイプ |