JPH01105836U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01105836U JPH01105836U JP53788U JP53788U JPH01105836U JP H01105836 U JPH01105836 U JP H01105836U JP 53788 U JP53788 U JP 53788U JP 53788 U JP53788 U JP 53788U JP H01105836 U JPH01105836 U JP H01105836U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor pressure
- substrate
- pressure element
- cover
- pressure transducer
- Prior art date
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- Granted
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体圧力変換器の一実
施例を示す断面図、第２図は第１図Ｂ部の拡大図
、第３図は従来の半導体圧力変換器の断面図、第
４図は第３図Ａ部の拡大図である。 １……半導体基板、１ａ……ダイヤフラム部、
２……基板、７……半導体圧力素子、１０……ケ
ース、１５……外囲器、１６……開口端面、２０
……溝部、Ｐ１，Ｐ２……プロセス圧力。
施例を示す断面図、第２図は第１図Ｂ部の拡大図
、第３図は従来の半導体圧力変換器の断面図、第
４図は第３図Ａ部の拡大図である。 １……半導体基板、１ａ……ダイヤフラム部、
２……基板、７……半導体圧力素子、１０……ケ
ース、１５……外囲器、１６……開口端面、２０
……溝部、Ｐ１，Ｐ２……プロセス圧力。
Claims (1)
- 基板上に、半導体圧力素子と、この半導体圧力
素子を被うカバーとを設け、前記半導体圧力素子
のダイヤフラム部表裏面にそれぞれプロセス圧力
を印加し、その変位を電気信号に変換する半導体
圧力変換器において、前記カバーの内周面で前記
基板との接合端部付近に溝部を設けたことを特徴
とする半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988000537U JPH069352Y2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 半導体圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988000537U JPH069352Y2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 半導体圧力変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105836U true JPH01105836U (ja) | 1989-07-17 |
| JPH069352Y2 JPH069352Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=31199655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988000537U Expired - Lifetime JPH069352Y2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 半導体圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069352Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4860676A (ja) * | 1971-11-29 | 1973-08-25 | ||
| JPS55137565U (ja) * | 1979-03-20 | 1980-09-30 |
-
1988
- 1988-01-08 JP JP1988000537U patent/JPH069352Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4860676A (ja) * | 1971-11-29 | 1973-08-25 | ||
| JPS55137565U (ja) * | 1979-03-20 | 1980-09-30 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069352Y2 (ja) | 1994-03-09 |