JPH036409A - プリント基板の検査方法および装置 - Google Patents
プリント基板の検査方法および装置Info
- Publication number
- JPH036409A JPH036409A JP1141640A JP14164089A JPH036409A JP H036409 A JPH036409 A JP H036409A JP 1141640 A JP1141640 A JP 1141640A JP 14164089 A JP14164089 A JP 14164089A JP H036409 A JPH036409 A JP H036409A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed circuit
- circuit board
- holes
- positions
- shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 53
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 22
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 32
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 36
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 5
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N (1s,3r,4e,6e,8e,10e,12e,14e,16e,18s,19r,20r,21s,25r,27r,30r,31r,33s,35r,37s,38r)-3-[(2r,3s,4s,5s,6r)-4-amino-3,5-dihydroxy-6-methyloxan-2-yl]oxy-19,25,27,30,31,33,35,37-octahydroxy-18,20,21-trimethyl-23-oxo-22,39-dioxabicyclo[33.3.1]nonatriaconta-4,6,8,10 Chemical compound C1C=C2C[C@@H](OS(O)(=O)=O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@H]([C@H](C)CCCC(C)C)[C@@]1(C)CC2.O[C@H]1[C@@H](N)[C@H](O)[C@@H](C)O[C@H]1O[C@H]1/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/[C@H](C)[C@@H](O)[C@@H](C)[C@H](C)OC(=O)C[C@H](O)C[C@H](O)CC[C@@H](O)[C@H](O)C[C@H](O)C[C@](O)(C[C@H](O)[C@H]2C(O)=O)O[C@H]2C1 PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N 0.000 description 1
- 241001455214 Acinonyx jubatus Species 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はプリント基板の検査方法および装置に関する
ものであり、特に光電走査を行ってスルーホールの個数
や位置ずれを検査する方法および装置に関するものであ
る。
ものであり、特に光電走査を行ってスルーホールの個数
や位置ずれを検査する方法および装置に関するものであ
る。
プリント基板を光電走査して、スルーホールやパターン
の検査を行う方法、装置については、例えば″゛サーキ
ツトテクノロジvo1.3No、6(1988)”P、
354〜P、358に開示されているような、密着型イ
メージセンサを用いて、搬送されるプリント基板のイメ
ージを読み取り、プリント基板の検査を行う方法、装置
などが知られている。
の検査を行う方法、装置については、例えば″゛サーキ
ツトテクノロジvo1.3No、6(1988)”P、
354〜P、358に開示されているような、密着型イ
メージセンサを用いて、搬送されるプリント基板のイメ
ージを読み取り、プリント基板の検査を行う方法、装置
などが知られている。
上記の文献や他の文献において提示されている手法の一
つに、あらかじめ標準基板の基準データ(マスターデー
タ)を記憶しておき、搬送される被検査基板の外形線の
形状やスルーホールなどの表面形状に関するデータとマ
スターデータとの比較、照合を行うことにより、被検査
基板の良否を判定する比較法がある。
つに、あらかじめ標準基板の基準データ(マスターデー
タ)を記憶しておき、搬送される被検査基板の外形線の
形状やスルーホールなどの表面形状に関するデータとマ
スターデータとの比較、照合を行うことにより、被検査
基板の良否を判定する比較法がある。
このような比較法は、マスターデータと被検査基板のデ
ータとを比較して良否を判定するために、得られる情報
が多く、かつ正確な良否判定が行えるものであるが、被
検査基板の読み取りが不正確になると、その判定の結果
も不正確になる。
ータとを比較して良否を判定するために、得られる情報
が多く、かつ正確な良否判定が行えるものであるが、被
検査基板の読み取りが不正確になると、その判定の結果
も不正確になる。
プリント基板のパターンの高密度化や、スルーホールの
小径化(ミニバイアホール化)などが進むにつれて、比
較法を行うにあたって読み取り誤差を小さくするための
技術がさらに望まれており、基板の搬送に際して位置決
めのためのガイドを用いた搬送装置なども提案されてい
る。
小径化(ミニバイアホール化)などが進むにつれて、比
較法を行うにあたって読み取り誤差を小さくするための
技術がさらに望まれており、基板の搬送に際して位置決
めのためのガイドを用いた搬送装置なども提案されてい
る。
しかしながら、ガイドなどの機械的な位置決め手段を用
いた装置では、ガイド自体の精度が低いため、および基
板自体のガタつきなどのために高精度の位置決めが困難
であるという問題点かあった。
いた装置では、ガイド自体の精度が低いため、および基
板自体のガタつきなどのために高精度の位置決めが困難
であるという問題点かあった。
また、読み取られたプリント基板のデータに基づいて、
座標変換などの抽圧を電子的に行い、マスターデータと
比較する手法も提案されているが、処理に時間がかかり
すぎたり、処理結果も不正確であるという問題点があっ
た。
座標変換などの抽圧を電子的に行い、マスターデータと
比較する手法も提案されているが、処理に時間がかかり
すぎたり、処理結果も不正確であるという問題点があっ
た。
さらに、以上のような手法では、基板の外形線の位置合
せは行えても、基板上のパターンずれによる誤差には対
処できないという問題点もあった。
せは行えても、基板上のパターンずれによる誤差には対
処できないという問題点もあった。
この発明は以上のような事情を考慮してなされたもので
あり、短時間で正確に基板の外形線の位置あわせができ
るプリント基板の検査方法および装置を得ることを第1
の目的とする。
あり、短時間で正確に基板の外形線の位置あわせができ
るプリント基板の検査方法および装置を得ることを第1
の目的とする。
また、基板上のパターンずれによる誤差を解消したプリ
ント基板の検査方法および装置を得ることを第2の目的
とする。
ント基板の検査方法および装置を得ることを第2の目的
とする。
この発明に係る第1の構成のプリント基板の検査方法は
、複数の辺によって構成される標準形状に基づいた形状
を有する基板上に、標準パターンに基づいた位置に複数
の孔を設けられたプリント基板を検査する方法であって
、まず標準形状および標準パターンの座標情報を示すマ
スターデータを準備する。
、複数の辺によって構成される標準形状に基づいた形状
を有する基板上に、標準パターンに基づいた位置に複数
の孔を設けられたプリント基板を検査する方法であって
、まず標準形状および標準パターンの座標情報を示すマ
スターデータを準備する。
次に、プリント基板を光電走査して、そのプリント基板
の形状および複数の孔の位置を読み取る。
の形状および複数の孔の位置を読み取る。
次に、プリント基板の形状の外形線上の3つ以上のサン
プル点の位置を認識し、それらのサンプル点の位置に基
づいて、外形線を直線近似した近似外形線を求める。
プル点の位置を認識し、それらのサンプル点の位置に基
づいて、外形線を直線近似した近似外形線を求める。
さらに、所定の座標系において、近似外形線の座標情報
とこれに対応する辺の座標情報とに基づいて標準形状と
プリント基板の形状との間の相対的位置関係を求め、そ
の相対的位置関係に基づいて、読み取られた複数の孔の
位置を座標変換し、対応する修正位置を求める。
とこれに対応する辺の座標情報とに基づいて標準形状と
プリント基板の形状との間の相対的位置関係を求め、そ
の相対的位置関係に基づいて、読み取られた複数の孔の
位置を座標変換し、対応する修正位置を求める。
そして、標準パターンの座標情報を用いつつ、修正位置
上の孔と標準パターン上の孔とを照合することにより、
プリント基板における複数の孔の個数および位置を認識
するものである。
上の孔と標準パターン上の孔とを照合することにより、
プリント基板における複数の孔の個数および位置を認識
するものである。
この発明に係る第2の構成のプリント基板の検査方法は
、第1の構成のプリント基板の検査方法によって標準形
状とプリント基板の形状との間の相対的位置関係を求め
、その相対的位置関係に基づいて、読み取られた複数の
孔の位置を座標変換した後、標準パターン上の上の所定
の2つの孔を示す第1および第2の基準位置を特定する
。
、第1の構成のプリント基板の検査方法によって標準形
状とプリント基板の形状との間の相対的位置関係を求め
、その相対的位置関係に基づいて、読み取られた複数の
孔の位置を座標変換した後、標準パターン上の上の所定
の2つの孔を示す第1および第2の基準位置を特定する
。
次に、読み取られた複数の孔の位置の中から所定の2つ
の孔を示す第1および第2の実測位置を求める。
の孔を示す第1および第2の実測位置を求める。
次に、所定の座標系において、第1および第2の実測位
置と第1および第2の基準位置との相対的位置関係を求
める。
置と第1および第2の基準位置との相対的位置関係を求
める。
そして、その相対的位置関係に基づいて、複数の孔の位
置を座標変換し、対応する修正位置を求め、修正位置上
の孔と標準パターン」二の孔とを照合することにより、
プリント基板における複数の孔の個数および位置を認識
するものである。
置を座標変換し、対応する修正位置を求め、修正位置上
の孔と標準パターン」二の孔とを照合することにより、
プリント基板における複数の孔の個数および位置を認識
するものである。
さらに、この発明に係るプリント基板の検査装置は、第
1および第2の構成のプリント基板の検査方法を実行す
るように構成されたものである。
1および第2の構成のプリント基板の検査方法を実行す
るように構成されたものである。
この発明における近似外形線は、外形線上の3つ以上の
サンプル点の位置によって決定されるので、外形線の凹
凸の影響が除去される。
サンプル点の位置によって決定されるので、外形線の凹
凸の影響が除去される。
また、この発明における第1および第2の実測位置は、
第1および第2の基準位置と比較され、実測位置と基準
位置との間のずれが求められるので、標準パターンと実
測データによって与えられるパターンとの間のずれが検
出される。
第1および第2の基準位置と比較され、実測位置と基準
位置との間のずれが求められるので、標準パターンと実
測データによって与えられるパターンとの間のずれが検
出される。
A、全体構成と概略動作
第2図はこの発明の一実施例を適用するプリント基板検
査装置のブロック図である。また第3図はプリント基板
検査装置の外観図である。
査装置のブロック図である。また第3図はプリント基板
検査装置の外観図である。
第2図において、例えばLEDアレイなどによって構成
される光源10からの光は搬送台20上のプリント基板
21に照射され、プリント基板21 ] 2 1の外形線や、スルーホールおよび取付穴などを含む孔
(ホール)の位置などに対応して透過1反射される。搬
送台20はプリント基板2]を副走査方向Yに平行に搬
送する。またプリント基板21からの光は主走査方向X
に配置された、例えば密着型のイメージセンサ30に与
えられ、プリント基板2]の外形線や孔の位置などが、
そこで読み取られる。プリント基板2]は検査装置上で
定義されるX−Y座標系の上で移動する。
される光源10からの光は搬送台20上のプリント基板
21に照射され、プリント基板21 ] 2 1の外形線や、スルーホールおよび取付穴などを含む孔
(ホール)の位置などに対応して透過1反射される。搬
送台20はプリント基板2]を副走査方向Yに平行に搬
送する。またプリント基板21からの光は主走査方向X
に配置された、例えば密着型のイメージセンサ30に与
えられ、プリント基板2]の外形線や孔の位置などが、
そこで読み取られる。プリント基板2]は検査装置上で
定義されるX−Y座標系の上で移動する。
イメージセンサ30で読み取られたプリント基板21の
外形線や孔に関する情報を示す信号は処理部40に与え
られ、2値化処理や、ノイズ除去処理を受けた後、後述
する処理を行うプリント基板検査回路50に与えられる
。プリント基板検査回路50で処理された結果は表示部
60に与えられ、CRT61やプリンタ62上に表示、
出力される。
外形線や孔に関する情報を示す信号は処理部40に与え
られ、2値化処理や、ノイズ除去処理を受けた後、後述
する処理を行うプリント基板検査回路50に与えられる
。プリント基板検査回路50で処理された結果は表示部
60に与えられ、CRT61やプリンタ62上に表示、
出力される。
また、処理部40は駆動部70に制御命令を与えること
により、搬送台20の動作を制御する。
により、搬送台20の動作を制御する。
駆動部70は図示されないパルスモータやモータコント
ローラなどによって構成される。さらに、以上のような
構成の動作の開始や停止などの指示は、パネルやキーボ
ードなどで構成される操作部80で行われる。
ローラなどによって構成される。さらに、以上のような
構成の動作の開始や停止などの指示は、パネルやキーボ
ードなどで構成される操作部80で行われる。
なお、第3図においては、第2図に示される構成の他に
、オプションで取り付けられる良品ストッカー91や不
良品ストッカー92が示されている。スルーホール検査
などの種々の検査を経て良品と判定されたプリント基板
は良品ストッカー91に、不良品と判定されたプリント
基板は不良品ストッカー92に搬送される。
、オプションで取り付けられる良品ストッカー91や不
良品ストッカー92が示されている。スルーホール検査
などの種々の検査を経て良品と判定されたプリント基板
は良品ストッカー91に、不良品と判定されたプリント
基板は不良品ストッカー92に搬送される。
B、データ型式
次に、この発明のプリント基板の検査方法に用いられる
データの型式について説明する。第4図は、プリント基
板上のスルーホールを示す図である。第4図を参照して
、データの読み取りおよびその型式について説明する。
データの型式について説明する。第4図は、プリント基
板上のスルーホールを示す図である。第4図を参照して
、データの読み取りおよびその型式について説明する。
前述したように、プリント基板21は副走査方向Yに平
行に搬送される。第2図および第3図に示すイメージセ
ンサ30は主走査方向Xに複数の 3 4 CCDなどを配置した構成を有しており、走査線上の画
素ごとにプリント基板21の画像情報をアナログ的に読
み取る。このアナログ値は第2図に示す処理部40内の
図示しないA/D変換器によって2値化され、明部およ
び暗部を示す情報となる。
行に搬送される。第2図および第3図に示すイメージセ
ンサ30は主走査方向Xに複数の 3 4 CCDなどを配置した構成を有しており、走査線上の画
素ごとにプリント基板21の画像情報をアナログ的に読
み取る。このアナログ値は第2図に示す処理部40内の
図示しないA/D変換器によって2値化され、明部およ
び暗部を示す情報となる。
第4図において、プリント基板21から離れた走査線S
LOにおいては、全画素について明部を示す情報が連続
するデータが生成される。このデータはランレングスフ
ォーマット化され、明部を示すイメージデータと明部の
長さとの組み合わせによって構成される1つのコードが
生成される。
LOにおいては、全画素について明部を示す情報が連続
するデータが生成される。このデータはランレングスフ
ォーマット化され、明部を示すイメージデータと明部の
長さとの組み合わせによって構成される1つのコードが
生成される。
なおこの期間は、プリント基板21を走査しないアイド
ルタイムとして、後述する検査に関する処理は特に行わ
ない。
ルタイムとして、後述する検査に関する処理は特に行わ
ない。
走査線SLIにおいて、プリント基板2]の読み取りが
始まると、プリント基板21の両側の2つの明部とプリ
ント基板21上の1つの暗部とに対応して、ランレング
スフォーマット化された3つのコードが生成される。こ
のような3つのコドを生成する最初の走査線SLIのア
ドレスを用いて、プリント基板21の端部の座標情報が
与えられる。またこの端部を示す座標情報は、所定のア
ドレスを有するメモリ領域内に格納され、後述する処理
において用いられる。
始まると、プリント基板21の両側の2つの明部とプリ
ント基板21上の1つの暗部とに対応して、ランレング
スフォーマット化された3つのコードが生成される。こ
のような3つのコドを生成する最初の走査線SLIのア
ドレスを用いて、プリント基板21の端部の座標情報が
与えられる。またこの端部を示す座標情報は、所定のア
ドレスを有するメモリ領域内に格納され、後述する処理
において用いられる。
走査線SL2においては、ホールH1における明部が認
識され、5つのコードが生成される。ホルH1には他の
ホールと区別するためにラベルLA=1が付与される。
識され、5つのコードが生成される。ホルH1には他の
ホールと区別するためにラベルLA=1が付与される。
ホールH1の開始点のX座標X8□および終了点のX座
標XE1は、それぞれ始まりの画素アドレスLEおよび
終わりの画素アドレスTEとして仮に登録される。さら
に、X軸方向の直径DIA=TE−LEが計算され、仮
に登録される。
標XE1は、それぞれ始まりの画素アドレスLEおよび
終わりの画素アドレスTEとして仮に登録される。さら
に、X軸方向の直径DIA=TE−LEが計算され、仮
に登録される。
走査線SL3においてはホールH2における明部も認識
され、ホールH2に関する処理も始まる。
され、ホールH2に関する処理も始まる。
な′お、走査線SLB上のホールH1の開始点および終
了点のX座標x x と、走査ライン5L82″
E2 2上のホールH1の開始点および終了点のX座標XSl
’ xElとの間の大小関係は、 5 x >x 、x <x となり、E2 E
l 32 5L (XE2 XEL) X (XS2 X5t) <
0という関係が成立する。開始点および終了点の各座
標間に上記の関係が成立するため、これらの点が同一の
ホールH1に属していることが認識される。
了点のX座標x x と、走査ライン5L82″
E2 2上のホールH1の開始点および終了点のX座標XSl
’ xElとの間の大小関係は、 5 x >x 、x <x となり、E2 E
l 32 5L (XE2 XEL) X (XS2 X5t) <
0という関係が成立する。開始点および終了点の各座
標間に上記の関係が成立するため、これらの点が同一の
ホールH1に属していることが認識される。
また直径DIAは走査線ごとに計算されており、より大
きい値を取るように更新されている。走査線SL3にお
いてホールH1に関する直径DIAは最大値を取り、ホ
ールH1に関するX軸方向の直径が確定する。また、こ
の時の画素アドレスLEおよび画素アドレスTEが、ホ
ールH1に関する開始点および終了点として登録される
。
きい値を取るように更新されている。走査線SL3にお
いてホールH1に関する直径DIAは最大値を取り、ホ
ールH1に関するX軸方向の直径が確定する。また、こ
の時の画素アドレスLEおよび画素アドレスTEが、ホ
ールH1に関する開始点および終了点として登録される
。
走査線SL5においては、ホールH1が認識されなくな
る。したがって、その1つ前の走査線SL4がホールH
1に関する最終の走査線となる。
る。したがって、その1つ前の走査線SL4がホールH
1に関する最終の走査線となる。
最初の走査線SLIから走査線SL4までホールH1は
連続して主走査を行われる。この連続して主走査を行っ
た回数LCはホールH]のY軸方向の直径に対応する。
連続して主走査を行われる。この連続して主走査を行っ
た回数LCはホールH]のY軸方向の直径に対応する。
また、ホールH1に関する走] 6
査が終了すると、例えば最大の直径DIAを与える走査
線SL上の開始点および終了点の座標情報から、中心の
X座標XCおよびY座標YCも求められ、最終的にホー
ルH1に関するデータが下記表1のように構成される。
線SL上の開始点および終了点の座標情報から、中心の
X座標XCおよびY座標YCも求められ、最終的にホー
ルH1に関するデータが下記表1のように構成される。
表 1
また同様のデータがホールH2などの他のホルについて
も生成される。さらに、再びアイドルタイムが始まる走
査線SL7の1つ前の走査線SL6において、走査線S
LIと同様にプリント基板21の端部が認識され、外形
線に関するデータがすべてが得られる。
も生成される。さらに、再びアイドルタイムが始まる走
査線SL7の1つ前の走査線SL6において、走査線S
LIと同様にプリント基板21の端部が認識され、外形
線に関するデータがすべてが得られる。
C1外形線近似処理
7
8
次に、第2図に示すプリント基板検査回路50でソフト
的に行われる外形線近似処理について説明する。第1A
図はこの発明の一実施例による外形線近似処理の処理手
順を示すフローチャー1・である。また、第5図は、傾
いた状態で搬送されるプリント基板の走査読取りを行う
様子を示した図である。第4図に示す例においては、走
査線とプリント基板の外形線とが平行であったが、一般
には第5図に示すように傾きを有して搬送される。
的に行われる外形線近似処理について説明する。第1A
図はこの発明の一実施例による外形線近似処理の処理手
順を示すフローチャー1・である。また、第5図は、傾
いた状態で搬送されるプリント基板の走査読取りを行う
様子を示した図である。第4図に示す例においては、走
査線とプリント基板の外形線とが平行であったが、一般
には第5図に示すように傾きを有して搬送される。
第1A図のステップ31.1において、処理対象のプリ
ント基板の走査が完了したら、その中央領域を設定する
。第5図に示す例においては、イメージセンサ30の位
置にある走査線SLの下をプリント基板21の頂点りが
横切った時に走査が始まり、頂点Bが横切った時に走査
が終了する。頂点りから頂点Bまでのプリント基板21
のY軸方向の長さしを4分割して、L/4の長さを有す
る中央の2つの領域を合わせて中央領域MAとする。
ント基板の走査が完了したら、その中央領域を設定する
。第5図に示す例においては、イメージセンサ30の位
置にある走査線SLの下をプリント基板21の頂点りが
横切った時に走査が始まり、頂点Bが横切った時に走査
が終了する。頂点りから頂点Bまでのプリント基板21
のY軸方向の長さしを4分割して、L/4の長さを有す
る中央の2つの領域を合わせて中央領域MAとする。
傾きの角度θが極端に大きくなければ、中央領域MA内
には上辺ABおよび下辺CDの中央部分が含まれること
になる。
には上辺ABおよび下辺CDの中央部分が含まれること
になる。
ステップS12では、中央領域に含まれる上辺および下
辺の各辺において、所定個数のサンプル点を設定する。
辺の各辺において、所定個数のサンプル点を設定する。
第6図は第5図に示す辺ABの中央部分を拡大して示し
た図である。外形線OLは、一般に凹凸を有しており、
第6図に示す外形線OLも四部を形成している。外形線
OL上にはY軸方向に等間隔に3個以上のサンプル点P
1〜P9が設定される。なおサンプル点P1〜P9の座
標は、例えばX方向にランレングスフォーマット化され
たデータによって与えられる。
た図である。外形線OLは、一般に凹凸を有しており、
第6図に示す外形線OLも四部を形成している。外形線
OL上にはY軸方向に等間隔に3個以上のサンプル点P
1〜P9が設定される。なおサンプル点P1〜P9の座
標は、例えばX方向にランレングスフォーマット化され
たデータによって与えられる。
ステップ813では、ステップS12で設定した上辺お
よび下辺のサンプル点を直線で近似して1次の近似外形
線を求める。第6図においては、サンプル点P1〜P9
を最小二乗法によって近似して、1次の近似外形線OL
Iが求められる。サンプル点P1〜P3.P7〜P9は
ほぼ真の外形線OLO上に存在するが、サンプル点P4
〜P6は四部上にあり、プリント基板21の内側方向に
ずれて存在する。そのため、近似外形線OLIは 9 0 真の外形線OLOよりも内側にずれて設定される。
よび下辺のサンプル点を直線で近似して1次の近似外形
線を求める。第6図においては、サンプル点P1〜P9
を最小二乗法によって近似して、1次の近似外形線OL
Iが求められる。サンプル点P1〜P3.P7〜P9は
ほぼ真の外形線OLO上に存在するが、サンプル点P4
〜P6は四部上にあり、プリント基板21の内側方向に
ずれて存在する。そのため、近似外形線OLIは 9 0 真の外形線OLOよりも内側にずれて設定される。
ステップS14てはステップ813で設定した1次の近
似外形線を、上辺および下辺の各辺の全範囲にわたって
延長する。第7図は第6図に示す近似外形線を延長した
様子を示す図である。
似外形線を、上辺および下辺の各辺の全範囲にわたって
延長する。第7図は第6図に示す近似外形線を延長した
様子を示す図である。
ステップS15では各辺の全範囲にわたってサンプル点
を設定し、そのサンプル点を1次の近似外形線との配置
関係に基づいて、2つのグループに分類する。第7図に
示す例においては、ある程度の大きさを有する凹部内の
サンプル点P4.P26などが近似外形線OLIから見
てプリント基板21の内側のグループG2に分類され、
他のサンプル点は近似外形線OL1から見てプリント基
板21の外側のグループG1に分類される。
を設定し、そのサンプル点を1次の近似外形線との配置
関係に基づいて、2つのグループに分類する。第7図に
示す例においては、ある程度の大きさを有する凹部内の
サンプル点P4.P26などが近似外形線OLIから見
てプリント基板21の内側のグループG2に分類され、
他のサンプル点は近似外形線OL1から見てプリント基
板21の外側のグループG1に分類される。
ステップS16では、1次の近似外形線によって分類さ
れたグループの中から、より多数のサンプル点を含むグ
ループに属するサンプル点を用いて、2次の近似直線を
求める。第7図に示す例においては、サンプル点P4.
P26などの、グループG2に含まれる真の外形線OL
Oから比較的離れたサンプル点が排除される。そして、
グループG1に含まれる真の外形線OLOに比較的近い
サンプル点を用いて、2次の近似直線OL2が求められ
るので、真の外形線OLOにより近い近似外形線OL2
が得られる。
れたグループの中から、より多数のサンプル点を含むグ
ループに属するサンプル点を用いて、2次の近似直線を
求める。第7図に示す例においては、サンプル点P4.
P26などの、グループG2に含まれる真の外形線OL
Oから比較的離れたサンプル点が排除される。そして、
グループG1に含まれる真の外形線OLOに比較的近い
サンプル点を用いて、2次の近似直線OL2が求められ
るので、真の外形線OLOにより近い近似外形線OL2
が得られる。
ステップS17では、ステップS15およびステップS
16に相当する処理が所定回数(n回)行われたかどう
かの判断を行う。ステップ15およびステップ16の処
理をくり返すと、第7図のサンプル点P14などの微少
な四部にあるサンプル点も排除され、近似外形線は真の
外形線OLOに向かって収束していき、最終的には真の
外形線OLOに非常に近い図示しないn次の近似外形線
OLnが得られる。
16に相当する処理が所定回数(n回)行われたかどう
かの判断を行う。ステップ15およびステップ16の処
理をくり返すと、第7図のサンプル点P14などの微少
な四部にあるサンプル点も排除され、近似外形線は真の
外形線OLOに向かって収束していき、最終的には真の
外形線OLOに非常に近い図示しないn次の近似外形線
OLnが得られる。
ステップ318では、以上のようにして得られたn次の
近似外形線OLnを最終的な近似外形線として、以後の
処理に用いる。
近似外形線OLnを最終的な近似外形線として、以後の
処理に用いる。
なお、四部のサンプル点を排除する例について説明した
が、凸部のサンプル点も同様にして排除され、四部、凸
部の両方を含む場合でも、近似外影線は真の外形線に収
束していき、充分に近い近似外形線が得られる。
が、凸部のサンプル点も同様にして排除され、四部、凸
部の両方を含む場合でも、近似外影線は真の外形線に収
束していき、充分に近い近似外形線が得られる。
以上のようにして第5図の上辺AB、下辺CDの方向性
が決定したら、次に右辺DA、左辺BCの方向性を決定
する。第1B図は右辺の位置の決定の処理手順を示すフ
ローチャー1・であり、第1A図に示す処理の後に行わ
れる。また、第8図は右辺の位置の決定の様子を示す図
である。
が決定したら、次に右辺DA、左辺BCの方向性を決定
する。第1B図は右辺の位置の決定の処理手順を示すフ
ローチャー1・であり、第1A図に示す処理の後に行わ
れる。また、第8図は右辺の位置の決定の様子を示す図
である。
まず、第1B図のステップS21で、n近の近似外形線
OLnによって与えられた上辺の端部(=1近に基準点
を設定し、そこがら上辺に垂直に仮の右辺を設定する。
OLnによって与えられた上辺の端部(=1近に基準点
を設定し、そこがら上辺に垂直に仮の右辺を設定する。
第8図においては上辺AB上に基準点Kが設定され、そ
こがら仮の右辺りが設定される。なお、第8図において
はn次の近似外形線OLnと真の外形線OLOとは充分
に近く、近似外形線OLn上に頂点A、Bが存在すると
している。
こがら仮の右辺りが設定される。なお、第8図において
はn次の近似外形線OLnと真の外形線OLOとは充分
に近く、近似外形線OLn上に頂点A、Bが存在すると
している。
ステップS22では、右辺上にサンプル点を設定し、そ
のサンプル点のそれぞれと仮の右辺との間のそれぞれの
距離を求める。第8図においては、右辺DA上にX方向
に等間隔にサンプル点Q1〜Q5を設定し、そのサンプ
ル点Q1〜Q5から、仮の右辺りまでの距離d1〜d5
を求める。なおサンプル点の数は任意の複数である。
のサンプル点のそれぞれと仮の右辺との間のそれぞれの
距離を求める。第8図においては、右辺DA上にX方向
に等間隔にサンプル点Q1〜Q5を設定し、そのサンプ
ル点Q1〜Q5から、仮の右辺りまでの距離d1〜d5
を求める。なおサンプル点の数は任意の複数である。
ステップ23では、サンプル点の中から仮の右辺までの
最大の距離を与えるサンプル点を求め基準サンプル点と
する。第8図においては、距離d2が最大なので、サン
プル点Q2が基準サンプル点となる。
最大の距離を与えるサンプル点を求め基準サンプル点と
する。第8図においては、距離d2が最大なので、サン
プル点Q2が基準サンプル点となる。
ステップS24では、基準サンプル点を通り上辺に垂直
な直線を求め上辺との交点を新しい頂点とする。第8図
においては、基準サンプル点Q2を通り直線ABに垂直
な直線L1が求められる。
な直線を求め上辺との交点を新しい頂点とする。第8図
においては、基準サンプル点Q2を通り直線ABに垂直
な直線L1が求められる。
また直線L1と直線ABとの交点A′が頂点Aに代る新
たな頂点A′として認識される。
たな頂点A′として認識される。
ステップS25では、新たに求まった頂点を各直線の端
点として、上辺および右辺を再設定する。
点として、上辺および右辺を再設定する。
上辺および下辺の1つの端点と方向性が確定する。
第8図においては、頂点A′が直線Ll、ABの端点と
なり、上辺A’ Bおよび右辺A’Q2の方 3 4 向性が確定する。
なり、上辺A’ Bおよび右辺A’Q2の方 3 4 向性が確定する。
以上のような処理を下辺と左辺についても行い第9図に
示すように左下の頂点C′を確定する。
示すように左下の頂点C′を確定する。
また、右辺と下辺の交点を頂点D /、左辺と上辺の交
点を頂点B′とする。仮の右辺および左辺から最大距離
を有するサンプル点を基準サンプル点として右辺および
左辺を決定したので、はとんどの場合新たに求められた
頂点A′〜D′は元の頂点A−Dよりも外側に位置する
。このようにして、プリント基板の各頂点部分の丸みや
各辺の凹部などの欠落の影響を排除し、プリント基板の
標準形状を正確に復元することができる。そのため例え
ば、第9図に示すようなプリント基板の外形線から所定
距離dO内の領域については、検査などの処理を行わな
いようにするマスキングを正確に実行できる。
点を頂点B′とする。仮の右辺および左辺から最大距離
を有するサンプル点を基準サンプル点として右辺および
左辺を決定したので、はとんどの場合新たに求められた
頂点A′〜D′は元の頂点A−Dよりも外側に位置する
。このようにして、プリント基板の各頂点部分の丸みや
各辺の凹部などの欠落の影響を排除し、プリント基板の
標準形状を正確に復元することができる。そのため例え
ば、第9図に示すようなプリント基板の外形線から所定
距離dO内の領域については、検査などの処理を行わな
いようにするマスキングを正確に実行できる。
また、上辺A’ B’および下辺C’ D’ は最小二
乗法によって厳密に近似を行ったので、はぼ平行となり
、四角形A’B’C″D゛はほぼ長方形となる。
乗法によって厳密に近似を行ったので、はぼ平行となり
、四角形A’B’C″D゛はほぼ長方形となる。
そのため、傾き角度θも正確に求められる。なお上辺A
’ B’ と下辺C’ D’の傾きが異なる時には、そ
の2つの傾き角度を平均して角度θを求めればよい。な
お、以上のようにして求められた角度θは、後述する比
較判定処理において用いられる。
’ B’ と下辺C’ D’の傾きが異なる時には、そ
の2つの傾き角度を平均して角度θを求めればよい。な
お、以上のようにして求められた角度θは、後述する比
較判定処理において用いられる。
D、比較判定処理
次に、マスターデータと実測データとの比較を行い、プ
リント基板の良否を判定する比較判定処理について説明
する。第1C図は比較判定処理の処理手順を示すフロー
チャートであり、この処理は、第1A図および第1B図
に示す外形線近似処理を行った後に行われる。また、第
10図は比較判定処理の様子を示す図である。この処理
もプリント基板検査回路50で行われる。
リント基板の良否を判定する比較判定処理について説明
する。第1C図は比較判定処理の処理手順を示すフロー
チャートであり、この処理は、第1A図および第1B図
に示す外形線近似処理を行った後に行われる。また、第
10図は比較判定処理の様子を示す図である。この処理
もプリント基板検査回路50で行われる。
第1C図のステップS31において、マスクデータの外
形線と前述した実測データの近似外形線との間の頂点合
せを行う。ここでマスターデータとは、プリント基板の
設計上の外形線やスルホール、取付穴の位置を示すもの
であり、プリント基板の標準形状および標準パターンを
与えるも 6 のである。また、マスターデータはプリント基板検査回
路50内の図示しない所定のメモリ領域に格納されてい
る。第10図においてはマスターデータの頂点AO−D
Oの中の右上の頂点AOと実測データの近似外形線の右
上の頂点A′とが一致するように近似外形線ABCDを
平行移動する。
形線と前述した実測データの近似外形線との間の頂点合
せを行う。ここでマスターデータとは、プリント基板の
設計上の外形線やスルホール、取付穴の位置を示すもの
であり、プリント基板の標準形状および標準パターンを
与えるも 6 のである。また、マスターデータはプリント基板検査回
路50内の図示しない所定のメモリ領域に格納されてい
る。第10図においてはマスターデータの頂点AO−D
Oの中の右上の頂点AOと実測データの近似外形線の右
上の頂点A′とが一致するように近似外形線ABCDを
平行移動する。
ステップS32では、一致した頂点を中心として、傾き
角度を補正する方向に回転移動を行う。
角度を補正する方向に回転移動を行う。
第10図においては、頂点A’ (AO)を中心とし
て近似外形線A’BC’D’を傾き角度θだけ回転し、
マスターデータの頂点AO−Doのそれぞれと頂点A′
〜D′のそれぞれとが、はぼ一致するように実測データ
の座標変換を行う。
て近似外形線A’BC’D’を傾き角度θだけ回転し、
マスターデータの頂点AO−Doのそれぞれと頂点A′
〜D′のそれぞれとが、はぼ一致するように実測データ
の座標変換を行う。
ステップS51では座標変換後の実測データのホールの
位置、形状データと、マスターデータのホールの位置、
形状データとを照合して、ポールの有無、個数および形
状の良否などを判定する。
位置、形状データと、マスターデータのホールの位置、
形状データとを照合して、ポールの有無、個数および形
状の良否などを判定する。
第10図においては、マスターデータのホールHOに対
応する実測データのホールH3が回転により座標変換さ
れて、ホールHOの近くに移動する。
応する実測データのホールH3が回転により座標変換さ
れて、ホールHOの近くに移動する。
さらに第11図に示すようにマスターデータのホールH
Oを中心として、所定の長さDXを一辺とする正方形を
想定し、その中にホールH3の中心が存在すれば、ホー
ルHOに対応するホールか存在すると判定する。長さD
Xを小さくすると判定基準が厳しくなり、対応するホー
ルが無いと判断される可能性が高くなる。また、長さD
Xを大きくすると判定基準が緩くなるが、隣接するホー
ルと当該ホールとを誤認する可能性が高くなる。
Oを中心として、所定の長さDXを一辺とする正方形を
想定し、その中にホールH3の中心が存在すれば、ホー
ルHOに対応するホールか存在すると判定する。長さD
Xを小さくすると判定基準が厳しくなり、対応するホー
ルが無いと判断される可能性が高くなる。また、長さD
Xを大きくすると判定基準が緩くなるが、隣接するホー
ルと当該ホールとを誤認する可能性が高くなる。
この判定基準の設定は処理対象のプリント基板に応じて
オペレータが指定する。このようにして、ホールの個数
がマスターデータと実測データとで一致するかどうかの
判定が行われる。さらに、この2つのホールHO,H3
の形状を相互に比較してホールH3を示す実71+11
データの半径が1[常なものかどうかの判定も行う。な
お、この座標変換および比較判定については前述した表
1に示す各データが用いられる。
オペレータが指定する。このようにして、ホールの個数
がマスターデータと実測データとで一致するかどうかの
判定が行われる。さらに、この2つのホールHO,H3
の形状を相互に比較してホールH3を示す実71+11
データの半径が1[常なものかどうかの判定も行う。な
お、この座標変換および比較判定については前述した表
1に示す各データが用いられる。
また、ホールの個数が、実測データの方が少ない場合に
は、穴づまりや形状不良を起こしている 7 8 ホールの位置を検出する。
は、穴づまりや形状不良を起こしている 7 8 ホールの位置を検出する。
ステップS52では、以上のようにして比較判定した結
果を出力1表示する。例えば、ホールの個数が一致しな
い場合には、その不良ホールの位置をデイスプレィ上に
表示する。オペレータはその位置にあるプリント基板上
の領域を実際に1」視検査することにより、多数のホー
ルの中から簡単に不良のホールを検出することができる
。
果を出力1表示する。例えば、ホールの個数が一致しな
い場合には、その不良ホールの位置をデイスプレィ上に
表示する。オペレータはその位置にあるプリント基板上
の領域を実際に1」視検査することにより、多数のホー
ルの中から簡単に不良のホールを検出することができる
。
以上のように第1C図に示す処理を行えば、プリント基
板の外形線とパターンとの間の相対的位置関係のずれが
小さい時には、正確にホールに関する比較判定を行うこ
とができる。
板の外形線とパターンとの間の相対的位置関係のずれが
小さい時には、正確にホールに関する比較判定を行うこ
とができる。
プリント基板の外形線とパターンとの相対的位置関係の
ずれが無視できない場合や、さらに高密度のプリント基
板をより正確に比較判定したい場合などにおいては、下
記のように、さらに座標の再変換を行う。
ずれが無視できない場合や、さらに高密度のプリント基
板をより正確に比較判定したい場合などにおいては、下
記のように、さらに座標の再変換を行う。
第1D図は座標の再変換の処理手順を示すフローチャー
トであり、第12図は座標の再変換の様子を示す図であ
る。
トであり、第12図は座標の再変換の様子を示す図であ
る。
まず、第1D図において、第1C図のステップS32ま
での処理を行い、第12図に示すように頂点A′〜D′
と頂点AO〜Doをほぼ一致させておく。そして、ステ
ップS41で、マスターデータ上の2つのホールを特定
し、対応する実測データ上の2つのホールを、例えば前
述した第11図に示す正方形を用いて求めておく。第1
2図では、例えば頂点AOに最も近いホールHAと最も
遠いホールHBとがマスターデータ上で特定され、対応
する実測データ上のホールHa、Hbが求められる。
での処理を行い、第12図に示すように頂点A′〜D′
と頂点AO〜Doをほぼ一致させておく。そして、ステ
ップS41で、マスターデータ上の2つのホールを特定
し、対応する実測データ上の2つのホールを、例えば前
述した第11図に示す正方形を用いて求めておく。第1
2図では、例えば頂点AOに最も近いホールHAと最も
遠いホールHBとがマスターデータ上で特定され、対応
する実測データ上のホールHa、Hbが求められる。
ステップS42では、マスターデータ上で特定された2
つのホールを結ぶ直線と、実測データ上の対応する2つ
のホールを結ぶ直線とを求める。
つのホールを結ぶ直線と、実測データ上の対応する2つ
のホールを結ぶ直線とを求める。
第12図においては、ホールHA、HBを結ぶ直線LA
とホールHa、Hbを結ぶ直線Laが求められる。
とホールHa、Hbを結ぶ直線Laが求められる。
ステップS43では、ステップS42で求められたマス
ターデータ上および実測データ上での2つの直線の傾き
に基づいてずれ角度を求める。第12図においては、Y
軸方向と直線LA Laのそれぞれとの角度θ 、θ
2を求め、ずれ角度Δ■ θ(=lθ −θ2 ))を求める。
ターデータ上および実測データ上での2つの直線の傾き
に基づいてずれ角度を求める。第12図においては、Y
軸方向と直線LA Laのそれぞれとの角度θ 、θ
2を求め、ずれ角度Δ■ θ(=lθ −θ2 ))を求める。
■
ステップS44では、ステップS41て特定した2つの
ホールの中から1つのホールを選択してマスターデータ
上と実測データ上でそのホールが重なるように、ステッ
プS42て求めた直線の平行移動を行う。第12図にお
いては、ホールHaをホールHAに重ねるように直線L
aを平行移動して直線Lbを形成する。
ホールの中から1つのホールを選択してマスターデータ
上と実測データ上でそのホールが重なるように、ステッ
プS42て求めた直線の平行移動を行う。第12図にお
いては、ホールHaをホールHAに重ねるように直線L
aを平行移動して直線Lbを形成する。
ステップS45では、重ね合わせたホールを中心として
ずれ角度を補正する方向に、ステップS44で求めた直
線の回転移動を行う。第12図においては、ホールHA
を中心として直線Lbをずれ角度Δθたけ回転し、直線
LAと重なるようにする。
ずれ角度を補正する方向に、ステップS44で求めた直
線の回転移動を行う。第12図においては、ホールHA
を中心として直線Lbをずれ角度Δθたけ回転し、直線
LAと重なるようにする。
以上のような処理により、直線La上のホールは直線L
A上のホールの位置に移動する。またこの平行移動およ
び回転移動は実測データ上の他のホールについても行わ
れるので、マスターチー タ上のホールの位置と実測デ
ータ上のホールの位置とが、さらに近づく。その後、第
1C図のステップS51を行い、同様の比較判定処理を
行えば、より正確な比較判定処理を行うことができる。
A上のホールの位置に移動する。またこの平行移動およ
び回転移動は実測データ上の他のホールについても行わ
れるので、マスターチー タ上のホールの位置と実測デ
ータ上のホールの位置とが、さらに近づく。その後、第
1C図のステップS51を行い、同様の比較判定処理を
行えば、より正確な比較判定処理を行うことができる。
E、変形例
以上説明した実施例においては、四部および凸部の両方
を排除して近似外形線を求めるために、グループ分けを
行ったが、プリント基板に切りがきなどの四部が多数存
在する場合には、1次の近似外形線から見てプリント基
板内側のサンプル点を順次排除し、1次の近似外形線の
外側のサンプル点を用いて2次の近似外形線を求めてい
けばよい。なお、以下の処理は前述した例と同様となる
。
を排除して近似外形線を求めるために、グループ分けを
行ったが、プリント基板に切りがきなどの四部が多数存
在する場合には、1次の近似外形線から見てプリント基
板内側のサンプル点を順次排除し、1次の近似外形線の
外側のサンプル点を用いて2次の近似外形線を求めてい
けばよい。なお、以下の処理は前述した例と同様となる
。
また以上説明した実施例において、第1D図に示す座標
の再変換は、2つのスルーホールを用いて行ったが、ス
ルーホールを用いずに、例えばプリント基板の取り付は
穴などを基準にして座標の再変換を行ってもよい。
の再変換は、2つのスルーホールを用いて行ったが、ス
ルーホールを用いずに、例えばプリント基板の取り付は
穴などを基準にして座標の再変換を行ってもよい。
以上のようにこの発明の第1の構成によれば、1
2
近似外形線は外形線上の3つ以上のサンプル点の位置に
よって決定されるので、外形線の凹凸の影響が除去され
、標準形状によって与えられる真の外形線に充分近い近
似外形線が得られ、所定の座標系における外形線と標準
形状の辺との角度か正確に算出される。
よって決定されるので、外形線の凹凸の影響が除去され
、標準形状によって与えられる真の外形線に充分近い近
似外形線が得られ、所定の座標系における外形線と標準
形状の辺との角度か正確に算出される。
そのため、短時間で正確に基板の外形線の位置あわせが
できるプリント基板の検査方法および装置を得ることが
できる。
できるプリント基板の検査方法および装置を得ることが
できる。
また、この発明の第2の構成によれば、第1および第2
の実測位置は、第1゜および第2の基準位置と比較され
、実測位置と基準位置との間のずれが求められるので、
標準パターンと実測データによって与えられるパターン
との間のずれが検出され、その2つのパターンを重ねる
ような座標変換が行なえる。
の実測位置は、第1゜および第2の基準位置と比較され
、実測位置と基準位置との間のずれが求められるので、
標準パターンと実測データによって与えられるパターン
との間のずれが検出され、その2つのパターンを重ねる
ような座標変換が行なえる。
そのため、短時間で正確に基板の外形線の位置あわせが
できるとともに、パターンずれによる誤差を解消したプ
リント基板の検査方法および装置を得ることができる。
できるとともに、パターンずれによる誤差を解消したプ
リント基板の検査方法および装置を得ることができる。
第1A図はこの発明の一実施例による外形線近似処理の
フローチャート、 第1B図はこの発明の一実施例による右辺設定処理のフ
ローチャート、 第1C図はこの発明の一実施例による比較判定処理のフ
ローチャート、 第1D図はこの発明の一実施例による座標の再変換処理
のフローチャート、 第2図はこの発明の一実施例を適用するプリント基板の
検査装置のブロック図、 第3図は第2図に示すプリント基板の検査装置の外観図
、 第4図はホールとデータの関係を示す図、第5図は傾い
たプリント基板を示す図、第6図は辺の拡大図、 第7図は近似外形線の設定の様子を示す図、第8図は右
辺の設定の様子を示す図、 第9図はマスキング領域を示す図、 第10図は比較判定処理の様子を示す図、第1−1図は
ホールの有無の判定の様子を示す図、第12図は座標の
再変換の様子を示す図である。 21・・・プリント基板、30・・・イメージセンサ、
50・・・プリント基板検査回路、 HO−H3、HA 、 HB 、 Ha 、 Hb ・
・・ホール、θ・・・傾き角度、 P1〜P9・・
・サンプル点、OLl・・・1次の近似外形線、 OL2・・・2次の近似外形線、
フローチャート、 第1B図はこの発明の一実施例による右辺設定処理のフ
ローチャート、 第1C図はこの発明の一実施例による比較判定処理のフ
ローチャート、 第1D図はこの発明の一実施例による座標の再変換処理
のフローチャート、 第2図はこの発明の一実施例を適用するプリント基板の
検査装置のブロック図、 第3図は第2図に示すプリント基板の検査装置の外観図
、 第4図はホールとデータの関係を示す図、第5図は傾い
たプリント基板を示す図、第6図は辺の拡大図、 第7図は近似外形線の設定の様子を示す図、第8図は右
辺の設定の様子を示す図、 第9図はマスキング領域を示す図、 第10図は比較判定処理の様子を示す図、第1−1図は
ホールの有無の判定の様子を示す図、第12図は座標の
再変換の様子を示す図である。 21・・・プリント基板、30・・・イメージセンサ、
50・・・プリント基板検査回路、 HO−H3、HA 、 HB 、 Ha 、 Hb ・
・・ホール、θ・・・傾き角度、 P1〜P9・・
・サンプル点、OLl・・・1次の近似外形線、 OL2・・・2次の近似外形線、
Claims (5)
- (1)複数の辺によって構成される標準形状に基づいた
形状を有する基板上に、標準パターンに基づいた位置に
複数の孔が設けられたプリント基板を検査する方法であ
って、 (a)前記標準形状および前記標準パターンの座標情報
を示すマスターデータを準備する工程と、(b)前記プ
リント基板を光電走査して、そのプリント基板の形状お
よび複数の孔の位置を読み取る工程と、 (c)前記プリント基板の形状の外形線上の3つ以上の
サンプル点の位置を認識する工程と、(d)前記サンプ
ル点の位置に基づいて、前記外形線を直線近似した近似
外形線を求める工程と、(e)所定の座標系において、
前記近似外形線の座標情報とこれに対応する前記辺の座
標情報とに基づいて前記標準形状と前記プリント基板の
形状との間の相対的位置関係を求める工程と、(f)前
記相対的位置関係に基づいて、前記読み取られた複数の
孔の位置を座標変換し、対応する修正位置を求める工程
と、 (g)前記標準パターンの座標情報を用いつつ、前記修
正位置上の孔と前記標準パターン上の孔とを照合するこ
とにより、前記プリント基板における複数の孔の個数お
よび位置を認識する工程と、を含むプリント基板の検査
方法。 - (2)請求項1記載のプリント基板の検査方法であつて
、 工程(d)が、 (d−1)最小二乗法によって3つ以上のサンプル点の
位置を近似する第1次近似直線を求める工程と、 (d−2)前記第1次近似直線と前記3つ以上のサンプ
ル点のそれぞれとの配置関係に基づいて、前記複数のサ
ンプル点を比較的多数のサンプル点を含む第1のグルー
プと比較的少数のサンプル点を含む第2のグループとに
類別する工程と、(d−3)前記第1のグループに含ま
れるサンプル点の位置を近似する第2次近似直線を求め
る工程と、 (d−4)前記第2次近似直線に基づいて近似外形線を
求める工程と、を含むプリント基板の検査方法。 - (3)複数の辺によって構成される標準形状に基づいた
形状を有する基板上に、標準パターンに基づいた位置に
複数の孔が設けられたプリント基板を検査する方法であ
って、 (a)前記標準形状および前記標準パターンの座標情報
を示すマスターデータを準備する工程と、(b)前記プ
リント基板を光電走査して、そのプリント基板の形状お
よび複数の孔の位置を読み取る工程と、 (c)前記プリント基板の形状の外形線上の3つ以上の
サンプル点の位置を認識する工程と、(d)前記サンプ
ル点の位置に基づいて、前記外形線を直線近似した近似
外形線を求める工程と、(e)所定の座標系において、
前記近似外形線の座標情報とこれに対応する前記辺の座
標情報とに基づいて前記標準形状と前記プリント基板の
形状との間の第1の相対的位置関係を求める工程と、(
f)前記第1の相対的位置関係に基づいて、前記読み取
られた複数の孔の位置を座標変換し、対応する第1の修
正位置を求める工程と、 (g)前記標準パターン上の所定の2つの孔を示す第1
および第2の基準位置を特定する工程と、(h)前記第
1の修正位置にある複数の孔の位置の中から前記所定の
2つの孔を示す第1および第2の実測位置を求める工程
と、 (i)前記第1および第2の実測位置と前記第1および
第2の基準位置との間の第2の相対的位置関係を求める
工程と、 (j)前記第2の相対的位置関係に基づいて、前記第1
の修正位置にある複数の孔の位置を座標変換し、対応す
る第2の修正位置を求める工程と、(k)前記標準パタ
ーンの座標情報を用いつつ、前記第2の修正位置上の孔
と前記標準パターン上の孔とを照合することにより、前
記プリント基板における複数の孔の個数および位置を認
識する工程と、を含むプリント基板の検査方法。 - (4)複数の辺によって構成される標準形状に基づいた
形状を有する基板上に、標準パターンに基づいた位置に
複数の孔が設けられたプリント基板を検査する装置であ
って、 (a)前記標準形状および前記標準パターンの座標情報
を示すマスターデータを記憶する記憶手段と、 (b)前記プリント基板を光電走査して、そのプリント
基板の形状および複数の孔の位置を読み取るイメージセ
ンサと、 (c)前記プリント基板の形状の外形線上の3つ以上の
サンプル点の位置を認識するサンプル手段と、 (d)前記サンプル点の位置に基づいて、前記外形線を
直線近似した近似外形線を求める近似手段と、 (e)前記近似外形線の座標情報とこれに対応する前記
辺の座標情報とに基づいて前記標準形状と前記プリント
基板の形状との間の相対的位置関係を求める位置関係決
定手段と、 (f)前記相対的位置関係に基づいて、前記読み取られ
た複数の孔の位置を座標変換し、対応する修正位置を求
める修正手段と、 (g)前記修正位置上の孔と前記標準パターン上の孔と
を照合することにより、前記プリント基板における複数
の孔の個数および位置を認識する認識手段と、を含むプ
リント基板の検査装置。 - (5)請求項4記載のプリント基板の検査装置であって
、 手段(a)に、 (a′)前記標準パターン上の所定の2つの孔を示す第
1および第2の基準位置を特定する特定手段を、付加し
、 イメージセンサ(b)に、 (b′)前記読み取られた複数の孔の位置の中から前記
所定の2つの孔を示す第1および第2の実測位置を求め
る検出手段を、付加し、 手段(e)に、 (e′)前記第1および第2の実測位置と前記第1およ
び第2の基準位置との相対的位置関係を求める位置関係
決定手段を、付加したプリント基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1141640A JPH0749933B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | プリント基板の検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1141640A JPH0749933B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | プリント基板の検査方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH036409A true JPH036409A (ja) | 1991-01-11 |
| JPH0749933B2 JPH0749933B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=15296749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1141640A Expired - Fee Related JPH0749933B2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | プリント基板の検査方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749933B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105463A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Nikon Corporation | 検査装置の製造方法 |
| JP2013134183A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Denso Corp | 孔加工物品の検査装置及び検査方法 |
| CN103518423A (zh) * | 2011-03-29 | 2014-01-15 | At&S奥地利科技及系统技术股份公司 | 用于制造、特别是加工或装备印刷电路板元件的方法以及用在这种方法中的载体 |
| JP2017049150A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | アズビル株式会社 | 蛍光粒子の計測方法 |
| WO2020090192A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 寸法測定装置及び荷物発送用ロッカー |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120907A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Toshiba Corp | プリント基板のホ−ル検査方法 |
| JPS6225204A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Narumi China Corp | スル−ホ−ルの位置補正方法 |
| JPS62115591A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-27 | Fujitsu Ltd | パタ−ン位置の認識方法 |
| JPS63124939A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Hitachi Ltd | パターン検査方法およびその装置 |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP1141640A patent/JPH0749933B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61120907A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Toshiba Corp | プリント基板のホ−ル検査方法 |
| JPS6225204A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Narumi China Corp | スル−ホ−ルの位置補正方法 |
| JPS62115591A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-27 | Fujitsu Ltd | パタ−ン位置の認識方法 |
| JPS63124939A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-28 | Hitachi Ltd | パターン検査方法およびその装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105463A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Nikon Corporation | 検査装置の製造方法 |
| JPWO2008105463A1 (ja) * | 2007-02-28 | 2010-06-03 | 株式会社ニコン | 検査装置の製造方法 |
| CN103518423A (zh) * | 2011-03-29 | 2014-01-15 | At&S奥地利科技及系统技术股份公司 | 用于制造、特别是加工或装备印刷电路板元件的方法以及用在这种方法中的载体 |
| JP2013134183A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Denso Corp | 孔加工物品の検査装置及び検査方法 |
| JP2017049150A (ja) * | 2015-09-02 | 2017-03-09 | アズビル株式会社 | 蛍光粒子の計測方法 |
| WO2020090192A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 寸法測定装置及び荷物発送用ロッカー |
| JPWO2020090192A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-10-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 寸法測定装置及び荷物発送用ロッカー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0749933B2 (ja) | 1995-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2733206B2 (ja) | プリント回路基板の自動光学検査装置における歪み補正方法及び装置 | |
| KR900005349B1 (ko) | Ic 구조용 다층 패턴의 기하학 체크를 위한 방법 및 장치 | |
| KR920008287B1 (ko) | 프린트기판 도전패턴의 검사방법 및 장치 | |
| KR20210104028A (ko) | 부품 검사 동안의 기준 오정렬 보상 | |
| JPH0763691A (ja) | パターン欠陥検査方法及びその装置 | |
| KR960013357B1 (ko) | 화상데이타 검사방법 및 장치 | |
| JP3409670B2 (ja) | 外観検査方法およびその装置 | |
| JPS61212708A (ja) | 多層パターン欠陥検出方法及びその装置 | |
| JPH036409A (ja) | プリント基板の検査方法および装置 | |
| JPH1064981A (ja) | ウェハのアライメント方法 | |
| JPH04295748A (ja) | パターン検査装置 | |
| JP3281457B2 (ja) | 基板の部品実装検査方法及び検査装置 | |
| JP2561193B2 (ja) | 印刷パターン検査装置 | |
| JPH10325806A (ja) | 外観検査方法及び装置 | |
| JP4357666B2 (ja) | パターン検査方法および装置 | |
| JPH09145334A (ja) | 実装部品検査方法およびその装置 | |
| JPH063541B2 (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH05272945A (ja) | リードの曲がり検査装置 | |
| JPH10142771A (ja) | パターンを検査する検査装置の感度設定方法及び感度設定可能な検査装置 | |
| JPH01251175A (ja) | 位置認識装置 | |
| JP3198105B2 (ja) | 自動外観検査装置 | |
| JPS6061604A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| JPH04361548A (ja) | 欠陥検査方法及び検査装置 | |
| JP4130848B2 (ja) | ピクセルの検査方法、及び、ピクセルの検査装置 | |
| TW202527153A (zh) | 孔檢測系統及方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |